JPH03248043A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

Info

Publication number
JPH03248043A
JPH03248043A JP4677690A JP4677690A JPH03248043A JP H03248043 A JPH03248043 A JP H03248043A JP 4677690 A JP4677690 A JP 4677690A JP 4677690 A JP4677690 A JP 4677690A JP H03248043 A JPH03248043 A JP H03248043A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
zoom lens
focal position
light beam
convex lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4677690A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Eda
英雄 江田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP4677690A priority Critical patent/JPH03248043A/ja
Publication of JPH03248043A publication Critical patent/JPH03248043A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、光ビームを走査して光透過性の被検体内の断
層情報を非破壊的に得るようにした光走査装置に関する
〈従来の技術〉 光ビームを利用して被検体内の断層情報を効率良く得る
ためには、被検体の測定領域の全周にわたってできるだ
け多くのデータを均一かつ短時間の内にサンプリングす
る必要がある。
これを実現するために、本出願人は、被検体が収容され
る円筒状をしたガントリ内部に、光ビームを所定の振り
角度で扇状に走査する光学スキャナと、この光学スキャ
ナで反射された光ビームを受光する受光素子を光ビーム
の走査角度分に対応する長さだけアレー状に多数配列し
てなる光検出器とを共に配置し、光ビームを扇状に走査
しつつ、ガントリ全体を回転させて被検体に対する光ビ
ームの放射位置を被検体を中心とした周方向に沿って順
次移動することにより、被検体の全周にわたる断層デー
タをサンプリングする装置を提供した(特願昭62−3
31673号参照)。
しかし、この装置では、光ビームが扇状に走査される振
り角度に対応して、その走査幅に応じた分だけ多数の受
光素子をアレー配列することが必要となり、そのため、
光検出器が全体として高価になる。しかも、各受光素子
の特性のばらつきを補正する必要が生じる等の不具合が
ある。また、光ビームの振り角度は、受光素子の配列幅
によって制約され、光ビームの振り角度をそれ以上大き
くすることができない。さらに、受光素子は所定のピッ
チ間隔で配列されているので、そのピッチ間隔によって
被検体を透過した光ビームを検出するサンプリング間隔
も決定されてしまい、サンプリング間隔を任意に変える
ことができないなどの問題が残されていた。
そこで、本出願人は、第3図に示すように、被検体Mが
配置されるガントリ内に、仮想の截頭楕円錐Aの周壁に
沿う反射面を有する凹状ミラー4を設け、この凹状ミラ
ー4を横切り截頭楕円錐Aの底面に平行な輪郭楕円形の
切断面Bの一方の焦点C,位置に光源2からの光を凹状
ミラー4に向けて反射する反射ミラー6を配置し、この
反射ミラー6に該反射ミラーを揺動する駆動手段8を接
続する一方、前記切断面Bの他方の焦点C2位置を通り
かつ該切断面Bに直交する軸り上に凹状ミラー4で反射
された光を検出する単一の光検出器10を配置した光走
査装置を提供した(特願平1−93806号公報参照)
この装置によれば、光源2からの光は楕円面の一方の焦
点c1に配置された反射ミラー6で反射されて凹状ミラ
ー4に向かう。その際、反射ミラー6が駆動手段8によ
って所定の振り角度θ。で揺動されるために、反射光は
扇状に走査される。そして、凹状ミラー4で再び反射さ
れた光は、楕円面の他方の焦点C2の軸り上に配置され
た光検出器10に向けて集光されつつ被検体Mを透過し
た後、光検出器10で受光される。
このように、第3図の装置を使用すれば、従来のように
多数の受光素子をアレー状に配列しなくても、単一の光
検出器10によって被検体Mを透過した光を検出するこ
とができるので、光ビームの振り角度も任意に変えるこ
とが可能になるとともに、被検体を透過した光ビームを
検出するサンプリング間隔も光検出器で光ビームを検出
した後の信号処理の問題となるために、サンプリング間
隔の設定も任意に行うことができる。
さらに、本出願人は、第4図に示すように、被検体Mが
配置されるガントリ内に、その反射面が平面である板状
ミラー5を設け、この板状ミラー5に対して放物面に沿
う反射面を有する凹状ミラー3を略対向配置する一方、
この凹状ミラー3の焦点0を通る軸り上に、光源2から
の光を凹状ミラー3に向けて反射する反射ミラー6を配
置し、この反射ミラー6に該反射ミラーを揺動する駆動
手段8を接続し、さらに、板状ミラー5の反射光路上に
はこの板状ミラー5によって反射された光を集光する集
光レンズ7を設け、この集光レンズ7の焦点位置に単一
の光検出器10を配置した光走査装置を提供した(特願
平1−341980号公報参照)。
この装置によれば、光源2からの光は反射ミラーCで反
射されて凹状ミラー3に向かう。その際、反射ミラー6
が駆動手段8によって所定の振り角度θ。で揺動される
ために、反射光は扇状に走査される。しかも、反射ミラ
ー6は、凹状ミラー3の焦点0を通る軸り上に配置され
ているため、凹状ミラー3で反射される光は全て平行光
