JPH03249425A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- JPH03249425A JPH03249425A JP4269290A JP4269290A JPH03249425A JP H03249425 A JPH03249425 A JP H03249425A JP 4269290 A JP4269290 A JP 4269290A JP 4269290 A JP4269290 A JP 4269290A JP H03249425 A JPH03249425 A JP H03249425A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
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- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明の静圧気体軸受は、精密工作機械等の回転部分を
支承する場合に利用するもので、本発明は、この様な静
圧気体軸受の小型化と剛性向上とを図るものである。
支承する場合に利用するもので、本発明は、この様な静
圧気体軸受の小型化と剛性向上とを図るものである。
(従来の技術)
精密工作機械等に組み込まれ、高速で回転する、回転軸
等の回転部材を空気等の圧縮気体の力により支承する静
圧気体軸受が、従来から広く使用されている。
等の回転部材を空気等の圧縮気体の力により支承する静
圧気体軸受が、従来から広く使用されている。
第10〜11図は、この様な従来から知られている静圧
気体軸受の1例として、特公昭45−37683号公報
に記載された静圧気体軸受を示している。
気体軸受の1例として、特公昭45−37683号公報
に記載された静圧気体軸受を示している。
第10図に於いて1は、内周面を円筒状の軸受面2とし
た軸受部材で、この軸受部材1の内側に3゜ 回転部材である回転軸3を挿通している。上記軸受面2
の上下左右4個所位置には、それぞれ圧力容積部である
凹部4a、4b、5a、5bを形成し、各凹部4a、4
b、5a、5bに圧縮気体を送り込む事で、上記回転軸
3を軸受部材1の内側に、非接触状態で支承する様にし
ている。
た軸受部材で、この軸受部材1の内側に3゜ 回転部材である回転軸3を挿通している。上記軸受面2
の上下左右4個所位置には、それぞれ圧力容積部である
凹部4a、4b、5a、5bを形成し、各凹部4a、4
b、5a、5bに圧縮気体を送り込む事で、上記回転軸
3を軸受部材1の内側に、非接触状態で支承する様にし
ている。
上記4個の凹部4a、4b、5a、5bの内、上下2個
所位置の凹部4a、4bは第一の制御絞り弁6を介して
、左右2個所位置の凹部5a、5bは第二の制御絞り弁
7を介して、それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源
に通じさせている。
所位置の凹部4a、4bは第一の制御絞り弁6を介して
、左右2個所位置の凹部5a、5bは第二の制御絞り弁
7を介して、それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源
に通じさせている。
上記第一、第二の制御絞り弁6.7は、軸受面2と回転
軸3の外周面とが同心になる様に、上下の凹部4a、4
b、或は左右の凹部5a、5bに送る圧縮気体の量と圧
力とを調節する為のもので、例えば第11図に示す様に
構成されている。
軸3の外周面とが同心になる様に、上下の凹部4a、4
b、或は左右の凹部5a、5bに送る圧縮気体の量と圧
力とを調節する為のもので、例えば第11図に示す様に
構成されている。
第一(第二)の制御絞り弁6(7)を構成するハウジン
グ8の片面中央部に設けた第一ボート9と凹部4a (
5a)とは第一供給管10により、他面中央部に設けた
