JP2613654B2 - 超音波探傷法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】

（産業上の利用分野） 本発明は、弾性波の送受信用トランスデューサをそな
えた探触子を用いて、材料や構造物の内部に存在する欠
陥を非破壊で検出するのに利用される超音波探傷法に関
し、特に３つ以上のトランスデューサをそなえた探触子
を用いてそのうちの少なくとも１つを送信用として用い
ると共に残りの少なくとも２つ以上を受信用として用
い、２つ以上の受信用トランスデューサでの受信信号を
相互に比較して検査部の良否を判定するのに利用される
非破壊検査方法のうちの超音波探傷法に関するものであ
る。 （従来の技術） 超音波に代表される弾性波を用いた非破壊検査方法で
は、弾性波の送受信にトランスデューサを用いるが、送
受信の形態と使用するトランスデューサの数によって、
透過法，反射法，共振法などの区別がつけられている。
また、見方を変えた区別においては、垂直法，斜角法，
水浸法，板波法，表面波法，透過法，厚さ測定法，超音
波ホログラフィ法，探傷図形法などがある。なお、この
種の超音波探傷法は、例えば、「第３版 鉄鋼便覧 第
IV巻 鉄鋼材料，試験・分析」 昭和56年10月30日 丸
善株式会社発行の第447頁〜第488頁『非破壊試験』に詳
しい説明がなされている。 第18図は従来の超音波探傷法において用いられる探触
子の構造例を示すものであって、この探触子51は、ホル
ダ52と、このホルダ52に設けた絶縁体53と、この絶縁体
53に一端が当接する弾性体54と、前記弾性体54の他端が
当接するトランスデューサ55と、前記トランスデューサ
55とホルダ52との間に介在する緩衝体56と備えており、
トランスデューサ55は前記弾性体54の押圧力によって被
測定物57に押し付けられた状態で使用される。 この従来の超音波探傷法において、トランスデューサ
が１つの場合の測定方法は反射法あるいは共振法が代表
的であり、２つの場合の測定方法は透過法がよく知られ
ている。これらの測定方法は、検出信号の形や、共振周
波数によって各種の情報を得ていることは良く知られて
いる。 しかしながら、これらの場合、信号強度そのものはト
ランスデューサの保持方法に強く影響されるために熟練
が必要であり、積極的には利用されていなかった。した
がって、熟練の度合に影響されない測定方法の開発と、
トランスデューサの保持方法とを見い出すことが要望さ
れていた。 いっぽう、非破壊検査方法の一つとして、特定の周波
数帯の超音波の伝達特性を測定することにより、接着接
合部の接着剤の有無や接着接合力そのものを推定するこ
とができる技術も開発されていた（特開昭63−120252
号）。 （発明が解決しようとする課題） しかしながら、この場合にもトランスデューサの取り
付け方に熟練を要するという課題があった。 （発明の目的） 本発明は、このような従来の測定方法がもつ課題にか
んがみてなされたもので、接着接合部の欠陥を相対的に
評価することが可能であり、しかもトランスデューサの
取り付け方に熟練を必要としない超音波探傷法を提供す
ることを目的としている。

【発明の構成】

（課題を解決するための手段） 本発明に係る超音波探傷法は、弾性波を送信する少な
くとも１つの送信用トランスデューサと、該送信用トラ
ンスデューサを間にして前記弾性波を受信する少なくと
も２つの受信用トランスデューサを同一面内で配置し、
前記少なくとも２つの受信用トランスデューサを前記送
信用トランスデューサと各々所定の距離に配置しかつ前
記各々所定の距離を比を変えないように保持するホルダ
をそなえた探触子を用い、該ホルダを前記送信用トラン
スデューサおよび受信用トランスデューサの配置の面内
方向に走査させ、前記少なくとも２つの受信用トランス
