JPH03228504A - ダイヤモンド工具 - Google Patents
ダイヤモンド工具Info
- Publication number
- JPH03228504A JPH03228504A JP11515990A JP11515990A JPH03228504A JP H03228504 A JPH03228504 A JP H03228504A JP 11515990 A JP11515990 A JP 11515990A JP 11515990 A JP11515990 A JP 11515990A JP H03228504 A JPH03228504 A JP H03228504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ppm
- tool
- diamond
- boron
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 128
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 124
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 93
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 90
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 61
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 45
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 9
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 9
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 206010017076 Fracture Diseases 0.000 description 1
- 208000013201 Stress fracture Diseases 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- QUQFTIVBFKLPCL-UHFFFAOYSA-L copper;2-amino-3-[(2-amino-2-carboxylatoethyl)disulfanyl]propanoate Chemical compound [Cu+2].[O-]C(=O)C(N)CSSCC(N)C([O-])=O QUQFTIVBFKLPCL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はダイヤモンド工具、特に切削工具の切刃を構成
するダイヤモンドバイト、砥石の成形、ドレッシングに
用いられるダイヤモンドドレッサー、伸線に用いられる
線引きダイス等に関する。より詳細には本発明は、非鉄
金属であるアルミニウム、銅、あるいはプラスチック等
の軟質材料部品を高精度に切削する精密加工又は超精密
加工に用いられる合成ダイヤモンド単結晶バイトに関す
るものである。
するダイヤモンドバイト、砥石の成形、ドレッシングに
用いられるダイヤモンドドレッサー、伸線に用いられる
線引きダイス等に関する。より詳細には本発明は、非鉄
金属であるアルミニウム、銅、あるいはプラスチック等
の軟質材料部品を高精度に切削する精密加工又は超精密
加工に用いられる合成ダイヤモンド単結晶バイトに関す
るものである。
従来、精密あるいは超精密バイト等の工具に用いられる
ダイヤモンド単結晶として天然ダイヤモンド、合成ダイ
ヤモンドが使用されていたが、これらのダイヤモンドに
は共に不純物として窒素は含まれているもののホウ素に
ついては全く含まれていなかった。
ダイヤモンド単結晶として天然ダイヤモンド、合成ダイ
ヤモンドが使用されていたが、これらのダイヤモンドに
は共に不純物として窒素は含まれているもののホウ素に
ついては全く含まれていなかった。
ダイヤモンドバイトについてみると、従来、アルミニウ
ムや銅等の非鉄金属あるいはプラスチック等の軟質材料
を、ダイヤモンドバイトを用いて高精度に切削する精密
ないし超精密加工においては、ダイヤモンドバイトが摩
耗しやすく、寿命が短いと云う欠点があった。切削によ
り工具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面
粗さが劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現
象を引き起こし、工具寿命が短かくなることの原因とな
っていた。
ムや銅等の非鉄金属あるいはプラスチック等の軟質材料
を、ダイヤモンドバイトを用いて高精度に切削する精密
ないし超精密加工においては、ダイヤモンドバイトが摩
耗しやすく、寿命が短いと云う欠点があった。切削によ
り工具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面
粗さが劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現
象を引き起こし、工具寿命が短かくなることの原因とな
っていた。
即ち、第5図に示す如く、軟質材料の被削材1をダイヤ
モンドバイト2で切削すると、削り取られた切粉4がダ
イヤモンドバイト2のすくい面3に接触しながら高速で
連続的に滑り、このときの摩擦熱並びに約300〜40
0℃に加熱された切粉4自身の熱により、すくい面3が
部分的に酸化されて第6図に示すクレータ摩耗5が発生
する。クレータ摩耗5が大きくなると切粉4がすくい面
3上を滑りにくくなるため、切削抵抗が大きくなったり
、切粉4が被削面を傷つけ面粗さを劣化させるようにな
る。
モンドバイト2で切削すると、削り取られた切粉4がダ
イヤモンドバイト2のすくい面3に接触しながら高速で
連続的に滑り、このときの摩擦熱並びに約300〜40
0℃に加熱された切粉4自身の熱により、すくい面3が
部分的に酸化されて第6図に示すクレータ摩耗5が発生
する。クレータ摩耗5が大きくなると切粉4がすくい面
3上を滑りにくくなるため、切削抵抗が大きくなったり
、切粉4が被削面を傷つけ面粗さを劣化させるようにな
る。
又、ダイヤモンドバイト2の刃先B7も、被削材1との
摩擦熱や機械的摩耗により第7図に8として示す如く摩
耗し、その結果切削抵抗が大きくなったり、所望の切削
精度が得られなくなる。同様にダイヤモンドドレッサー
、線引きダイスに関しても摩耗により所望の形状精度、
線型が得られ難くなる。
摩擦熱や機械的摩耗により第7図に8として示す如く摩
耗し、その結果切削抵抗が大きくなったり、所望の切削
精度が得られなくなる。同様にダイヤモンドドレッサー
、線引きダイスに関しても摩耗により所望の形状精度、
線型が得られ難くなる。
一方、ダイヤモンドバイトとして用いられる大型のダイ
ヤモンド単結晶の合成は、例えば米国特許第32974
07号、第4034066号及び第4073380号明
細書や特開昭52−88289号公報に開示されている