第二ボート11と凹部4b(5b)とは第二供給管12
により、それぞれ連通させている。又、上記ハウジング
8の中間部にはダイヤフラム15を設けて、このハウジ
ング8の内側を、第一ボート9側の第一室13と第一ボ
ート11側の第二室14とに分割し、これら第、第二両
室13.14に、圧縮気体供給源から圧縮気体を送り込
んでいる。
グ8の片面中央部に設けた第一ボート9と凹部4a (
5a)とは第一供給管10により、他面中央部に設けた
第二ボート11と凹部4b(5b)とは第二供給管12
により、それぞれ連通させている。又、上記ハウジング
8の中間部にはダイヤフラム15を設けて、このハウジ
ング8の内側を、第一ボート9側の第一室13と第一ボ
ート11側の第二室14とに分割し、これら第、第二両
室13.14に、圧縮気体供給源から圧縮気体を送り込
んでいる。
上記ハウジング8の内面で、第一、第二両ボート9.1
1の開口部を囲む位置は、全周に互ってそれぞれ内方に
突出させ、上記ダイヤフラム15の両側には、第一 第
二両ボート9.11と第第二両室13.14との間に、
それぞれ第第二両絞り流路16.17を形成している。
1の開口部を囲む位置は、全周に互ってそれぞれ内方に
突出させ、上記ダイヤフラム15の両側には、第一 第
二両ボート9.11と第第二両室13.14との間に、
それぞれ第第二両絞り流路16.17を形成している。
上述の様に構成される為、回転軸3の変位に基づいて、
この回転軸3の外周面と軸受面2とが同心でなくなった
場合、第一、第二の制御絞り弁6.7の作用により、凹
部4a14b、5a、5bに送り込まれる圧縮気体の量
と圧力とが適当に調節され、上記回転軸3の外周面と軸
受面2とが同心になる。
この回転軸3の外周面と軸受面2とが同心でなくなった
場合、第一、第二の制御絞り弁6.7の作用により、凹
部4a14b、5a、5bに送り込まれる圧縮気体の量
と圧力とが適当に調節され、上記回転軸3の外周面と軸
受面2とが同心になる。
例えば、第11図に於いて回転軸3が下方に変位した場
合、回転軸3の外周面と軸受面2との間の軸受隙間18
の寸法が、下側で小さく、上側で大きくなる。この寸法
変化に伴ない、下側の凹部4b (5b)内の圧力が高
く、上側の凹部4a(5a)内の圧力が低くなり、第二
供給管12により凹部4b (5b)と通じた第二ボー
ト11内の圧力が上昇し、第一供給管10により凹部4
a(5a)と通じた第一ボート9内の圧力が低下する。
合、回転軸3の外周面と軸受面2との間の軸受隙間18
の寸法が、下側で小さく、上側で大きくなる。この寸法
変化に伴ない、下側の凹部4b (5b)内の圧力が高
く、上側の凹部4a(5a)内の圧力が低くなり、第二
供給管12により凹部4b (5b)と通じた第二ボー
ト11内の圧力が上昇し、第一供給管10により凹部4
a(5a)と通じた第一ボート9内の圧力が低下する。
この結果、第一、第二両ボート9.11を仕切るダイヤ
フラム15が上方に変位し、第二絞り流路17が広く、
第一絞り流路16が狭くなって、下側の凹部4b(5b
)内に送り込む圧縮気体の量と圧力とが大きくなり、上
側の凹部4a(5a)内に送り込まれる圧縮気体の量と
圧力とが小さくなって、回転軸3が第11図で上方に押
され、この回転@3の変位が解消される。
フラム15が上方に変位し、第二絞り流路17が広く、
第一絞り流路16が狭くなって、下側の凹部4b(5b
)内に送り込む圧縮気体の量と圧力とが大きくなり、上
側の凹部4a(5a)内に送り込まれる圧縮気体の量と
圧力とが小さくなって、回転軸3が第11図で上方に押
され、この回転@3の変位が解消される。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、上述の様に構成され作用する、従来の静圧気
体軸受に於いては、次に述べる様な問題があフた。
体軸受に於いては、次に述べる様な問題があフた。
即ち、従来構造の場合、前記第10図に示した様に、第
