JPH0324454A - 超音波探傷法 - Google Patents
超音波探傷法Info
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- JPH0324454A JPH0324454A JP1160080A JP16008089A JPH0324454A JP H0324454 A JPH0324454 A JP H0324454A JP 1160080 A JP1160080 A JP 1160080A JP 16008089 A JP16008089 A JP 16008089A JP H0324454 A JPH0324454 A JP H0324454A
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
(M業上の利用分野)
本発明は、弾性波の送受信用トランスデューサをそなえ
た探触子を用いて、材料や構造物の内部に存在する欠陥
を非破壊で検出するのに利用される超音波探傷法に関し
、特に3つ以上のトランスデューサをそなえた探触子を
用いてそのうちの少な〈とも1つを送信用として用いる
と共に残りの少なくとも2つ以上を受信用として用い、
2つ以上の受信用トランスデューサでの受信信号を相互
に比較して検査部の良否を判定するのに利用される非破
壊検査方法のうちのa音波探傷法に関するものである. (従来の技術) 超音波に代表される弾性波を用いた非破壊検査方法では
、弾性波の送受信にトランスデューサを用いるが、送受
信の形態と使用するトランスデューサの数によって、透
過法.反射法,共振法などの区別がつけられている。ま
た、見方を変えた区別においては、垂直法,斜角法,水
浸法,板波法,表面波法,透過法、厚さ測定法,超音波
ホログラフィ法,探傷図形法などがある。なお、この種
の超音波深傷法は、例えば、「第3版 鉄鋼便覧 第■
巻 鉄鋼材料,試験●分析」 昭和56年10月30日
丸善株式会社発行の第447頁〜第488頁『非破壊
試験Jに詳しい説明がなされている, 第18図は従来の超音波探傷法において用いられる探触
子の構造例を示すものであって、この探触子51ほ、ホ
ルダ52と、このホルダ52に設けた絶縁体53と、こ
の絶縁体53に一端が当接する弾性体54と、前記弾性
体54の他端が当接するトランスデューサ55と、前記
トランスデューサ55とホルダ52との間に介在する緩
衝体56とを備えており、トランスデューサ55は前記
弾性体54の押圧力によって被測定物57に押し付けら
れた状態で使用される. この従来の超音波探傷法において,トランスデューサが
1つの場合の測定方法は反射法あるいは共振法が代表的
であり、2つの場合の測定方法は透過法がよく知られて
いる.これらの測定方法は、検出信号の形や、共振周波
数によって各種の情報を得ていることは良く知られてい
る. しかしながら、これらの場合、信号強度そのものはトラ
ンスデューサの保持方法に強く影響されるために熟練が
必要であり、積極的には利用されていなかった.したが
って、熟練の度合に影響されない測定方法の開発と、ト
ランスデューサの保持方法とを見い出すことが要望され
ていた. いっぽう、非破壊検査方法の一つとして、特定の周波数
帯の超音波の伝達特性を測定することにより、接着接合
部の接着剤の有無や接着接合力そのものを推定すること
ができる技術も開発されていた(特開昭63−1202
52号)。 (発明が解決しようとする課題) しかしながら,この場合にもトランスデューサの取り付
け方に熟練を要するという課題があった. (発明の目的) 本発明は、このような従来の測定方法がもつ課題にかん
がみてなされたもので、接着接合部の欠陥を相対的に評
価することが可能であり、しかもトランスデューサの取
り付け方に熟練を必要としない超音波深傷法を提供する
ことを目的としている.
た探触子を用いて、材料や構造物の内部に存在する欠陥
を非破壊で検出するのに利用される超音波探傷法に関し
、特に3つ以上のトランスデューサをそなえた探触子を
用いてそのうちの少な〈とも1つを送信用として用いる
と共に残りの少なくとも2つ以上を受信用として用い、
2つ以上の受信用トランスデューサでの受信信号を相互
に比較して検査部の良否を判定するのに利用される非破
壊検査方法のうちのa音波探傷法に関するものである. (従来の技術) 超音波に代表される弾性波を用いた非破壊検査方法では
、弾性波の送受信にトランスデューサを用いるが、送受
信の形態と使用するトランスデューサの数によって、透
過法.反射法,共振法などの区別がつけられている。ま
た、見方を変えた区別においては、垂直法,斜角法,水
浸法,板波法,表面波法,透過法、厚さ測定法,超音波
ホログラフィ法,探傷図形法などがある。なお、この種
の超音波深傷法は、例えば、「第3版 鉄鋼便覧 第■
巻 鉄鋼材料,試験●分析」 昭和56年10月30日
丸善株式会社発行の第447頁〜第488頁『非破壊
試験Jに詳しい説明がなされている, 第18図は従来の超音波探傷法において用いられる探触
子の構造例を示すものであって、この探触子51ほ、ホ
ルダ52と、このホルダ52に設けた絶縁体53と、こ
の絶縁体53に一端が当接する弾性体54と、前記弾性
体54の他端が当接するトランスデューサ55と、前記
トランスデューサ55とホルダ52との間に介在する緩
衝体56とを備えており、トランスデューサ55は前記
弾性体54の押圧力によって被測定物57に押し付けら
れた状態で使用される. この従来の超音波探傷法において,トランスデューサが
1つの場合の測定方法は反射法あるいは共振法が代表的
であり、2つの場合の測定方法は透過法がよく知られて
いる.これらの測定方法は、検出信号の形や、共振周波
数によって各種の情報を得ていることは良く知られてい
る. しかしながら、これらの場合、信号強度そのものはトラ
ンスデューサの保持方法に強く影響されるために熟練が
必要であり、積極的には利用されていなかった.したが
って、熟練の度合に影響されない測定方法の開発と、ト
ランスデューサの保持方法とを見い出すことが要望され
ていた. いっぽう、非破壊検査方法の一つとして、特定の周波数
帯の超音波の伝達特性を測定することにより、接着接合
部の接着剤の有無や接着接合力そのものを推定すること
ができる技術も開発されていた(特開昭63−1202
52号)。 (発明が解決しようとする課題) しかしながら,この場合にもトランスデューサの取り付
け方に熟練を要するという課題があった. (発明の目的) 本発明は、このような従来の測定方法がもつ課題にかん
がみてなされたもので、接着接合部の欠陥を相対的に評
価することが可能であり、しかもトランスデューサの取
り付け方に熟練を必要としない超音波深傷法を提供する
ことを目的としている.