デューサでの受信信号を相互に比較して検査部の探傷を
行う構成としたことを特徴としており、このような超音
波探傷法の構成を前述した従来の課題を解決するための
手段としている。 （発明の作用） 本発明に係る超音波探傷法は上述した構成を有してい
るものであるから、トランスデューサは送信専用のもの
と受信専用のものとに分れることとなるので、兼用する
場合のように切り替えを行う必要がなくなると共に、受
信用トランスデューサは２つ以上の複数からなるものと
してこれら２つ以上の受信用トランスデューサからの受
信信号を相互に比較して検査部の探傷を行うことにより
該検査部の良否を判定するようにしているため、測定に
熟練を必要としなくなるという作用がもたらされる。 （実施例） 第１図は、本発明に係る超音波探傷法の実施に使用す
る探触子の一構成例を示すものであって、この探触子１
は、中央に送信用トランスデューサ保持部2aを有してい
ると共にその両側に受信用トランスデューサ保持部2b,2
cを有するホルダ２と、前記ホルダ２の送信用トランス
デューサ保持部2aに設けた絶縁体３と、この絶縁体３に
一端が当接する弾性体４と、前記弾性体54の他端が当接
する送信用トランスデューサ５と、前記送信用トランス
デューサ５とホルダ２との間に介在する緩衝体６と、前
記一方の受信用トランスデューサ保持部2bに保持される
一方の受信用トランスデューサ７と、この受信用トラン
スデューサ７の位置調整を行うねじ８と、前記他方の受
信用トランスデューサ保持部2cに保持される他方の受信
用トランスデューサ９と、この受信用トランスデューサ
９の位置調整を行うねじ10とをそなえ、前記ホルダ２
は、受信用トランスデューサ7,9を前記送信用トランス
デューサ５に対して各々所定の距離に配置すると共に前
記各々所定の距離の比を変えないように保持するものと
なっている構成を有するものである。 この第１図に示す探触子１においては、説明を簡単な
ものとするために３つのトランスデューサ5,7,9を直線
上に配置し、そして中央のトランスデューサ５を送信用
とし、両側の２個のトランスデューサ7,9を受信用とし
た場合を例にとって示している。 このような構成の探触子１において、送信用トランス
デューサ５が弾性体４により被測定物11に圧接され、受
信用トランスデューサ7,9が被測定物11に当接した状態
において、前記送信用トランスデューサ５が被測定物11
に超音波を入射すると、入射された超音波は被測定物11
中を伝播し、送信用トランスデューサ５からの距離が等
しい２つの受信用トランスデューサ7,9に達する。この
とき、被測定物11が一様であって内部に欠陥を有してい
ないならば、この２つの受信用トランスデューサ7,9か
ら得られる信号は等しい。しかし、どちらかの伝達経路
に欠陥がある場合には、必然的にこの信号は異なったも
のとなる。 第２図はこのような測定例を示すものである。理解の
しやすいものとするため観念的に説明すると、第２図に
おいて、送信用トランスデューサ５の位置をｘとし、２
つの受信用トランスデューサ7,9の位置をx₁,x₂とし、そ
の検出信号をｆ（x₁,）,f（x₂）とし、欠陥部12の位置
をｙとするとき、 ｙ＜x₁＜ｘ＜x₂,x₁＜ｘ＜x₂＜ｙのとき、ｆ（x₁）＝
ｆ（x₂） x₁＜ｙ＜ｘ＜x₂のとき、 ｆ（x₁）＜ｆ（x₂） x₁＜ｘ＜ｙ＜x₂のとき、 ｆ（x₁）＞ｆ（x₂） とすることができる。 実用的には、ｚ＝ｆ（x₁）−ｆ（x₂）を判定基準とし
てｚの正負を調べることで欠陥の有無を調べるが、第２
図（ｄ）に示すように適当なしきい値を定めてその上下
で判定を下すようにするのがよい。 この判定方法の著しい特徴は、送信用トランスデュー
サ５の接触の仕方が異なったり、入射する弾性波の強度
が時間的に異なったりしても、２つの受信用トランスデ
ューサ7,9からの信号を比較する上では問題にならない