となって板状ミラー5に向かう。そして、板状ミラー5
で再び反射された光は、集光レンズ7で集光されつつ被
検体Mを透過した後、光検出器1oで受光される。
したがって、第4図に示した装置においても、単一の光
検出器10によって被検体Mを透過した光を検出するこ
とができるので、光ビームの振り角度も任意に変えるこ
とが可能になるとともに、被検体を透過した光ビームを
検出するサンプリング間隔も任意に設定することができ
る。
〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、光検出器の検出出方に基づいて得られる画像
の分解能は、サンプリング間隔だけでなく、光ビームの
ビーム径にし依存する。すなわち、サンプリング間隔と
ビーム径とを共に狭くして光検出信号を得れば分解能が
極めて高くなり、逆にサンプリング間隔とビーム径とを
共に広くして光検出信号を得れば分解能が低くなる。
しかし、多数の受光素子をアレー配列して光検出器を構
成していた初期の装置においては、画像の分解能は装置
の機械的な配置構成によって決定され、光ビームの振り
角度すら任意に変えることができなかった。
これに対して、第3図および第4図に示した光走査装置
においては、光ビームの振り角度やサンプリング間隔を
任意に調整することができる。しかし、光ビームのビー
ム径まで変化させることについては今まで十分に考慮さ
れていなかった。このために、画像の分解能を高めるこ
とについては未だ不十分であった。
く課題を解決するための手段〉 本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、光ビームのビーム径を任意に調整できるようにして
、画像の分解能を今まで以上に高くしたり、低くしたり
、任意に調整できるようにするものである。
そのため、本発明では、光源からの光を反射ミラーで反
射しつつ、駆動手段でこの反射ミラ7を揺動することに
より、光ビームを所定の振り角度で扇状に走査し、この
走査される光ビームを反射手段と集光手段とで被検体に
向けて集光しつつ導き、被検体を透過した光ビームを単
一の光検出器で検出する光走査装置において、次の構成
を採る。
すなわち、本発明の光走査装置では、光源と反射ミラー
との間に、光ビームの出射方向に沿って凸レンズとズー
ムレンズとが順次配置され、このズームレンズは、光ビ
ームの出射方向に沿って摺動可能に設けられるとともに
、その焦点位置が前記凸レンズの焦点との距離の変化に
よらずに前記凸レンズの焦点位置に常に一致するように
設定されていることを特徴としている。
〈作用〉 上記構成において、光源からの光は、凸レンズで集光さ
れた後、ズームレンズに向かう。ここで、ズームレンズ
の焦点位置は、その焦点距離の変化によらずに凸レンズ
の焦点位置に常に一致するように設定されているので、
ズームレンズを通過した光ビームは平行光となる。しか
も、ズームレンズを凸レンズの焦点位置に近付けると、
非常に細いビーム径となり、逆に、凸レンズの焦点位置
から遠ざけると、次第にビーム径は太くなる。
こうしてビーム径が調整された光ビームは、その後、揺
動される反射ミラーによって所定の振り角度で扇状に走
査され、この走査される光ビームが反射手段と集光手段
とで被検体に向けて集光しつつ導かれ、被検体を透過し
た光ビームが単一の光検出器で検出される。
〈実施例〉 第1図は本発明の実施例に係る光走査装置の要部のブロ
ック図であり、第3図および第4図に示す構成部分に対
応する部分には同一の符号を付す。
第1図において、符号lは光走査装置の全体を示し、2
はレーザ等の光源、6は反射ミラーであって、この反射
ミラー6はこれを揺動させる駆動手段(薗示省略)に接
続されている。
そして、上記の光源2と反射ミラー6との間に、光ビー
ムの出射方向に沿って凸レンズLoとズームレンズL、
とが順次配置されており、このズームレンズL、は、光
ビームの出射方向に沿って摺動可能に設けられるととも
に、その焦点位置が凸レンズL。の焦点との距離の変化
によらずに凸レンズし。の焦点位置r。に常に一致する
ように設定されている。
上記構成において、光源2からの光は、凸レンズL。で
集光された後、ズームレンズL、に向かう。
ここで、ズームレンズL1の焦点位置r。は、ズームレ
ンズL1と凸レンズL0の焦点との距離の変化によらず
に凸レンズL。の焦点位置に常に一致するように設定さ
れているので、ズームレンズL。
を通過した光ビームは全て平行光となる。しかも、ズー
ムレンズL、を凸レンズL6の焦点位置に近付けると、
ズームレンズL、に入射するまでの光ビームの広がりが
少なくなるために、非常に細いビ−ム径d。となる。こ
れとは逆に、ズームレンズL1を凸レンズL。の焦点位
置から遠ざけると、ズームレンズL、に入射するまでの
光ビームの広がりが大きくなるために、ビーム径d、は
太くなる。
こうしてビーム径が調整された先ビームは、その後、揺
動される反射ミラ6−によって所定の振り角度で扇状に
走査される。反射ミラー6で反射された光ビームは、第
3図に示すような凹状ミラー4でさらに反射されて被検
体Mを透過して光検出器lOで検出されるか、あるいは
第5図に示すような凹状ミラー3、板状ミラー5、集光
レンズ7で導かれた後、被検体Mを透過して光検出器1
0で検出され、所定のサンプリング間隔で測定される。
いずれの構成の場合でも、被検体Mを透過する光ビーム
のビーム径とサンプリング間隔によってその分解能が決
定される。たとえば、同じ大きさの被検体Mについて、
第2図(a)に示すように、サンプリング間隔e0とビ
ーム径d。とを共に狭くして光検出信号を得れば、画像
を構成する画素数を増やすことができるために分解能が
極めて高くなる。逆に、第2図(b)に示すように、サ
ンプリング間隔121とビーム径d1とを共に広くして
光検出信号を得れば分解能は低くなるが、分解能を高く
して精密な測定をする前に、短時間で被検体の大まかな
