JPH03230460A - X線発生装置用ターゲット - Google Patents

X線発生装置用ターゲット

Info

Publication number
JPH03230460A
JPH03230460A JP2460390A JP2460390A JPH03230460A JP H03230460 A JPH03230460 A JP H03230460A JP 2460390 A JP2460390 A JP 2460390A JP 2460390 A JP2460390 A JP 2460390A JP H03230460 A JPH03230460 A JP H03230460A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
flange
cooling water
ray generator
seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2460390A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0782824B2 (ja
Inventor
Kazuhiro Kamimura
和広 上村
Kazumasa Ogura
小倉 一正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2024603A priority Critical patent/JPH0782824B2/ja
Publication of JPH03230460A publication Critical patent/JPH03230460A/ja
Publication of JPH0782824B2 publication Critical patent/JPH0782824B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、線形加速器等に使用するX線発生装置用ター
ゲットに関するものである。
〔従来の技術〕
従来のこの種のX線発生装置用ターゲットとしては、第
5図および第6図に示すように構成されたものがある。
第5図は従来のX線発生装置用ターゲットを示す断面図
、第6図はターゲット座とターゲット取付はフランジと
のろう付は部分を拡大して示す断面図である。同図にお
いて、1は電子線1aを加速するための加速管で、この
加速管lの上部は電子線発生装置(図示せず)に連結さ
れており、下部には、後述するターゲット取付はフラン
ジが取付けられるフランジlbが設けられている。そし
て、この加速管lは、真空ポンプ(図示せず)に接続さ
れ、電子線加速時(X線発生時)にはその内部が真空状
態にされるように構成されている。
2は前記加速管1のフランジ1bに締付はボルト3によ
って締結されて加速管1の下部を密閉するターゲット取
付はフランジで、このターゲット取付はフランジ2にお
ける加速管1の中空部分と対応する部位にはターゲット
4を有するターゲット座5がろう材6によってろう付け
されている。
前記ターゲット4は、タングステンや白金によって形成
され、加速された電子が衝突することよってXi7を発
生するものである。前記ターゲット座5は、放熱性の観
点から銅等の熱伝導率の高い材料によって形成されてい
る。また、前記ろう材6は、ターゲット座5とターゲッ
ト取付はフランジ2との間を真空シールすると共に、後
述する冷却水が漏洩するのを阻止するようにターゲット
座5の全周にわたって設けられている。さらに、前記タ
ーゲット取付はフランジ2の内部には、ターゲット座冷
却用の冷却水が通水される冷却水通路8が形成されてい
る。この冷却水通路8は、冷却水がターゲット座50表
面に沿って流れるようにその流路が設定されている。9
は冷却水を冷却水通路8へ供給するための給水管、10
は冷却水を冷却水通路8から排出するための排水管で、
これらはターゲット取付はフランジ2に接続されている
。11は前記加速管1内の気密を保つためのガスケット
で、このガスケット11は、加速管1のフランジ1bと
ターゲット取付はフランジ2との間に介装されている。
なお、両フランジ1b、2のシート面にはガスケット1
1に食い込むエツジ部1c、2aがそれぞれ設けられて
いる。
12はX線7の照射野を決めるためのコリメータ(X線
シールド)で、このコリメータ12は前記ターゲット取
付はフランジ2の下側に空間13をおいて設置されてい
る。なお、図中AはX線7の照射範囲を示す。
第6図において14は前記空間13の温度(大気温度)
より低温の冷却水を前記冷却水通路8に流した際にター
ゲット座5の表面に結露する水滴を示す。15は前記空
間13内の空気分子、16はこの空気分子15に電子線
1aやX線7が衝突した際に発生するオゾン分子、17
は前記水滴14とオゾン分子16とが結合して生成され
る過酸化水素水である。
次に、このように構成された従来のX線発生装置用ター
ゲットの動作について説明する。
このターゲットによってX線を発生させるには、電子線
1aを加速管1によって加速し、ターゲット4に衝突さ
せる。ターゲット4に衝突する大部分の電子線2は、タ
ーゲット4およびターゲット座5を通過中に吸収され、
同時にX線7を発生させる。発生したX線7は、空間1
3を通りコリメータ12によって放射角を整えられ、外
部に導かれてX線源として利用される。なお、X線7は
空間13を通過する時に空気分子15と衝突し、オゾン
分子16を発生させる。このオゾン分子16はこの空間
13内に充満される。一方、電子線laの衝突によって
発生した熱は、ターゲット取付はフランジ2内を流され
る冷却水にターゲット座5を介して伝導されて放熱され
る。冷却水の温度が空間13の気温より低い時には、タ