(課題を解決するための手段)
本発明に係る超音波探傷法は、弾性波を送信する少なく
とも1つの送信用トランスデューサと、前記弾性波を受
信する少なくとも2つの受信用トランスデューサとをそ
なえ、前記受信用トランスデューサを前記送信用トラン
スデューサと所定の距離に配置しかう前記距離の比を変
えないように保持するホルダをそなえた探触子を用いる
構成としたことを特徴としており、このような超音波深
傷法の構或を前述した従来の課題を解決するための手段
としている. (発明の作用) 本発明に係る超音波探傷法は上述した構成を有している
ものであるから、トランスデューサは送信専用のものと
受信専用のものと分れることとなるので、兼用する場合
のように切り替えを行う必要がなくなると共に、受信用
トランスデューサは2つ以上の複数からなるものとして
これら2つ以上の受信用トランスデューサからの受信信
号を相互に比較して検査部の良否を判定するようにして
いるため、測定に熟練を必要としな〈なるという作用が
もたらされる。 (実施例) 第1図は、本発明に係る超音波探傷法の実施に使用する
探触子の一構或例を示すものであって、この探触子1は
、中央に送信用トランスデューサ保持部2aを有してい
ると共にその両側に受信用トランスデューサ保持部2b
,2cを有するホルダ2と、前記ホルダ2の送信用トラ
ンスデューサ保持部2aに設けた絶縁体3と、この絶縁
体3に一端が当接する弾性体4と、前記弾性体4の他端
が当接する送信用トランスデューサ5と、前記送信用ト
ランスデューサ5とホルダ2との間に介在する緩衝体6
と、前記一方の受信用トランスデューサ保持部2bに保
持される一方の受信用トランスデューサ7と、この受信
用トランスデューサ7の位置調整を行うねじ8と、前記
他方の受信用トランスデューサ保持部2cに保持される
他方の受信用トランスデューサ9と、この受信用トラン
スデューサ9の位置調整を行うねじ10とをそなえ、前
記ホルダ2は、受信用トランスデューサ7,9を前記送
信用トランスデューサ5に対し所定の距離に配置すると
共に前記距離の比を変えないように保持するものとなっ
ている構或を有するものである. この第1図に示す探触子1においては、説明を簡単なも
のとするために3つのトランスデューサ5,7.9を直
線上に配置し、そして中央のトランスデューサ5を送信
用とし、両側の2個のトランスデューサ7,9を受信用
とした場合を例にとって示している. このような構或の探触子1において、送信用トランスデ
ューサ5が弾性体4により被測定物11に圧接され、受
信用トランスデューサ7,9が被測定物11に当接した
状態において、前記送信用トランスデューサ5が被測定
物11に超音波を入射すると、入射された超音波ば被測
定物11中を伝播し、送信用トランスデューサ5からの
距離が等しい2つの受信用トランスデューサ7,9に達
する。このとき、被測定物11が一様であって内部に欠
陥を有していないならば、この2つの受信用トランスデ
ューサ7,9から得られる信号は等しい.しかし、どち
らかの伝達経路に欠陥がある場合には、必然的にこの信
号は異なったものとなる. 第2図はこのような測定例を示すものである.理解のし
やすいものとするため観念的に説明すると、第2図にお
いて、送信用トランスデューサ5の位置をXとし、2つ
の受信用トランスデューサ7,9の位置をX1+X2と
し、その検出信号をf (X+ ),f (X2)とし
、欠陥部12の位置をyとするとき、 y<xl<x<x2,x,<x<x2<yのとき、f
(X+ ) = f (X2 )x1<y<x<x2の
とき、 f (XI ) <f (X2 ) Xt <x<y<x2のとき、 f (X+ ) >f (X2 ) とすることができる. 実用的には、z−f (xt) f (X2)を判定
基準として2の正負を調べることで欠陥の有無を調べる
が、第2図(d)に示すように適当なしきい値を定めて
その上下で判定を下すようにするのがよい。 この判定方法の著しい特徴は、送信用トランスデューサ
5の接触の仕方が異なったり、入射する弾性波の強度が
時間的に異なったりしても、2つの受信用トランスデュ
ーサ7,9からの信号を比較する上では問題にならない
ということにある。従って、入射信号の時間波形,強度
,信号の種類に関係しないというメリットが得られる. 第3図に本実施例における測定のブロック図を示す.発
信機15により送り込まれた電気信号は、送信用トラン
スデューサ5を駆動し、被測定物11の検査部に弾性波
を入射する。この弾性波は検査部を伝播した後、受信用
トランスデューサ7,9によって電気信号に変えられ、
受信機16へ取り込まれる.この際の受信用トランスデ
ューサ7.9からの2つの信号は受信機16内のデータ
処理ブロー,クで一方を参照信号としてもう一方のデー
タを処理し、この結果にしたがって欠陥部12の有無を
表示装置17において表示する. 本発明に係る超音波探傷法では2つの受信用トランスデ
ューサ7,9の接触の良否が相対化されることにより、
信号を直接比較することができるため、受信機16内の
デー・夕処理ブロノクの内部構戒はアナログ処理系であ
っても構わない.例えば、RMSメーターのような差動
入力回路で処理できるため、部品点数が少なく信頼性を
向上させたものとすることができるほか、リアルタイム
処理も可能である。さらに、入射信号はどのような波形
でも構わないため、例えば、従来のパルス波形のほか、
帯域制限されたランダムノイズや周波数限定された疑似
ランダム波形を用いることもできる.本測定に用いる弾
性波の周波数範囲は0.1Hzから10MHzの範囲で
用いることが望ましい. このような3つのトランスデューサ5,7.9を保持す
るに際して、被測定物11が平面状をなすものであるな
らば、第4図に示すように、3つのトランスデューサ5
,6.7を平行にしてホルダ2によって保持するだけで
よい.しかし、実際にはホルダ2の工作精度の問題から
3つのトランスデューサ5,7.9を完全に平行に保持
することは困難であり、仮にできたとしても被測定物1
1が完全に平行であるとは限らない。このため、第5図
に示すように、両端のトランスデューサ7.9をホルダ
2によって固定保持し、中央のトランスデューサ5を弾
性体4を介して調整可能にホルダ2によって保持する構
戊とすることが実用的であり、さらには第1図に示した
ように両端のトランスデューサ7,9はねじ8,10に
よって位置調整可能としておくことも可能であり、この
ようにすることで被測定物11が平面でない場合にも平
面の場合と同様に精度良く測定することができる. 第6図はさらに他の実施例を示すもので、この実施例で
は被測定物を透過法で測定する場合を示し、この場合に
も弾性波を送信する送信用トランスデューサ5と前記弾
性波を受信する2つの受信用トランスデューサ7.9を
そなえ、検出側の2つの受信用トランスデューサ7,9
をホルダ2に固定保持し,入射側の送信用トランスデュ
ーサ5を弾性体およびねじ12を介して調整可能にホル
ダ2に保持する構或としたものである.本発明において
