JPH0323864B2 - - Google Patents
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- JPH0323864B2 JPH0323864B2 JP56193731A JP19373181A JPH0323864B2 JP H0323864 B2 JPH0323864 B2 JP H0323864B2 JP 56193731 A JP56193731 A JP 56193731A JP 19373181 A JP19373181 A JP 19373181A JP H0323864 B2 JPH0323864 B2 JP H0323864B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/16—Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、音響レンズ内における超音波の多重
反射を抑制するようにした超音波顕微鏡用トラン
スジユーサに関するものである。
反射を抑制するようにした超音波顕微鏡用トラン
スジユーサに関するものである。
第１図は、従来の超音波顕微鏡の構成の一例を
示すブロツク線図である。同図において、１はバ
ースト波状の高周波パルス信号を発生する高周波
パルス発生器、２はサーキユレータ、３はそのサ
ーキユレータ２を介して前記高周波パルス発生器
１から供給される高周波パルス信号を超音波に変
換する圧電トランスジユーサ、４は例えばサフア
イヤによつて形成した音響レンズであつて、試料
５に対向する端部の円錐状部の頂部が球凹面に形
成されており、他端側には前記圧電トランスジユ
ーサ３が取り付けられ、これらの圧電トランスジ
ユーサ３および音響レンズ４によりトランスジユ
ーサが構成されている。６はＸ−Ｙ走査機構７に
よつてＸ−Ｙ方向に駆動される試料台であつて、
試料５がその上に載置されて、前記音響レンズ４
に対し二次元的に走査駆動されるようになつてい
る。また８は音響レンズ４と試料５間に満たされ
た超音波伝達媒体例えば水である。９は前記Ｘ−
Ｙ走査機構を制御するための制御装置であり、同
時に試料５からの所定の反射波に対応した圧電ト
ランスジユーサからの電気信号のみを取り出すた
めのゲート回路１０及びブランキング回路１６に
供給する所定のタイミングの制御信号をも発生さ
せている。
示すブロツク線図である。同図において、１はバ
ースト波状の高周波パルス信号を発生する高周波
パルス発生器、２はサーキユレータ、３はそのサ
ーキユレータ２を介して前記高周波パルス発生器
１から供給される高周波パルス信号を超音波に変
換する圧電トランスジユーサ、４は例えばサフア
イヤによつて形成した音響レンズであつて、試料
５に対向する端部の円錐状部の頂部が球凹面に形
成されており、他端側には前記圧電トランスジユ
ーサ３が取り付けられ、これらの圧電トランスジ
ユーサ３および音響レンズ４によりトランスジユ
ーサが構成されている。６はＸ−Ｙ走査機構７に
よつてＸ−Ｙ方向に駆動される試料台であつて、
試料５がその上に載置されて、前記音響レンズ４
に対し二次元的に走査駆動されるようになつてい
る。また８は音響レンズ４と試料５間に満たされ
た超音波伝達媒体例えば水である。９は前記Ｘ−
Ｙ走査機構を制御するための制御装置であり、同
時に試料５からの所定の反射波に対応した圧電ト
ランスジユーサからの電気信号のみを取り出すた
めのゲート回路１０及びブランキング回路１６に
供給する所定のタイミングの制御信号をも発生さ
せている。
すなわち、圧電トランスジユーサ３から発生し
た超音波は、サフアイヤによつて形成した音響レ
ンズ４内で平面波に変換され、その音響レンズの
下端の球凹面部から水８を伝播して試料５に放射
される。試料５からの反射超音波は、再び水８を
介して前記球凹面部から音響レンズ４内に再入射
し、圧電トランスジユーサ３により電気信号に変
換されて、サーキユレータ２を介し前記ゲート回
路１０に加わる。そのゲート回路１０には、前記
制御回路９から、所望の超音波反射信号に対応し
た圧電トランスジユーサ３からの反射波電気信号
（以下「反射信号」という。）のタイミングで制御
信号が送られ、ここで試料５からの正しい所定の
タイミングの反射信号のみが取り出される。
た超音波は、サフアイヤによつて形成した音響レ
ンズ４内で平面波に変換され、その音響レンズの
下端の球凹面部から水８を伝播して試料５に放射
される。試料５からの反射超音波は、再び水８を
介して前記球凹面部から音響レンズ４内に再入射
し、圧電トランスジユーサ３により電気信号に変
