JPH03228504A

JPH03228504A - ダイヤモンド工具

Info

Publication number: JPH03228504A
Application number: JP11515990A
Authority: JP
Inventors: Katsuyuki Tanaka; 克享田中; Akihito Yoshida; 晃人吉田; Nobuo Urakawa; 浦川　信夫; Kazuo Tsuji; 辻　一夫
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1989-06-15
Filing date: 1990-05-02
Publication date: 1991-10-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はダイヤモンド工具、特に切削工具の切刃を構成
するダイヤモンドバイト、砥石の成形、ドレッシングに
用いられるダイヤモンドドレッサー、伸線に用いられる
線引きダイス等に関する。より詳細には本発明は、非鉄
金属であるアルミニウム、銅、あるいはプラスチック等
の軟質材料部品を高精度に切削する精密加工又は超精密
加工に用いられる合成ダイヤモンド単結晶バイトに関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来、精密あるいは超精密バイト等の工具に用いられる
ダイヤモンド単結晶として天然ダイヤモンド、合成ダイ
ヤモンドが使用されていたが、これらのダイヤモンドに
は共に不純物として窒素は含まれているもののホウ素に
ついては全く含まれていなかった。

ダイヤモンドバイトについてみると、従来、アルミニウ
ムや銅等の非鉄金属あるいはプラスチック等の軟質材料
を、ダイヤモンドバイトを用いて高精度に切削する精密
ないし超精密加工においては、ダイヤモンドバイトが摩
耗しやすく、寿命が短いと云う欠点があった。切削によ
り工具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面
粗さが劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現
象を引き起こし、工具寿命が短かくなることの原因とな
っていた。

即ち、第５図に示す如く、軟質材料の被削材１をダイヤ
モンドバイト２で切削すると、削り取られた切粉４がダ
イヤモンドバイト２のすくい面３に接触しながら高速で
連続的に滑り、このときの摩擦熱並びに約３００〜４０
０℃に加熱された切粉４自身の熱により、すくい面３が
部分的に酸化されて第６図に示すクレータ摩耗５が発生
する。クレータ摩耗５が大きくなると切粉４がすくい面
３上を滑りにくくなるため、切削抵抗が大きくなったり
、切粉４が被削面を傷つけ面粗さを劣化させるようにな
る。

又、ダイヤモンドバイト２の刃先Ｂ７も、被削材１との
摩擦熱や機械的摩耗により第７図に８として示す如く摩
耗し、その結果切削抵抗が大きくなったり、所望の切削
精度が得られなくなる。同様にダイヤモンドドレッサー
、線引きダイスに関しても摩耗により所望の形状精度、
線型が得られ難くなる。

一方、ダイヤモンドバイトとして用いられる大型のダイ
ヤモンド単結晶の合成は、例えば米国特許第３２９７４
０７号、第４０３４０６６号及び第４０７３３８０号明
細書や特開昭５２−８８２８９号公報に開示されている
ように、種結晶上に単結晶を成長させる温度差法が一般
的である。これらの方法により合成されたダイヤモンド
単結晶には原料に含まれる窒素が不純物として含有され
ていることは古くから知られている。

又、合成ダイヤモンド単結晶にホウ素を添加する技術は
、米国特許第４０４２６７３号及び第４０８２１８５号
明細書等に開示されている。

しかし、かかるホウ素の添加はダイヤモンドをｎ型半導
体としたり、装飾用として青色に着色する目的で行なわ
れ、切削工具分野で切削特性との関連で研究されたこと
は無かった。

また、放電加工により所定の形状を正確にかつ高能率で
加工しうるダイヤモンド工具とするためホウ素を添加し
て抵抗率を下げたダイヤモンド単結晶が提案されている
（特開昭５８−１２６００３号公報）が、機械的特性の
改善については認識されていない。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来、ダイヤモンドバイトの場合アルミニウム、銅、プ
ラスチック等の被削材の切削においては、切削により工
具刃先部に摩耗を生じ、これによって、被削面の面粗さ
が劣化すること、切削抵抗が大きくなること等の現象を
引き起こし、工具寿命の原因となっていた。またダイヤ
モンドドレッサー、線引きダイスも同様に摩耗によって
工具寿命に至っていた。