は、3つのトランスデューサ5,7.9と被測定物11
との接触方法を限定するものではなく、従来の水,グリ
ス等を用いた湿式接触や、ゴムタイヤなどを用いた乾式
接触においても本発明の効果を享受することができる. 第7図には別のデータ処理ブロックを示す.これは表示
装置17を探触子1のホルダ2に取り付けた場合を示す
ものであって、あらかじめ決定したしきい値に対して測
定部の結果をリアルタイムにOKかNGかでトランスデ
ューサホルダ2に表示することができるように、ホルダ
2に表示装置17を設けた場合を示すもので、測定者が
トランスデューサ5,7.9の保持に専念できるという
メリットがある. また,第8図には別のデータ処理ブロックを示す。これ
は複数のトランスデューサTに対し同様の処理を行うた
めのデータ処理方式を示すものであって、信号の遅延回
路、アナログマルチプレクサ21、データ処理ブロック
22、マイクロプロセッサ23等を用いた場合の構戊を
示すものである。このように複雑な回路とする理由は、
トランスデューサ群を移動させることなく信号の発信源
を次々に変更し、その発信源に近い最適な3つないしは
それ以上のトランスデューサ対でデータを解析すること
ができるようにするためである.本データ処理方式では
、機械的なスキャニングによるデータの不安定さを排除
できるというメリットがある。むろんこの測定例で用い
るトランスデューサTは入出力が可能でなければならな
いが、これらのうちの1つ以上の何個かを送信専用、残
りの2つ以上を受信専用とすればそれぞれに最適な特性
のトランスデューサTを用いることができる。 また、第9図にはさらに別のデータ処理ブロックを示す
.これは3つのトランスデューサ5,7,9を用いた場
合の処理方式を示すものであってしかも一方もしくは両
方に信号増幅器によるオフセットを掛けられるようにし
た遅延回路24を設けた場合を示すものである。このよ
うな測定方式のメリットは、1つの入射側送信用トラン
スデューサ5に対し2つの検出側受信用トランスデュー
サ7,9を等距離を保てない場合、あるいは測定者が自
由に調整できるようにした場合にあり、基準試験片の上
でオフセット値を決定すればよい。このような測定回路
はトランスデュー・ザ5,7.9の性能上のばらつきや
ホルダ2の加工精度を調節するために有用であり、他の
測定回路でも用いることができる, このように本発明に係る超音波深傷法は、測定者に熟練
を要しないという利点がある。また、パルス波で測定す
る必要がなくなるために発信機15が瞬間的な大出力を
発生する必要がなくなり、測定回路が簡単になる.しか
も、パルス法のように短い周期で測定を繰り返す方法と
は異なり、連続波では安定した信号を出力することがで
きる。また、トランスデューサ5,7.9の役割を送信
専用と受信専用とに区別することによって、測定回路に
信号の切り替えなどが必要なくなる。さらに,実時間測
定が可能であるため、測定時間の短縮等に利点がある. このような探触子1において、上述した実施例に示した
ように、各トランスデューサ5,7.9を被測定物11
に直接接触させる構戊とすることもあるが、トランスデ
ューサ5と被測定物(11)との間に高分子材料を設け
た構或の探触子1を用いることも可能である. すなわち、前述したように、超音波に代表される弾性波
を用いた非破壊検査方法では、弾性波の送受信用にトラ
ンスデューサ(5 , 7 . 9)を用いるが、これ
らのトランスデューサ(5 , 7 .9)と被測定物
(11)の接触部との間には、水,グリス等の液体を用
いるのが一般的で、特に水の場合には被測定物(11)
を水槽中に沈めて測定することさえある。しかし、これ
らの場合には被測定物(11)が液体によって汚されて
しまうという問題点があった。 そこで、この問題点を最小もしくは皆無にするため、固
体でしかも比較的弾性率の小さい高分子材料を、トラン
スデューサ5と被測定物(11)との間に挿入して弾性
波を伝達する方法が考えられる. しかしながら、この場合には以下に示す問題が発生しや
すい. 第一にトランスデューサ5と高分子材料との間での接触
が不十分なものになりやすく、その結果として弾性波の
伝達が不安定になること、第二に高分子材料は圧縮永久
歪が残りやすく、被測定物(11)との接触面が塑性変
形して接触子としての機能を失いやすこと、 である。 これらの問題点を解決するためには前記接触子を交換可
能に設計することが最も有効と考えられる。 第10図に示した探触子1は高子材料からなる接触子を
交換可能とした場合の構戒を例示するものである。この
第10図に示した探触子1は、ホルタ2と、このホルタ
2に設けた絶縁体3と、この絶縁体3に一端が当接する
弾性体4と、前記弾性体4の他端が当接するトランスデ
ューサ5と、前記トランスデューサ5と被測定物(11
)との間において交換可能に設けられた接触子13と、
前記接触子13とホルダ2との間に介在された緩衝体6
とをそなえた構成をなすものであり、トランスデューサ
5と接触子13との間には通常グリスなどが接触剤とし
て使われる。 このような構戊の接触子13を設けた探触子1を用いる
場合の問題は、接触子13とトランスデューサ5との間
での押し付け圧力が小さいと、接触子13の移動や伝達
の不十分さによって、得られる結果にばらつきが多いと
いう点であり、逆に押し付け圧力が大きすぎてもばらつ
きがな〈ならないという点であった。 このような不安定さは測定に熟練を要することになり、
長年の訓練が必要であるという問題になって現われる。 そこで、本研究者らはこの問題について検討した結果、
トランスデューサ5と接触子13との間で接触子13の
変形によって接触が不十分になり、その結果伝達特性が
不安定になることを見い出した。 すなわち、第lO図に示した探触了1において、弾性波
はトランスデューサ5の断面部から接触子13に伝わる
ため、接触子13の断面はトランスデューサ5よりも小
さくはできない。このためにホルダ2はその内側の開口
部がトランスデューサ5の断面より小さくできない。 従って、接触子13は応力歪によって当該接触子13の
フランジ部13aを支点にして第11図に示すようにそ
の中央部がへこむように変形しこのためトランスデュー
サ5と接触子13との接触部にすき間14が生じる。こ
の接触部のすき間14には減圧による空孔等が発生する
と考えられ、これによって弾性波の伝達が不十分となり
、測定結果がばらつくというように推定された。 この問題を避けるためにホルダ2との接触部がほとんど
変形しないようにフランジ部13aを厚くすると、高分
子材料は一般に金属に比べて超音波の吸収が大きいため
に伝達効率が低下するという問題が発生する。このため
、あまり長い形状の接触子13を用いにくいという制約
がある。 そこで、交換可能な接触子13と、前記接触子13を介
して弾性波を送信する少なくとも1つの送信用トランス
デューサ5と、前記接触子13を介l7て前記弾性波を
受信する少なくとも2つの受信用トランスデューサ7.