ということにある。従って、入射信号の時間波形，強
度，信号の種類に関係していないというメリットが得ら
れる。 第３図に本実施例における測定のブロック図を示す。
発信機15により送り込まれた電子信号は、送信用トラン
スデューサ５を駆動し、被測定物11の検査部に弾性波を
入射する。この弾性波は検査部を伝播した後、受信用ト
ランスデューサ7,9によって電気信号に変えられ、受信
機16へ取り込まれる。この際の受信用トランスデューサ
7,9からの２つの信号は受信機16内のデータ処理ブロッ
クで一方を参照信号としてもう一方のデータを処理し、
この結果にしたがって欠陥部12の有無を表示装置17にお
いて表示する。 本発明に係る超音波探傷法では２つの受信用トランデ
ューサ7,9の接触の良否が相対化されることにより、信
号を直接比較することができるため、受信機16内のデー
タ処理ブロックの内部機械はアナログ処理系であっても
構わない。例えば、RMSメーターのような差動入力回路
で処理できるため、部品点数が少なく信頼性を向上させ
たものとすることができるほか、リアルタイム処理も可
能である。さらに、入射信号はどのような波形でも構わ
ないため、例えば、従来のパルス波形のほか、帯域制限
されたランダムノイズや周波数限定された疑似ランダム
波形を用いることもできる。本測定に用いる弾性波の周
波数範囲は0.1Hzから10MHzの範囲で用いることが望まし
い。 このような３つのトランスデューサ5,7,9を保持する
に際して、被測定物11が平面状をなすものであるなら
ば、第４図に示すように、３つのトランスデューサ5,6,
7を平行にしてホルダ２によって保持するだけでよい。
しかし、実際にはホルダ２の工作精度の問題から３つの
トランスデューサ5,7,9を完全に平行に保持することは
困難であり、仮にできたとしても被測定物11が完全に平
行であるとは限らない。このため、第５図に示すよう
に、両端のトランスデューサ7,9をホルダ２によって固
定保持し、中央のトランスデューサ５を弾性体４を介し
て調整可能にホルダ２によって保持する構成とすること
が実用的であり、さらには第１図に示したように両端の
トランスデューサ7,9はねじ8,10によって位置調整可能
としておくことも可能であり、このようにすることで被
測定物11が平面でない場合にも平面の場合と同様に精度
良く測定することができる。 第６図はさらに他の実施例を示すもので、この実施例
では被測定物を透過法で測定する場合を示し、この場合
にも弾性波を送信する送信用トランスデューサ５と前記
弾性波を受信する２つの受信用トランスデューサを同一
面内で配置し、検出側の２つの受信用トランスデューサ
7,9をホルダ２に固定保持し、入射側の送信用トランス
デューサ５を弾性体およびねじ12を介して調整可能にホ
ルダ２に保持する構成としたものである。 本発明においては、３つのトランスデューサ5,7,9と
被測定物11との接触方法を限定するものではなく、従来
の水，グリス等を用いた湿式接触や、ゴムタイヤなどを
用いた乾式接触においても本発明の効果を享受すること
ができる。 第７図には別のデータ処理ブロックを示す。これは表
示装置17を探触子１のホルダ２に取り付けた場合を示す
ものであって、あらかじめ決定したしきい値に対して測
定部の結果をリアルタイムにOKかNGかでトランスデュー
サホルダ２に表示することができるように、ホルダ２に
表示装置17を設けた場合を示すもので、測定者がトラン
スデューサ5,7,9の保持に専念できるというメリットが
ある。 また、第８図には別のデータ処理ブロックを示す。こ
れは複数のトランスデューサＴに対し同様の処理を行う
ためのデータ処理方式を示すものであって、信号の遅延
回路、アナログマルチプレクサ21、データ処理ブロック
22、マイクロプロセッサ23等を用いた場合の構成を示す
ものである。このように複雑な回路とする理由は、トラ