本発明はかかる従来の事情に鑑み、軟質材料等の高精度
切削時における摩耗、砥石のドレッシング時の摩耗、伸
縮時の摩耗等を減少させ、従来よりも工具寿命を改善し
たダイヤモンド工具を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者等は、軟質材料の高精度切削時におけるダイヤ
モンドバイトのクレータ摩耗や刃先摩耗の発生メカニズ
ムの検討から、ダイヤモンドバイトの耐摩耗性、耐熱性
及び耐酸化性を改善すれば上記摩耗を抑えることができ
、工具寿命を延ばすことが可能であり、同様に耐摩耗性
が要求される単石ダイヤモンドドレッサー、線引きダイ
スの寿命を延ばすことになると考え、従来検討されなか
った合成ダイヤモンド単結晶の耐摩耗性、耐熱性、耐酸
化性と含有不純物、特に窒素とホウ素との関係を詳細に
調査研究した。

その結果、合成ダイヤモンド単結晶は、窒素を含有する
ことによって耐摩耗性が向上し、又ホウ素の添加によっ
て無添加のものより耐熱性と耐酸化性が向上することを
見い出し、所定量の窒素とホウ素を同時に添加すること
により、クレータ摩耗や刃先摩耗のような工具摩耗が少
なく、寿命の長いダイヤモンド工具を得るに至ったもの
である。

例えば、ダイヤモンドバイトでは工具が被削材を切削す
るときに生じる高温の切り粉が高速ですくい面上を流れ
るとき及び刃先部と仕上面の接触により発生する摩耗熱
及び機械的摩耗によるダイヤモンド素材の酸化摩耗を防
止することにより工具摩耗を小さく抑え寿命を長くする
ことに成功したものである。

すなわち、本発明は工具を構成する合成ダイヤモンド単
結晶がホウ素またはホウ素と窒素を含むことを特徴とす
るダイヤモンド工具を提供するものであり、一般にはホ
ウ素を０．１〜５００ｐｐｍ　％窒素を１〜５００ｐｐ
Ｉｎ含有させ、特にホウ素を０．１〜１１００Ｐｐ、窒
素を３〜１００ｐｐＩＩｌ含有することが好ましい。

こうして、この発明は合成ダイヤモンド単結晶に窒素を
１　ｐｐｍ〜５００　ｐｐｍ含有させることによりダイ
ヤモンド単結晶素材の耐摩耗性を向上させ及びホウ素を
０．１〜５　ｏ　ｏ　ｐｐｍの範囲で含有させることに
よって、耐熱性及び耐酸化性を向上させ、工具の長寿命
化を図ったものである。

尚、窒素含有量が１　ｐｐｍ未満では耐摩耗性が少なく
又、ホウ素含有量がｏ、　ｔ　ｐｐｍ未満では耐熱性及
び耐酸化性が少なく、工具の長寿命化に効果が認められ
ず、一方、窒素含有量が５００ｐｐｍを越えれば、耐摩
耗性が低下し、一方、ホウ素含有量が５００　ｐｐｍを
越えると、合成ダイヤモンド単結晶が脆くなり、刃先の
加工が困難となる。このことから窒素含有量はｌ　ｐｐ
ｍ〜５００　ｐｐｍ　、ホウ素含有量は０．１　ｐｐｍ
〜５００ｐｐｍの範囲が適当であることを決定した。

耐摩耗性の向上は窒素含有量が１　ｐｐｍ〜５００ｐｐ
ｍの範囲で認められるが、本発明のより好ましい実施態
様では以下の理由により３　ｐｐｍ〜１００　ｐｐｍの
範囲とする。窒素含有量を３　ｐｐｍ未満とするために
は、窒素の混入を抑える窒素ゲッターの存在によりダイ
ヤモンドの成長速度が大幅に低下し、製造コストが二倍
以上となって不経済である。窒素含有量が１００　ｐｐ
ｍを超えると、溶媒金属が不純物としてダイヤモンド単
結晶中に取り込まれやすくなるため、バイト用として良
質なダイヤモンド単結晶が得難い。

これは又、バイトとなる良質なダイヤモンド単結晶の歩
留が低下することであり、経済的にはやはり製造コスト
が三〜十倍となって不経済である。

耐熱性及び耐酸化性に関しては、ホウ素含有量が０．１
　ｐｐｍ〜５００　ｐｐｍの範囲で効果が認められる。

ホウ素含有量が５００　ｐｐｍを超えるとダイヤモンド
単結晶が脆くなって刃先の加工が困難になるが、１００
　ｐｐｍを超えた段階で窒素の場合と同様に溶媒金属が
不純物としてダイヤモンド単結晶中に取り込まれやすく
なるため、バイト用として良質なダイヤモンド単結晶が
得難くなり、又歩留低下により製造コストが三〜十倍と
なるので、本発明のより好ましい実施態様ではホウ素含
有量をＯ，１，ｐｐｍ　〜１００　ｐｐｍ　。