9とをそなえ、前記受信用トランスデューサ7,9を前
記送信用トランスデューサ5と所定の距離に配置しかつ
前記距離の比を変えないように保持するホルダ2をそな
えた探触子1を用いて超音波探傷を行うに際して、前記
接触子13とホルダ2とがテーパ状に接する構造とした
探触子1を用いるようになすことも必要に応じて望まし
いことがわかった。 第12図はこのような必要に応じて望ましい構造を有す
る探触子1を例示するものであって、ホルダ2は緩衝体
6を介して接触子13とテーパ状に接触するものとなっ
ている.すなわち、ホルダ2にはテーパ状部2bを設け
ると共に接触子13にもテーバ状部13bを設け、これ
らテーパ状部2b,13bの間に緩衝体6を介在させた
構造としている. このような構造をなす少なくとも3つのトランスデュー
サ5 (7 . 9)を用いて超音波探傷を行うに際し
、弾性体4によりトランスデューサ5は接触子13に押
し付けられ、その接触子13はホルダ2に押し付けられ
るが、その反力によってトランスデューサ5との接触部
が第l3図に示すごとく盛り上がるように変形するもの
と考えられる. このような構或では弾性波が良好に伝達されており、し
かも弾性体4の圧力を大きくしてもその傾向は変わらな
いことが認められた.このような結果は次の様に2つの
効果がもたらされると考えられる。ひとつは、接触剤が
トランスデューサ5と接触了13との接触面の外縁から
引き込まれ、接触剤が良好に機能する,あるいはもう一
つの現象として、接触子13自体の変形が阻止されてい
ることも考えられる.このどちらが正しいのかは今のと
ころ判然としないが,少なくとも本実施例の効果は明ら
かに上記接触面の大きさとテーバ状部2b,13bの角
度に依存している。 テーバ状部2b,13bの角度はO度を超え90度未満
であれば原理的には上述した効果を利用できるが現実的
には30度から60度が望ましい。また本測定に用いる
弾性波の周波数範囲は0.1.HZから10MHzの範
囲で用いるのがより望ましい。 第14図は他の実施例を示すものであって、この場合の
接触子13はホルダ2の内部に第12図の場合と同様に
保持され、更に全体が外部ホルダ31の内部に配設され
て、圧力調整ねじ32、圧カセンサ33および弾性体3
4を介して被測定物(11)に押し付けられ、ホルダ2
と外部ホルダ31との間および外部ホルダ31と被測定
物(11)との間にそれぞれ緩衝体35 .36を介在
させた構造となっており、圧カセンサ(一般にはロード
セル等が用いられる)33により接触子13と被測定物
(11)との間にかかる接触面圧をモニターできるよう
にしたものである。 このような構造をもつ探触子1はロボットを用いた自動
測定に適しており、接触子13と被測定物(11)との
間にかかる接触面圧を一定に保つことによって良好な再
現性が得られる.この構成の探触子1ではトランスデュ
ーサ5(7.9)と接触子13、および接触子13と被
測定物(11)との接触圧力が別々に定められ、測定の
自由度を増すことができる。むろん外部ホルダ31の内
側にモーターなどのアクチュエーターを組み込んで人が
操作する場合にも接触面圧を一定にするような構或にす
ることもできる。 第15図には別の構戒を有する探触子1を示す。この場
合の乾式接触子13を有する探触子1は、緩衝体6と接
するテーパ状部2bを有する分割ホルダ2Cを別体で形
威してホルダ2の下端部分にねじ込み固定し、分割ホル
ダ2Cに設けたテーパ状部2bと接触子13に設けたテ
ーパ状部13bとの間に緩衝体6を介在させると共に、
前記ホルダ2の下端に設けたテーパ状部2dと接触子1
3に設けた上すぼまりのテーパ状部13dとを接触させ
た構造をなすものである。 このような構造の探触子1において、接触子13はその
上下に設けたテーパ状部13d.13bにおいてホルダ
2.20に設けたテーパ状部2d,2bによって両側か
ら締め付けられるようになっているためたわみの発生が
少なく、しかもトランスデューサ5,(7.9)と接触
子13との間にかかる圧力がホルダ2の押し付け圧力に
影響されにくいという特長がある. このように、第12図ないし第15図に示した構造の探
触子1では、接触子13が交換可能なものとなっている
ため、第l6図に示すような例えば減圧吸着式の探触子
1として用いることも可能である。すなわち、第16図
に示す探触子1は、第12図に示した探触子1の下端側
に吸盤36を取り付け、この吸盤36を被測定物(11
)に押し付けた状態において吸盤36の内部を吸排気管
37および吸排気ポンプ38を介して吸排気可能とした
構造を有するものである. このような探触子1はそれらのトランスデューサTの群
をなす形態として第17図に示す様にフレキシブルアー
ム41により結合してトランスデューサアレイによるバ
ッチ式の測定システムとする場合に有効である。 このように、乾式接触子13とホルダ2,2Cとの接触
面をそれぞれテーパ状とすることにより、超音波の伝達
を安定化させることができる。 また、この場合に言う弾性体4はトランスデューサ5
(7 . 9)を固定するために圧力を発生させる機能
があれば何でもよく、例えばゴム,ばね,ねじ等が用い
られる。そして、特にねじの場合には第12図の緩衝体
6が弾性体としての機能を持つようになすことが望まし
い.
