JPH03245125A - Pretreatment for inspecting disconnection of liquid crystal display element - Google Patents

Pretreatment for inspecting disconnection of liquid crystal display element

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JPH03245125A
JPH03245125A JP2040907A JP4090790A JPH03245125A JP H03245125 A JPH03245125 A JP H03245125A JP 2040907 A JP2040907 A JP 2040907A JP 4090790 A JP4090790 A JP 4090790A JP H03245125 A JPH03245125 A JP H03245125A
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JP
Japan
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electrodes
liquid crystal
crystal display
display element
electrode
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Application number
JP2040907A
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Japanese (ja)
Inventor
Reiko Kobayashi
小林 令子
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Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Publication date
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

PURPOSE:To allow checking of even electrodes having a partial breakage defect by impressing a high voltage between the electrodes of both substrates of a liquid crystal display element before an inspection is made for the disconnection of the electrodes. CONSTITUTION:The high voltage of about 5kV is impressed between the electrodes 3 and 4 of the liquid crystal display element A prior to the disconnection inspection of the electrodes 3, 4. This voltage impression is executed by changing over a charge/discharge changeover switch 12 to a power source 11 side, previously charging a capacitor 13, connecting element connecting cables 14a, 14b respectively to the terminals of the electrodes 3, 4 of the liquid crystal display element A and changing over the charge/discharge changeover switch 12 in this state to an element connecting cable 14a side to instantaneously release the charges charged in the capacitor 13. Thus, the electrodes 3, 4 having the partial breakage defect are checked as the disconnection and all of the liquid crystal display elements A having the possibility of the disconnection of the electrodes 3, 4 by a secular change are discarded as defective elements.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液晶表示素子の断線検査前処理方法に関するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a pretreatment method for inspecting disconnection of liquid crystal display elements.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

液晶表示素子は、液晶層をはさんで対向する一対の透明
基板の対向面にそれぞれ表示用の透明電極と液晶分子を
配列させる配向膜を形成したもので、この液晶表示素子
には、白黒画像を表示するものと、一方の基板面にカラ
ーフィルタを設けてカラー画像を表示するものとがある
A liquid crystal display element is a pair of transparent substrates that face each other with a liquid crystal layer in between, and alignment films that align transparent electrodes and liquid crystal molecules for display are formed on the opposing surfaces of each substrate. There are those that display a color image, and those that display a color image by providing a color filter on one substrate surface.

第2図はカラー画像を表示する液晶表示素子の断面を示
している。第2図において、1.2はガラス等からなる
一対の透明基板であり、上基板1には多数本のストライ
ブ状透明電極(信号電極)3が形成され、下基板2には
上基板1側の電極3と直交する多数本のストライブ状透
明電極(走査電極)4が形成されている。また、5R5
G。
FIG. 2 shows a cross section of a liquid crystal display element that displays a color image. In FIG. 2, 1.2 is a pair of transparent substrates made of glass or the like, the upper substrate 1 has a large number of striped transparent electrodes (signal electrodes) 3 formed thereon, and the lower substrate 2 has an upper substrate 1 formed thereon. A large number of striped transparent electrodes (scanning electrodes) 4 are formed perpendicular to the side electrodes 3 . Also, 5R5
G.

5Bは、一対の基板1.2の一方、例えば上基板1に、
この上基板1側の各電極3にそれぞれ対応させて形成さ
れた赤、緑、青のストライブ状カラーフィルタであり、
このカラーフィルタ5R15G、5Bは電極3の下に設
けられている。そして、このカラーフィルタ5R,5G
、5Bは透明な保護膜(絶縁膜)6で覆われており、前
記電極3はこの保護膜6の上に形成されている。なお、
この液晶表示素子において、電極3をカラーフィルタ5
R,505Bの上に形成しているのは、カラーフィルタ
を電極の上(液晶層側)に形成すると、電極3への印加
電圧がカラーフィルタにおいて降下するためであり、上
記のように電極3をカラーフィルタ5R,5G、5Bの
上に形成しておけば、印加電圧の損失を少なくして液晶
層に高い電界を印加することがてきる。7,8は一対の
基板1.2の電極形成面上に形成されたポリイミド樹脂
等からなる配向膜である。そして、この−対の基板1,
2は、その電極形成面を互いに対向させて、図示しない
棒状のシール材を介して接着されており、この両基板1
.2間には液晶9が封入されている。
5B, one of the pair of substrates 1.2, for example, the upper substrate 1,
This is a striped color filter of red, green, and blue formed corresponding to each electrode 3 on the upper substrate 1 side,
The color filters 5R15G and 5B are provided below the electrode 3. And this color filter 5R, 5G
, 5B are covered with a transparent protective film (insulating film) 6, and the electrode 3 is formed on this protective film 6. In addition,
In this liquid crystal display element, the electrode 3 is replaced by a color filter 5.
The reason why the color filter is formed on R, 505B is that when the color filter is formed on the electrode (on the liquid crystal layer side), the voltage applied to the electrode 3 will drop at the color filter, and as described above, the voltage applied to the electrode 3 will drop at the color filter. By forming them on the color filters 5R, 5G, and 5B, it is possible to reduce the loss of the applied voltage and apply a high electric field to the liquid crystal layer. Reference numerals 7 and 8 denote alignment films made of polyimide resin or the like formed on the electrode formation surfaces of the pair of substrates 1.2. And this pair of substrates 1,
2 are bonded together via a rod-shaped sealant (not shown) with their electrode forming surfaces facing each other, and both substrates 1
.. A liquid crystal 9 is sealed between the two.