一、第二の両制御絞り弁6.7と各凹部4a、 4b
、5a、5bとを連通ずる為の、第、第二両室1310
.12が長く、回転軸3が変位した場合に於ける流量制
御の応答性が悪い為、凹部4a、4b、5a、5bに送
り込んだ圧縮気体により、自動振動が発生し易く、発生
した場合には、静圧気体軸受を組み込んだ工作機械等の
運転を安定して行なえなくなってしまう。
一、第二の両制御絞り弁6.7と各凹部4a、 4b
、5a、5bとを連通ずる為の、第、第二両室1310
.12が長く、回転軸3が変位した場合に於ける流量制
御の応答性が悪い為、凹部4a、4b、5a、5bに送
り込んだ圧縮気体により、自動振動が発生し易く、発生
した場合には、静圧気体軸受を組み込んだ工作機械等の
運転を安定して行なえなくなってしまう。
本発明の静圧気体軸受は、上述の様な問題を解決するも
のである。
のである。
C8題を解決する為の手段)
本発明の静圧気体軸受は、軸受面を有するハウジングと
、この軸受面に形成された複数の圧力容積部と、上記ハ
ウジングの外面に形成した長孔状の空間部に設けた制御
絞り弁と、上記ハウジング内に形成され、且つ上記制御
絞り弁と上記各圧力容積部とを連通させる分配流路と、
圧縮気体供給源と上記空間部とを連通させる給気流路と
を具えている。
、この軸受面に形成された複数の圧力容積部と、上記ハ
ウジングの外面に形成した長孔状の空間部に設けた制御
絞り弁と、上記ハウジング内に形成され、且つ上記制御
絞り弁と上記各圧力容積部とを連通させる分配流路と、
圧縮気体供給源と上記空間部とを連通させる給気流路と
を具えている。
そして、上記制御絞り弁は、長方形状の板ばねと、この
板ばねを挟持する1対の長方形状の弁座板とを具え、各
弁座板の板ばねと対向する面の中央部に形成した凹部の
中央には、この凹部の深さ寸法よりも小さな高さ寸法を
有する凸部を形成し、この凸部の中央には、各弁座板と
板ばねとの間に存在する空間と上記分配流路とを連通ず
る通孔を形成している。
板ばねを挟持する1対の長方形状の弁座板とを具え、各
弁座板の板ばねと対向する面の中央部に形成した凹部の
中央には、この凹部の深さ寸法よりも小さな高さ寸法を
有する凸部を形成し、この凸部の中央には、各弁座板と
板ばねとの間に存在する空間と上記分配流路とを連通ず
る通孔を形成している。
(作 用)
上述の様に構成される本発明の静圧気体軸受の場合、回
転部材を支承する為の圧縮気体は、制御絞り弁と圧力容
積部とを通じて軸受隙間に送り込まれ、上記回転部材を
軸受部材に対して、非接触状態で支承する。
転部材を支承する為の圧縮気体は、制御絞り弁と圧力容
積部とを通じて軸受隙間に送り込まれ、上記回転部材を
軸受部材に対して、非接触状態で支承する。
本発明の静圧気体軸受の場合、制御絞り弁をハウジング
に内蔵し、この制御絞り弁と圧力容積部とを結ぶ分配流
路を短くしている為、制御絞り弁の応答性が向上し、自
助振動が発生しにくくなって、静圧気体軸受を組み込ん
だ装置の運転を安定した状態で行なえる。
に内蔵し、この制御絞り弁と圧力容積部とを結ぶ分配流
路を短くしている為、制御絞り弁の応答性が向上し、自
助振動が発生しにくくなって、静圧気体軸受を組み込ん
だ装置の運転を安定した状態で行なえる。
又、制御絞り弁を構成する板ばね及び弁座板を長方形状
とし、上記制御絞り弁を収納する為の空間部を、長孔状
とした為、複数の制御絞り弁を狭い面積内に設置する事
が可能となり、静圧気体軸受の小型化を図れる。
とし、上記制御絞り弁を収納する為の空間部を、長孔状
とした為、複数の制御絞り弁を狭い面積内に設置する事
が可能となり、静圧気体軸受の小型化を図れる。
(実施例)
次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。
説明する。
第1〜8図は本発明の実施例を示しており、第1図は第
8図のA−A線で切断してスラスト軸受部分を示す断面
図、第2図はスラスト軸受面に形成したスリット溝の形