とも1つの送信用トランスデューサと、前記弾性波を受
信する少なくとも2つの受信用トランスデューサとをそ
なえ、前記受信用トランスデューサを前記送信用トラン
スデューサと所定の距離に配置しかう前記距離の比を変
えないように保持するホルダをそなえた探触子を用いる
構成としたことを特徴としており、このような超音波深
傷法の構或を前述した従来の課題を解決するための手段
としている. (発明の作用) 本発明に係る超音波探傷法は上述した構成を有している
ものであるから、トランスデューサは送信専用のものと
受信専用のものと分れることとなるので、兼用する場合
のように切り替えを行う必要がなくなると共に、受信用
トランスデューサは2つ以上の複数からなるものとして
これら2つ以上の受信用トランスデューサからの受信信
号を相互に比較して検査部の良否を判定するようにして
いるため、測定に熟練を必要としな〈なるという作用が
もたらされる。 (実施例) 第1図は、本発明に係る超音波探傷法の実施に使用する
探触子の一構或例を示すものであって、この探触子1は
、中央に送信用トランスデューサ保持部2aを有してい
ると共にその両側に受信用トランスデューサ保持部2b
,2cを有するホルダ2と、前記ホルダ2の送信用トラ
ンスデューサ保持部2aに設けた絶縁体3と、この絶縁
体3に一端が当接する弾性体4と、前記弾性体4の他端
が当接する送信用トランスデューサ5と、前記送信用ト
ランスデューサ5とホルダ2との間に介在する緩衝体6
と、前記一方の受信用トランスデューサ保持部2bに保
持される一方の受信用トランスデューサ7と、この受信
用トランスデューサ7の位置調整を行うねじ8と、前記
他方の受信用トランスデューサ保持部2cに保持される
他方の受信用トランスデューサ9と、この受信用トラン
スデューサ9の位置調整を行うねじ10とをそなえ、前
記ホルダ2は、受信用トランスデューサ7,9を前記送
信用トランスデューサ5に対し所定の距離に配置すると
共に前記距離の比を変えないように保持するものとなっ
ている構或を有するものである. この第1図に示す探触子1においては、説明を簡単なも
のとするために3つのトランスデューサ5,7.9を直
線上に配置し、そして中央のトランスデューサ5を送信
用とし、両側の2個のトランスデューサ7,9を受信用
とした場合を例にとって示している. このような構或の探触子1において、送信用トランスデ
ューサ5が弾性体4により被測定物11に圧接され、受
信用トランスデューサ7,9が被測定物11に当接した
状態において、前記送信用トランスデューサ5が被測定
物11に超音波を入射すると、入射された超音波ば被測
定物11中を伝播し、送信用トランスデューサ5からの
距離が等しい2つの受信用トランスデューサ7,9に達
する。このとき、被測定物11が一様であって内部に欠
陥を有していないならば、この2つの受信用トランスデ
ューサ7,9から得られる信号は等しい.しかし、どち
らかの伝達経路に欠陥がある場合には、必然的にこの信
号は異なったものとなる. 第2図はこのような測定例を示すものである.理解のし
やすいものとするため観念的に説明すると、第2図にお
いて、送信用トランスデューサ5の位置をXとし、2つ
の受信用トランスデューサ7,9の位置をX1+X2と
し、その検出信号をf (X+ ),f (X2)とし
、欠陥部12の位置をyとするとき、 y<xl<x<x2,x,<x<x2<yのとき、f
(X+ ) = f (X2 )x1<y<x<x2の
とき、 f (XI ) <f (X2 ) Xt <x<y<x2のとき、 f (X+ ) >f (X2 ) とすることができる. 実用的には、z−f (xt) f (X2)を判定
基準として2の正負を調べることで欠陥の有無を調べる
が、第2図(d)に示すように適当なしきい値を定めて
その上下で判定を下すようにするのがよい。 この判定方法の著しい特徴は、送信用トランスデューサ
5の接触の仕方が異なったり、入射する弾性波の強度が
時間的に異なったりしても、2つの受信用トランスデュ
ーサ7,9からの信号を比較する上では問題にならない
ということにある。従って、入射信号の時間波形,強度
,信号の種類に関係しないというメリットが得られる. 第3図に本実施例における測定のブロック図を示す.発
信機15により送り込まれた電気信号は、送信用トラン
スデューサ5を駆動し、被測定物11の検査部に弾性波
を入射する。この弾性波は検査部を伝播した後、受信用
トランスデューサ7,9によって電気信号に変えられ、
受信機16へ取り込まれる.この際の受信用トランスデ
ューサ7.9からの2つの信号は受信機16内のデータ
処理ブロー,クで一方を参照信号としてもう一方のデー
タを処理し、この結果にしたがって欠陥部12の有無を
表示装置17において表示する. 本発明に係る超音波探傷法では2つの受信用トランスデ
ューサ7,9の接触の良否が相対化されることにより、
信号を直接比較することができるため、受信機16内の
デー・夕処理ブロノクの内部構戒はアナログ処理系であ
っても構わない.例えば、RMSメーターのような差動
入力回路で処理できるため、部品点数が少なく信頼性を
向上させたものとすることができるほか、リアルタイム
処理も可能である。さらに、入射信号はどのような波形
でも構わないため、例えば、従来のパルス波形のほか、
帯域制限されたランダムノイズや周波数限定された疑似
ランダム波形を用いることもできる.本測定に用いる弾
性波の周波数範囲は0.1Hzから10MHzの範囲で
用いることが望ましい. このような3つのトランスデューサ5,7.9を保持す
るに際して、被測定物11が平面状をなすものであるな
らば、第4図に示すように、3つのトランスデューサ5
,6.7を平行にしてホルダ2によって保持するだけで
よい.しかし、実際にはホルダ2の工作精度の問題から
3つのトランスデューサ5,7.9を完全に平行に保持
することは困難であり、仮にできたとしても被測定物1
1が完全に平行であるとは限らない。このため、第5図
に示すように、両端のトランスデューサ7.9をホルダ
2によって固定保持し、中央のトランスデューサ5を弾
性体4を介して調整可能にホルダ2によって保持する構
戊とすることが実用的であり、さらには第1図に示した
ように両端のトランスデューサ7,9はねじ8,10に
よって位置調整可能としておくことも可能であり、この
ようにすることで被測定物11が平面でない場合にも平
面の場合と同様に精度良く測定することができる. 第6図はさらに他の実施例を示すもので、この実施例で
は被測定物を透過法で測定する場合を示し、この場合に
も弾性波を送信する送信用トランスデューサ5と前記弾
性波を受信する2つの受信用トランスデューサ7.9を
そなえ、検出側の2つの受信用トランスデューサ7,9
をホルダ2に固定保持し,入射側の送信用トランスデュ
ーサ5を弾性体およびねじ12を介して調整可能にホル
ダ2に保持する構或としたものである.本発明において