ように、種結晶上に単結晶を成長させる温度差法が一般
的である。これらの方法により合成されたダイヤモンド
単結晶には原料に含まれる窒素が不純物として含有され
ていることは古くから知られている。
ヤモンド単結晶の合成は、例えば米国特許第32974
07号、第4034066号及び第4073380号明
細書や特開昭52−88289号公報に開示されている
ように、種結晶上に単結晶を成長させる温度差法が一般
的である。これらの方法により合成されたダイヤモンド
単結晶には原料に含まれる窒素が不純物として含有され
ていることは古くから知られている。
又、合成ダイヤモンド単結晶にホウ素を添加する技術は
、米国特許第4042673号及び第4082185号
明細書等に開示されている。
、米国特許第4042673号及び第4082185号
明細書等に開示されている。
しかし、かかるホウ素の添加はダイヤモンドをn型半導
体としたり、装飾用として青色に着色する目的で行なわ
れ、切削工具分野で切削特性との関連で研究されたこと
は無かった。
体としたり、装飾用として青色に着色する目的で行なわ
れ、切削工具分野で切削特性との関連で研究されたこと
は無かった。
また、放電加工により所定の形状を正確にかつ高能率で
加工しうるダイヤモンド工具とするためホウ素を添加し
て抵抗率を下げたダイヤモンド単結晶が提案されている
(特開昭58−126003号公報)が、機械的特性の
改善については認識されていない。
加工しうるダイヤモンド工具とするためホウ素を添加し
て抵抗率を下げたダイヤモンド単結晶が提案されている
(特開昭58−126003号公報)が、機械的特性の
改善については認識されていない。
従来、ダイヤモンドバイトの場合アルミニウム、銅、プ
ラスチック等の被削材の切削においては、切削により工
具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面粗さ
が劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現象を
引き起こし、工具寿命の原因となっていた。またダイヤ
モンドドレッサー、線引きダイスも同様に摩耗によって
工具寿命に至っていた。
ラスチック等の被削材の切削においては、切削により工
具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面粗さ
が劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現象を
引き起こし、工具寿命の原因となっていた。またダイヤ
モンドドレッサー、線引きダイスも同様に摩耗によって
工具寿命に至っていた。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、軟質材料等の高精度
切削時における摩耗、砥石のドレッシング時の摩耗、伸
縮時の摩耗等を減少させ、従来よりも工具寿命を改善し
たダイヤモンド工具を提供することを目的とする。
切削時における摩耗、砥石のドレッシング時の摩耗、伸
縮時の摩耗等を減少させ、従来よりも工具寿命を改善し
たダイヤモンド工具を提供することを目的とする。
本発明者等は、軟質材料の高精度切削時におけるダイヤ
モンドバイトのクレータ摩耗や刃先摩耗の発生メカニズ
ムの検討から、ダイヤモンドバイトの耐摩耗性、耐熱性
及び耐酸化性を改善すれば上記摩耗を抑えることができ
、工具寿命を延ばすことが可能であり、同様に耐摩耗性
が要求される単石ダイヤモンドドレッサー、線引きダイ
スの寿命を延ばすことになると考え、従来検討されなか
った合成ダイヤモンド単結晶の耐摩耗性、耐熱性、耐酸
化性と含有不純物、特に窒素とホウ素との関係を詳細に
調査研究した。
モンドバイトのクレータ摩耗や刃先摩耗の発生メカニズ
ムの検討から、ダイヤモンドバイトの耐摩耗性、耐熱性
及び耐酸化性を改善すれば上記摩耗を抑えることができ
、工具寿命を延ばすことが可能であり、同様に耐摩耗性
が要求される単石ダイヤモンドドレッサー、線引きダイ
スの寿命を延ばすことになると考え、従来検討されなか
った合成ダイヤモンド単結晶の耐摩耗性、耐熱性、耐酸
化性と含有不純物、特に窒素とホウ素との関係を詳細に
調査研究した。
その結果、合成ダイヤモンド単結晶は、窒素を含有する
ことによって耐摩耗性が向上し、又ホウ素の添加によっ
て無添加のものより耐熱性と耐酸化性が向上することを
見い出し、所定量の窒素とホウ素を同時に添加すること
により、クレータ摩耗や刃先摩耗のような工具摩耗が少
なく、寿命の長いダイヤモンド工具を得るに至ったもの
である。
ことによって耐摩耗性が向上し、又ホウ素の添加によっ
て無添加のものより耐熱性と耐酸化性が向上することを
見い出し、所定量の窒素とホウ素を同時に添加すること
により、クレータ摩耗や刃先摩耗のような工具摩耗が少
なく、寿命の長いダイヤモンド工具を得るに至ったもの
である。
例えば、ダイヤモンドバイトでは工具が被削材を切削す
るときに生じる高温の切り粉が高速ですくい面上を流れ
るとき及び刃先部と仕上面の接触により発生する摩耗熱
及び機械的摩耗によるダイヤモンド素材の酸化摩耗を防
止することにより工具摩耗を小さく抑え寿命を長くする
ことに成功したものである。
るときに生じる高温の切り粉が高速ですくい面上を流れ
るとき及び刃先部と仕上面の接触により発生する摩耗熱
及び機械的摩耗によるダイヤモンド素材の酸化摩耗を防
止することにより工具摩耗を小さく抑え寿命を長くする
ことに成功したものである。
すなわち、本発明は工具を構成する合成ダイヤモンド単
結晶がホウ素またはホウ素と窒素を含むことを特徴とす
るダイヤモンド工具を提供するものであり、一般にはホ
ウ素を0.1〜500ppm %窒素を1〜500pp
In含有させ、特にホウ素を0.1〜1100Pp、窒
素を3〜100ppIIl含有することが好ましい。
結晶がホウ素またはホウ素と窒素を含むことを特徴とす
るダイヤモンド工具を提供するものであり、一般にはホ
ウ素を0.1〜500ppm %窒素を1〜500pp
In含有させ、特にホウ素を0.1〜1100Pp、窒
素を3〜100ppIIl含有することが好ましい。
こうして、この発明は合成ダイヤモンド単結晶に窒素を
1 ppm〜500 ppm含有させることによりダイ
ヤモンド単結晶素材の耐摩耗性を向上させ及びホウ素を
0.1〜5 o o ppmの範囲で含有させることに
よって、耐熱性及び耐酸化性を向上させ、工具の長寿命
化を図ったものである。
1 ppm〜500 ppm含有させることによりダイ
ヤモンド単結晶素材の耐摩耗性を向上させ及びホウ素を
0.1〜5 o o ppmの範囲で含有させることに
よって、耐熱性及び耐酸化性を向上させ、工具の長寿命
化を図ったものである。
尚、窒素含有量が1 ppm未満では耐摩耗性が少なく
又、ホウ素含有量がo、 t ppm未満では耐熱性及
び耐酸化性が少なく、工具の長寿命化に効果が認められ
ず、一方、窒素含有量が500ppmを越えれば、耐摩
耗性が低下し、一方、ホウ素含有量が500 ppmを
越えると、合成ダイヤモンド単結晶が脆くなり、刃先の
加工が困難となる。このことから窒素含有量はl pp
m〜500 ppm 、ホウ素含有量は0.1 ppm
〜500ppmの範囲が適当であることを決定した。