さらに好ましくは１０〜ｔ　ｏ　ｏ　ｐｐｍとする。

なお本発明において、ホウ素の定量は、イオン質量分析
器（ＳＩＭＳ＞を用い、ダイヤモンドに酸素もしくはア
ルゴンイオンを照射することによってイオンを発生させ
、このイオンを質量分析にかけることにより行なう。

切削工具を金属材料用に使用する場合は、切削工具と被
削材との接点で温度が非常に高くなるので前記したよう
な耐摩耗性の他に、被削材料との反応性が低いことが望
ましい。また耐摩工具としてはダイスなどに利用できる
が、このような用途では通常潤滑材などを用いるため、
常温に近い温度で使用されるので、低温での耐摩耗性が
特に重要である。一方ドレッサーは、通常砥石等の硬度
の高い物質を含有する材料を切削する。通常この種の硬
度の高い物質は微細な粉末を含有するものなので、ドレ
ッサーは微少な破壊が起り、ついに使用不可能になる。

従ってドレッサーに適したダイヤモンドは微少破壊に強
い材料であることが必要である。

本発明のダイヤモンド単結晶は上記したような種々の特
性を充分満足するものであることがわかった。

〔実施例〕

以下本発明を実施例により詳細に説明する。

実施例１窒素を１００　ｐｐｍ及びホウ素を３００ρｐｉ含有さ
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を１１００ｐｐ含有
しホウ素を含有しない合成ダイヤモンド単結晶、窒素を
含有せず、ホウ素を３００ｐｐｍ含有する合成ダイヤモ
ンド単結晶及び窒素もホウ素も含有しない合成ダイヤモ
ンド単結晶の４種類のものを素材に用いて第１図（ａ）
、ら）に示すようにすくい角βが０°、逃げ角αが５゜
刃幅ｌが１．２１ＩＩＩ１１すくい面３の方位（１１０
）面、刃先方向＜１００＞の超精密バイトを作成した。

これらバイトを用いて、アルミニウム合金Ａ　５０８６
からなる外径φ１５０　ｍａ＋、内径φ２０ＩＩＩ１１
厚さ３’　Ｏｎｕｓの被削材の端面を切削速度１１３　
ｍ／ｍ１ｎ（内径）〜８４８　ｍ／ｍｉｎ　　（外径）
、切込み０．０１ｍ、送り０．０３　ｍｍ　／　ｒｅｖ
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度がＯ，Ｑ　
４μｔｎ　Ｒｍａｘとなったところでバイトとしての工
具寿命と判定した。テストの結果を第１表に示した。

実施例２ホウ素をｌＱｐｐｍ含有させた合成ダイヤモンド単結晶
を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第２図（ａ
）、わ）に示すようなすくい角β２°、逃げ角α　５°
　ノーズＲ１＋ｗ、すくい面３の方位（１００）面、刃
先方向＜１００＞の精密バイトを作成した。これらバイ
トを用いて無酸素銅からなる外径φ１５０ｍｍ、内径φ
２０ｍｍ。

厚さ１０ｍの被削材の端面を切削速度１１３ｍ／ｍｉｎ
　　（内径）〜８４８　ｍ／ｍｉｎ　　（外径）、切込
み０．００５ｍ、送り０．０２　ｒｕｍ／　ｒａｖの条
件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗度が０．２μｍＲ
ｍａｘとなったところでバイトとしての工具寿命と判定
した。テストの結果を第２表に示した。

第表実施例３ホウ素を１００　ｐｐｍ含有させた合成ダイヤモンド単
結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第３図
（ａ）、（ハ）に示すようなすくい角β２°、逃げ角α
５°、刃幅ｊ！１．２ａｕｉ、すくい面方位（１００）
面、刃先方向＜１１０＞の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金Ａ３０８６からなる
外径φ１５０＋ａｍ、内径φ２０ｍｍ、厚さ３０ｍｍの
被削材の端面を切削速度１１３ｍ／ｍｉｎ　　（内径）
　〜８４８　ｍ／ｍ１ｎ（外径）、切込み０．０１＋ｎ
ｍ、送り０．０３　ｗ　／　ｒａｗの条件で、２００ｍ
ｍの湿式旋削を行ない、第４図に示す刃先部の摩耗ΔＴ
とすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テス
トの結果は第３表に示した。

