JPS5896248A - 超音波顕微鏡用音響レンズ - Google Patents
超音波顕微鏡用音響レンズInfo
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- JPS5896248A JPS5896248A JP56193731A JP19373181A JPS5896248A JP S5896248 A JPS5896248 A JP S5896248A JP 56193731 A JP56193731 A JP 56193731A JP 19373181 A JP19373181 A JP 19373181A JP S5896248 A JPS5896248 A JP S5896248A
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- JP
- Japan
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- acoustic lens
- lens
- ultrasonic
- reflected
- spherical
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-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/16—Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、音響レンズ内における超音波の多重反射を抑
制するようにした超音波顕微鏡用音響レンズに関する１
のである。
制するようにした超音波顕微鏡用音響レンズに関する１
のである。
第１図は、従来の超音波顕微鏡の構成の一例を示すブロ
ック８図である。同図において、ｌはバースト波状の高
周波パルス信号を発生する高周波パルス発生器、コはサ
ーキュレータ、３はそのサーキュレータコを介して前記
高周波パルス発生器ｌから供給される高８波パルス信号
を超音波に変換する圧電トランスジューサ、ｑは例えば
サファイヤによって形成した音響レンズであって、試料
３に対向する端部の円錐状部の頂部が球凹面に形成され
ており、他端側には前記圧電トランスジューサ３゛が取
り付けられている。≦はＸ−Ｙ走査機構７によって！／
−Ｙ方向に駆動される試料台であって、試％ｊがその上
に載置されて、前記音響レンズ内に対し二次元的に走査
駆動されるようになっている。宜たｒは音響レンズｑと
試？ｌＦ！間に満たされた超音波伝達媒体例えば水であ
る・デは前記Ｘ−Ｙ走査機構を制御するための制御装置
であり、同時に試料ｊからの所定の反射波に対応した圧
電トランスジューサからの電気信号のみを取り出すため
のゲート回路／θ及びブランキング回路／ｌに供給÷Ｍ
−をも発生させている。
ック８図である。同図において、ｌはバースト波状の高
周波パルス信号を発生する高周波パルス発生器、コはサ
ーキュレータ、３はそのサーキュレータコを介して前記
高周波パルス発生器ｌから供給される高８波パルス信号
を超音波に変換する圧電トランスジューサ、ｑは例えば
サファイヤによって形成した音響レンズであって、試料
３に対向する端部の円錐状部の頂部が球凹面に形成され
ており、他端側には前記圧電トランスジューサ３゛が取
り付けられている。≦はＸ−Ｙ走査機構７によって！／
−Ｙ方向に駆動される試料台であって、試％ｊがその上
に載置されて、前記音響レンズ内に対し二次元的に走査
駆動されるようになっている。宜たｒは音響レンズｑと
試？ｌＦ！間に満たされた超音波伝達媒体例えば水であ
る・デは前記Ｘ−Ｙ走査機構を制御するための制御装置
であり、同時に試料ｊからの所定の反射波に対応した圧
電トランスジューサからの電気信号のみを取り出すため
のゲート回路／θ及びブランキング回路／ｌに供給÷Ｍ
−をも発生させている。
すなわち、圧電トランスジューサＪから発生した超音波
は、す７アイヤによって形成した音物レンズｑ内で平面
波に変換され、その音響レンズの下端の球凹面部から水
ｌを伝播して試料ｊに放射される。試料！からの反射超
音波は、再び水ｌを介して前記球凹面部から音響レンズ
ヶ内に再入射し、圧電トランスジューサＪにより電気信
号に変換されて、サーキュレータコを介し前記ゲート回
路／σに加わる。そのゲート回路１０には、前記制御回