ンスデューサ群を移動させることなく信号の発信源を次
々に変更し、その発信源に近い最適な３つないしはそれ
以上のトランスデューサ対でデータを解析することがで
きるようにするためである。本データ処理方式では、機
械的なスキャニングによるデータの不安定さを排除でき
るというメリットがある。むろんこの測定例で用いるト
ランスデューサＴは入出力が可能でなければならない
が、これらのうちの１つ以上の何個かを送信専用、残り
の２つ以上を受信専用とすればそれぞれに最適な特性の
トランスデューサＴを用いることができる。 また、第９図にはさらに別のデータ処理ブロックを示
す。これは３つのトランスデューサ5,7,9を用いた場合
の処理方式を示すものであってしかも一方もしくは両方
に信号増幅器によるオフセットを掛けられるようにした
遅延回路24を設けた場合を示すものである。このような
測定方式のメリットは、１つの入射側送信用トランスデ
ューサ５に対し２つの検出側受信用トランスデューサ7,
9を等距離を保てない場合、あるいは測定者が自由に調
整できるようにした場合にあり、基準試験片の上でオフ
セット値を決定すればよい。このような測定回路はトラ
ンスデューサ5,7,9の性能上のばらつきやホルダ２の加
工精度を調整するために有用であり、他の測定回路でも
用いることができる。 このように本発明に係る超音波探傷法は、測定者に熟
練を要しないという利点がある。また、パルス波で測定
する必要がなくなるために発信機15が瞬時的な大出力を
発生する必要がなくなり、測定回路が簡単になる。しか
も、パルス法のように短い周期で測定を繰り返す方法と
は異なり、連続波では安定した信号を出力することがで
きる。また、トランスデューサ5,7,9の役割を送信専用
と受信専用とに区別することによって、測定回路に信号
の切り替えなどが必要なくなる。さらに、実時間測定が
可能であるため、測定時間の短縮等に利点がある。 このような探触子１において、上述した実施例に示し
たように、各トランスデューサ5,7,9を被測定物11に直
接接触させる構成とすることもあるが、トランスデュー
サ５と被測定物（11）との間に高分子材料を設けた構成
の探触子１を用いることも可能である。 すなわち、前述したように、超音波に代表される弾性
波を用いた非破壊検査方法では、弾性波の送受信用にト
ランスデューサ（5,7,9）を用いるが、これらのトラン
スデューサ（5,7,9）と被測定物（11）の接触部との間
には、水，グリス等の液体を用いるのが一般的で、特に
水の場合には被測定物（11）を水槽中に沈めて測定する
ことさえある。しかし、これらの場合には被測定物（1
1）が液体によって汚されてしまうという問題点があっ
た。 そこで、この問題点を最小もしくは皆無にするため、
固体でしかも比較的弾性率の小さい高分子材料を、トラ
ンスデューサ５と被測定物（11）との間に挿入して弾性
波を伝達する方法が考えられる。 しかしながら、この場合には以下に示す問題が発生し
やすい。 第一にトランスデューサ５と高分子材料との間での接
触が不十分なものになりやすく、その結果として弾性波
の伝達が不安定になること、 第二に高分子材料は圧縮永久歪が残りやすく、被測定
物（11）との接触面が塑性変形して接触子としての機能
を失いやすこと、 である。 これらの問題点を解決するためには前記接触子を交換
可能に設計することが最も有効と考えられる。 第10図に示した探触子１は高分子材料からなる接触子
を交換可能とした場合の構成を例示するものである。こ
の第10図に示した探触子１は、ホルダ２と、このホルダ
２に設けた絶縁体３と、この絶縁体３に一端が当接する
弾性体４と、前記弾性体４の他端が当接するトランスデ
ューサ５と、前記トランスデューサ５と被測定物（11）
との間において交換可能に設けられた接触子13と、前記