換されて、サーキユレータ２を介し前記ゲート回
路１０に加わる。そのゲート回路１０には、前記
制御回路９から、所望の超音波反射信号に対応し
た圧電トランスジユーサ３からの反射波電気信号
（以下「反射信号」という。）のタイミングで制御
信号が送られ、ここで試料５からの正しい所定の
タイミングの反射信号のみが取り出される。
この反射信号は、高周波増幅回路１１により増
幅した後混合回路１２に導かれ、局部発振回路１
３からの局部発振周波数信号と混合して中間周波
数信号に変換し、中間周波増幅回路１４を介して
検波回路１５に導いて検波した後、ブランキング
回路１６によつて、前記制御回路９から加えられ
た所定のタイミングを有する制御信号により試料
７の極く近傍からの反射信号のみを取り出し、こ
れをピーク検波回路１７によつてピーク検波す
る。
幅した後混合回路１２に導かれ、局部発振回路１
３からの局部発振周波数信号と混合して中間周波
数信号に変換し、中間周波増幅回路１４を介して
検波回路１５に導いて検波した後、ブランキング
回路１６によつて、前記制御回路９から加えられ
た所定のタイミングを有する制御信号により試料
７の極く近傍からの反射信号のみを取り出し、こ
れをピーク検波回路１７によつてピーク検波す
る。
このようにして得られた検波出力信号を順次ス
キヤンコンバータ１８に導いてテレビジヨン信号
に変換し、これを輝度信号にしてテレビジヨン画
像モニタ１９上に画像表示するようにしている。
キヤンコンバータ１８に導いてテレビジヨン信号
に変換し、これを輝度信号にしてテレビジヨン画
像モニタ１９上に画像表示するようにしている。
すなわち、スキヤンコンバータ１８において
は、ピーク検波回路１７からの検波出力信号を一
時記憶し、前記Ｘ−Ｙ走査機構７による走査周期
に同期するように構成したＸ偏向信号発生回路２
０、及びＹ偏向信号発生回路２１からの各偏向用
同期信号によつて、前記一時記憶した前記検波信
号をテレビジヨン走査周期で読み出し、この読み
出した信号に前記ＸおよびＹ偏向信号発生回路２
０，２１からの各同期信号を付加して複合テレビ
ジヨン信号とし、これをテレビジヨン画像モニタ
１９に供給することにより、試料５の超音波画像
を得るようにしている。
は、ピーク検波回路１７からの検波出力信号を一
時記憶し、前記Ｘ−Ｙ走査機構７による走査周期
に同期するように構成したＸ偏向信号発生回路２
０、及びＹ偏向信号発生回路２１からの各偏向用
同期信号によつて、前記一時記憶した前記検波信
号をテレビジヨン走査周期で読み出し、この読み
出した信号に前記ＸおよびＹ偏向信号発生回路２
０，２１からの各同期信号を付加して複合テレビ
ジヨン信号とし、これをテレビジヨン画像モニタ
１９に供給することにより、試料５の超音波画像
を得るようにしている。
しかしながら、上述の如き構成の超音波顕微鏡
において、試料５からの反射信号を得る前に、音
響レンズ４における下端球凹面部の球面によつて
直接反射して圧電トランスジユーサ３に入射する
反射波信号が、また、前記試料５からの反射信号
の前後には多重反射信号がそれぞれ検出される。
第２図は、音響レンズ４内における反射波の様子
を示したものである。すなわち、音響レンズ４内
においては、下端球面によつて反射し直接圧電ト
ランスジユーサ３に入射する反射波P1のほか、
下端球面より当該音響レンズ４の壁面方向に進む
反射波P2，P3等が発生し、これが多重反射して
圧電トランスジユーサ３に入射し、反射信号とし
て検出されることになる。特に試料５からの反射
波が超音波伝達媒体８を経て音響レンズ４に再入
射し圧電トランスジユーサ３に達する時刻に前述
のような多重反射による反射波が圧電トランスジ
ユーサ３に達して、試料５からの反射波を妨害す
ることがあり、それがため従来の音響レンズでは
正確な試料からの反射波のみを反射信号として取
り出しにくい欠点がある。
において、試料５からの反射信号を得る前に、音
響レンズ４における下端球凹面部の球面によつて
直接反射して圧電トランスジユーサ３に入射する
反射波信号が、また、前記試料５からの反射信号
の前後には多重反射信号がそれぞれ検出される。
第２図は、音響レンズ４内における反射波の様子
を示したものである。すなわち、音響レンズ４内
においては、下端球面によつて反射し直接圧電ト
ランスジユーサ３に入射する反射波P1のほか、
下端球面より当該音響レンズ４の壁面方向に進む
反射波P2，P3等が発生し、これが多重反射して
圧電トランスジユーサ３に入射し、反射信号とし
て検出されることになる。特に試料５からの反射
波が超音波伝達媒体８を経て音響レンズ４に再入