路９から、所望の超音波反射信号に対応した圧電トラン
スジューサＪからの反射波電気信号（以下「反射信号」
という。）のタイミングで制御信号が送られ、ここで試
料！からの正しい所定のタイミングの反射信号のみが取
り出される。
は、す７アイヤによって形成した音物レンズｑ内で平面
波に変換され、その音響レンズの下端の球凹面部から水
ｌを伝播して試料ｊに放射される。試料！からの反射超
音波は、再び水ｌを介して前記球凹面部から音響レンズ
ヶ内に再入射し、圧電トランスジューサＪにより電気信
号に変換されて、サーキュレータコを介し前記ゲート回
路／σに加わる。そのゲート回路１０には、前記制御回
路９から、所望の超音波反射信号に対応した圧電トラン
スジューサＪからの反射波電気信号（以下「反射信号」
という。）のタイミングで制御信号が送られ、ここで試
料！からの正しい所定のタイミングの反射信号のみが取
り出される。
この反射信号は、高周波増幅回路／／により増幅した後
混合回路／コに導かれ、局部発振回路／ｊからの局部発
振ｍ波数信号と混合して中間周波数信号に変換し、中間
周波増幅回路ｌ＃を介して検波回路ｌ！に導いて検波し
た後、ブランキング回路／イによって、前記制御回路９
から加えられた所定のタイミングな有する制御信号によ
り試料７の極く近傍からの反射信号のみを取り出し、こ
れをピーク検波回路／７によってピーク検波する。
混合回路／コに導かれ、局部発振回路／ｊからの局部発
振ｍ波数信号と混合して中間周波数信号に変換し、中間
周波増幅回路ｌ＃を介して検波回路ｌ！に導いて検波し
た後、ブランキング回路／イによって、前記制御回路９
から加えられた所定のタイミングな有する制御信号によ
り試料７の極く近傍からの反射信号のみを取り出し、こ
れをピーク検波回路／７によってピーク検波する。
このようにして得られた検波出力信号を順次スキャンコ
ンバータ／ｌに導いてテレビジョン信号に変換し、これ
を輝度信号にしてテレビジョン画像モニタｌ！上に画像
表示するようにしている０すなわち、スキャンコンバー
タ／ｌにおいては、ピーク検波回路からの検波出力信号
を一時記録し、前記Ｘ−Ｙ走査機構７による走査周期に
同期するように構成したＸ偏向信号発生回路ｘ１及びＹ
偏向信号発生回路〃からの各偏向用同期信号によって、
前記一時記録した前記検波信号をテレビジ冒ン走査周１
期で読み出し、この読み出した信号に前記！およびＹ偏
向信号発生回路ｘ、２／からの各同期信号を付加して複
合テレビジ１ン信号とし、これをテレビジョン画像モニ
タｎに併給することにより、試料ｊの超音波両像を得る
ようにしている。
ンバータ／ｌに導いてテレビジョン信号に変換し、これ
を輝度信号にしてテレビジョン画像モニタｌ！上に画像
表示するようにしている０すなわち、スキャンコンバー
タ／ｌにおいては、ピーク検波回路からの検波出力信号
を一時記録し、前記Ｘ−Ｙ走査機構７による走査周期に
同期するように構成したＸ偏向信号発生回路ｘ１及びＹ
偏向信号発生回路〃からの各偏向用同期信号によって、
前記一時記録した前記検波信号をテレビジ冒ン走査周１
期で読み出し、この読み出した信号に前記！およびＹ偏
向信号発生回路ｘ、２／からの各同期信号を付加して複
合テレビジ１ン信号とし、これをテレビジョン画像モニ
タｎに併給することにより、試料ｊの超音波両像を得る
ようにしている。
しかしながら、上述の如き構成の超音波顕微鏡・ にお
いて、試料ｊからの反射信号を得る前に、音響レンズゲ
における下端球凹面部の球面によって直接反射して圧電
トランスジューサＪに入射する反射波信号が、また、前
記試料！からの反射信号の前後には多重反射信号がそれ
ぞれ検出される。
いて、試料ｊからの反射信号を得る前に、音響レンズゲ
における下端球凹面部の球面によって直接反射して圧電
トランスジューサＪに入射する反射波信号が、また、前
記試料！からの反射信号の前後には多重反射信号がそれ
ぞれ検出される。
第一２図は、音響レンズヂ内における反射波の様子を示
したものである。すなわち、音響レンズｌ内においては
、下端球面によって反射し直接圧電トランスジューサ３
に入射する反射波Ｐ工のほか、下端球面より当該音響レ
ンズダの８１面方向に進む反射波Ｐ２ ＋ Ｐ３等が発
生し、これが多重反射して圧電トランスジューサＪに入
射し、反射信号として検出されることになる。特に試料
ｊからの反射波が超音波伝達媒体ｔを経て音響レンズダ