接触子13とホルダ２との間に介在された緩衝体６とをそ
なえた構成をなすものであり、トランスデューサ５と接
触子13との間には通常グリスなどが接触剤として使われ
る。 このような構成の接触子13を設けた探触子１を用いる
場合の問題は、接触子13とトランスデューサ５との間で
の押し付け圧力が小さいと、接触子13の移動や伝達の不
十分さによって、得られる結果にばらつきが多いという
点であり、逆に押し付け圧力が大きすぎてもばらつきが
なくならないという点であった。 このような不安定さは測定に熟練を要することにな
り、長年の訓練が必要であるという問題になって現われ
る。そこで、本研究者らはこの問題について検討した結
果、トランスデューサ５と接触子13との間で接触子13の
変形によって接触が不十分になり、その結果伝達特性が
不安定になることを見い出した。 すなわち、第10図に示した探触子１において、弾性波
はトランスデューサ５の断面部から接触子13に伝わるた
め、接触子13の断面はトランスデューサ５よりも小さく
はできない。このためにホルダ２はその内側の開口部が
トランスデューサ５の断面より小さくできない。 従って、接触子13は応力歪によって当該接触子13のフ
ランジ部13aを支点にして第11図に示すようにその中央
部がへこむように変形し、このためトランスデューサ５
と接触部13との接触部にすき間14が生じる。この接触部
のすき間14には減圧による空孔等が発生すると考えら
れ、これによって弾性波の伝達が不十分となり、測定結
果がばらつくというように推定された。 この問題を避けるためにホルダ２との接触部がほとん
ど変形しないようにフランジ部13aを厚くすると、高分
子材料は一般に金属に比べて超音波の吸収が大きいため
に伝達効率が低下するという問題が発生する。このた
め、あまり長い形状の接触子13を用いにくいという制約
がある。 そこで、交換可能な接触子13と、前記接触子13を介し
て弾性波を送信する少なくとも１つの送信用トランスデ
ューサ５と、前記接触子13を介して前記弾性波を受信す
る少なくとも２つの受信用トランスデューサ7,9とをそ
なえ、前記受信用トランスデューサ7,9を前記送信用ト
ランスデューサ５と各々所定の距離に配置しかつ前記各
々所定の距離の比を変えないように保持するホルダ２を
そなえた探触子１を用いて超音波探傷を行うに際して、
前記接触子13とホルダ２とがテーパ状に接する構造とし
た探触子１を用いるようになすことも必要に応じて望ま
しいことがわかった。 第12図はこのような必要に応じて望ましい構造を有す
る探触子１を例示するものであって、ホルダ２は緩衝体
６を介して接触子13とテーパ状に接触するものとなって
いる。すなわち、ホルダ２にはテーパ状部2bを設けると
共に接触子13にもテーパ状部13bを設け、これらテーパ
状部2b,13bの間に緩衝体６を介在させた構造としてい
る。 このような構造をなす少なくとも３つのトランスデュ
ーサ５（7,9）を用いて超音波探傷を行うに際し、弾性
体４によりトランスデューサ５は接触子13に押し付けら
れ、その接触子13はホルダ２に押し付けられるが、その
反力によってトランスデューサ５との接触部が第13図に
示すごとく盛り上がるように変形するものと考えられ
る。 このような構成では弾性波が良好に伝達されており、
しかも弾性体４の圧力を大きくしてもその傾向は変わら
ないことが認められた。このような結果は次の様に２つ
の効果がもたらされると考えられる。ひとつは、接触剤
がトランスデューサ５と接触子13との接触面の外縁から
引き込まれ、接触剤が良好に機能する。あるいはもう一
つの現象として、接触込13自体の変形が阻止されている
ことも考えられる。このどちらが正しいのかは今のとこ
ろ判然としないが、少なくとも本実施例の効果は明らか
に上記接触面の大きさとテーパ状部2b,13bの角度に依存