状を示す、第1図のB−B親図、第3図は第8図のC−
C線で切断してラジアル軸受部分を示す断面図、′s4
図は′s3図のD−D断面図、第5図はラジアル軸受面
に形成したスリット溝の形状を示す、第4図のE−E親
図、第6図は制御絞り弁の分解斜視図、第7図は制御絞
り弁の組み付は状態を示す、′s6図のF−F断面に相
当する図、第8図は制御絞り弁の配置状態を示す、第1
図のG−G親図である。
8図のA−A線で切断してスラスト軸受部分を示す断面
図、第2図はスラスト軸受面に形成したスリット溝の形
状を示す、第1図のB−B親図、第3図は第8図のC−
C線で切断してラジアル軸受部分を示す断面図、′s4
図は′s3図のD−D断面図、第5図はラジアル軸受面
に形成したスリット溝の形状を示す、第4図のE−E親
図、第6図は制御絞り弁の分解斜視図、第7図は制御絞
り弁の組み付は状態を示す、′s6図のF−F断面に相
当する図、第8図は制御絞り弁の配置状態を示す、第1
図のG−G親図である。
第1図に於いて、それぞれ短筒状に形成された内筒22
に外筒23を外嵌固定している。内筒22の内側には、
円管状の回転部材24が挿通されており、この回転部材
24の両端部にそれぞれ固定されたフランジ片25a、
25bの内側面と、上記内筒22と外筒23との端面に
固定した軸受部材26a、26bとが対向している。そ
して、内筒22と外筒23と軸受部材26a、26bと
で、ハウジング21を構成している。
に外筒23を外嵌固定している。内筒22の内側には、
円管状の回転部材24が挿通されており、この回転部材
24の両端部にそれぞれ固定されたフランジ片25a、
25bの内側面と、上記内筒22と外筒23との端面に
固定した軸受部材26a、26bとが対向している。そ
して、内筒22と外筒23と軸受部材26a、26bと
で、ハウジング21を構成している。
内筒22と外筒23との間に挟まれる様にして、これら
部材22.23の端面に固定された各軸受部材26a、
26bは、それぞれの外側面を軸受面27a、27bと
しており、各軸受面27a、27bに、それぞれ第2図
に示す様に、複数の同心円弧部とこれら複数の同心円弧
部同士を連続させる放射部とから成る、圧力容積部であ
るスリット溝28a、28bを形成している。
部材22.23の端面に固定された各軸受部材26a、
26bは、それぞれの外側面を軸受面27a、27bと
しており、各軸受面27a、27bに、それぞれ第2図
に示す様に、複数の同心円弧部とこれら複数の同心円弧
部同士を連続させる放射部とから成る、圧力容積部であ
るスリット溝28a、28bを形成している。
各スリット溝28a、28bはそれぞれ、分配流路29
a、29bと、外筒23内に設けられた制御絞り弁30
aと、給気流路31とを介して、コンプレッサ等の圧縮
気体供給源に通じており、各スリット溝28a、28b
に圧縮気体を送り込む事で、上記回転部材24をハウジ
ング21が非接触状態で支承する様にしている。
a、29bと、外筒23内に設けられた制御絞り弁30
aと、給気流路31とを介して、コンプレッサ等の圧縮
気体供給源に通じており、各スリット溝28a、28b
に圧縮気体を送り込む事で、上記回転部材24をハウジ
ング21が非接触状態で支承する様にしている。
即ち、上記各スリット溝28a、28b内に送り込まれ
た圧縮気体により、上記軸受面27a、27bとフラン
ジ片25a、25bの内側面との間に軸受隙間を形成し
、回転部材24がハウジング21の内筒22の内側で、
各フランジ片25a、25bと各軸受部材26a、26
bとが互いに接触する事なく回転する様にしている。
た圧縮気体により、上記軸受面27a、27bとフラン
ジ片25a、25bの内側面との間に軸受隙間を形成し
、回転部材24がハウジング21の内筒22の内側で、
各フランジ片25a、25bと各軸受部材26a、26
bとが互いに接触する事なく回転する様にしている。
各スリット溝28a、28bに通じる分配流路29a、