に再入射し圧電トランスジューサ３に達する時刻に前述
のような多重反射による反射波が圧電トランスジューサ
３に達して、試料ｊからの反射波を妨害することがあり
、それがため従来の音−レンズでは正確な試料からの反
射波のみを反射信号として取り出しにくい欠点がある。
したものである。すなわち、音響レンズｌ内においては
、下端球面によって反射し直接圧電トランスジューサ３
に入射する反射波Ｐ工のほか、下端球面より当該音響レ
ンズダの８１面方向に進む反射波Ｐ２ ＋ Ｐ３等が発
生し、これが多重反射して圧電トランスジューサＪに入
射し、反射信号として検出されることになる。特に試料
ｊからの反射波が超音波伝達媒体ｔを経て音響レンズダ
に再入射し圧電トランスジューサ３に達する時刻に前述
のような多重反射による反射波が圧電トランスジューサ
３に達して、試料ｊからの反射波を妨害することがあり
、それがため従来の音−レンズでは正確な試料からの反
射波のみを反射信号として取り出しにくい欠点がある。
ｗｉＪ図は、横軸に時間を、また縦軸に電圧（ｖ）をと
って、サーキュレータコから得られる各種の反射信号の
分布の様子を示したもので、Ｐは高周波パルス発生＠／
のサーキュレータコか鯵洩れ信号、Ｐｏは試料３からの
所望の反射信号、Ｐ工は音響レンズヶの下端球面による
直接の反射信号及びＰ２＋ Ｐ３は、試料ｊからの所望
の反射信号Ｐ０の周辺に発生する多重反射波によるノイ
ズ成分である。
って、サーキュレータコから得られる各種の反射信号の
分布の様子を示したもので、Ｐは高周波パルス発生＠／
のサーキュレータコか鯵洩れ信号、Ｐｏは試料３からの
所望の反射信号、Ｐ工は音響レンズヶの下端球面による
直接の反射信号及びＰ２＋ Ｐ３は、試料ｊからの所望
の反射信号Ｐ０の周辺に発生する多重反射波によるノイ
ズ成分である。
本発明の目的は、上述の如きノイズ成分となる多重反射
波の発生を抑制し得る超音波顕微鏡用音響レンズを提供
せんとするものである。
波の発生を抑制し得る超音波顕微鏡用音響レンズを提供
せんとするものである。
本発明の超音波顕微鏡用音響レンズは、音響レンズの音
場媒体と接する球面レンズの部分と電極部分を除く外周
面に、当該１轡レンズの音響インピーダンスに比較的近
い音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸取の大きい
物質を被着したことを特徴とするものである。
場媒体と接する球面レンズの部分と電極部分を除く外周
面に、当該１轡レンズの音響インピーダンスに比較的近
い音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸取の大きい
物質を被着したことを特徴とするものである。
以下本発明について詳細に説明する。
第ｊ図は、本発明の超音波顕微鏡用青畳レンズの構成を
断面図で示したものであ、る。同図において、〃が本発
明の音響レンズで、例えば従来のもし・かつ超音波＠取
の大きい物質、例えばゲルマニウム（Ｇθ）を、圧電ト
ランスジューサが取り付けられる電ｍ％分２ヂ及び音場
媒体例えば水ｌと接する軍備の球凹面部分Ｂを除いて被
着し、ゲルマニウム蒙着層すを施したものである＠なお
、ゲルマニウム（Ｇｏ ）被着層すは、真空蒸着法、あ
るいはＯ，Ｖ、Ｄ法、またはスパッタリング等任意の方
法で形成すればよい。
断面図で示したものであ、る。同図において、〃が本発
明の音響レンズで、例えば従来のもし・かつ超音波＠取
の大きい物質、例えばゲルマニウム（Ｇθ）を、圧電ト
ランスジューサが取り付けられる電ｍ％分２ヂ及び音場
媒体例えば水ｌと接する軍備の球凹面部分Ｂを除いて被
着し、ゲルマニウム蒙着層すを施したものである＠なお
、ゲルマニウム（Ｇｏ ）被着層すは、真空蒸着法、あ
るいはＯ，Ｖ、Ｄ法、またはスパッタリング等任意の方
法で形成すればよい。
このように構成した本発明の音響レンズにおいて、圧電
トランスジューサＪに加えられた高周波パルス発生器ｌ
からの高周波励振電圧は、超音波に変換され、平面波と
なって音響レンズ本体Ｂであるす７アイヤ内を球凹Ｂｉ
ｊ２ｆに向って伝播し、この球凹１１１ｆｆにより球面
波に変換されて試料ｊに向い水ｌの中を伝播する。
トランスジューサＪに加えられた高周波パルス発生器ｌ
からの高周波励振電圧は、超音波に変換され、平面波と
なって音響レンズ本体Ｂであるす７アイヤ内を球凹Ｂｉ