又、ホウ素含有量がo、 t ppm未満では耐熱性及
び耐酸化性が少なく、工具の長寿命化に効果が認められ
ず、一方、窒素含有量が500ppmを越えれば、耐摩
耗性が低下し、一方、ホウ素含有量が500 ppmを
越えると、合成ダイヤモンド単結晶が脆くなり、刃先の
加工が困難となる。このことから窒素含有量はl pp
m〜500 ppm 、ホウ素含有量は0.1 ppm
〜500ppmの範囲が適当であることを決定した。
耐摩耗性の向上は窒素含有量が1 ppm〜500pp
mの範囲で認められるが、本発明のより好ましい実施態
様では以下の理由により3 ppm〜100 ppmの
範囲とする。窒素含有量を3 ppm未満とするために
は、窒素の混入を抑える窒素ゲッターの存在によりダイ
ヤモンドの成長速度が大幅に低下し、製造コストが二倍
以上となって不経済である。窒素含有量が100 pp
mを超えると、溶媒金属が不純物としてダイヤモンド単
結晶中に取り込まれやすくなるため、バイト用として良
質なダイヤモンド単結晶が得難い。
mの範囲で認められるが、本発明のより好ましい実施態
様では以下の理由により3 ppm〜100 ppmの
範囲とする。窒素含有量を3 ppm未満とするために
は、窒素の混入を抑える窒素ゲッターの存在によりダイ
ヤモンドの成長速度が大幅に低下し、製造コストが二倍
以上となって不経済である。窒素含有量が100 pp
mを超えると、溶媒金属が不純物としてダイヤモンド単
結晶中に取り込まれやすくなるため、バイト用として良
質なダイヤモンド単結晶が得難い。
これは又、バイトとなる良質なダイヤモンド単結晶の歩
留が低下することであり、経済的にはやはり製造コスト
が三〜十倍となって不経済である。
留が低下することであり、経済的にはやはり製造コスト
が三〜十倍となって不経済である。
耐熱性及び耐酸化性に関しては、ホウ素含有量が0.1
ppm〜500 ppmの範囲で効果が認められる。
ppm〜500 ppmの範囲で効果が認められる。
ホウ素含有量が500 ppmを超えるとダイヤモンド
単結晶が脆くなって刃先の加工が困難になるが、100
ppmを超えた段階で窒素の場合と同様に溶媒金属が
不純物としてダイヤモンド単結晶中に取り込まれやすく
なるため、バイト用として良質なダイヤモンド単結晶が
得難くなり、又歩留低下により製造コストが三〜十倍と
なるので、本発明のより好ましい実施態様ではホウ素含
有量をO,1,ppm 〜100 ppm 。
単結晶が脆くなって刃先の加工が困難になるが、100
ppmを超えた段階で窒素の場合と同様に溶媒金属が
不純物としてダイヤモンド単結晶中に取り込まれやすく
なるため、バイト用として良質なダイヤモンド単結晶が
得難くなり、又歩留低下により製造コストが三〜十倍と
なるので、本発明のより好ましい実施態様ではホウ素含
有量をO,1,ppm 〜100 ppm 。
さらに好ましくは10〜t o o ppmとする。
なお本発明において、ホウ素の定量は、イオン質量分析
器(SIMS>を用い、ダイヤモンドに酸素もしくはア
ルゴンイオンを照射することによってイオンを発生させ
、このイオンを質量分析にかけることにより行なう。
器(SIMS>を用い、ダイヤモンドに酸素もしくはア
ルゴンイオンを照射することによってイオンを発生させ
、このイオンを質量分析にかけることにより行なう。
切削工具を金属材料用に使用する場合は、切削工具と被
削材との接点で温度が非常に高くなるので前記したよう
な耐摩耗性の他に、被削材料との反応性が低いことが望
ましい。また耐摩工具としてはダイスなどに利用できる
が、このような用途では通常潤滑材などを用いるため、
常温に近い温度で使用されるので、低温での耐摩耗性が
特に重要である。一方ドレッサーは、通常砥石等の硬度
の高い物質を含有する材料を切削する。通常この種の硬
度の高い物質は微細な粉末を含有するものなので、ドレ
ッサーは微少な破壊が起り、ついに使用不可能になる。
削材との接点で温度が非常に高くなるので前記したよう
な耐摩耗性の他に、被削材料との反応性が低いことが望
ましい。また耐摩工具としてはダイスなどに利用できる
が、このような用途では通常潤滑材などを用いるため、
常温に近い温度で使用されるので、低温での耐摩耗性が
特に重要である。一方ドレッサーは、通常砥石等の硬度
の高い物質を含有する材料を切削する。通常この種の硬
度の高い物質は微細な粉末を含有するものなので、ドレ
ッサーは微少な破壊が起り、ついに使用不可能になる。
従ってドレッサーに適したダイヤモンドは微少破壊に強
い材料であることが必要である。
い材料であることが必要である。
本発明のダイヤモンド単結晶は上記したような種々の特
性を充分満足するものであることがわかった。
性を充分満足するものであることがわかった。
以下本発明を実施例により詳細に説明する。
実施例1
窒素を100 ppm及びホウ素を300ρpi含有さ
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を1100pp含有
しホウ素を含有しない合成ダイヤモンド単結晶、窒素を
含有せず、ホウ素を300ppm含有する合成ダイヤモ
ンド単結晶及び窒素もホウ素も含有しない合成ダイヤモ
ンド単結晶の4種類のものを素材に用いて第1図(a)
、ら)に示すようにすくい角βが0°、逃げ角αが5゜
刃幅lが1.21III11すくい面3の方位(110
)面、刃先方向<100>の超精密バイトを作成した。
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を1100pp含有
しホウ素を含有しない合成ダイヤモンド単結晶、窒素を
含有せず、ホウ素を300ppm含有する合成ダイヤモ
ンド単結晶及び窒素もホウ素も含有しない合成ダイヤモ
ンド単結晶の4種類のものを素材に用いて第1図(a)
、ら)に示すようにすくい角βが0°、逃げ角αが5゜
刃幅lが1.21III11すくい面3の方位(110
)面、刃先方向<100>の超精密バイトを作成した。
これらバイトを用いて、アルミニウム合金A 5086
からなる外径φ150 ma+、内径φ20III11
厚さ3’ Onusの被削材の端面を切削速度113
m/m1n(内径)〜848 m/min (外径)
、切込み0.01m、送り0.03 mm / rev
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度がO,Q
4μtn Rmaxとなったところでバイトとしての工
具寿命と判定した。テストの結果を第1表に示した。
からなる外径φ150 ma+、内径φ20III11
厚さ3’ Onusの被削材の端面を切削速度113
m/m1n(内径)〜848 m/min (外径)
、切込み0.01m、送り0.03 mm / rev
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度がO,Q
4μtn Rmaxとなったところでバイトとしての工
具寿命と判定した。テストの結果を第1表に示した。
実施例2
ホウ素をlQppm含有させた合成ダイヤモンド単結晶
を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第2図(a