29bと給気流路31との間に設けた制御絞り弁30a
は、前述した従来構造に於ける第、第二の制御絞り弁6
.7(第10〜11図参照)と同様に機能して、両スリ
ット溝28a、28bへの圧縮気体の供給量を調節し、
フランジ片25aの内側面と軸受面27aとの間の軸受
隙間の大きさと、フランジ片25bの内側面と軸受面2
7bとの間の軸受隙間の大きさとが大きく異ならない様
にするものである。
29bと給気流路31との間に設けた制御絞り弁30a
は、前述した従来構造に於ける第、第二の制御絞り弁6
.7(第10〜11図参照)と同様に機能して、両スリ
ット溝28a、28bへの圧縮気体の供給量を調節し、
フランジ片25aの内側面と軸受面27aとの間の軸受
隙間の大きさと、フランジ片25bの内側面と軸受面2
7bとの間の軸受隙間の大きさとが大きく異ならない様
にするものである。
但し、本発明に使用する制御絞り弁の場合、この様な制
御絞り弁30aを、第6図に示す様に、長方形状で、厚
さが0.1〜0.35mm程度の板ばね32と、この板
ばね32を挟持する1対の長方形状の弁座板37.37
と、両弁座板37.37を取り付けるボルトとから構成
すると共に、これら各部材32.37から成る制御絞り
弁30aを、上記外筒23の外面に形成した、長孔状の
空間部である凹部33a内に装着している。
御絞り弁30aを、第6図に示す様に、長方形状で、厚
さが0.1〜0.35mm程度の板ばね32と、この板
ばね32を挟持する1対の長方形状の弁座板37.37
と、両弁座板37.37を取り付けるボルトとから構成
すると共に、これら各部材32.37から成る制御絞り
弁30aを、上記外筒23の外面に形成した、長孔状の
空間部である凹部33a内に装着している。
尚、静圧気体軸受用制御絞り弁30aの場合は、板ばね
32の厚さが0.1mm未満の場合、圧力変化に対応し
た板ばね32の動きが過敏になり過ぎて、制御絞り弁3
0aによる制御が安定せずに、自助振動が発生し易くな
る。反対に、板ばね32の厚さが0.35mmを越えた
場合、板ばね32の動きかにぶくなり過ぎて、制御絞り
弁30aによる制御があまり行なわれなくなる。この為
、板ばね32の厚さを、上記範囲に限定した。
32の厚さが0.1mm未満の場合、圧力変化に対応し
た板ばね32の動きが過敏になり過ぎて、制御絞り弁3
0aによる制御が安定せずに、自助振動が発生し易くな
る。反対に、板ばね32の厚さが0.35mmを越えた
場合、板ばね32の動きかにぶくなり過ぎて、制御絞り
弁30aによる制御があまり行なわれなくなる。この為
、板ばね32の厚さを、上記範囲に限定した。
上記各弁座板37.37の、板ばね32と対向する面の
中央部には、凹部34.34を形成しており、各凹部3
4.34の中央には、各凹部34.34の深さ寸法dよ
りも小さな高さ寸法h(くd)を有する凸部35.35
を形成している。更に、各凸部35.35の中央には、
各弁座板37.37と板ばね32との間に存在する空間
36.36と前記分配流路29a、29bとを連通ずる
為、第7図に示す様に、内径が1〜3mm程度の通孔4
2.42を形成している。そして、これら各部材32.
37より成る制御絞り弁30aを装着した凹部33aの
開口部を蓋板38により塞いでいる。蓋板38には、ス
リット溝28bに通じる分配流路29bの一部を形成し
、1対の分配流路29a、29bが上記制御絞り弁30
aに対して、両側から接続される様にしている。
中央部には、凹部34.34を形成しており、各凹部3
4.34の中央には、各凹部34.34の深さ寸法dよ
りも小さな高さ寸法h(くd)を有する凸部35.35
を形成している。更に、各凸部35.35の中央には、
各弁座板37.37と板ばね32との間に存在する空間
36.36と前記分配流路29a、29bとを連通ずる
為、第7図に示す様に、内径が1〜3mm程度の通孔4
2.42を形成している。そして、これら各部材32.