ーゲット座5およびターゲット取付はフランジ2の下面
、言い換えれば空間13側の大気と接する面に、空間1
3中の水分が結露して水滴14が付着する。そして、こ
の水滴14に上述したオゾン分子16が取り込まれ、過
酸化水素水17が生成される。特に、ターゲット座5と
ターゲット取付はフランジ2とのろう接部分の溝中には
、第6図に示すように、毛細管現象により水滴14およ
び過酸化水素水17が多(蓄えられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかるに、上述したように過酸化水素水17が生成され
ると、これによってターゲット座5およびろう材6が浸
食されてしまう。長期にわたって浸食され続けると、最
終的にはターゲット座5とターゲット取付はフランジ2
との隙間がら水洩れを起こすという問題があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る第1の発明は、ターゲット支持部材にター
ゲット台用加温部材を取付けたものである。また、第2
の発明は、冷却水を大気温度と略同温度に加温した温水
としたものである。さらに、第3の発明は、ターゲット
台の大気側を、耐蝕性の高い金属によって覆い密封した
ものである。
〔作 用〕
本発明に係る第1および第2の発明においては、ターゲ
ット台およびターゲット支持部材が暖められるから、大
気に晒される部分に水分が結露するのを抑えることがで
きる。また、本発明に係る第3の発明においては、ター
ゲット台が大気に晒されなくなり、ターゲット台の大気
側を覆う金属の表面に、過酸化水素水となる水滴が付着
することになる。
〔実施例〕
以下、本発明に係る第1の発明を第1図に示す実施例に
よって詳細に説明する。
第1図は本発明に係る第1の発明のX線発生装置用ター
ゲットを示す断面図で、同図において前記第5図および
第6図で説明したものと同一もしくは同等部材について
は、同一符号を付し詳細な説明は省略する。第1図にお
いて、21はターゲット台用加温部材としてのヒータで
、このヒータ21は環状に形成されており、ターゲット
取付はフランジ2の下面(空間13と対応する面)に取
付けられている。このヒータ21を備えたX線発生装置
用ターゲットにおいては、冷却水をターゲット取付はフ
ランジ2の冷却水通路8に流す前に、ヒータ21に予め
通電しておく。すなわち、冷却水通水前にターゲット取
付はフランジ2およびターゲット座5の表面温度を空間
13の気温より充分に高い温度にまで上昇させておき、
その後冷却水を流す。そして、冷却水が空間13と同等
の温度になるまでその状態を維持させる。
このようにヒータ21によって加温することによって、
ターゲット座5およびターゲット取付はフランジ2にお
ける大気に晒される部分に水分が結露するのを抑えるこ
とができる。したがって、オゾン分子と水滴との反応に
よる過酸化水素水が生成されるのを防ぐことができる。
本発明に係る第2の発明を第2図に示す実施例によって
詳細に説明する。
第2図は本発明に係る第2の発明のX線発生装置用ター
ゲットを示す断面図で、同図において前記第5図および
第6図で説明したものと同一もしくは同等部材について
は、同一符号を付し詳細な説明は省略する。第2図にお
いて、22は冷却水を加温するための温水器で、この温
水器22は、冷却水を空欄13と略等しい温度に暖め温
水とするように構成されており、給水管8に接続されて
いる。このように温水器22を備えたX線発生装置用タ
ーゲットにおいては、温水器22人口の水温が空間13
の温度と同等になるまで冷却水を流すことによって、タ
ーゲット座5およびターゲット取付はフランジ2が暖め
られ、ターゲット座5およびターゲット取付はフランジ
2における大気に晒される部分に水分が結露するのを抑
えることができる。したがって、オゾン分子と水滴との
反応による過酸化水素水が生成されるのを防ぐことがで
きる。
次に、本発明に係る第3の発明を第3図に示す実施例に
よって詳細に説明する。
第3図は本発明に係る第3の発明のX線発生装置用ター
ゲットを示す断面図で、同図において前記第5図および
第6図で説明したものと同一もしくは同等部材について
は、同一符号を付し詳細な説明は省略する。第3図にお
いて、23はターゲット座5およびろう付は部分におけ
る大気と晒される面を密封するための被覆層を示す。こ
の被覆層23は、ターゲット取付はフランジ2およびタ
ーゲット座5の下面(空間13と対応する面)にクロム
めっき等の耐蝕性の高い金属めっきを一連に施すことに
よって形成されている。
このように被覆層23が設けられたX線発生装置用ター
ゲットにおいては、ターゲット座5およびろう付は部分
は大気に晒されなくなり、冷却水を流すことに起因する
温度差によって生じる水滴は、被覆層23における大気
に晒される面心こ付着することになる。したがって、オ
ゾンと水滴とによって生成される過酸化水素水がターゲ
ット座5゜ろう材6等を浸食するのを阻止することがで
きる。
なお、前記実施例ではターゲ・7ト座5およびろう材6
の空間13側をクロムめっき層によって覆った例を示し
たが、第4図に示すように、ターゲ・7ト取付はフラン
ジで覆う構造とすることもできる。
第4図は本発明に係る第3の発明の他の実施例を示す断
面図で、同図において前記第5図および第6図で説明し
たものと同一もしくは同等部材については、同一符号を
付し詳細な説明は省略する。
第4図において、24は名−ゲソト座5における大気側
を覆うための被覆板で、この被覆板24は、ステンレス
鋼等の耐蝕性の高い材料からなるターゲット取付はフラ
ンジ2に一体に設けられている。
また、前記被覆板24の厚み寸法は、X″fIIA7の
透過に影響のない寸法に設定されている。なお、このタ