第　　３　　表実施例４ホウ素を０．０５　ｐｐｍ含有させた合成ダイヤモンド
単結晶を素材とするダイヤモンドバイトを用いて、第３
図に示すようなすくい角β２゜逃げ角α５°、刃幅１１
．２ｍｌ１１１すくい面方位（１００）面、刃先方向＜
１１０＞の超精密バイトを作成した。このバイトを用い
て無酸素銅からなる外径φ１５０ｍａ＋、内径φ２０ｍ
ｍ、厚さ１ＯＩｆｉＩＩｌの被削材の端面を切削速度１
１３ｍ／ｍｉｎ　　（内径）〜８４８　ｍ／ｍｉｎ　　
（外径）、切込み０．０１ｗ。

送り０．０２　ｍｍ　／　ｒｅｖの条件で、湿式切削を
行ない被削面の面粗度が０．０３μｍ　Ｒｍａｘとなっ
たところで、バイトとしての工具寿命と判定した。

テストの結果は第４表に示した。

第表実施例５窒素を１０　ｐｐｍ　、ホウ素を１　ｐｐｍ含有させた
合成ダイヤモンド単結晶、窒素を０．５　ｐｐｍ　、ホ
ウ素を１　ｐｐｍ含有させた合成ダイヤモンド単結晶、
窒素を１０　ｐｐｍ　、ホウ素を０．０５　ｐｐｍ含有
させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を０．５ｐｐｍ
　、ホウ素を０．０５　ｐｐｍ含有させた合成ダイヤモ
ンド単結晶の４種類のものを素材に用いて、第２図（ａ
）、（５）に示すようなすくい角β２°、逃げ角α５°
　ノーズＲＩＩＩＩ１１１すくい面３の方位（１００）
面、刃先方向＜１００＞の超精密バイトを作成した。こ
れらバイトを用いて無酸素銅からなる外径φ１５０ｍｍ
、内径φ２０ａ＋ａ＋、厚さ１０報の被削材の端面を切
削速度１１３ｍ／ｍｉｎ　　（内径）〜８４８ｍ／５ｉ
ｎ（外径）、切込み０．００５ｍｍ、送り０．０２　ｍ
ｍ　／　ｒａｙの条件で湿式旋削を行ない、被削面の面
粗度が０．２μｍ　Ｒｍａｘとなったところでバイトと
しての工具寿命と判定した。

テストの結果を第５表に示した。

実施例６窒素を５０　ｐｐｍ　、ホウ素を１００　ｐｐｍ含有さ
せた合成ダイヤモンド単結晶、窒素を５０　ｐｐｍ　。

ホウ素を０、Ｏ５ｐｐｍ含有させた合成ダイヤモンド単
結晶、窒素を０．５　ｐｐｍ　、ホウ素を１００　ｐｐ
ｍ含有させた合成ダイヤモンド単結晶及び窒素を０、５
　ｐｐｍ　、ホウ素を０．０５　ｐｐｒｎ含有させた合
成ダイヤモンド単結晶の４種類のものを素材に用いて、
第３図（ａ）、ら）に示すようなす（い角β２゜逃げ角
α５°、刃幅ｊ２１．２ｍｍ、すくい面方位（１００）
面、刃先方向＜１１０＞の超精密バイトを作成した。こ
のバイトを用いてアルミニウム合金Ａ３０８６からなる
外径φ１５０關、内径φ２０ｍｍ、厚さ３０ｍｍの被削
材の端面を切削速度１１３　ｍ／ｍｉｎ　　（内径）〜
８４８　ｍ／ｍｉｎ　　（外径）、切込み０．０１ｍｍ
、送り０．０３　ｍｍ　／　ｒｅｖの条件で、２００　
ｋｍの湿式旋削を行ない、第４図に示す刃先部の摩耗Δ
Ｔとすくい面のクレータ摩耗の深さΔαを測定した。テ
ストの結果は第６表に示した。

実施例７下記第７表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変え
た５種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第１
図に示す如く逃げ角α５゜すくい角β０°、刃先部７の
刃幅ｉ１．２ｍｍ、刃先部７両端のＲ０，４ｍｍであり
、すくい面３の方位（１１０）面、刃先方向＜ｉｏｏ＞
の超精密ダイヤモンドバイト２を作製した。