している。 テーパ状部2b,13bの角度は０度を超え90度未満であれ
ば原理的には上述した効果を利用できるが現実的には30
度から60度が望ましい。また本測定に用いる弾性波の周
波数範囲は0.1Hzから10MHzの範囲で用いるのがより望ま
しい。 第14図は他の実施例を示すものであって、この場合の
接触子13はホルダ２の内部に第12図の場合と同様に保持
され、更に全体が外部ホルダ31の内部に配設されて、圧
力調整ねじ32、圧力センサ33および弾性体34を介して被
測定物（11）に押し付けられ、ホルダ２と外部ホルダ31
との間および外部ホルダ31と被測定物（11）との間にそ
れぞれ緩衝体35,36を介在させた構造となっており、圧
力センサ（一般にはロードセル等が用いられる）33によ
り接触子13と被測定物（11）との間にかかる接触面圧を
モニターできるようにしたものである。 このような構造をもつ探触子１はロボットを用いた自
動測定に適しており、接触子13と被測定物（11）との間
にかかる接触面圧を一定に保つことによって良好な再現
性が得られる。この構成の探触子１ではトランスデュー
サ５（7,9）と接触子13、および接触子13と被測定物（1
1）との接触圧力が別々に定められ、測定の自由度を増
すことができる。むろん外部ホルダ31の内側にモーター
などのアクチュエーターを組み込んで人が操作する場合
にも接触面圧を一定にするような構成にすることもでき
る。 第15図には別の構成を有する探触子１を示す。この場
合の乾式接触子13を有する探触子１は、緩衝体６と接す
るテーパ状部2bを有する分割ホルダ2cを別体で形成して
ホルダ２の下端部分にねじ込み固定し、分割ホルダ2cに
設けたテーパ状部2bと接触子13に設けたテーパ状部13b
との間に緩撃体６を介在させると共に、前記ホルダ２の
下端に設けたテーパ状部2dと接触子13に設けた上すぼま
りのテーパ状部13dとを接触させた構造をなすものであ
る。 このような構造の探触子１において、接触子13はその
上下に設けたテーパ状部13d,13bにおいてホルダ2,2cに
設けたテーパ状部2d,2bによって両側から締め付けられ
るようになっているためたわみの発生が少なく、しかも
トランスデューサ5,（7,9）と接触子13との間にかかる
圧力がホルダ２の押し付け圧力に影響されにくいという
特長がある。 このように、第12図ないし第15図に示した構造の探触
子１では、接触子13が交換可能なものとなっているた
め、第16図に示すような例えば減圧吸着式の探触子１と
して用いることも可能である。すなわち、第16図に示す
探触子１は、第12図に示した探触子１の下端側に吸盤36
を取り付け、この吸盤36を被測定物（11）に押し付けた
状態において吸盤36の内部を吸排気管37および吸排気ポ
ンプ38を介して吸排気可能とした構造を有するものであ
る。 このような探触子１はそれらのトランスデューサＴの
群をなす形態として第17図に示す様にフレキシブルアー
ム41により結合してトランスデューサアレイによるバッ
チ式の測定システムとする場合に有効である。 このように、乾式接触子13とホルダ2,2cとの接触面を
それぞれテーパ状とすることにより、超音波の伝達を安
定化させることができる。また、この場合に言う弾性体
４はトランスデューサ５（7,9）を固定するために圧力
を発生させる機能があれば何でもよく、例えばゴム，ば
ね，ねじ等が用いられる。そして、特にねじの場合には
第12図の緩衝体６が弾性体としての機能を持つようにな
すことが望ましい。

【発明の効果】

本発明に係る超音波探傷法は、弾性波を送信する少な
くとも１つの送信用トランスデューサと、該送信用トラ
ンスデューサを間にして前記弾性波を受信する少なくと
も２つの受信用トランスデューサを同一面内で配置し、
前記少なくとも２つの受信用トランスデューサを前記送