射し圧電トランスジユーサ３に達する時刻に前述
のような多重反射による反射波が圧電トランスジ
ユーサ３に達して、試料５からの反射波を妨害す
ることがあり、それがため従来の音響レンズでは
正確な試料からの反射波のみを反射信号として取
り出しにくい欠点がある。
第３図は、横軸に時間ｔを、また縦軸に電圧Ｖ
をとつて、サーキユレータ２から得られる各種の
反射信号の分布の様子を示したもので、Ｐは高周
波パルス発生器１のサーキユレータ２からの洩れ
信号、P0は試料５からの所望の反射信号、P1は
音響レンズ４の下端球面による直接の反射信号及
びP2，P3は、試料５からの所望の反射信号P0の
周辺に発生する多重反射波によるノイズ成分であ
る。
をとつて、サーキユレータ２から得られる各種の
反射信号の分布の様子を示したもので、Ｐは高周
波パルス発生器１のサーキユレータ２からの洩れ
信号、P0は試料５からの所望の反射信号、P1は
音響レンズ４の下端球面による直接の反射信号及
びP2，P3は、試料５からの所望の反射信号P0の
周辺に発生する多重反射波によるノイズ成分であ
る。
本発明の目的は、上述の如きノイズ成分となる
多重反射波の発生を抑制し得る超音波顕微鏡用ト
ランスジユーサを提供せんとするものである。
多重反射波の発生を抑制し得る超音波顕微鏡用ト
ランスジユーサを提供せんとするものである。
本発明は、音響レンズとこの音響レンズの一端
面に取り付けた圧電トランスジユーサとを有する
超音波顕微鏡用トランスジユーサにおいて、前記
圧電トランスジユーサで発生した超音波が前記音
響レンズ内で反射して前記圧電トランスジユーサ
に戻らないように、前記音響レンズの外周面に当
該音響レンズの音響インピーダンスに比較的近い
音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大
きい物質を被着したことを特徴とするものであ
る。
面に取り付けた圧電トランスジユーサとを有する
超音波顕微鏡用トランスジユーサにおいて、前記
圧電トランスジユーサで発生した超音波が前記音
響レンズ内で反射して前記圧電トランスジユーサ
に戻らないように、前記音響レンズの外周面に当
該音響レンズの音響インピーダンスに比較的近い
音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大
きい物質を被着したことを特徴とするものであ
る。
以下本発明の一実施例について詳細に説明す
る。
る。
第４図は、本発明の超音波顕微鏡用トランスジ
ユーサの一実施例の構成を断面図で示したもので
ある。同図において、２２はトランスジユーサ
で、例えば従来のものと同様にサフアイヤによつ
て形成した音響レンズ２３の外周面に、該音響レ
ンズ２３の音響インピーダンスに比較的近い音響
インピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大きい
物質、例えばゲルマニウム（Ge）を、圧電トラ
ンスジユーサ３が取り付けられる電極部分２４及
び音場媒体例えば水８と接する下端の球凹面部分
２５を除いて被着し、ゲルマニウム被着層２６を
施したものである。なお、ゲルマニウム（Ge）
被着層２６は、真空蒸着法、あるいはＣ，Ｖ，Ｄ
法、またはスパツタリング等任意の方法で形成す
ればよい。
ユーサの一実施例の構成を断面図で示したもので
ある。同図において、２２はトランスジユーサ
で、例えば従来のものと同様にサフアイヤによつ
て形成した音響レンズ２３の外周面に、該音響レ
ンズ２３の音響インピーダンスに比較的近い音響
インピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大きい
物質、例えばゲルマニウム（Ge）を、圧電トラ
ンスジユーサ３が取り付けられる電極部分２４及
び音場媒体例えば水８と接する下端の球凹面部分
２５を除いて被着し、ゲルマニウム被着層２６を
施したものである。なお、ゲルマニウム（Ge）
被着層２６は、真空蒸着法、あるいはＣ，Ｖ，Ｄ
法、またはスパツタリング等任意の方法で形成す
ればよい。
このように構成したトランスジユーサにおい
て、圧電トランスジユーサ３に加えられた高周波
パルス発生器１からの高周波励振電圧は、超音波
に交換され、平面波となつて音響レンズ２３であ
るサフアイヤ内を球凹面２５に向つて伝播し、こ
の球凹面２５により球面波に変換されて試料５に
向い水８の中を伝播する。
て、圧電トランスジユーサ３に加えられた高周波
パルス発生器１からの高周波励振電圧は、超音波
に交換され、平面波となつて音響レンズ２３であ
るサフアイヤ内を球凹面２５に向つて伝播し、こ