なお、白黒画像を表示する液晶表示素子は、上記カラー
フィルタ5R,5G、5Bおよびその保護膜6がないだ
けで、その他の構造は第2図と同しになっている。
The liquid crystal display element for displaying a black and white image has the same structure as in FIG. 2 except that the color filters 5R, 5G, 5B and their protective film 6 are not provided.

ところで、液晶表示素子は、その側基板面の電極間に表
示駆動電圧を印加して表示駆動されるため、側基板面の
電極のいずれかにでも断線があると、表示画像が欠陥の
ある画像となる。
By the way, since a liquid crystal display element is driven to display by applying a display drive voltage between the electrodes on its side substrate surface, if there is a disconnection in any of the electrodes on the side substrate surface, the displayed image may be a defective image. becomes.

この電極の断線は、主に、カラーフィルタの上に形成さ
れた電極に多く発生している。すなわち、第2図に示し
た液晶表示素子におけるカラーフィルタ5R,5G、5
B上の電極3は、基板1面に形成したカラーフィルタ5
R,5G、5Bの上に保護膜6を形成した後、この保護
膜6の土にITO等の透明導電膜をスパッタリング法で
膜付けし、この透明導電膜をフォトエツチング法により
バターニングする方法で形成されるが、この場合、上記
透明導電膜のスパッタリングは基板1を200℃程度に
加熱して行なわれるため、この後基板を常温に冷却した
ときに、保護膜6とその上に膜付けされた透明導電膜と
の熱膨脹率の差によって、透明導電膜に部分的にクラッ
クが発生ずる。
This electrode disconnection mainly occurs in the electrode formed on the color filter. That is, the color filters 5R, 5G, 5 in the liquid crystal display element shown in FIG.
The electrode 3 on B is a color filter 5 formed on one surface of the substrate.
After forming a protective film 6 on R, 5G, and 5B, a transparent conductive film such as ITO is applied to the soil of this protective film 6 by sputtering method, and this transparent conductive film is patterned by photoetching method. In this case, the transparent conductive film is sputtered by heating the substrate 1 to about 200°C, so when the substrate is cooled to room temperature, the protective film 6 and the film formed thereon are formed. Due to the difference in coefficient of thermal expansion between the transparent conductive film and the transparent conductive film, cracks occur partially in the transparent conductive film.

そして、このように透明導電膜にクラックが発生すると
、この透明導電膜をバターニングして形成された各電極
3のうち、透明導電膜のクラック発生箇所を通る部分に
形成された電極が、クラック部分で切れた電極となる。
When a crack occurs in the transparent conductive film in this way, among the electrodes 3 formed by patterning this transparent conductive film, the electrode formed in the part passing through the crack occurrence point of the transparent conductive film will crack. The electrode will be cut off in some parts.

なお、この電極3の切れ欠陥は、電極3をバターニング
する際のサイドエツチングによりさらに大きくなる。
Note that this cut defect of the electrode 3 becomes even larger due to side etching when patterning the electrode 3.

第3図はこのような切れ欠陥のある電極3を示しており
、この電極3の切れ欠陥aには、第3図(A)に示すよ
うな電極幅より小さい長さのものと、第3図(B)に示
すような電極全幅にわたるものとがあり、切れ欠陥aが
電極全幅にわたっていると、この電極3が断線する。
FIG. 3 shows an electrode 3 with such a cut defect, and the cut defect a of this electrode 3 includes one with a length smaller than the electrode width as shown in FIG. There is a case where the cut defect a extends over the entire width of the electrode as shown in FIG.