ｊ２ｆに向って伝播し、この球凹１１１ｆｆにより球面
波に変換されて試料ｊに向い水ｌの中を伝播する。
一方、音響レンズ本体ｎの軍備球面凹面！２５の球面に
箋到達した平面波の一部は、その球面によって反射して
図示のように音響レンズ本体ｎ内に戻り、側壁に衝突す
る。音響レンズ本体ｎの外周面は、さきに記述したよう
に音響レンズ本体ｎの形成物質であるす７アイヤと比較
的近い音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸取の大
きいゲルマニウムによって被階層ムが施されているので
、側壁に衝突した前記球面による反射波はその被着層ム
によって大きく吸収され、再反射は極めて少なくなる。
箋到達した平面波の一部は、その球面によって反射して
図示のように音響レンズ本体ｎ内に戻り、側壁に衝突す
る。音響レンズ本体ｎの外周面は、さきに記述したよう
に音響レンズ本体ｎの形成物質であるす７アイヤと比較
的近い音響インピーダンスを有し、かつ超音波吸取の大
きいゲルマニウムによって被階層ムが施されているので
、側壁に衝突した前記球面による反射波はその被着層ム
によって大きく吸収され、再反射は極めて少なくなる。
このような再反射の繰り返えすごとに大きくＩＩ収され
て従来ノイズ成分として検出されていた不要反射波は十
分抑制されることとなる０例えば超音波の反射について
、超音波が第１媒質から第一媒質に向って入射したとす
ると、強さの反射率Ｒ工は垂直入射のとき、 で与えられる。ただし、２工は第１媒質の前会インピー
ダンス、ｚ２は第一媒質の音響インピーダンスである。
て従来ノイズ成分として検出されていた不要反射波は十
分抑制されることとなる０例えば超音波の反射について
、超音波が第１媒質から第一媒質に向って入射したとす
ると、強さの反射率Ｒ工は垂直入射のとき、 で与えられる。ただし、２工は第１媒質の前会インピー
ダンス、ｚ２は第一媒質の音響インピーダンスである。
また、媒質の音響インピーダンス２は、
−ｐｃ
で与えられる。ただしρは媒質の密度、Ｃは媒質中の音
速である。
速である。
上記挙式より２よ−ｚ２であれば超音波の垂直入射の反
射はＯとなる。従って本発明のように・音響レンズを形
成する物質の音智インピーダンスと比較的近い音響イン
ピーダンスを有し、かつ超音波＠取の大きな物質によっ
て、前記青醤レンズを被覆した構成のものにおいては、
音響レンズ内の側ａｂｎに入射する音響レンズ下端球面
からの不要反射波を十分ｇ＆取し得ることとなる。
射はＯとなる。従って本発明のように・音響レンズを形
成する物質の音智インピーダンスと比較的近い音響イン
ピーダンスを有し、かつ超音波＠取の大きな物質によっ
て、前記青醤レンズを被覆した構成のものにおいては、
音響レンズ内の側ａｂｎに入射する音響レンズ下端球面
からの不要反射波を十分ｇ＆取し得ることとなる。
例えば前述のようにす７アイヤによって形成した音響レ
ンズ本体コの周囲をゲルマニウム（Ｇ８）での被着層Ｕ
で被覆した場合、縦波についてサファイヤの音響インピ
ーダンス２工は、およそｙ、ｐｓ×１０’（ｇ／ｓｅｃ
・ｃｘ２）であり、ゲルマニラＡ（Ｇ８）の音響インピ
ーダンスｚ２は、（１１０）方向に伝播する縦波ニ”：
） イテオ！ ＋ ２．ｒ７ Ｘ ／θ’（９／５ｅｃ
−ｃｓｔ２） （２５℃）であるから、す７アイヤとゲ
ルマニウムにつしＡて、垂直入射の反射重工Ｒは、 である０ これに対し、す７アイヤのみによって構成した従来の音
響レンズでは、空気の前着インピーダンスはｘ℃のとき
、ｙ、ｌ１ｌｌ ｘ １０１（９／５ｅａ−ｃｓ＋２）
であるから、す７アイヤと空気の垂直入射の反射重工、
は、となり、空気とす７アイヤの間では、はぼ１００％
近く反射する。すなわち、サファイヤで構成した音響レ
ンズ内で発生する不要な反射波は、殆んど総てす７アイ
ヤ内に戻ってきて、これがノイズ成分として検出される
ことになり、これが試料ｊからの正しい反射信号の検出
を妨害していたが、本発明の上記実施例のように、す７
アイヤからなる音響レンズ本体Ｂの周囲にゲルマニウム
被着層ムを施したものにおいては、当直入射の場合ｌ・
７％程度の反射率となる。
ンズ本体コの周囲をゲルマニウム（Ｇ８）での被着層Ｕ
で被覆した場合、縦波についてサファイヤの音響インピ
ーダンス２工は、およそｙ、ｐｓ×１０’（ｇ／ｓｅｃ
・ｃｘ２）であり、ゲルマニラＡ（Ｇ８）の音響インピ