の球凹面２５により球面波に変換されて試料５に
向い水８の中を伝播する。
一方、音響レンズ２３の下端球凹面部２５の球
面に到達した平面波の一部は、その球面によつて
反射して図示のように音響レンズ２３内に戻り、
側壁に衝突する。音響レンズ２３の外周面は、さ
きに記述したように音響レンズ２３の形成物質で
あるサフアイヤと比較的近い音響インピーダンス
を有し、かつ超音波吸収の大きいゲルマニウムに
よつて被着層２６が施されているので、側壁に衝
突した前記球面による反射波はその被着層２６に
よつて大きく吸収され、再反射は極めて少なくな
る。このような再反射の繰り返すごとに大きく吸
収されて従来ノイズ成分として検出されていた不
要反射波は十分抑制されることとなる。
面に到達した平面波の一部は、その球面によつて
反射して図示のように音響レンズ２３内に戻り、
側壁に衝突する。音響レンズ２３の外周面は、さ
きに記述したように音響レンズ２３の形成物質で
あるサフアイヤと比較的近い音響インピーダンス
を有し、かつ超音波吸収の大きいゲルマニウムに
よつて被着層２６が施されているので、側壁に衝
突した前記球面による反射波はその被着層２６に
よつて大きく吸収され、再反射は極めて少なくな
る。このような再反射の繰り返すごとに大きく吸
収されて従来ノイズ成分として検出されていた不
要反射波は十分抑制されることとなる。
例えば超音波の反射について、超音波が第１媒
質から第２媒質に向つて入射したとすると、強さ
の反射率RIは垂直入射のとき、 RI＝（Z1−Z2／Z1＋Z2）2 で与えられる。ただし、Z1は第１媒質の音響イン
ピーダンス、Z2は第２媒質の音響インピーダンス
である。また、媒質の音響インピーダンスＺは、 Ｚ＝ρC で与えられる。ただしρは媒質の密度、Ｃは媒質
中の音速である。
質から第２媒質に向つて入射したとすると、強さ
の反射率RIは垂直入射のとき、 RI＝（Z1−Z2／Z1＋Z2）2 で与えられる。ただし、Z1は第１媒質の音響イン
ピーダンス、Z2は第２媒質の音響インピーダンス
である。また、媒質の音響インピーダンスＺは、 Ｚ＝ρC で与えられる。ただしρは媒質の密度、Ｃは媒質
中の音速である。
上記与式よりZ1＝Z2であれば超音波の垂直入射
の反射は０となる。従つて音響レンズを形成する
物質の音響インピーダンスと比較的近い音響イン
ピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大きな物質
によつて、前記音響レンズを被覆した構成のもの
においては、音響レンズ内の側壁内に入射する音
響レンズ下端球面からの不要反射波を十分吸収し
得ることとなる。
の反射は０となる。従つて音響レンズを形成する
物質の音響インピーダンスと比較的近い音響イン
ピーダンスを有し、かつ超音波吸収の大きな物質
によつて、前記音響レンズを被覆した構成のもの
においては、音響レンズ内の側壁内に入射する音
響レンズ下端球面からの不要反射波を十分吸収し
得ることとなる。
例えば前述のようにサフアイヤによつて形成し
た音響レンズ２３の周囲をゲルマニウム（Ge）
での被着層２６で被覆した場合、縦波についてサ
フアイヤの音響インピーダンスZ1は、およそ4.45
×106（ｇ／sec・cm2）であり、ゲルマニウム
（Ge）の音響インピーダンスZ2は、〔110〕方向に
伝播する縦波についておよそ2.87×106（ｇ／
sec・cm2）（25℃）であるから、サフアイヤとゲル
マニウムについて、垂直入射の反射率RIは、 RI＝ （4.45×106−2.87×106／4.45×106＋2.87×106）2＝4
.66×10-2 である。
た音響レンズ２３の周囲をゲルマニウム（Ge）
での被着層２６で被覆した場合、縦波についてサ
フアイヤの音響インピーダンスZ1は、およそ4.45
×106（ｇ／sec・cm2）であり、ゲルマニウム
（Ge）の音響インピーダンスZ2は、〔110〕方向に
伝播する縦波についておよそ2.87×106（ｇ／
sec・cm2）（25℃）であるから、サフアイヤとゲル
マニウムについて、垂直入射の反射率RIは、 RI＝ （4.45×106−2.87×106／4.45×106＋2.87×106）2＝4
.66×10-2 である。
これに対し、サフアイヤのみによつて構成した
従来の音響レンズでは、空気の音響インピーダン
スは20℃のとき、4.44×101（ｇ／sec・cm2）であ
るから、サフアイヤと空気の垂直入射の反射率
RIは、 RI＝ （4.45×106−4.44×101／4.45×106＋4.44×101）2≒
１ となり、空気とサフアイヤの間では、ほぼ100％