なお、液晶表示素子の電極の切れ欠陥は、カラーフィル
タ上に形成される電極以外の電極(第2図の下基板2面
の電極4、または白黒画像を表示する液晶表示素子の側
基板面の電極)にも生じており、この場合の電極の切れ
欠陥は、フォトエツチング法による電極のバターニング
において使用されるフォトレジスト露光マスクの汚れ等
の原因で発生している。
Note that cut defects in the electrodes of the liquid crystal display element are caused by electrodes other than the electrodes formed on the color filter (electrode 4 on the lower substrate 2 surface in Figure 2, or on the side substrate surface of the liquid crystal display element that displays a black and white image). In this case, the cutting defects in the electrodes are caused by dirt on the photoresist exposure mask used in patterning the electrodes by photoetching.

そして、このような切れ欠陥によって電極が断線すると
、この断線した電極からは液晶に電界が印加されないた
め、この部分の透過光の制御ができなくなって、これが
表示欠陥となる。
When an electrode is disconnected due to such a cut defect, an electric field is not applied to the liquid crystal from the disconnected electrode, so it becomes impossible to control the transmitted light in this area, resulting in a display defect.

このため、液晶表示素子は、その製造後に両基板の電極
の断線の有無を検査され、全ての電極に断線のないもの
だけが良品として機器製品に組込まれている。この液晶
表示素子の電極の断線検査は、一般に、液晶表示素子に
テスト画像を表示させてその表示状態を目視チエツクす
る方法で行なわれている。
For this reason, after manufacturing the liquid crystal display element, the electrodes on both substrates are inspected for disconnections, and only those with no disconnections in any of the electrodes are considered to be non-defective and incorporated into equipment products. This test for disconnection of the electrodes of the liquid crystal display element is generally carried out by displaying a test image on the liquid crystal display element and visually checking the display state.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、従来は、液晶表示素子の電極か第3図(
B)に示したように断線している場合は、上記断線検査
によりこれをチエツクできたが、電極の切れ欠陥aが第
3図(A)に示したような部分的な欠陥である場合は、
この電極全体に電圧か印加されるため、この電極の部分
的な切れ欠陥は上記断線検査ではチエツクできなかった
However, in the past, the electrodes of liquid crystal display elements were
If the wire is broken as shown in B), this can be checked by the above-mentioned wire breakage inspection, but if the electrode cut defect a is a partial defect as shown in Figure 3 (A), ,
Since a voltage was applied to the entire electrode, partial breakage defects in this electrode could not be checked by the above-mentioned disconnection inspection.

このため従来は、電極に切れ欠陥かあってもその全てが
部分的欠陥である液晶表示素子は良品とされていたが、
電極の切れ欠陥が部分的なものであっても、この切れ欠
陥は長期間のうちに経時変化により進行してついには電
極を断線させるおそれがあるため、電極に僅かでも切れ
欠陥のある液晶表示素子はその寿命に信頼性がないから
、このような液晶表示素子を良品として機器製品に組込
むことには問題があった〇 本発明はこのような実情にかんがみてなされたものであ
って、その目的とするところは、部分的な切れ欠陥のあ
る電極も断線検査においてチエツクできるようにするた
めの、液晶表示素子の断線検査前処理方法を提供するこ
とにある。
For this reason, in the past, even if there was a cut defect in the electrode, a liquid crystal display element that was only partially defective was considered to be a good product.
Even if the electrode is partially cut, the cut may progress over a long period of time and eventually cause the electrode to break. Since the element has no reliability over its lifespan, there is a problem in incorporating such a liquid crystal display element into a device product as a non-defective item.The present invention was made in view of these circumstances, and An object of the present invention is to provide a pretreatment method for disconnection inspection of a liquid crystal display element so that electrodes having partial breakage defects can also be checked during disconnection inspection.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、液晶表示素子の電極の断線検査に先立って、
この液晶表示素子の側基板の電極間に高電圧を印加する
ことを特徴とするものである。
The present invention provides, prior to inspecting disconnection of electrodes of a liquid crystal display element,
This device is characterized in that a high voltage is applied between the electrodes of the side substrates of this liquid crystal display element.