37より成る制御絞り弁30aを装着した凹部33aの
開口部を蓋板38により塞いでいる。蓋板38には、ス
リット溝28bに通じる分配流路29bの一部を形成し
、1対の分配流路29a、29bが上記制御絞り弁30
aに対して、両側から接続される様にしている。
尚、通孔42の内径が1mm未満であると、各スリット
溝28a、28bへの圧縮気体の供給量が不足し、回転
部材24の支持が不十分となる。反対に、通孔42の内
径が3mmを越えた場合、凸部35の板ばね32側の面
の面積が小さくなって、凸部35と板ばね32との間の
空間36の絞り効果が小さくなり、圧縮気体の流れの乱
れが大きくなって、回転部材24の支持が不安定になる
。この為、各通孔42.42の内径を、1〜3mmとし
た。
溝28a、28bへの圧縮気体の供給量が不足し、回転
部材24の支持が不十分となる。反対に、通孔42の内
径が3mmを越えた場合、凸部35の板ばね32側の面
の面積が小さくなって、凸部35と板ばね32との間の
空間36の絞り効果が小さくなり、圧縮気体の流れの乱
れが大きくなって、回転部材24の支持が不安定になる
。この為、各通孔42.42の内径を、1〜3mmとし
た。
更に、内筒22の内周面に設けられた軸受面39には、
圧力容積部である、第5図に示す様な181字形のスリ
ット溝40.40を、軸方向2個所に4個ずつ、合計8
個形成している。そして、第3.4.8図に示す様に、
外筒23の外周面に形成した長孔状の空間部である、凹
部33b〜33eに内蔵した、長方形状の板ばね32と
弁座板37.37とを具えた制御絞り弁30b〜30e
と分配流路41.41とを通じて、各スリット溝40.
40に圧縮気体を供給する様にしている。
圧力容積部である、第5図に示す様な181字形のスリ
ット溝40.40を、軸方向2個所に4個ずつ、合計8
個形成している。そして、第3.4.8図に示す様に、
外筒23の外周面に形成した長孔状の空間部である、凹
部33b〜33eに内蔵した、長方形状の板ばね32と
弁座板37.37とを具えた制御絞り弁30b〜30e
と分配流路41.41とを通じて、各スリット溝40.
40に圧縮気体を供給する様にしている。
上述の様に構成される本発明の静圧気体軸受の場合、回
転部材24を支承する為の圧縮気体は、各スリット溝2
8 a、 28 b、 40.40を通して、各フ
ランジ片25a、25bの内側面と軸受面27a、27
bとの間、及び回転部材24の外周面と軸受面39との
間の軸受隙間に送り込まれ、軸受部材であるハウジング
21の内側に回転部材24を、非接触状態で支承する。
転部材24を支承する為の圧縮気体は、各スリット溝2
8 a、 28 b、 40.40を通して、各フ
ランジ片25a、25bの内側面と軸受面27a、27
bとの間、及び回転部材24の外周面と軸受面39との
間の軸受隙間に送り込まれ、軸受部材であるハウジング
21の内側に回転部材24を、非接触状態で支承する。
回転部材24が軸方向(第1図の左右方向)にずれた場
合には、制御絞り弁30aの作用によりこのずれを修正
し、又、回転部材24が軸と直角方向にずれた場合や傾
斜した場合には、制御絞り弁30b〜30eの作用によ
り、このずれや傾斜を修正する。
合には、制御絞り弁30aの作用によりこのずれを修正
し、又、回転部材24が軸と直角方向にずれた場合や傾
斜した場合には、制御絞り弁30b〜30eの作用によ
り、このずれや傾斜を修正する。
更に、本発明の静圧気体軸受の場合、第8図に示す様に
複数個(5個)の制御絞り弁30a〜30eをハウジン
グ21に内蔵し、各制御絞り弁30a〜30eと圧力容
積部であるスリット溝28a、28b、40,40とを
結ぶ分配流路29a、29b、41.41を短くしてい
る為、各制御絞り弁30a〜30eの応答性が向上し、
自動振動が発生しにくくなって、静圧気体軸受を組み込
んだ装置の運転を安定した状態で行なえる。
複数個(5個)の制御絞り弁30a〜30eをハウジン
グ21に内蔵し、各制御絞り弁30a〜30eと圧力容
積部であるスリット溝28a、28b、40,40とを
結ぶ分配流路29a、29b、41.41を短くしてい
る為、各制御絞り弁30a〜30eの応答性が向上し、
自動振動が発生しにくくなって、静圧気体軸受を組み込
んだ装置の運転を安定した状態で行なえる。
尚、第9図に示す様に、ハウジング8の外面に、それぞ
れが円形の凹部19.19を形成し、各凹部19.19
の内側に円形の制御絞り弁20.20を組み込むと、隣
り合う凹部19.19同士が干渉しない様にする為に、
隣り合う凹部19.19同士の間隔を十分に広くする必
要が生じ、制御絞り弁20.20の設置スペースが広く