は、3つのトランスデューサ5,7.9と被測定物11
との接触方法を限定するものではなく、従来の水,グリ
ス等を用いた湿式接触や、ゴムタイヤなどを用いた乾式
接触においても本発明の効果を享受することができる. 第7図には別のデータ処理ブロックを示す.これは表示
装置17を探触子1のホルダ2に取り付けた場合を示す
ものであって、あらかじめ決定したしきい値に対して測
定部の結果をリアルタイムにOKかNGかでトランスデ
ューサホルダ2に表示することができるように、ホルダ
2に表示装置17を設けた場合を示すもので、測定者が
トランスデューサ5,7.9の保持に専念できるという
メリットがある. また,第8図には別のデータ処理ブロックを示す。これ
は複数のトランスデューサTに対し同様の処理を行うた
めのデータ処理方式を示すものであって、信号の遅延回
路、アナログマルチプレクサ21、データ処理ブロック
22、マイクロプロセッサ23等を用いた場合の構戊を
示すものである。このように複雑な回路とする理由は、
トランスデューサ群を移動させることなく信号の発信源
を次々に変更し、その発信源に近い最適な3つないしは
それ以上のトランスデューサ対でデータを解析すること
ができるようにするためである.本データ処理方式では
、機械的なスキャニングによるデータの不安定さを排除
できるというメリットがある。むろんこの測定例で用い
るトランスデューサTは入出力が可能でなければならな
いが、これらのうちの1つ以上の何個かを送信専用、残
りの2つ以上を受信専用とすればそれぞれに最適な特性
のトランスデューサTを用いることができる。 また、第9図にはさらに別のデータ処理ブロックを示す
.これは3つのトランスデューサ5,7,9を用いた場
合の処理方式を示すものであってしかも一方もしくは両
方に信号増幅器によるオフセットを掛けられるようにし
た遅延回路24を設けた場合を示すものである。このよ
うな測定方式のメリットは、1つの入射側送信用トラン
スデューサ5に対し2つの検出側受信用トランスデュー
サ7,9を等距離を保てない場合、あるいは測定者が自
由に調整できるようにした場合にあり、基準試験片の上
でオフセット値を決定すればよい。このような測定回路
はトランスデュー・ザ5,7.9の性能上のばらつきや
ホルダ2の加工精度を調節するために有用であり、他の
測定回路でも用いることができる, このように本発明に係る超音波深傷法は、測定者に熟練
を要しないという利点がある。また、パルス波で測定す
る必要がなくなるために発信機15が瞬間的な大出力を
発生する必要がなくなり、測定回路が簡単になる.しか
も、パルス法のように短い周期で測定を繰り返す方法と
は異なり、連続波では安定した信号を出力することがで
きる。また、トランスデューサ5,7.9の役割を送信
専用と受信専用とに区別することによって、測定回路に
信号の切り替えなどが必要なくなる。さらに,実時間測
定が可能であるため、測定時間の短縮等に利点がある. このような探触子1において、上述した実施例に示した
ように、各トランスデューサ5,7.9を被測定物11
に直接接触させる構戊とすることもあるが、トランスデ
ューサ5と被測定物(11)との間に高分子材料を設け
た構或の探触子1を用いることも可能である. すなわち、前述したように、超音波に代表される弾性波
を用いた非破壊検査方法では、弾性波の送受信用にトラ
ンスデューサ(5 , 7 . 9)を用いるが、これ
らのトランスデューサ(5 , 7 .9)と被測定物
(11)の接触部との間には、水,グリス等の液体を用
いるのが一般的で、特に水の場合には被測定物(11)
を水槽中に沈めて測定することさえある。しかし、これ
らの場合には被測定物(11)が液体によって汚されて
しまうという問題点があった。 そこで、この問題点を最小もしくは皆無にするため、固
体でしかも比較的弾性率の小さい高分子材料を、トラン
スデューサ5と被測定物(11)との間に挿入して弾性
波を伝達する方法が考えられる. しかしながら、この場合には以下に示す問題が発生しや
すい. 第一にトランスデューサ5と高分子材料との間での接触
が不十分なものになりやすく、その結果として弾性波の
伝達が不安定になること、第二に高分子材料は圧縮永久
歪が残りやすく、被測定物(11)との接触面が塑性変
形して接触子としての機能を失いやすこと、 である。 これらの問題点を解決するためには前記接触子を交換可
能に設計することが最も有効と考えられる。 第10図に示した探触子1は高子材料からなる接触子を
交換可能とした場合の構戒を例示するものである。この
第10図に示した探触子1は、ホルタ2と、このホルタ
2に設けた絶縁体3と、この絶縁体3に一端が当接する
弾性体4と、前記弾性体4の他端が当接するトランスデ
ューサ5と、前記トランスデューサ5と被測定物(11
)との間において交換可能に設けられた接触子13と、
前記接触子13とホルダ2との間に介在された緩衝体6
とをそなえた構成をなすものであり、トランスデューサ
5と接触子13との間には通常グリスなどが接触剤とし
て使われる。 このような構戊の接触子13を設けた探触子1を用いる
場合の問題は、接触子13とトランスデューサ5との間
での押し付け圧力が小さいと、接触子13の移動や伝達
の不十分さによって、得られる結果にばらつきが多いと
いう点であり、逆に押し付け圧力が大きすぎてもばらつ
きがな〈ならないという点であった。 このような不安定さは測定に熟練を要することになり、
長年の訓練が必要であるという問題になって現われる。 そこで、本研究者らはこの問題について検討した結果、
トランスデューサ5と接触子13との間で接触子13の
変形によって接触が不十分になり、その結果伝達特性が
不安定になることを見い出した。 すなわち、第lO図に示した探触了1において、弾性波
はトランスデューサ5の断面部から接触子13に伝わる
ため、接触子13の断面はトランスデューサ5よりも小
さくはできない。このためにホルダ2はその内側の開口
部がトランスデューサ5の断面より小さくできない。 従って、接触子13は応力歪によって当該接触子13の
フランジ部13aを支点にして第11図に示すようにそ
の中央部がへこむように変形しこのためトランスデュー
サ5と接触子13との接触部にすき間14が生じる。こ
の接触部のすき間14には減圧による空孔等が発生する
と考えられ、これによって弾性波の伝達が不十分となり
、測定結果がばらつくというように推定された。 この問題を避けるためにホルダ2との接触部がほとんど
変形しないようにフランジ部13aを厚くすると、高分
子材料は一般に金属に比べて超音波の吸収が大きいため
に伝達効率が低下するという問題が発生する。このため
、あまり長い形状の接触子13を用いにくいという制約
がある。 そこで、交換可能な接触子13と、前記接触子13を介
して弾性波を送信する少なくとも1つの送信用トランス
デューサ5と、前記接触子13を介l7て前記弾性波を
受信する少なくとも2つの受信用トランスデューサ7.