各ダイヤモンドバイト２を使用して、＾１合金Ａ３０８
６からなる外径１５０＋＋ｕａ、内径２０ｍ。

厚さ３０ＩＩ１１の被削材の端面を、切削速度１１３ｍ
／ｍｉｎ　　（内径）　〜８４８ｍ／ＩＤ１ｎ　　（外
径）切込み０．０１＋ｎ、送り０．０３　ｍ／　ｒａｙ
の条件で湿式旋削を行ない、被削面の面粗さＲｍａｘが
０．０４μｍとなった時点を工具寿命と判定した。

各試料について、夫々５個のダイヤモンドバイトが工具
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに各ダイヤ
モンドバイトの原石とした合成ダイヤモンド単結晶の製
造コストを本発明の一例である試料■を基準にして比較
した結果を夫々第７表に示した。

実施例８下記第８表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変え
た５種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第２
図に示す如く逃げ角α５゜す（い角β２°、刃先Ｒ７の
ノーズＲＩＩＩＩＩ１１であり、すくい面３の方位（１
００）面、刃先方向＜１００＞の超精密ダイヤモンドバ
イト２を作製した。

各ダイヤモンドバイト２を使用して、無酸素銅からなる
外径１５０關、内径２０ｍａ＋、厚さ１０ｍｍの被削材
の端面を、切削速度１１３ｍ／ｍｉｎ　　（内径）〜８
４８　ｍ／ｍｉｎ　　（外径）、切込み０．００５ｍ５
．送り０．０２　ａｕｓ　／　ｒｅｖの条件で湿式旋削
を行ない、被削面の面粗さＲｍａ　ｘが０．２μｍとな
った時点を工具寿命と判定した。

各試料について、夫々５個のダイヤモンドバイトが工具
寿命に至るまでの切削距離とその平均、並びに実施例７
と同様に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発
明の一例である試料■を基準にして比較した結果を夫々
第８表に示した。試料■について含有不純物の測定結果
を第９表に示した。

第９表実施例９下記第１０表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた５種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
３図に示す如く逃げ角α５゜すくい角β０°、刃先Ｒ７
の刃幅１１□２ＩＩｌｆｌ＋であり、すくい面３の方位
（１００）面、刃先方向＜　１．００　＞の超精密ダイ
ヤモンドバイト２を作製した。

各ダイヤモンドバイト２を使用して、実施例７と同じ被
削材の端面を、同一切削条件で湿式旋削を行ない、各５
個の試料について切削距離２００　ｋｍの時点での第４
図に示す刃先部７の摩耗ΔＴとすくい面３のクレータ摩
耗の深さΔαを測定し、その結果並びに実施例７と同様
に各合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明の一
例である試料■を基準にして比較した結果を夫々第１０
表に示した。

実施例１０下記第１１表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた５種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
８図に示すような方位で重石ダイヤモンドドレッサーを
作成した。各準Ｅダイヤモンドドレッサーを使用して粒
度４００メツシユの炭化ケイ素砥石をドレッシングを砥
石周速度２０００　ｍ／ｍｉｎ　、ドレス切込み０．０
２ａｍ／ｐａｓｓテ行？、Ｃい５００回ドレッシング後
のダイヤモンド摩耗量を測定した。

各試料について、夫々５個の重石ダイヤモンドドレッサ
ーの摩耗量及び合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを
本発明の一例である試料■を基準にして比較した結果を
夫々第１１表に示した。

下記第１２表に示すように、窒素とホウ素の含有量を変
えた５種類の合成ダイヤモンド単結晶を素材として、第
９図に示すような方位で線引きダイスを作成した。各線
引ダイスを使用してφ０．０８　ａｓの銅線の線引きを
行ないダイス寿命まで伸線量を測定した。

各試料について、夫々３個の線引きダイスの伸線量及び
合成ダイヤモンド単結晶の製造コストを本発明例である
試料■を基準にして比較した結果を夫々第１２表に示し
た。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明のホウ素もしくは窒素及
びホウ素を含有させた合成ダイヤモンド単結晶工具は窒
素またはホウ素を含有させないものに比べて耐摩耗性、
耐熱性、耐酸化性の点で優れているため、例えばバイト
では切削の際に切り粉との摩擦などによる機械的摩耗、
酸化現象に起因するような摩耗が小さく、従って精密バ
イト、超精密バイトなどの分野で工具摩耗を小さく抑え
ることにより工具寿命を長くするような用途に利用する
と効果的であることが認められた。その他、ドレッサー
、線引きダイス等においても、機械的接触による工具摩
耗、工具と仕上げ面の接触により発生する摩擦熱による
ダイヤモンド素材の酸化を防止することにより工具摩耗
を小さく抑え寿命を長くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図は本発明に係るダイヤモンドを示し、
各図における（ａ）は平面図及び（ｂ）は断面図である
。第４図は実施例３での摩耗を説明するためのダイヤモ
ンドバイトの断面図である。第５図はダイヤモンドバイトによる切削状態を示す断面
図、第６図はクレータ摩耗を、及び第７図は刃先摩耗を
夫々示すダイヤモンドバイトの断面図である。第８図は
本発明のダイヤモンド結晶を素材としたダイヤモンドド
レッサーの方位を示す概念図、第９図は同じく線引きダ
イスの概念図である。１・・・被削材、２・・・ダイヤモンドバイト、３・・
・すくい面、４・　・切粉、５・・クレータ摩耗、６・
　・逃げ面、７・　・刃先部、８・・・摩耗した刃先部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）工具を構成する合成ダイヤモンド単結晶がホウ素
を含むことを特徴とするダイヤモンド工具。
（２）ホウ素の含有量が０．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍで
あることを特徴とする請求項（１）記載のダイヤモンド
工具。
（３）工具を構成する合成ダイヤモンド単結晶が窒素及
びホウ素を含むことを特徴とするダイヤモンド工具。
（４）窒素の含有量が１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍでありか
つホウ素の含有量が０．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍである
ことを特徴とする請求項（３）記載のダイヤモンド工具
。
（５）窒素の含有量が３ｐｐｍ〜１００ｐｐｍであり、
かつホウ素の含有量が０．１ｐｐｍ〜１００ｐｐｍであ
ることを特徴とする請求項（３）記載のダイヤモンド工
具。
（６）シャンクにブランクを固着してなる切削工具にお
いて、ブランクがホウ素０．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍを
含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって刃先を
成形したものであるダイヤモンド工具。
（７）ブランク外周部が金属製の支持体に固定されてな
る耐摩工具においてブランクがホウ素０．１ｐｐｍ〜５
００ｐｐｍを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩に
よって工具形状を成形したものであるダイヤモンド工具
。
（８）ブランクが金属製の支持体に埋め込まれることに
より固定されるドレッサーにおいてブランクがホウ素０
．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍを含有する合成ダイヤモンド
単結晶を研摩によって所望の形状に成形したものである
ダイヤモンド工具。
（９）シャンクにブランクを固着してなる切削工具にお
いて、ブランクが窒素１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍおよびホ
ウ素０．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍを含有する合成ダイヤ
モンド単結晶を研摩によって刃先を成形したものである
ダイヤモンド工具。
（１０）ブランク外周部が金属製の支持体に固定されて
なる耐摩工具においてブランクが窒素１ｐｐｍ〜５００
ｐｐｍおよびホウ素０．１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍを含有
する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって工具形状を
成形したものであるダイヤモンド工具。
（１１）ブランクが金属製の支持体に埋め込まれること
により固定されるドレッサーにおいてブランクが窒素１
ｐｐｍ〜５００ｐｐｍおよびホウ素０．１ｐｐｍ〜５０
０ｐｐｍを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によ
って所望の形状に成形したものであるダイヤモンド工具
。
（１２）シャンクにブランクを固着してなる切削工具に
おいて、ブランクが窒素３ｐｐｍ〜１００ｐｐｍおよび
ホウ素０．１ｐｐｍ〜１００ｐｐｍを含有する合成ダイ
ヤモンド単結晶を研摩によって刃先を成形したものであ
るダイヤモンド工具。
（１３）ブランク外周部が金属製の支持体に固定されて
なる耐摩工具においてブランクが窒素３ｐｐｍ〜１００
ｐｐｍおよびホウ素０．１ｐｐｍ〜１００ｐｐｍを含有
する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によって工具形状を
成形したものであるダイヤモンド工具。
（１４）ブランクが金属製の支持体に埋め込まれること
により固定されるドレッサーにおいてブランクが窒素３
ｐｐｍ〜１００ｐｐｍおよびホウ素０．１ｐｐｍ〜１０
０ｐｐｍを含有する合成ダイヤモンド単結晶を研摩によ
って所望の形状に成形したものであるダイヤモンド工具
。