〔作 用〕[For production]

このように、液晶表示素子の電極間に高電圧を印加する
と、切れ欠陥のない電極には単に高電圧がかかるだけで
あるが、切れ欠陥のある電極では、その欠陥部分に電荷
が集中してこの切れ欠陥が進行するため、切れ欠陥が部
分的なものである電極も、その切れ欠陥を電極全幅に進
行させて断線させることができる。したがって、この前
処理を行なった後に電極の断線検査を行なえば、切れ欠
陥のある電極の全てを断線としてチエツクできるから、
経時変化による電極の断線のおそれのある液晶表示素子
を全て不良品として排除することができる。
In this way, when a high voltage is applied between the electrodes of a liquid crystal display element, a high voltage is simply applied to the electrode without a cut defect, but when the electrode has a cut defect, electric charge is concentrated on the defective part. Since this cut defect progresses, even in an electrode where the cut defect is only partial, the cut defect can progress to the entire width of the electrode and become disconnected. Therefore, if the electrodes are inspected for disconnection after this pretreatment, all electrodes with breakage defects can be checked as disconnections.
It is possible to exclude all liquid crystal display elements whose electrodes may be disconnected due to aging as defective products.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を第1図を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

第1図においてAは液晶表示素子である。なお、この液
晶表示素子Aは第2図に示したものと同じものであるか
ら、その説明は図に同符号を付して省略する。また、第
1図において10は前処理装置であり、この前処理装置
10は、高電圧電源(直流電源)11と、この高電圧電
源11に充放電切換スイッチ(手動スイッチ)12を介
して並列に接続されたコンデンサ13と、液晶表示素子
Aに電圧を印加するための2本の素子接続ケーブル14
a、14bとからなっており、このケーブル14a、1
4bの一方13aは前記充放電切換スイッチ12を介し
てコンデンサ13の一方の電極に接続され、他方のケー
ブル14bはコンデンサ13の他方の電極に接続されて
いる。また、15は一方のケーブル14aとコンデンサ
13との間に介在された電流調整抵抗であり、高電圧電
源11からコンデンサ13にチャーンされた電荷は、電
流調整抵抗15により5KV程度の電圧に調整されて液
晶表示素子Aに印加されるようになっている。
In FIG. 1, A is a liquid crystal display element. Incidentally, since this liquid crystal display element A is the same as that shown in FIG. 2, a description thereof will be omitted by assigning the same reference numerals to the figure. Further, in FIG. 1, 10 is a preprocessing device, and this preprocessing device 10 is connected to a high voltage power source (DC power source) 11 and connected in parallel to this high voltage power source 11 via a charge/discharge changeover switch (manual switch) 12. and two element connection cables 14 for applying voltage to the liquid crystal display element A.
a, 14b, and this cable 14a, 1
One cable 13a of the cable 4b is connected to one electrode of the capacitor 13 via the charge/discharge switch 12, and the other cable 14b is connected to the other electrode of the capacitor 13. Further, 15 is a current adjustment resistor interposed between one cable 14a and the capacitor 13, and the electric charge churned from the high voltage power supply 11 to the capacitor 13 is adjusted to a voltage of about 5KV by the current adjustment resistor 15. The voltage is applied to the liquid crystal display element A.

この前処理方法は、液晶表示素子Aの電極3゜4の断線
検査に先立って、この液晶表示素子Aの電極3.4間に
5KV程度の高電圧を印加するもので、この電圧印加は
、充放電切換スイッチ12を電源11側に切換えてコン
デンサ]3をチャー5′シておき、素子接続ケーブル1
.4a、14bをそれぞれ液晶表示素子Aの電極3,4
の端子に接続した状態で、充放電切換スイッチ12を素
子接続ケーブル14a側に切換えてコンデンサ13のチ
ャージ電荷を瞬時に放電させることによって行なう。な
お、この電圧印加は、液晶表示素子への全ての電極3,
4に対して同時に行なう。
This pretreatment method involves applying a high voltage of approximately 5 KV between the electrodes 3 and 4 of the liquid crystal display element A, prior to inspecting the electrodes 3 and 4 of the liquid crystal display element A for disconnection. Switch the charge/discharge selector switch 12 to the power supply 11 side, leave the capacitor] 3 on the charger 5', and connect the element connection cable 1.
.. 4a and 14b are electrodes 3 and 4 of liquid crystal display element A, respectively.
This is done by switching the charge/discharge changeover switch 12 to the element connection cable 14a side while the capacitor 13 is connected to the terminal of the capacitor 13, and instantly discharges the charge in the capacitor 13. Note that this voltage application applies to all electrodes 3 and 3 to the liquid crystal display element.
Do this for 4 at the same time.