ーゲット取付はフランジ2とターゲット座5との取付は
構造は、ターゲット取付はフランジ2に形成された凹部
25内にターゲット座5を臨ませ、ターゲット座5をタ
ーゲット取付はフランジ2にろう付けする構造であり、
ろう付は部分は加速管1側のみとされている。そして、
このターゲット座5の下面と前記被覆板24との間には
冷却水が流されるように構成されている。
このように被覆板24によってターゲット座5の下面を
覆う構造としても、水滴は被覆板24における大気に晒
される面に付着するから、前記実施例と同等の効果が得
られる。
なお、上述した第1図ないし第4図に示す各実施例では
線形加速器に使用するX線発生装置用ターゲットについ
て説明したが、他の放射線機器等で、オゾン発生部分、
また、一般のオゾンと接触する箇所で過酸化水素状態と
なり浸食される部分がある機器にも適用することができ
るということはいうまでもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明に係る第1の発明は、ターゲ
ット支持部材にターゲット台用加温部材を取付け、また
、第2の発明は、冷却水を大気温度と略同温度に加温し
た温水としたため、ターゲット台およびターゲット支持
部材が暖められるから、大気に晒される部分に水分が結
露するのを抑えることができる。したがって、過酸化水
素水が生成されるのを抑え、ターゲ・7ト台、ろう材等
が過酸化水素水によって浸食されるのを防ぐことができ
るから、長寿命のX線発生装置用ターゲットを得ること
ができる。
また、本発明に係る第3の発明は、ターゲット台の大気
側を、耐蝕性の高い金属によって覆い密封したため、タ
ーゲット台が大気に晒されなくなり、ターゲット台の大
気側を覆う金属の表面に、過酸化水素水となる水滴が付
着することになる。
したがって、オゾンと水滴とによって生成される過酸化
水素水がターゲット台、ろう材等を浸食するのを阻止す
ることができる。このため、長寿命のX線発生装置用タ
ーゲットを得ることができる。
特に、このようにターゲット台を金属によって被覆する
構成とすると、新たな装置を追加したりせずに実施する
ことができるから、安価に実施することができ、メンテ
ナンス費用を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る第1の発明のX線発生装置用ター
ゲットを示す断面図、第2図は本発明に係る第2の発明
のX線発生装置用ターゲットを示す断面図、第3図は本
発明に係る第3の発明のX線発生装置用ターゲットを示
す断面図、第4図は本発明に係る第3の発明の他の実施
例を示す断面図である。第5図は従来のX線発生装置用
ターゲットを示す断面図、第6図は従来のX線発生装置
用ターゲットにおけるターゲット座とターゲット取付は
フランジとのろう付は部分を拡大して示す断面図である
。 l・・・・加速管、1a・・・・電子線、1b・・・・
フランジ、2・・・・ターゲット取付はフランジ、48
0.。 ターゲット、5・・・・ターゲット座、6・・・・ろう
材、7・・・・X線、 8・・・・冷却水通路、 1・・・・ヒータ、 2・・・・温水器、 3・・・・被覆層、 4・・・・被覆 板。 代 理 人 大 石 増 雄 第 図 N才 α)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電子線が照射されてX線を発生するターゲット本
    体を有し、熱良導体によって形成されたターゲット台と
    、このターゲット台を支持しかつ冷却水を介して冷却す
    ると共に、電子線発生室を密閉するターゲット支持部材
    とを備えたX線発生装置用ターゲットにおいて、前記タ
    ーゲット支持部材にターゲット台用加温部材を取付けた
    ことを特徴とするX線発生装置用ターゲット。
  2. (2)電子線が照射されてX線を発生するターゲット本
    体を有し、熱良導体によって形成されたターゲット台と
    、このターゲット台を支持しかつ冷却水を介して冷却す
    ると共に、電子線発生室を密閉するターゲット支持部材
    とを備えたX線発生装置用ターゲットにおいて、前記冷
    却水を大気温度と略同温度に加温した温水としたことを
    特徴とするX線発生装置用ターゲット。
  3. (3)電子線が照射されてX線を発生するターゲット本
    体を有し、熱良導体によって形成されたターゲット台と
    、このターゲット台を支持しかつ冷却水を介して冷却す
    ると共に、電子線発生室を密閉するターゲット支持部材
    とを備えたX線発生装置用ターゲットにおいて、前記タ
    ーゲット台の大気側を、耐蝕性の高い金属によって覆い
    密封したことを特徴とするX線発生装置用ターゲット。
JP2024603A 1990-02-02 1990-02-02 X線発生装置用ターゲット Expired - Fee Related JPH0782824B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2024603A JPH0782824B2 (ja) 1990-02-02 1990-02-02 X線発生装置用ターゲット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2024603A JPH0782824B2 (ja) 1990-02-02 1990-02-02 X線発生装置用ターゲット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03230460A true JPH03230460A (ja) 1991-10-14
JPH0782824B2 JPH0782824B2 (ja) 1995-09-06