9とをそなえ、前記受信用トランスデューサ7,9を前
記送信用トランスデューサ5と所定の距離に配置しかつ
前記距離の比を変えないように保持するホルダ2をそな
えた探触子1を用いて超音波探傷を行うに際して、前記
接触子13とホルダ2とがテーパ状に接する構造とした
探触子1を用いるようになすことも必要に応じて望まし
いことがわかった。 第12図はこのような必要に応じて望ましい構造を有す
る探触子1を例示するものであって、ホルダ2は緩衝体
6を介して接触子13とテーパ状に接触するものとなっ
ている.すなわち、ホルダ2にはテーパ状部2bを設け
ると共に接触子13にもテーバ状部13bを設け、これ
らテーパ状部2b,13bの間に緩衝体6を介在させた
構造としている. このような構造をなす少なくとも3つのトランスデュー
サ5 (7 . 9)を用いて超音波探傷を行うに際し
、弾性体4によりトランスデューサ5は接触子13に押
し付けられ、その接触子13はホルダ2に押し付けられ
るが、その反力によってトランスデューサ5との接触部
が第l3図に示すごとく盛り上がるように変形するもの
と考えられる. このような構或では弾性波が良好に伝達されており、し
かも弾性体4の圧力を大きくしてもその傾向は変わらな
いことが認められた.このような結果は次の様に2つの
効果がもたらされると考えられる。ひとつは、接触剤が
トランスデューサ5と接触了13との接触面の外縁から
引き込まれ、接触剤が良好に機能する,あるいはもう一
つの現象として、接触子13自体の変形が阻止されてい
ることも考えられる.このどちらが正しいのかは今のと
ころ判然としないが,少なくとも本実施例の効果は明ら
かに上記接触面の大きさとテーバ状部2b,13bの角
度に依存している。 テーバ状部2b,13bの角度はO度を超え90度未満
であれば原理的には上述した効果を利用できるが現実的
には30度から60度が望ましい。また本測定に用いる
弾性波の周波数範囲は0.1.HZから10MHzの範
囲で用いるのがより望ましい。 第14図は他の実施例を示すものであって、この場合の
接触子13はホルダ2の内部に第12図の場合と同様に
保持され、更に全体が外部ホルダ31の内部に配設され
て、圧力調整ねじ32、圧カセンサ33および弾性体3
4を介して被測定物(11)に押し付けられ、ホルダ2
と外部ホルダ31との間および外部ホルダ31と被測定
物(11)との間にそれぞれ緩衝体35 .36を介在
させた構造となっており、圧カセンサ(一般にはロード
セル等が用いられる)33により接触子13と被測定物
(11)との間にかかる接触面圧をモニターできるよう
にしたものである。 このような構造をもつ探触子1はロボットを用いた自動
測定に適しており、接触子13と被測定物(11)との
間にかかる接触面圧を一定に保つことによって良好な再
現性が得られる.この構成の探触子1ではトランスデュ
ーサ5(7.9)と接触子13、および接触子13と被
測定物(11)との接触圧力が別々に定められ、測定の
自由度を増すことができる。むろん外部ホルダ31の内
側にモーターなどのアクチュエーターを組み込んで人が
操作する場合にも接触面圧を一定にするような構或にす
ることもできる。 第15図には別の構戒を有する探触子1を示す。この場
合の乾式接触子13を有する探触子1は、緩衝体6と接
するテーパ状部2bを有する分割ホルダ2Cを別体で形
威してホルダ2の下端部分にねじ込み固定し、分割ホル
ダ2Cに設けたテーパ状部2bと接触子13に設けたテ
ーパ状部13bとの間に緩衝体6を介在させると共に、
前記ホルダ2の下端に設けたテーパ状部2dと接触子1
3に設けた上すぼまりのテーパ状部13dとを接触させ
た構造をなすものである。 このような構造の探触子1において、接触子13はその
上下に設けたテーパ状部13d.13bにおいてホルダ
2.20に設けたテーパ状部2d,2bによって両側か
ら締め付けられるようになっているためたわみの発生が
少なく、しかもトランスデューサ5,(7.9)と接触
子13との間にかかる圧力がホルダ2の押し付け圧力に
影響されにくいという特長がある. このように、第12図ないし第15図に示した構造の探
触子1では、接触子13が交換可能なものとなっている
ため、第l6図に示すような例えば減圧吸着式の探触子
1として用いることも可能である。すなわち、第16図
に示す探触子1は、第12図に示した探触子1の下端側
に吸盤36を取り付け、この吸盤36を被測定物(11
)に押し付けた状態において吸盤36の内部を吸排気管
37および吸排気ポンプ38を介して吸排気可能とした
構造を有するものである. このような探触子1はそれらのトランスデューサTの群
をなす形態として第17図に示す様にフレキシブルアー
ム41により結合してトランスデューサアレイによるバ
ッチ式の測定システムとする場合に有効である。 このように、乾式接触子13とホルダ2,2Cとの接触
面をそれぞれテーパ状とすることにより、超音波の伝達
を安定化させることができる。 また、この場合に言う弾性体4はトランスデューサ5
(7 . 9)を固定するために圧力を発生させる機能
があれば何でもよく、例えばゴム,ばね,ねじ等が用い
られる。そして、特にねじの場合には第12図の緩衝体
6が弾性体としての機能を持つようになすことが望まし
い.