様子を調べたい場合にはこの方法が有効である。
〈発明の効果〉 本発明によれば、被検体に対して扇状に走査される光を
単一の光検出器で全て受光する光走査装置において、光
ビームのサンプリング間隔のみならず、ビーム径を任意
に調整することができるようになる。
このため、画像分解能を今まで以上に高くしたり、低く
したり、必要に応じて分解能を任意に調整することがで
きるようになる。
また、大きさの異なる被検体についても、同一の分解能
での測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る光走査装置の要部のブロ
ック図、第2図はビーム径の異なる光ビームが被検体を
透過する様子を示す説明図である。 第3図は光走査装置の配置構成を示す斜視図、第4図は
他の光走査装置の配置構成を示す斜視図である。 l・・・光走査装置、2・・・光源、6・・・反射ミラ
ーL0・・・凸レンズ、L、・・・ズームレンズ、f、
・・・焦点位置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源からの光を反射ミラーで反射しつつ、駆動手
    段でこの反射ミラーを揺動することにより、光ビームを
    所定の振り角度で扇状に走査し、この走査される光ビー
    ムを反射手段と集光手段とで被検体に向けて集光しつつ
    導き、被検体を透過した光ビームを単一の光検出器で検
    出する光走査装置において、 前記光源と反射ミラーとの間に、光ビームの出射方向に
    沿って凸レンズとズームレンズとが順次配置され、この
    ズームレンズは、光ビームの出射方向に沿って摺動可能
    に設けられるとともに、その焦点位置が前記凸レンズの
    焦点との距離の変化によらずに前記凸レンズの焦点位置
    に常に一致するように設定されていることを特徴とする
    光走査装置。
JP4677690A 1990-02-26 1990-02-26 光走査装置 Pending JPH03248043A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4677690A JPH03248043A (ja) 1990-02-26 1990-02-26 光走査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4677690A JPH03248043A (ja) 1990-02-26 1990-02-26 光走査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03248043A true JPH03248043A (ja) 1991-11-06

Family

ID=12756733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4677690A Pending JPH03248043A (ja) 1990-02-26 1990-02-26 光走査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03248043A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010279576A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Canon Inc Octによる断層画像の形成方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010279576A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Canon Inc Octによる断層画像の形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6862097B2 (en) Three-dimensional shape measuring method, and three-dimensional shape measuring apparatus
WO2018019265A1 (zh) 扫描反射镜振幅测量装置及测量方法
EP0051899B1 (en) Apparatus for automatically detecting and evaluating the characteristics of prints
JPH03248043A (ja) 光走査装置
JP2000509825A (ja) 光走査デバイス
JPH10232119A (ja) 光学フィルタ装置
JP2505331B2 (ja) 平板状物体の寸法および欠陥計測装置
JP3554106B2 (ja) 画像処理装置
JP2950226B2 (ja) 高さ測定装置
JPH03130639A (ja) Mtf測定装置の光軸整合方法
JPH04177742A (ja) リード高さ測定装置
JPH03202751A (ja) 光走査装置
JP2636017B2 (ja) 傾き検出ヘッド
JPS63285512A (ja) 光偏向器における面倒れ検出装置
JPH0661115A (ja) ギャップ検出設定装置
WO1986006159A1 (fr) Instrument de mesure optique
JPH03248044A (ja) 光走査装置
JPH10318883A (ja) レンズの測定装置及び測定方法
JPH045556A (ja) 球体表面の傷検査装置
JP2004020441A (ja) マイクロアレイ上の情報の読取装置
JPS5949537B2 (ja) 欠陥検出装置
JPS59138916A (ja) 距離測定装置
JPH0642930A (ja) リード高さ測定方法および装置
JPH03226661A (ja) 欠陥検出装置
EP0087860A1 (en) Surface fault detector