)、わ)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α 5°
ノーズR1+w、すくい面3の方位(100)面、刃
先方向<100>の精密バイトを作成した。これらバイ
トを用いて無酸素銅からなる外径φ150mm、内径φ
20mm。
を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第2図(a
)、わ)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α 5°
ノーズR1+w、すくい面3の方位(100)面、刃
先方向<100>の精密バイトを作成した。これらバイ
トを用いて無酸素銅からなる外径φ150mm、内径φ
20mm。
厚さ10mの被削材の端面を切削速度113m/min
(内径)〜848 m/min (外径)、切込
み0.005m、送り0.02 rum/ ravの条
件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度が0.2μmR
maxとなったところでバイトとしての工具寿命と判定
した。テストの結果を第2表に示した。
(内径)〜848 m/min (外径)、切込
み0.005m、送り0.02 rum/ ravの条
件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度が0.2μmR
maxとなったところでバイトとしての工具寿命と判定
した。テストの結果を第2表に示した。
第
表
実施例3
ホウ素を100 ppm含有させた合成ダイヤモンド単
結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第3図
(a)、(ハ)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α
5°、刃幅j!1.2aui、すくい面方位(100)
面、刃先方向<110>の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金A3086からなる
外径φ150+am、内径φ20mm、厚さ30mmの
被削材の端面を切削速度113m/min (内径)
〜848 m/m1n(外径)、切込み0.01+n
m、送り0.03 w / rawの条件で、200m
mの湿式旋削を行ない、第4図に示す刃先部の摩耗ΔT
とすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テス
トの結果は第3表に示した。
結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第3図
(a)、(ハ)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α
5°、刃幅j!1.2aui、すくい面方位(100)
面、刃先方向<110>の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金A3086からなる
外径φ150+am、内径φ20mm、厚さ30mmの
被削材の端面を切削速度113m/min (内径)
〜848 m/m1n(外径)、切込み0.01+n
m、送り0.03 w / rawの条件で、200m
mの湿式旋削を行ない、第4図に示す刃先部の摩耗ΔT
とすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テス
トの結果は第3表に示した。
第 3 表
実施例4
ホウ素を0.05 ppm含有させた合成ダイヤモンド
単結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第3
図に示すようなすくい角β2゜逃げ角α5°、刃幅11
.2ml111すくい面方位(100)面、刃先方向<
110>の超精密バイトを作成した。このバイトを用い
て無酸素銅からなる外径φ150ma+、内径φ20m
m、厚さ1OIfiIIlの被削材の端面を切削速度1
13m/min (内径)〜848 m/min
(外径)、切込み0.01w。
単結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第3
図に示すようなすくい角β2゜逃げ角α5°、刃幅11
.2ml111すくい面方位(100)面、刃先方向<
110>の超精密バイトを作成した。このバイトを用い
て無酸素銅からなる外径φ150ma+、内径φ20m
m、厚さ1OIfiIIlの被削材の端面を切削速度1
13m/min (内径)〜848 m/min
(外径)、切込み0.01w。
送り0.02 mm / revの条件で、湿式切削を
行ない被削面の面粗度が0.03μm Rmaxとなっ
たところで、バイトとしての工具寿命と判定した。
行ない被削面の面粗度が0.03μm Rmaxとなっ
たところで、バイトとしての工具寿命と判定した。
テストの結果は第4表に示した。
第
表
実施例5
窒素を10 ppm 、ホウ素を1 ppm含有させた
合成ダイヤモンド単結晶、窒素を0.5 ppm 、ホ
ウ素を1 ppm含有させた合成ダイヤモンド単結晶、
窒素を10 ppm 、ホウ素を0.05 ppm含有
させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を0.5ppm
、ホウ素を0.05 ppm含有させた合成ダイヤモ
ンド単結晶の4種類のものを素材に用いて、第2図(a
)、(5)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α5°
ノーズRIIII111すくい面3の方位(100)
面、刃先方向<100>の超精密バイトを作成した。こ
れらバイトを用いて無酸素銅からなる外径φ150mm
、内径φ20a+a+、厚さ10報の被削材の端面を切
削速度113m/min (内径)〜848m/5i
n(外径)、切込み0.005mm、送り0.02 m
m / rayの条件で湿式旋削を行ない、被削面の面
粗度が0.2μm Rmaxとなったところでバイトと
しての工具寿命と判定した。
合成ダイヤモンド単結晶、窒素を0.5 ppm 、ホ
ウ素を1 ppm含有させた合成ダイヤモンド単結晶、
窒素を10 ppm 、ホウ素を0.05 ppm含有
させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を0.5ppm
、ホウ素を0.05 ppm含有させた合成ダイヤモ
ンド単結晶の4種類のものを素材に用いて、第2図(a
)、(5)に示すようなすくい角β2°、逃げ角α5°
ノーズRIIII111すくい面3の方位(100)
面、刃先方向<100>の超精密バイトを作成した。こ
れらバイトを用いて無酸素銅からなる外径φ150mm
、内径φ20a+a+、厚さ10報の被削材の端面を切
削速度113m/min (内径)〜848m/5i
n(外径)、切込み0.005mm、送り0.02 m
m / rayの条件で湿式旋削を行ない、被削面の面
粗度が0.2μm Rmaxとなったところでバイトと
しての工具寿命と判定した。
テストの結果を第5表に示した。
実施例6