本発明に係る超音波深傷法は、弾性波を送信する少なく
とも1つの送信用トランスデューサと、前記弾性波を受
信する少なくとも2つの受信用トランスデューサとをそ
なえ、前記受信用トランスデューサを前記送信用トラン
スデューサと所定の距離に配置しかつ前記距離の比を変
えないように保持するホルダをそなえた探触子を用いる
構或としたから、少な〈とも1つの送信用トランスデュ
ーサより送信した弾性波を少なくとも2つの受信用トラ
ンスデューサにより受信してこれらの受信用トランスデ
ューサでの受信信号を相互に比較して検査部の良否を判
定することが可能であるので、被測定物における欠陥を
相対的に評価することが可能となり、トランスデューサ
の取り付けに熟練を必要とせずして欠陥の発生を精度よ
く検出することが可能になるという著しく優れた効果が
もたらされる。
とも1つの送信用トランスデューサと、前記弾性波を受
信する少なくとも2つの受信用トランスデューサとをそ
なえ、前記受信用トランスデューサを前記送信用トラン
スデューサと所定の距離に配置しかつ前記距離の比を変
えないように保持するホルダをそなえた探触子を用いる
構或としたから、少な〈とも1つの送信用トランスデュ
ーサより送信した弾性波を少なくとも2つの受信用トラ
ンスデューサにより受信してこれらの受信用トランスデ
ューサでの受信信号を相互に比較して検査部の良否を判
定することが可能であるので、被測定物における欠陥を
相対的に評価することが可能となり、トランスデューサ
の取り付けに熟練を必要とせずして欠陥の発生を精度よ
く検出することが可能になるという著しく優れた効果が
もたらされる。
第1図は本発明に係る超音波探傷法の実施に使用する探
触子の一構或を例示する断面説明図、第2図(a)は送
信用トランスデューサおよび受信用トランスデューサな
らびに欠陥部の位置関係を示す説明図、第2図(b)(
c)は2つの受信用トランスデューサの位置X I
+ X2における検出信号f (X+ ),f (X2
)を示す説明図、第2図(d)は判定基準の要領を示す
説明図、第3図は欠陥部の検出に用いるブロック図を例
示する説明図、第4図は3つのトランスデューサをホル
ダによって保持する構戒を例示する断面説明図、第5図
は3つのトランスデューサをホルダによって保持する他
の構成を例示する断面説明図、第61刀(a)(b)は
透過法で測定する場合の探触子の各々水平断面説明図お
よび垂直断面説明図、第7図は別のデータ処理ブロック
を例示する説明図、第8図はさらに別のデータ処理プロ
・ツクを示す説明図、第9図はさらに別のデータ処理ブ
ロックを例示する説明図、第10図は接触子を用いた探
触子の構戊を例示する断面説明図、第11図は第10図
の探触子における変形態様を例示する断面説明図、第1
2図は接触子を用いた探触子の他の構或を例示する断面
説明図、第13図は第12図の探触子における変形態様
を例示する断面説明図、第14図,第15図および第1
6図は接触子を用いた探触子のさらに他の構或を例示す
る各々断面説明図、第17図は探触子をトランスデュー
サ群として用いる態様を例示する説明図、第18図は従
来の探触子の構戒を例示する断面説明図である. 1・・・探触子、2・・・ホルダ、5・・・送信用トラ
ンス第4図
触子の一構或を例示する断面説明図、第2図(a)は送
信用トランスデューサおよび受信用トランスデューサな
らびに欠陥部の位置関係を示す説明図、第2図(b)(
c)は2つの受信用トランスデューサの位置X I
+ X2における検出信号f (X+ ),f (X2
)を示す説明図、第2図(d)は判定基準の要領を示す
説明図、第3図は欠陥部の検出に用いるブロック図を例
示する説明図、第4図は3つのトランスデューサをホル
ダによって保持する構戒を例示する断面説明図、第5図
は3つのトランスデューサをホルダによって保持する他
の構成を例示する断面説明図、第61刀(a)(b)は
透過法で測定する場合の探触子の各々水平断面説明図お
よび垂直断面説明図、第7図は別のデータ処理ブロック
を例示する説明図、第8図はさらに別のデータ処理プロ
・ツクを示す説明図、第9図はさらに別のデータ処理ブ
ロックを例示する説明図、第10図は接触子を用いた探
触子の構戊を例示する断面説明図、第11図は第10図
の探触子における変形態様を例示する断面説明図、第1
2図は接触子を用いた探触子の他の構或を例示する断面
説明図、第13図は第12図の探触子における変形態様
を例示する断面説明図、第14図,第15図および第1
6図は接触子を用いた探触子のさらに他の構或を例示す
る各々断面説明図、第17図は探触子をトランスデュー
サ群として用いる態様を例示する説明図、第18図は従
来の探触子の構戒を例示する断面説明図である. 1・・・探触子、2・・・ホルダ、5・・・送信用トラ
ンス第4図
Claims (1)
- (1)弾性波を送信する少なくとも1つの送信用トラン
スデューサと、前記弾性波を受信する少なくとも2つの
受信用トランスデューサとをそなえ、前記受信用トラン
スデューサを前記送信用トランスデューサと所定の距離
に配置しかつ前記距離の比を変えないように保持するホ
ルダをそなえた探触子を用いることを特徴とする超音波
探傷法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1160080A JP2613654B2 (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | 超音波探傷法 |
DE1990624412 DE69024412T2 (de) | 1989-06-22 | 1990-05-21 | Ultraschallinspektionsgerät zum Nachweisen von Fehlern in Festkörpern |
EP19900109616 EP0403807B1 (en) | 1989-06-22 | 1990-05-21 | Ultrasonic inspection device for detecting defects in solid objects |
US07/972,067 US5280724A (en) | 1989-06-22 | 1992-11-05 | Ultrasonic inspection method for detecting defects in solid objects |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1160080A JP2613654B2 (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | 超音波探傷法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0324454A true JPH0324454A (ja) | 1991-02-01 |
JP2613654B2 JP2613654B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=15707440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1160080A Expired - Lifetime JP2613654B2 (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | 超音波探傷法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0403807B1 (ja) |
JP (1) | JP2613654B2 (ja) |
DE (1) | DE69024412T2 (ja) |
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- 1989-06-22 JP JP1160080A patent/JP2613654B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-05-21 DE DE1990624412 patent/DE69024412T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-21 EP EP19900109616 patent/EP0403807B1/en not_active Expired - Lifetime
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---|---|
EP0403807A2 (en) | 1990-12-27 |
DE69024412T2 (de) | 1996-08-08 |
DE69024412D1 (de) | 1996-02-08 |
EP0403807A3 (en) | 1991-02-27 |
JP2613654B2 (ja) | 1997-05-28 |
EP0403807B1 (en) | 1995-12-27 |
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