なって、静圧気体軸受が大型化してしまう。
れが円形の凹部19.19を形成し、各凹部19.19
の内側に円形の制御絞り弁20.20を組み込むと、隣
り合う凹部19.19同士が干渉しない様にする為に、
隣り合う凹部19.19同士の間隔を十分に広くする必
要が生じ、制御絞り弁20.20の設置スペースが広く
なって、静圧気体軸受が大型化してしまう。
この為本発明の場合、各制御絞り弁30a〜30eを構
成する板ばね32及び弁座板37.37を長方形状とし
、上記各制御絞り弁30a〜30eを収納する為の凹部
33a〜33eを長孔状として、第8図に示す様に、複
数の制御絞り弁30a〜30eを狭い面積内に設置する
事が可能とし、静圧気体軸受の小型化を図れる様にした
。
成する板ばね32及び弁座板37.37を長方形状とし
、上記各制御絞り弁30a〜30eを収納する為の凹部
33a〜33eを長孔状として、第8図に示す様に、複
数の制御絞り弁30a〜30eを狭い面積内に設置する
事が可能とし、静圧気体軸受の小型化を図れる様にした
。
尚、ラジアル方向の変位とスラスト方向の変位との両方
向を制御絞り弁により規制する為には、少なくとも3個
の制御絞り弁が必要となり、更に回転軸3の傾斜を抑え
る為、軸方向に亙って2組のラジアル軸受を設ける場合
には、5個の制御絞り弁が必要となる。
向を制御絞り弁により規制する為には、少なくとも3個
の制御絞り弁が必要となり、更に回転軸3の傾斜を抑え
る為、軸方向に亙って2組のラジアル軸受を設ける場合
には、5個の制御絞り弁が必要となる。
又、図示された1対のスラスト軸受により、回転軸3の
傾斜を抑える為には、スラスト軸受用の制御絞り弁が4
個必要である。
傾斜を抑える為には、スラスト軸受用の制御絞り弁が4
個必要である。
(発明の効果)
本発明の静圧気体軸受は、以上に述べた通り構成され作
用する為、回転部材を支承する為の圧縮気体による自動
振動が発生し難く、しかも小型の静圧気体軸受を提供す
る事が出来る。
用する為、回転部材を支承する為の圧縮気体による自動
振動が発生し難く、しかも小型の静圧気体軸受を提供す
る事が出来る。
第1〜8図は本発明の実施例を示しており、第1図は第
8図のA−A線で切断してスラスト軸受部分を示す断面
図、第2図はスラスト軸受面に形成したスリット溝の形
状を示す、′!J1図のB−B親図、第3図は′s8図
のC−C線で切断してラジアル軸受部分を示す断面図、
第4図は第3図のD−D断面図、第5図はラジアル軸受
面に形成したスリット溝の形状を示す、第4図のE−E
親図、第6図は制御絞り弁の分解斜視図、第7図は制御
絞り弁の組み付は状態を示す、第6図のF−F断面に相
当する図、348図は制御絞り弁の配置状態を示す、第
1図のG−G親図、第9図は円形の制御絞り弁を配置し
た状態を示す、第8図と同様の図、第10図は従来の静
圧気体軸受の1例を示す断面図、第11図は制御絞り弁
による制御回路を示す断面図である。 1:軸受部材、2:軸受面、3:回転軸、4a、4b、
5a、5b :凹部、6:第一の制御絞り弁、7:第二
の制御絞り弁、8:ハウジング、9:第一ポート、10
:第一供給管、11:第二ポート、12:第二供給管、
13:第−室、14:第二室、15:ダイヤフラム、1
6:第一絞り流路、17:l二絞り流路、18:軸受隙
間、19:凹部、20:制御絞り弁、21:ハウジング
、22:内筒、23:外筒、24:回転部材、25a、
25b:フランジ片、26a、26b:軸受部材、27
a、27b;軸受面、28a、28b=スリツト溝、2
9a、29b:分配流路、30a、30b、30c、3
0d、30e :制御絞り弁、31:給気流路、32:
板ばね、33a、 33 b、 33 e、 33 d
、 33 e、34:凹部、35:凸部、36:空間、
37:弁座板、38:蓋板、39:軸受面、40ニスリ
ツト溝、41:分配流路、42:通孔。
8図のA−A線で切断してスラスト軸受部分を示す断面
図、第2図はスラスト軸受面に形成したスリット溝の形
状を示す、′!J1図のB−B親図、第3図は′s8図
のC−C線で切断してラジアル軸受部分を示す断面図、
第4図は第3図のD−D断面図、第5図はラジアル軸受
面に形成したスリット溝の形状を示す、第4図のE−E
親図、第6図は制御絞り弁の分解斜視図、第7図は制御
絞り弁の組み付は状態を示す、第6図のF−F断面に相
当する図、348図は制御絞り弁の配置状態を示す、第
1図のG−G親図、第9図は円形の制御絞り弁を配置し
た状態を示す、第8図と同様の図、第10図は従来の静
圧気体軸受の1例を示す断面図、第11図は制御絞り弁
による制御回路を示す断面図である。 1:軸受部材、2:軸受面、3:回転軸、4a、4b、