窒素を50 ppm 、ホウ素を100 ppm含有さ
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を50 ppm 。
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を50 ppm 。
ホウ素を0、O5ppm含有させた合成ダイヤモンド単
結晶、窒素を0.5 ppm 、ホウ素を100 pp
m含有させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を0、5
ppm 、ホウ素を0.05 pprn含有させた合
成ダイヤモンド単結晶の4種類のものを素材に用いて、
第3図(a)、ら)に示すようなす(い角β2゜逃げ角
α5°、刃幅j21.2mm、すくい面方位(100)
面、刃先方向<110>の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金A3086からなる
外径φ150關、内径φ20mm、厚さ30mmの被削
材の端面を切削速度113 m/min (内径)〜
848 m/min (外径)、切込み0.01mm
、送り0.03 mm / revの条件で、200
kmの湿式旋削を行ない、第4図に示す刃先部の摩耗Δ
Tとすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テ
ストの結果は第6表に示した。
結晶、窒素を0.5 ppm 、ホウ素を100 pp
m含有させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を0、5
ppm 、ホウ素を0.05 pprn含有させた合
成ダイヤモンド単結晶の4種類のものを素材に用いて、
第3図(a)、ら)に示すようなす(い角β2゜逃げ角
α5°、刃幅j21.2mm、すくい面方位(100)
面、刃先方向<110>の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金A3086からなる
外径φ150關、内径φ20mm、厚さ30mmの被削
材の端面を切削速度113 m/min (内径)〜
848 m/min (外径)、切込み0.01mm
、送り0.03 mm / revの条件で、200
kmの湿式旋削を行ない、第4図に示す刃先部の摩耗Δ
Tとすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テ
ストの結果は第6表に示した。
実施例7
下記第7表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変え
た5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第1
図に示す如く逃げ角α5゜すくい角β0°、刃先部7の
刃幅i1.2mm、刃先部7両端のR0,4mmであり
、すくい面3の方位(110)面、刃先方向<ioo>
の超精密ダイヤモンドバイト2を作製した。
た5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第1
図に示す如く逃げ角α5゜すくい角β0°、刃先部7の
刃幅i1.2mm、刃先部7両端のR0,4mmであり
、すくい面3の方位(110)面、刃先方向<ioo>
の超精密ダイヤモンドバイト2を作製した。
各ダイヤモンドバイト2を使用して、^1合金A308
6からなる外径150++ua、内径20m。
6からなる外径150++ua、内径20m。
厚さ30II11の被削材の端面を、切削速度113m
/min (内径) 〜848m/ID1n (外
径)切込み0.01+n、送り0.03 m/ ray
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗さRmaxが
0.04μmとなった時点を工具寿命と判定した。
/min (内径) 〜848m/ID1n (外
径)切込み0.01+n、送り0.03 m/ ray
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗さRmaxが
0.04μmとなった時点を工具寿命と判定した。
各試料について、夫々5個のダイヤモンドバイトが工具
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに各ダイヤ
モンドバイトの原石とした合成ダイヤモンド単結晶の製
造コストを本発明の一例である試料■を基準にして比較
した結果を夫々第7表に示した。
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに各ダイヤ
モンドバイトの原石とした合成ダイヤモンド単結晶の製
造コストを本発明の一例である試料■を基準にして比較
した結果を夫々第7表に示した。
実施例8
下記第8表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変え
た5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第2
図に示す如く逃げ角α5゜す(い角β2°、刃先R7の
ノーズRIIIII11であり、すくい面3の方位(1
00)面、刃先方向<100>の超精密ダイヤモンドバ
イト2を作製した。
た5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第2
図に示す如く逃げ角α5゜す(い角β2°、刃先R7の
ノーズRIIIII11であり、すくい面3の方位(1
00)面、刃先方向<100>の超精密ダイヤモンドバ
イト2を作製した。
各ダイヤモンドバイト2を使用して、無酸素銅からなる
外径150關、内径20ma+、厚さ10mmの被削材
の端面を、切削速度113m/min (内径)〜8
48 m/min (外径)、切込み0.005m5
.送り0.02 aus / revの条件で湿式旋削
を行ない、被削面の面粗さRma xが0.2μmとな
った時点を工具寿命と判定した。
外径150關、内径20ma+、厚さ10mmの被削材
の端面を、切削速度113m/min (内径)〜8
48 m/min (外径)、切込み0.005m5
.送り0.02 aus / revの条件で湿式旋削
を行ない、被削面の面粗さRma xが0.2μmとな
った時点を工具寿命と判定した。
各試料について、夫々5個のダイヤモンドバイトが工具
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに実施例7
と同様に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発
明の一例である試料■を基準にして比較した結果を夫々
第8表に示した。試料■について含有不純物の測定結果
を第9表に示した。
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに実施例7
と同様に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発
明の一例である試料■を基準にして比較した結果を夫々
第8表に示した。試料■について含有不純物の測定結果