ーダンスｚ２は、（１１０）方向に伝播する縦波ニ”：
） イテオ！ ＋ ２．ｒ７ Ｘ ／θ’（９／５ｅｃ
−ｃｓｔ２） （２５℃）であるから、す７アイヤとゲ
ルマニウムにつしＡて、垂直入射の反射重工Ｒは、 である０ これに対し、す７アイヤのみによって構成した従来の音
響レンズでは、空気の前着インピーダンスはｘ℃のとき
、ｙ、ｌ１ｌｌ ｘ １０１（９／５ｅａ−ｃｓ＋２）
であるから、す７アイヤと空気の垂直入射の反射重工、
は、となり、空気とす７アイヤの間では、はぼ１００％
近く反射する。すなわち、サファイヤで構成した音響レ
ンズ内で発生する不要な反射波は、殆んど総てす７アイ
ヤ内に戻ってきて、これがノイズ成分として検出される
ことになり、これが試料ｊからの正しい反射信号の検出
を妨害していたが、本発明の上記実施例のように、す７
アイヤからなる音響レンズ本体Ｂの周囲にゲルマニウム
被着層ムを施したものにおいては、当直入射の場合ｌ・
７％程度の反射率となる。
ＩＩｊ［ｆｆ１Ｇ；！、ゲルマニウム（Ｇ６）のほか、
各種物質の縦波についての超音波＠取持性をそれぞれ示
したものである。超音波顕微鏡で使用する周波数におい
ては、ゲルマニウム（Ｇ６）の超音波ｇ＆暇が他の物質
に比べかなり大きいことがわかる。
各種物質の縦波についての超音波＠取持性をそれぞれ示
したものである。超音波顕微鏡で使用する周波数におい
ては、ゲルマニウム（Ｇ６）の超音波ｇ＆暇が他の物質
に比べかなり大きいことがわかる。
以上のように本発明によれば、極めて簡単な構・成によ
り、・音響レンズ内における不要の反射波を＠取し得て
ノイズ成分となる反射波の圧電トランスジューサへの入
射を抑制することができるので、それら不要の反射波の
影響をそれ程受けることなく、試料からの正しい反射波
を取り出し得る効果があり、超音波顕微鏡の精度向上に
大きく寄与し得る。
り、・音響レンズ内における不要の反射波を＠取し得て
ノイズ成分となる反射波の圧電トランスジューサへの入
射を抑制することができるので、それら不要の反射波の
影響をそれ程受けることなく、試料からの正しい反射波
を取り出し得る効果があり、超音波顕微鏡の精度向上に
大きく寄与し得る。
＠／図は、従来の超音波顕微鏡の構成の一例を示すブロ
ック線図、第２図は、従来の音響レンズの構成図、第３
図は、従来の青春レンズを用いた場合に得られるサーキ
ュレータの出力波形図、＠４Ｉ図は、本発明の音響レン
ズの構成図、第５図は、ゲルマニウム（Ｇｅｔ）の超音
波Ｖ＆取時特性他の物質のそれと対比して示す特性図。 ｌ・・・高周波パルス発生器、コ・・・サーキュレータ
、３・・・圧電トランスジューサ、ダ・・・従来の音−
レンズ、ｊ・・・試料、ぶ・・・試料台、７・・Ｘ−Ｙ
走査機構、ｔ・・・水、デ・・・制御回路、ｌθ・・・
ゲート回路、／／−・・高・周波増幅回路、／２・・・
混合回路、／Ｊ・・・局部発ｗＩ器、／４１・・・中間
周波増幅器、／３・・・検波回路、／６・・・ブランキ
ング回路、／７・・・ピーク検波回路、／Ｉ ・スキャ
ンコンバータ、／ｑ・・・テレビジ曹ン圃像モニタ、〃
・・・Ｘ偏向信号発生回路、１・・・Ｙ偏向信号発生回
路、ｎ・・・本発明の音響レンズ、刀・・・サファイヤ
により形成した音響レンズ本体、２亭・・・電極部、Ｂ
・・・球面部、ム・・・ゲルマニウム被階層。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社］ ？！ 第２図 ２５ 第３図 第４図
ック線図、第２図は、従来の音響レンズの構成図、第３
図は、従来の青春レンズを用いた場合に得られるサーキ
ュレータの出力波形図、＠４Ｉ図は、本発明の音響レン
ズの構成図、第５図は、ゲルマニウム（Ｇｅｔ）の超音
波Ｖ＆取時特性他の物質のそれと対比して示す特性図。 ｌ・・・高周波パルス発生器、コ・・・サーキュレータ
、３・・・圧電トランスジューサ、ダ・・・従来の音−
レンズ、ｊ・・・試料、ぶ・・・試料台、７・・Ｘ−Ｙ
走査機構、ｔ・・・水、デ・・・制御回路、ｌθ・・・
ゲート回路、／／−・・高・周波増幅回路、／２・・・
混合回路、／Ｊ・・・局部発ｗＩ器、／４１・・・中間
周波増幅器、／３・・・検波回路、／６・・・ブランキ
ング回路、／７・・・ピーク検波回路、／Ｉ ・スキャ
ンコンバータ、／ｑ・・・テレビジ曹ン圃像モニタ、〃
・・・Ｘ偏向信号発生回路、１・・・Ｙ偏向信号発生回