5a、5b :凹部、6:第一の制御絞り弁、7:第二
の制御絞り弁、8:ハウジング、9:第一ポート、10
:第一供給管、11:第二ポート、12:第二供給管、
13:第−室、14:第二室、15:ダイヤフラム、1
6:第一絞り流路、17:l二絞り流路、18:軸受隙
間、19:凹部、20:制御絞り弁、21:ハウジング
、22:内筒、23:外筒、24:回転部材、25a、
25b:フランジ片、26a、26b:軸受部材、27
a、27b;軸受面、28a、28b=スリツト溝、2
9a、29b:分配流路、30a、30b、30c、3
0d、30e :制御絞り弁、31:給気流路、32:
板ばね、33a、 33 b、 33 e、 33 d
、 33 e、34:凹部、35:凸部、36:空間、
37:弁座板、38:蓋板、39:軸受面、40ニスリ
ツト溝、41:分配流路、42:通孔。
Claims (3)
- (1)軸受面を有するハウジングと、この軸受面に形成
された複数の圧力容積部と、上記ハウジングの外面に形
成した長孔状の空間部に設けた制御絞り弁と、上記ハウ
ジング内に形成され、且つ上記制御絞り弁と上記各圧力
容積部とを連通させる分配流路と、圧縮気体供給源と上
記空間部とを連通させる給気流路とを具え、上記制御絞
り弁は、長方形状の板ばねと、この板ばねを挟持する1
対の長方形状の弁座板とを具え、各弁座板の板ばねと対
向する面の中央部に形成した凹部の中央には、この凹部
の深さ寸法よりも小さな高さ寸法を有する凸部を形成し
、この凸部の中央には、各弁座板と板ばねとの間に存在
する空間と上記分配流路とを連通する通孔を形成した静
圧気体軸受。 - (2)ハウジングの外面に複数の空間部が形成されてお
り、各空間部にそれぞれ制御絞り弁が設けられている、
請求項1に記載の静圧気体軸受。 - (3)通孔の内径が1〜3mmであり、板ばねの厚さが
0.1〜0.35mmである、請求項1又は請求項2に
記載の静圧気体軸受。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4269290A JP2814656B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
US07/658,777 US5064297A (en) | 1990-02-26 | 1991-02-21 | Static pressure gas bearing with throttling control valve in housing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4269290A JP2814656B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03249425A true JPH03249425A (ja) | 1991-11-07 |
JP2814656B2 JP2814656B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=12643098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4269290A Expired - Fee Related JP2814656B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2814656B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012112519A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-06-14 | Jtekt Corp | 静圧流体軸受装置 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP4269290A patent/JP2814656B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012112519A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-06-14 | Jtekt Corp | 静圧流体軸受装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2814656B2 (ja) | 1998-10-27 |
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