を第9表に示した。
第
9
表
実施例9
下記第10表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
3図に示す如く逃げ角α5゜すくい角β0°、刃先R7
の刃幅11□2IIlfl+であり、すくい面3の方位
(100)面、刃先方向< 1.00 >の超精密ダイ
ヤモンドバイト2を作製した。
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
3図に示す如く逃げ角α5゜すくい角β0°、刃先R7
の刃幅11□2IIlfl+であり、すくい面3の方位
(100)面、刃先方向< 1.00 >の超精密ダイ
ヤモンドバイト2を作製した。
各ダイヤモンドバイト2を使用して、実施例7と同じ被
削材の端面を、同一切削条件で湿式旋削を行ない、各5
個の試料について切削距離200 kmの時点での第4
図に示す刃先部7の摩耗ΔTとすくい面3のクレータ摩
耗の深さΔαを測定し、その結果並びに実施例7と同様
に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明の一
例である試料■を基準にして比較した結果を夫々第10
表に示した。
削材の端面を、同一切削条件で湿式旋削を行ない、各5
個の試料について切削距離200 kmの時点での第4
図に示す刃先部7の摩耗ΔTとすくい面3のクレータ摩
耗の深さΔαを測定し、その結果並びに実施例7と同様
に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明の一
例である試料■を基準にして比較した結果を夫々第10
表に示した。
実施例10
下記第11表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
8図に示すような方位で重石ダイヤモンドドレッサーを
作成した。各準Eダイヤモンドドレッサーを使用して粒
度400メツシユの炭化ケイ素砥石をドレッシングを砥
石周速度2000 m/min 、ドレス切込み0.0
2am/passテ行?、Cい500回ドレッシング後
のダイヤモンド摩耗量を測定した。
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
8図に示すような方位で重石ダイヤモンドドレッサーを
作成した。各準Eダイヤモンドドレッサーを使用して粒
度400メツシユの炭化ケイ素砥石をドレッシングを砥
石周速度2000 m/min 、ドレス切込み0.0
2am/passテ行?、Cい500回ドレッシング後
のダイヤモンド摩耗量を測定した。
各試料について、夫々5個の重石ダイヤモンドドレッサ
ーの摩耗量及び合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを
本発明の一例である試料■を基準にして比較した結果を
夫々第11表に示した。
ーの摩耗量及び合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを
本発明の一例である試料■を基準にして比較した結果を
夫々第11表に示した。
下記第12表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
9図に示すような方位で線引きダイスを作成した。各線
引ダイスを使用してφ0.08 asの銅線の線引きを
行ないダイス寿命まで伸線量を測定した。
えた5種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
9図に示すような方位で線引きダイスを作成した。各線
引ダイスを使用してφ0.08 asの銅線の線引きを
行ないダイス寿命まで伸線量を測定した。
各試料について、夫々3個の線引きダイスの伸線量及び
合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明例である
試料■を基準にして比較した結果を夫々第12表に示し
た。
合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明例である
試料■を基準にして比較した結果を夫々第12表に示し
た。
以上説明したように、この発明のホウ素もしくは窒素及
びホウ素を含有させた合成ダイヤモンド単結晶工具は窒
素またはホウ素を含有させないものに比べて耐摩耗性、
耐熱性、耐酸化性の点で優れているため、例えばバイト
では切削の際に切り粉との摩擦などによる機械的摩耗、
酸化現象に起因するような摩耗が小さく、従って精密バ
イト、超精密バイトなどの分野で工具摩耗を小さく抑え
ることにより工具寿命を長くするような用途に利用する
と効果的であることが認められた。その他、ドレッサー
、線引きダイス等においても、機械的接触による工具摩
耗、工具と仕上げ面の接触により発生する摩擦熱による
ダイヤモンド素材の酸化を防止することにより工具摩耗
を小さく抑え寿命を長くすることができる。
びホウ素を含有させた合成ダイヤモンド単結晶工具は窒
素またはホウ素を含有させないものに比べて耐摩耗性、
耐熱性、耐酸化性の点で優れているため、例えばバイト
では切削の際に切り粉との摩擦などによる機械的摩耗、
酸化現象に起因するような摩耗が小さく、従って精密バ
イト、超精密バイトなどの分野で工具摩耗を小さく抑え
ることにより工具寿命を長くするような用途に利用する
と効果的であることが認められた。その他、ドレッサー
、線引きダイス等においても、機械的接触による工具摩
耗、工具と仕上げ面の接触により発生する摩擦熱による
ダイヤモンド素材の酸化を防止することにより工具摩耗
を小さく抑え寿命を長くすることができる。
第1図から第3図は本発明に係るダイヤモンドを示し、
各図における(a)は平面図及び(b)は断面図である
。第4図は実施例3での摩耗を説明するためのダイヤモ
ンドバイトの断面図である。 第5図はダイヤモンドバイトによる切削状態を示す断面
図、第6図はクレータ摩耗を、及び第7図は刃先摩耗を
夫々示すダイヤモンドバイトの断面図である。第8図は
本発明のダイヤモンド結晶を素材としたダイヤモンドド
レッサーの方位を示す概念図、第9図は同じく線引きダ
イスの概念図である。 1・・・被削材、2・・・ダイヤモンドバイト、3・・
・すくい面、4・ ・切粉、5・・クレータ摩耗、6・
・逃げ面、7・ ・刃先部、8・・・摩耗した刃先部
各図における(a)は平面図及び(b)は断面図である
。第4図は実施例3での摩耗を説明するためのダイヤモ
ンドバイトの断面図である。 第5図はダイヤモンドバイトによる切削状態を示す断面
図、第6図はクレータ摩耗を、及び第7図は刃先摩耗を
夫々示すダイヤモンドバイトの断面図である。第8図は
本発明のダイヤモンド結晶を素材としたダイヤモンドド
レッサーの方位を示す概念図、第9図は同じく線引きダ
イスの概念図である。 1・・・被削材、2・・・ダイヤモンドバイト、3・・
・すくい面、4・ ・切粉、5・・クレータ摩耗、6・
・逃げ面、7・ ・刃先部、8・・・摩耗した刃先部
Claims (14)
- (1)工具を構成する合成ダイヤモンド単結晶がホウ素
を含むことを特徴とするダイヤモンド工具。 - (2)ホウ素の含有量が0.1ppm〜500ppmで