このように液晶表示素子Aの電極3,4間に高電圧を印
加すると、切れ欠陥のない電極3,4には単に高電圧が
かかるだけであるが、切れ欠陥のある電極3,4では、
その欠陥部分に高電圧の電荷が集中するために、この欠
陥部分の周囲の電極部分か電気化学的に破壊され、上記
切れ欠陥が進行する。このため、上記切れ欠陥か第3図
(a)に示したような部分的なものである電極3,4も
、その切れ欠陥を電極全幅に進行させて断線させること
かできる。これは、切れ欠陥か第3図(a)のように電
極の一側縁側にある場合に限らず、切れ欠陥が電極の幅
方向中央部にある場合も同様である。
When a high voltage is applied between the electrodes 3 and 4 of the liquid crystal display element A in this way, the high voltage is simply applied to the electrodes 3 and 4 with no cut defects, but on the electrodes 3 and 4 with cut defects,
Since high-voltage charges are concentrated on the defective portion, the electrode portion around the defective portion is electrochemically destroyed, and the cut defect progresses. Therefore, even in the electrodes 3 and 4, which are partial cut defects as shown in FIG. 3(a), the cut defects can extend over the entire width of the electrode and become disconnected. This is true not only when the cut defect is on one side edge of the electrode as shown in FIG. 3(a), but also when the cut defect is at the center in the width direction of the electrode.

したかって、この前処理を行なった後に、液晶表示素子
にテスト鉤像を表示させてその表示状態を目視チエツク
する等の方法による液晶表示素子Aの電極3,4の断線
検査を行なえば、切れ欠陥のある電極34の全てを断線
としてチエツクできるから、経時変化による電極3.4
の断線のおそれのある液晶表示素子Aを全て不良品とし
て排除することができる。
Therefore, after performing this preprocessing, if the disconnection of the electrodes 3 and 4 of the liquid crystal display element A is inspected by a method such as displaying a test hook image on the liquid crystal display element and visually checking the display state, the disconnection can be detected. Since all defective electrodes 34 can be checked as disconnections, electrodes 3.4 due to changes over time can be checked.
All liquid crystal display elements A that are likely to be disconnected can be rejected as defective products.

なお、この前処理方法は、一方の基板にカラーフィルタ
を設けた液晶表示素子に限らず、白黒画像を表示する液
晶表示素子の断線検査を行なう場合にも適用できること
はもちろんである。
Note that this preprocessing method is of course applicable not only to liquid crystal display elements in which a color filter is provided on one substrate, but also to the case of performing disconnection inspection on liquid crystal display elements that display black and white images.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、切れ欠陥が部分的なものである電極も
、その切れ欠陥を電極全幅に進行させて断線させること
ができるから、本発明による前処理を行なった後に電極
の断線検査を行なえば、部分的な切れ欠陥のある電極も
断線としてチエツクして、経時変化による電極の断線の
おそれのある液晶表示素子を全て不良品として排除する
ことができる。
According to the present invention, even if an electrode has a partial cut defect, the cut defect can progress to the entire width of the electrode and cause a disconnection. Therefore, the electrode can be inspected for disconnection after being pretreated according to the present invention. For example, electrodes with partial breakage defects can be checked as disconnections, and all liquid crystal display elements in which there is a risk of electrode disconnection due to aging can be excluded as defective products.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す前処理の説明図、第2
図は液晶表示素子の断面図、第3図は電極の切れ欠陥を
示す図である。 A・・・液晶表示素子、1,2・・・基板、3,4・・
・電極、5R,5G、5B・・・カラーフィルタ、6・
・・保護膜、7,8・・・配向膜、9・・・液晶、10
・・・前処理装置、11・・・高電圧電源、12・・・
充放電切換スイッチ、13・・・コンデンサ、14a、
14b・・・素子接続ケーブル、15・・・電圧調整抵
抗。
FIG. 1 is an explanatory diagram of preprocessing showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a cross-sectional view of a liquid crystal display element, and FIG. 3 is a diagram showing a cut defect in an electrode. A...Liquid crystal display element, 1, 2...Substrate, 3, 4...
・Electrode, 5R, 5G, 5B... Color filter, 6・
... Protective film, 7, 8 ... Alignment film, 9 ... Liquid crystal, 10
...Pretreatment device, 11...High voltage power supply, 12...
Charging/discharging switch, 13... Capacitor, 14a,
14b...Element connection cable, 15...Voltage adjustment resistor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 液晶表示素子の電極の断線検査に先立って、この液晶表
示素子の両基板の電極間に高電圧を印加することを特徴
とする液晶表示素子の断線検査前処理方法。
1. A pretreatment method for inspecting disconnection of a liquid crystal display element, which comprises applying a high voltage between electrodes of both substrates of the liquid crystal display element prior to inspecting an electrode of the liquid crystal display element for disconnection.
JP2040907A 1990-02-23 1990-02-23 Pretreatment for inspecting disconnection of liquid crystal display element Pending JPH03245125A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06201746A (en) * 1992-11-11 1994-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspecting method for matrix display device
JP2001272643A (en) * 2000-03-28 2001-10-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method and device for inspecting liquid crystal display panel
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