路、ｎ・・・本発明の音響レンズ、刀・・・サファイヤ
により形成した音響レンズ本体、２亭・・・電極部、Ｂ
・・・球面部、ム・・・ゲルマニウム被階層。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社］ ？！ 第２図 ２５ 第３図 第４図
Claims (1)
- Ｌ 音響レンズの音場媒体と接する球閏レンズの部分と
電極部分を除く外周面に、当該音響レンズの音響インピ
ーダンスに比較的近い音響インピーダンスを有し、かつ
超音波＠取の大きい物質を被着したことを特徴とする超
音波顕微鏡用音響レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193731A JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56193731A JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896248A true JPS5896248A (ja) | 1983-06-08 |
| JPH0323864B2 JPH0323864B2 (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=16312865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56193731A Granted JPS5896248A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 超音波顕微鏡用音響レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896248A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62133946A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-17 | 松下電器産業株式会社 | 皮膚科用超音波送受波器 |
| US4677371A (en) * | 1984-10-09 | 1987-06-30 | Junkosha Co., Ltd. | Sensor for detecting the presence and location of a water leak |
| RU2715913C1 (ru) * | 2019-05-13 | 2020-03-04 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки федеральный исследовательский центр " Якутский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Ультразвуковой наклонный преобразователь для измерения скорости распространения акустических волн в стальных прокатных изделиях при определении параметров механических свойств, характеризующих хладостойкость |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5268492A (en) * | 1975-12-01 | 1977-06-07 | Hoffmann La Roche | Method and system for forming image by suersonic waves |
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-
1981
- 1981-12-03 JP JP56193731A patent/JPS5896248A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0323864B2 (ja) | 1991-03-29 |
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