近く反射する。すなわち、サフアイヤで構成した
音響レンズ内で発生する不要な反射波は、殆んど
総てサフアイヤ内に戻つてきて、これがノイズ成
分として検出されることになり、これが試料５か
らの正しい反射信号の検出を妨害していたが、本
発明の上記実施例のように、サフアイヤからなる
音響レンズ２３の周囲にゲルマニウム被着層２６
を施したものにおいては、垂直入射の場合4.7％
程度の反射率となる。
従来の音響レンズでは、空気の音響インピーダン
スは20℃のとき、4.44×101（ｇ／sec・cm2）であ
るから、サフアイヤと空気の垂直入射の反射率
RIは、 RI＝ （4.45×106−4.44×101／4.45×106＋4.44×101）2≒
１ となり、空気とサフアイヤの間では、ほぼ100％
近く反射する。すなわち、サフアイヤで構成した
音響レンズ内で発生する不要な反射波は、殆んど
総てサフアイヤ内に戻つてきて、これがノイズ成
分として検出されることになり、これが試料５か
らの正しい反射信号の検出を妨害していたが、本
発明の上記実施例のように、サフアイヤからなる
音響レンズ２３の周囲にゲルマニウム被着層２６
を施したものにおいては、垂直入射の場合4.7％
程度の反射率となる。
第５図は、ゲルマニウム（Ge）のほか、各種
物質の縦波についての超音波吸収特性をそれぞれ
示したものである。超音波顕微鏡で使用する周波
数においては、ゲルマニウム（Ge）の超音波吸
収が他の物質に比べかなり大きいことがわかる。
物質の縦波についての超音波吸収特性をそれぞれ
示したものである。超音波顕微鏡で使用する周波
数においては、ゲルマニウム（Ge）の超音波吸
収が他の物質に比べかなり大きいことがわかる。
以上のように本発明によれば、極めて簡単な構
成により、音響レンズ内における不要の反射波を
吸収し得てノイズ成分となる反射波の圧電トラン
スジユーサへの入射を抑制することができるの
で、それらの不要の反射波の影響をそれ程受ける
ことなく、試料からの正しい反射波を取り出し得
る効果があり、超音波顕微鏡の精度向上に大きく
寄与し得る。
成により、音響レンズ内における不要の反射波を
吸収し得てノイズ成分となる反射波の圧電トラン
スジユーサへの入射を抑制することができるの
で、それらの不要の反射波の影響をそれ程受ける
ことなく、試料からの正しい反射波を取り出し得
る効果があり、超音波顕微鏡の精度向上に大きく
寄与し得る。
第１図は、従来の超音波顕微鏡の構成の一例を
示すブロツク線図、第２図は、従来の超音波顕微
鏡用トランスジユーサの構成図、第３図は、従来
の超音波顕微鏡用トランスジユーサを用いた場合
に得られるサーキユレータの出力波形図、第４図
は、本発明の一実施例の構成図、第５図は、ゲル
マニウム（Ge）の超音波吸収特性を他の物質の
それと対比して示す特性図。 １……高周波パルス発生器、２……サーキユレ
ータ、３……圧電トランスジユーサ、４……音響
レンズ、５……試料、６……試料台、７……Ｘ−
Ｙ走査機構、８……水、９……制御回路、１０…
…ゲート回路、１１……高周波増幅回路、１２…
…混合回路、１３……局部発振器、１４……中間
周波増幅器、１５……検波回路、１６……ブラン
キング回路、１７……ピーク検波回路、１８……
スキヤンコンバータ、１９……テレビジヨン画像
モニタ、２０……Ｘ偏向信号発生回路、２１……
Ｙ偏向信号発生回路、２２……トランスジユー
サ、２３……サフアイヤにより形成した音響レン
ズ、２４……電極部、２５……球面部、２６……
ゲルマニウム被着層。
示すブロツク線図、第２図は、従来の超音波顕微
鏡用トランスジユーサの構成図、第３図は、従来
の超音波顕微鏡用トランスジユーサを用いた場合
に得られるサーキユレータの出力波形図、第４図
は、本発明の一実施例の構成図、第５図は、ゲル
マニウム（Ge）の超音波吸収特性を他の物質の
それと対比して示す特性図。 １……高周波パルス発生器、２……サーキユレ
ータ、３……圧電トランスジユーサ、４……音響
レンズ、５……試料、６……試料台、７……Ｘ−
Ｙ走査機構、８……水、９……制御回路、１０…
…ゲート回路、１１……高周波増幅回路、１２…
…混合回路、１３……局部発振器、１４……中間
周波増幅器、１５……検波回路、１６……ブラン
キング回路、１７……ピーク検波回路、１８……
スキヤンコンバータ、１９……テレビジヨン画像
モニタ、２０……Ｘ偏向信号発生回路、２１……
Ｙ偏向信号発生回路、２２……トランスジユー
サ、２３……サフアイヤにより形成した音響レン
ズ、２４……電極部、２５……球面部、２６……
ゲルマニウム被着層。
Claims (1)
- １ 一端部を球凹面に形成した音響レンズとこの
音響レンズの他端部に取り付けた圧電トランスジ
ユーサを有する超音波顕微鏡用トランスジユーサ
において、前記圧電トランスジユーサで発生した
超音波が前記音響レンズ内で反射して前記圧電ト
ランスジユーサに戻らないように、前記音響レン
ズの外周面に当該音響レンズの音響インピーダン
スに比較的近い音響インピーダンスを有し、かつ
超音波吸収の大きい物質を被着したことを特徴と
する超音波顕微鏡用トランスジユーサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193731A JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193731A JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896248A JPS5896248A (ja) | 1983-06-08 |
| JPH0323864B2 true JPH0323864B2 (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=16312865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56193731A Granted JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896248A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190048A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Junkosha Co Ltd | 漏液検知センサ |
| JPS62133946A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-17 | 松下電器産業株式会社 | 皮膚科用超音波送受波器 |
| RU2715913C1 (ru) * | 2019-05-13 | 2020-03-04 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки федеральный исследовательский центр " Якутский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Ультразвуковой наклонный преобразователь для измерения скорости распространения акустических волн в стальных прокатных изделиях при определении параметров механических свойств, характеризующих хладостойкость |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5268492A (en) * | 1975-12-01 | 1977-06-07 | Hoffmann La Roche | Method and system for forming image by suersonic waves |
| JPS5627646A (en) * | 1979-08-15 | 1981-03-18 | Hitachi Ltd | Sound wave probe |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP56193731A patent/JPS5896248A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5268492A (en) * | 1975-12-01 | 1977-06-07 | Hoffmann La Roche | Method and system for forming image by suersonic waves |
| JPS5627646A (en) * | 1979-08-15 | 1981-03-18 | Hitachi Ltd | Sound wave probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5896248A (ja) | 1983-06-08 |
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