あることを特徴とする請求項(1)記載のダイヤモンド
工具。 - (3)工具を構成する合成ダイヤモンド単結晶が窒素及
びホウ素を含むことを特徴とするダイヤモンド工具。 - (4)窒素の含有量が1ppm〜500ppmでありか
つホウ素の含有量が0.1ppm〜500ppmである
ことを特徴とする請求項(3)記載のダイヤモンド工具
。 - (5)窒素の含有量が3ppm〜100ppmであり、
かつホウ素の含有量が0.1ppm〜100ppmであ
ることを特徴とする請求項(3)記載のダイヤモンド工
具。 - (6)シャンクにブランクを固着してなる切削工具にお
いて、ブランクがホウ素0.1ppm〜500ppmを
含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって刃先を
成形したものであるダイヤモンド工具。 - (7)ブランク外周部が金属製の支持体に固定されてな
る耐摩工具においてブランクがホウ素0.1ppm〜5
00ppmを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩に
よって工具形状を成形したものであるダイヤモンド工具
。 - (8)ブランクが金属製の支持体に埋め込まれることに
より固定されるドレッサーにおいてブランクがホウ素0
.1ppm〜500ppmを含有する合成ダイヤモンド
単結晶を研摩によって所望の形状に成形したものである
ダイヤモンド工具。 - (9)シャンクにブランクを固着してなる切削工具にお
いて、ブランクが窒素1ppm〜500ppmおよびホ
ウ素0.1ppm〜500ppmを含有する合成ダイヤ
モンド単結晶を研摩によって刃先を成形したものである
ダイヤモンド工具。 - (10)ブランク外周部が金属製の支持体に固定されて
なる耐摩工具においてブランクが窒素1ppm〜500
ppmおよびホウ素0.1ppm〜500ppmを含有
する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって工具形状を
成形したものであるダイヤモンド工具。 - (11)ブランクが金属製の支持体に埋め込まれること
により固定されるドレッサーにおいてブランクが窒素1
ppm〜500ppmおよびホウ素0.1ppm〜50
0ppmを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によ
って所望の形状に成形したものであるダイヤモンド工具
。 - (12)シャンクにブランクを固着してなる切削工具に
おいて、ブランクが窒素3ppm〜100ppmおよび
ホウ素0.1ppm〜100ppmを含有する合成ダイ
ヤモンド単結晶を研摩によって刃先を成形したものであ
るダイヤモンド工具。 - (13)ブランク外周部が金属製の支持体に固定されて
なる耐摩工具においてブランクが窒素3ppm〜100
ppmおよびホウ素0.1ppm〜100ppmを含有
する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって工具形状を
成形したものであるダイヤモンド工具。 - (14)ブランクが金属製の支持体に埋め込まれること
により固定されるドレッサーにおいてブランクが窒素3
ppm〜100ppmおよびホウ素0.1ppm〜10
0ppmを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によ
って所望の形状に成形したものであるダイヤモンド工具
。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15312689 | 1989-06-15 | ||
JP1-153126 | 1989-06-15 | ||
JP1-242628 | 1989-09-18 | ||
JP1-311570 | 1989-11-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03228504A true JPH03228504A (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=15555550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11515990A Pending JPH03228504A (ja) | 1989-06-15 | 1990-05-02 | ダイヤモンド工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03228504A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004148471A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Allied Material Corp | 単結晶ダイヤモンドを用いたエンドミル |
EP2468392A2 (en) | 2003-10-10 | 2012-06-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Diamond tool, synthetic single crystal diamond and method for synthesizing single crystal diamond, and diamond jewelry |
WO2013105348A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-18 | 住友電工ハードメタル株式会社 | ダイヤモンド被覆工具 |
JP2016107368A (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 株式会社ディスコ | 発光デバイスウエーハの加工方法 |
WO2018179666A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具の製造方法 |
WO2020031871A1 (ja) * | 2018-08-06 | 2020-02-13 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 旋削工具 |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP11515990A patent/JPH03228504A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004148471A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Allied Material Corp | 単結晶ダイヤモンドを用いたエンドミル |
EP2468392A2 (en) | 2003-10-10 | 2012-06-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Diamond tool, synthetic single crystal diamond and method for synthesizing single crystal diamond, and diamond jewelry |
WO2013105348A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-18 | 住友電工ハードメタル株式会社 | ダイヤモンド被覆工具 |
CN104053517A (zh) * | 2012-01-10 | 2014-09-17 | 住友电工硬质合金株式会社 | 金刚石包覆工具 |
JPWO2013105348A1 (ja) * | 2012-01-10 | 2015-05-11 | 住友電工ハードメタル株式会社 | ダイヤモンド被覆工具 |
TWI655043B (zh) * | 2014-12-05 | 2019-04-01 | 日商迪思科股份有限公司 | Method for processing light-emitting element wafer |
JP2016107368A (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 株式会社ディスコ | 発光デバイスウエーハの加工方法 |
WO2018179666A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具の製造方法 |
KR20190121805A (ko) * | 2017-03-28 | 2019-10-28 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 절삭 공구의 제조 방법 |
JPWO2018179666A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2019-11-07 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具の製造方法 |
CN110461514A (zh) * | 2017-03-28 | 2019-11-15 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具的制造方法 |
US11541464B2 (en) | 2017-03-28 | 2023-01-03 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Method for manufacturing diamond single crystal cutting tool using laser pulses |
WO2020031871A1 (ja) * | 2018-08-06 | 2020-02-13 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 旋削工具 |
JPWO2020031871A1 (ja) * | 2018-08-06 | 2021-08-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 旋削工具 |
US11938547B2 (en) | 2018-08-06 | 2024-03-26 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Turning tool |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5133332A (en) | Diamond tool | |
CN107207364B (zh) | 立方氮化硼多晶体、切削工具、耐磨工具、研磨工具、和立方氮化硼多晶体的制造方法 | |
EP2843688B1 (en) | Dicing blade | |
Kitajima et al. | Study on mechanism of ceramics grinding | |
US9403215B2 (en) | Cutting tool and method for producing same | |
KR20070085526A (ko) | 표면 피복 절삭 공구 | |
EP3071729B1 (en) | Polycrystalline chemical vapour deposited diamond tool parts and method of processing a material using a polycrystalline cvd synthetic diamond tool | |
JP6387897B2 (ja) | ダイヤモンド多結晶体、切削工具、耐摩工具、および研削工具 | |
JP4732169B2 (ja) | ダイヤモンド工具および単結晶ダイヤモンドの合成方法 | |
JPH03228504A (ja) | ダイヤモンド工具 | |
JP2017165637A (ja) | 切削工具用複合焼結体及びこれを利用した切削工具 | |
Klink | Wire electro discharge trueing and dressing of fine grinding wheels | |
US10974360B2 (en) | Use of a diamond layer doped with foreign atoms to detect the degree of wear of an undoped diamond function layer of a tool | |
JP5379934B2 (ja) | ダイヤモンド・コーティングした工具およびその製造方法 | |
JP2008142890A (ja) | 切削工具を用いた精密加工方法 | |
CN102658529A (zh) | 一种超细磨粒纳米磨削制备纳米颗粒方法 | |
TWI690488B (zh) | 鑽石多晶體及具備其之工具 | |
US5038645A (en) | Wear resistant cutting tools and shaping method | |
JP2008238314A (ja) | 切削工具およびその製造方法並びに切削方法 | |
US6206764B1 (en) | Methods for machining hard materials using alcohols | |
JP6165388B1 (ja) | 砥粒工具 | |
JPH0920590A (ja) | ダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法 | |
JP2011036938A (ja) | 回転切削工具 | |
Morehead et al. | Machinability research and workpiece microstructure characterization in turning of ultrafine grained copper | |
Pachacama et al. | Study of the performance of PVD & CVD type cutting tools in the machining of shafts with AISI 1018 steel |