Family

ID=12142727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024603A Expired - Fee Related JPH0782824B2 (ja) 1990-02-02 1990-02-02 X線発生装置用ターゲット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0782824B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013524474A (ja) * 2010-04-12 2013-06-17 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 回転陽極x線管及び検査装置
CN107546090A (zh) * 2017-09-19 2018-01-05 同方威视技术股份有限公司 X射线转换靶

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7831021B1 (en) 2009-08-31 2010-11-09 Varian Medical Systems, Inc. Target assembly with electron and photon windows
JP5711007B2 (ja) * 2011-03-02 2015-04-30 浜松ホトニクス株式会社 開放型x線源用冷却構造及び開放型x線源

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS561450A (en) * 1979-05-03 1981-01-09 Western Electric Co High power xxray source
JPS6273540A (ja) * 1985-09-26 1987-04-04 Japan Atom Energy Res Inst X線発生装置のタ−ゲツト
JPS63101459U (ja) * 1986-12-22 1988-07-01

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS561450A (en) * 1979-05-03 1981-01-09 Western Electric Co High power xxray source
JPS6273540A (ja) * 1985-09-26 1987-04-04 Japan Atom Energy Res Inst X線発生装置のタ−ゲツト
JPS63101459U (ja) * 1986-12-22 1988-07-01

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013524474A (ja) * 2010-04-12 2013-06-17 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 回転陽極x線管及び検査装置
US9014337B2 (en) 2010-04-12 2015-04-21 Koninklijke Philips N.V. Rotary-anode X-ray tube with reduced radial sealing
CN107546090A (zh) * 2017-09-19 2018-01-05 同方威视技术股份有限公司 X射线转换靶
EP3457425A1 (en) * 2017-09-19 2019-03-20 Nuctech Company Limited X-ray conversion target
US20190090336A1 (en) * 2017-09-19 2019-03-21 Nuctech Company Limited X-ray conversion target and x-ray generator
KR20190032186A (ko) * 2017-09-19 2019-03-27 눅테크 컴퍼니 리미티드 X선 변환 타겟
AU2018222941B2 (en) * 2017-09-19 2020-02-27 Nuctech Company Limited X-ray conversion target
US10701787B2 (en) 2017-09-19 2020-06-30 Nuctech Company Limited X-Ray conversion target and X-ray generator
CN107546090B (zh) * 2017-09-19 2024-04-05 同方威视技术股份有限公司 X射线转换靶

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0782824B2 (ja) 1995-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7522706B2 (en) X-ray tube cooling collar
US9001973B2 (en) X-ray sources
JP5450916B2 (ja) X線管
US10483077B2 (en) X-ray sources having reduced electron scattering
JPH10300900A (ja) 医療用線形加速器および強力なビーム線形加速器のための、冷却用流動体の流れによって駆動される回転型ターゲットとこれを用いた装置およびターゲットの冷却方法
ATE258366T1 (de) Ziel zur röntgenstrahlerzeugung
JPH08501651A (ja) 電子ビーム出口窓
US7359486B2 (en) Structure for collecting scattered electrons
US5995585A (en) X-ray tube having electron collector
JPH03230460A (ja) X線発生装置用ターゲット
JPH04229539A (ja) 単色x線放射用放射線源
US6619842B1 (en) X-ray tube and method of manufacture
JP5542855B2 (ja) X線管装置及びx線管
JP2007250328A (ja) X線管及びx線管装置
JP2011044427A (ja) X線管の液体冷却
US2909686A (en) X-ray tube
US20050002491A1 (en) Vacuum housing with a protective layer for an-x-ray tube
JPS6333261B2 (ja)
US3165658A (en) Directly-cooled x-ray tube anode
JPH0734400Y2 (ja) X線ターゲット
CN212810234U (zh) 格栅式x射线转换靶
JP2001076656A (ja) X線管
JPH03222250A (ja) X線発生装置
JPH0418666B2 (ja)
KR200162361Y1 (ko) 음극선관

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees