JPH03243010A - 小型水晶振動子 - Google Patents
小型水晶振動子Info
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- JPH03243010A JPH03243010A JP4061890A JP4061890A JPH03243010A JP H03243010 A JPH03243010 A JP H03243010A JP 4061890 A JP4061890 A JP 4061890A JP 4061890 A JP4061890 A JP 4061890A JP H03243010 A JPH03243010 A JP H03243010A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
近年電子機器の小型薄型化と高精度化の要請に応え、そ
の基準信号を発生させる水晶発振器にあって、本発明は
薄型の小型水晶振動子ユニットを提供するものであり、
特にレーザー光により周波数を調整する技術を通用した
小型水晶振動子に関するものである。
の基準信号を発生させる水晶発振器にあって、本発明は
薄型の小型水晶振動子ユニットを提供するものであり、
特にレーザー光により周波数を調整する技術を通用した
小型水晶振動子に関するものである。
本発明は、容器の中に水晶振動子を収容し、容器の透明
部分からレーザー光を入射させて振動子の振動部の錘り
膜の一部を飛散させることによって振動周波数の調整を
行うものであり、その際の金属飛散物を容器内に粉状に
分散させず、容器壁面に固着、保持させることを目的と
し、飛散物が飛散する位置に金属膜を設け、この金属膜
が飛散物を付着させ、保持するようにしたもので、これ
により容器の内部に分散する金属飛散物を極力微少なも
のとすることができる。
部分からレーザー光を入射させて振動子の振動部の錘り
膜の一部を飛散させることによって振動周波数の調整を
行うものであり、その際の金属飛散物を容器内に粉状に
分散させず、容器壁面に固着、保持させることを目的と
し、飛散物が飛散する位置に金属膜を設け、この金属膜
が飛散物を付着させ、保持するようにしたもので、これ
により容器の内部に分散する金属飛散物を極力微少なも
のとすることができる。
第４図の平面図、第５図の断面図に示すように、従来か
らの水晶振動子ユニシトは、振動片１をセラミックケー
ス等の収納容器２の内部に導電性の接着剤等で固定し、
その後、収納容器２と蓋３との間にワッシャー状の半田
材やガラス材等の封止材４をはさんで、それを真空ない
し不活性ガス中の環境内で加熱し、その封止材４を溶融
して両者を接合し、封着している。その際、この状態で
振動子の周波数が狙いの基準値よりもやや低くなるよう
に、金属からなる錘り膜５の形状や膜厚をあらかじめ設
定しておく、そして、錘り膜５に蓋３などの透明部分か
らレーザー光を入射させ、わずかずつ錘り膜５の一部を
飛散させながら振動子の発振周波数を測定し、周波数が
次第に増加して基準値になったらレーザー光をストップ
させることによって周波数を調整していた。しかし、こ
のとき錘り膜５から溶融して飛散した飛散物が容器内に
粉状のまま残留するので、周波数調整後に、機械的振動
等に伴って振動片ｌに再付着し、周波数に狂いを生しさ
せることがあり、この改善が望まれていた。
らの水晶振動子ユニシトは、振動片１をセラミックケー
ス等の収納容器２の内部に導電性の接着剤等で固定し、
その後、収納容器２と蓋３との間にワッシャー状の半田
材やガラス材等の封止材４をはさんで、それを真空ない
し不活性ガス中の環境内で加熱し、その封止材４を溶融
して両者を接合し、封着している。その際、この状態で
振動子の周波数が狙いの基準値よりもやや低くなるよう
に、金属からなる錘り膜５の形状や膜厚をあらかじめ設
定しておく、そして、錘り膜５に蓋３などの透明部分か
らレーザー光を入射させ、わずかずつ錘り膜５の一部を
飛散させながら振動子の発振周波数を測定し、周波数が
次第に増加して基準値になったらレーザー光をストップ
させることによって周波数を調整していた。しかし、こ
のとき錘り膜５から溶融して飛散した飛散物が容器内に
粉状のまま残留するので、周波数調整後に、機械的振動
等に伴って振動片ｌに再付着し、周波数に狂いを生しさ
せることがあり、この改善が望まれていた。
この問題を改善するために、第４図に示し、特開平１−
１２６００８号公報に開示するように錘り膜５に対向し
た底面２”に飛散物を付着させることがなされた、かし
この場合、セラミックよりなる容器の底面２”が付着に
適応した粗面であることが必要であり、この粗面を得る
ことに困難があった。本発明は、当該部分がいかなる表
面であっても付着させることを目的とするものである。
１２６００８号公報に開示するように錘り膜５に対向し
た底面２”に飛散物を付着させることがなされた、かし
この場合、セラミックよりなる容器の底面２”が付着に
適応した粗面であることが必要であり、この粗面を得る
ことに困難があった。本発明は、当該部分がいかなる表
面であっても付着させることを目的とするものである。
上記錘り膜からの飛散物が、振動片に再付着することを
防止するものであり、その特徴として金属飛散物と親和
性の高い金属膜を当該部に設け、この金属膜への飛散物
の付着を利用して問題を解決するものである。
防止するものであり、その特徴として金属飛散物と親和
性の高い金属膜を当該部に設け、この金属膜への飛散物
の付着を利用して問題を解決するものである。
本発明の実施例を、第１図、第２図、第３図で説明する
。第１図は本発明の小型水晶振動子を上方から見た平面
図である。ケースはセラミック等からなる容器で、この
中に設けられた段差上に、導電性接着材等で水晶より加
工された振動片１の基部が固定され、収容されている。
。第１図は本発明の小型水晶振動子を上方から見た平面
図である。ケースはセラミック等からなる容器で、この
中に設けられた段差上に、導電性接着材等で水晶より加
工された振動片１の基部が固定され、収容されている。
振動片１の先端部には周波数調整用の金属よりなる錘り
膜５がめっきやスパッタ等により成膜され、その振動周
波数が最終的に合わせ込まれる基準値よりもやや低くな
るように、予め設定された厚味と面積になっている。そ
して、容器２と１１３の間にワンシャー状の半日または
ガラス等の封止材４をはさんで、真空または窒素などの
不活性ガス雰囲気中で加熱し、その封止材４を溶融させ
て両者を接合させ封着させる。ここで、蓋３は少なくと
も振動片１の先端部の錘り膜５の上方に位置する部分は
透明にしておく、錘り膜５は振動片１に対して振動の負
荷質量として働くが、蓋３の封着後、上方から蓋３を透
過してレーザー光を照射し、錘り膜５の一部を熔融し金
属粉として飛散させれば、この負荷質量が軽くなり、振
動片の周波数を上げることができる。このようにして、
微少量ずつ錘り膜５を飛散させては周波数を測定するこ
とを何回か繰り返すことによって、振動片１の周波数を
所定の基準値に合わせ込むことができる０以上は従来の
技術と同様であるが、本発明では容器２の内側底面２゛
の位置に、飛散した金属粉を付着させ、それを保持する
ための金属膜６がある。
膜５がめっきやスパッタ等により成膜され、その振動周
波数が最終的に合わせ込まれる基準値よりもやや低くな
るように、予め設定された厚味と面積になっている。そ
して、容器２と１１３の間にワンシャー状の半日または
ガラス等の封止材４をはさんで、真空または窒素などの
不活性ガス雰囲気中で加熱し、その封止材４を溶融させ
て両者を接合させ封着させる。ここで、蓋３は少なくと
も振動片１の先端部の錘り膜５の上方に位置する部分は
透明にしておく、錘り膜５は振動片１に対して振動の負
荷質量として働くが、蓋３の封着後、上方から蓋３を透
過してレーザー光を照射し、錘り膜５の一部を熔融し金
属粉として飛散させれば、この負荷質量が軽くなり、振
動片の周波数を上げることができる。このようにして、
微少量ずつ錘り膜５を飛散させては周波数を測定するこ
とを何回か繰り返すことによって、振動片１の周波数を
所定の基準値に合わせ込むことができる０以上は従来の
技術と同様であるが、本発明では容器２の内側底面２゛
の位置に、飛散した金属粉を付着させ、それを保持する
ための金属膜６がある。
第１図では、この金属膜は長方形の１枚の膜として措か
れているが、２つに分離しても良いし、円形や楕円形で
も良い、また、その他の形状でも差し支えない、要点は
、飛散した金属粉を揺られることのできる位置と面積と
形状であれば、充分に本発明の機能と目的を達成するも
のであり、金属膜６の材質は、飛着の対象となる錘り膜
５の材質との親和性を考慮して適当に選択すればよい。
れているが、２つに分離しても良いし、円形や楕円形で
も良い、また、その他の形状でも差し支えない、要点は
、飛散した金属粉を揺られることのできる位置と面積と
形状であれば、充分に本発明の機能と目的を達成するも
のであり、金属膜６の材質は、飛着の対象となる錘り膜
５の材質との親和性を考慮して適当に選択すればよい。
このように・金属粉保持用の膜を設けておくと、第３図
の断面図に示すように、レーザー光りを錘り膜５に照射
した際に飛散する金属粉７が容器内に分散されず、丁度
金属膜６の上にスパッタされたように固着、保持される
ので、周波数調整後に・仮に機械的振動を受けても、振
動片１に再付着したすせず、周波数安定度の高い振動子
を得ることができる。
の断面図に示すように、レーザー光りを錘り膜５に照射
した際に飛散する金属粉７が容器内に分散されず、丁度
金属膜６の上にスパッタされたように固着、保持される
ので、周波数調整後に・仮に機械的振動を受けても、振
動片１に再付着したすせず、周波数安定度の高い振動子
を得ることができる。
なお、ここでは蓋側からレーザー光を照射する場合での
実施例を述べたが、容器の底面を透明にし、金属膜６を
蓋３の上に設け、錘り膜５も蓋３に面する側に成膜させ
ておけば、容器側からレーザー光を照射させて同様の効
果を得ることができる。
実施例を述べたが、容器の底面を透明にし、金属膜６を
蓋３の上に設け、錘り膜５も蓋３に面する側に成膜させ
ておけば、容器側からレーザー光を照射させて同様の効
果を得ることができる。
以上説明したように、本発明は周波数調整の際に生しる
金属粉飛散物を容器内に分散させず、さらに容器の底面
を面倒な粗面にすることもな（、簡単な金属膜に飛差膜
を強固に保持し、振動片に再付着することを防止するの
で、機械的振動を受けても周波数変化の少ない、周波数
安定度の高い水晶振動子が得られる。
金属粉飛散物を容器内に分散させず、さらに容器の底面
を面倒な粗面にすることもな（、簡単な金属膜に飛差膜
を強固に保持し、振動片に再付着することを防止するの
で、機械的振動を受けても周波数変化の少ない、周波数
安定度の高い水晶振動子が得られる。
第１図は本発明の小型水晶振動子ユニットの平面図、第
２図は本発明を側面から見た断面図、第３図は本発明の
実施例を側面から見て、その原理を説明する断面図、第
４図は従来の小型水晶振動子ユニットの平面図、第５図
はその側面方向からの断面図である。 ■・・・振動片 ２・・・容器 ３・・・蓋 ４・・・封止材 ５・・・錘り膜 ６・・・金属膜 ７・・・金属粉
２図は本発明を側面から見た断面図、第３図は本発明の
実施例を側面から見て、その原理を説明する断面図、第
４図は従来の小型水晶振動子ユニットの平面図、第５図
はその側面方向からの断面図である。 ■・・・振動片 ２・・・容器 ３・・・蓋 ４・・・封止材 ５・・・錘り膜 ６・・・金属膜 ７・・・金属粉
Claims (1)
- 容器の中に水晶振動子を収容し、前記容器の透明部分か
らレーザー光を入射させて前記水晶振動子の振動部の錘
り膜の一部を飛散させることにより、振動周波数の調整
ができる構造を備えたものにおいて、飛散物が飛散する
位置に前記飛散物を付着させて保持するための金属膜を
設けたことを特徴とする小型水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061890A JPH03243010A (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 小型水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061890A JPH03243010A (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 小型水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03243010A true JPH03243010A (ja) | 1991-10-30 |
Family
ID=12585519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4061890A Pending JPH03243010A (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 小型水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03243010A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167377A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-02 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージ |
| JP2003273700A (ja) | 2002-01-11 | 2003-09-26 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶発振器と水晶発振器の製造方法 |
| US6960870B2 (en) | 1997-07-29 | 2005-11-01 | Seiko Epson Corporation | Piezo-electric resonator and manufacturing method thereof |
| US6976295B2 (en) | 1997-07-29 | 2005-12-20 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a piezoelectric device |
| US7429814B2 (en) | 2001-10-31 | 2008-09-30 | Seiko Epson Corporation | Apparatus and methods for manufacturing a piezoelectric resonator device |
| JP2010118784A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 |
| US9255802B2 (en) | 2013-12-27 | 2016-02-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, physical quantity sensor, mobile object, and frequency adjustment method of resonator element |
| JP2017011675A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型水晶素子及びそれを用いた水晶デバイス |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP4061890A patent/JPH03243010A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167377A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-02 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージ |
| US6960870B2 (en) | 1997-07-29 | 2005-11-01 | Seiko Epson Corporation | Piezo-electric resonator and manufacturing method thereof |
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| JP2003273700A (ja) | 2002-01-11 | 2003-09-26 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶発振器と水晶発振器の製造方法 |
| JP2010118784A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 |
| US7984536B2 (en) | 2008-11-11 | 2011-07-26 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Method of manufacturing a piezoelectric resonator |
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| JP2017011675A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型水晶素子及びそれを用いた水晶デバイス |
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