信用トランスデューサと各々所定の距離に配置しかつ前
記各々所定の距離の比を変えないように保持するホルダ
をそなえた探触子を用い、該ホルダを前記送信用トラン
スデューサおよび受信用トランスデューサの配置の面内
方向に走査させ、前記少なくとも２つの受信用トランス
デューサでの受信信号を相互に比較して検査部の探傷を
行う構成としたから、少なくとも１つの送信用トランス
デューサより送信した弾性波を少なくとも２つの受信用
トランスデューサにより受信してこれらの受信用トラン
スデューサでの受信信号を相互に比較して検査部の探傷
を行うことにより該検査部の良否を判定することが可能
であるので、被測定物における欠陥を相対的に評価する
ことが可能となり、トランスデューサの取り付けに熟練
を必要とせずして欠陥の発生を精度よく検出することが
可能になり、トランスデューサは送信専用のものと受信
専用のものとに分れるものとしているので、兼用する場
合のように切り替えを行う必要がなくなり、従来のパル
ス波形のほか、連続した弾性波を用いることができるた
め測定回路が簡単になると共に安定した弾性波を出力す
ることが可能になるなどの著しく優れた効果がもたらさ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る超音波探傷法の実施に使用する探
触子の一構成を例示する断面説明図、第２図（ａ）は送
信用トランスデューサおよび受信用トランスデューサな
らびに欠陥部の位置関係を示す説明図、第２図（ｂ）
（ｃ）は２つの受信用トランスデューサの位置x₁,x₂に
おける検出信号ｆ（x₁）,f（x₂）を示す説明図、第２図
（ｄ）は判定基準の要領を示す説明図、第３図は欠陥部
の検出に用いるブロック図を例示する説明図、第４図は
３つのトランスデューサをホルダによって保持する構成
を例示する断面説明図、第５図は３つのトランスデュー
サをホルダによって保持する他の構成を例示する断面説
明図、第６図（ａ）（ｂ）は透過法で測定する場合の探
触子の各々水平断面説明図および垂直断面説明図、第７
図は別のデータ処理ブロックを例示する説明図、第８図
はさらに別のデータ処理ブロックを示す説明図、第９図
はさらに別のデータ処理ブロックを例示する説明図、第
10図は接触子を用いた探触子の構成を例示する断面説明
図、第11図は第10図の探触子における変形態様を例示す
る断面説明図、第12図は接触子を用いた探触子の他の構
成を例示する断面説明図、第13図は第12図の探触子にお
ける変形態様を例示する断面説明図、第14図，第15図お
よび第16図は接触子を用いた探触子のさらに他の構成を
例示する各々断面説明図、第17図は探触子をトランスデ
ューサ群として用いる態様を例示する説明図、第18図は
従来の探触子の構成を例示する断面説明図である。 １……探触子、２……ホルダ、５……送信用トランスデ
ューサ、7,9……受信用用トランスデューサ。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弾性波を送信する少なくとも１つの送信用
   トランスデューサと、該送信用トランスデューサを間に
   して前記弾性波を受信する少なくとも２つの受信用トラ
   ンスデューサを同一面内で配置し、前記少なくとも２つ
   の受信用トランスデューサを前記送信用トランスデュー
   サと各々所定の距離に配置しかつ前記各々所定の距離の
   比を変えないように保持するホルダをそなえた探触子を
   用い、該ホルダを前記送信用トランスデューサおよび受
   信用トランスデューサの配置の面内方向に走査させ、前
   記少なくとも２つの受信用トランスデューサでの受信信
   号を相互に比較して検査部の探傷を行うことを特徴とす
   る超音波探傷法。
2. 【請求項２】弾性波は連続弾性波である請求項１に記載
   の超音波探傷法。