JPH03218424A - 分光測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は例えば光スペクトラムアナライザに用いるこ
とができる分光測定装置に関する。

「従来の技術」 光スベクトラムアナライザ等の分光測定器には被測定光
を各波長成分に分光させるためにプリズムや、回折格子
等の分光素子が用いられる。

回折格子はその構造が第１ズに断面で示すようにガラス
の表面に微細な溝Ｕを等間隔におよそ１０本〜数１（１
００本／ＩＩＩＩＩ１刻んだものである。格子溝Ｕと直
角な面内（即ち第１図の紙面内）に光軸を有する被測定
光Ｑがこの回折格子１４に入射すると、この被測定光Ｑ
に含まれる例えば波長成分λズ２が前記面内で格子溝Ｕ
の配列方向に分散されて反射される。分散される角度θ
１．θ２は波長λ１とλ２に応じた角度となる。以下こ
の明細書では波長に対する分散角度の変化方向Ｄを分光
方向と称し、分光方向Ｄの各角度位置を分光角位置と称
することにする。従って、分光方向Ｄは第１図の紙面内
にある。

分光された各波長成分λ１，λ２の光の量は受光器ｌ６
を分光方向Ｄに相対的に走査させて測定する。受光器１
６が分光方向に走査されたとき、各分光角位置で得られ
る受光信号のレヘルを取り込むことによって光の波長分
布が求められる。受光器１６を分光方向に相対的に走査
させる手段としては回折格子１４を分光方向Ｄに回動さ
せるか、受光器１６を分光方向Ｄに移動させるか何れの
方法でもよい。一般的には格子溝Ｕと平行な直線ＯＬを
中心として回折格子ｌ４を分光方向Ｄに回動させる方法
が採られる場合が多い。

「発明が解決しようとする課ＦａＪ ところで、回折格子のような分光素子には、これに入射
される被測定光Ｑが偏光である場合、その偏波面の角度
に応して回折効率が変化し、分光される波長成分ハとλ
２の量が変動してしまう欠点を持つ。この現象を一般に
分光素子が持つ偏光依存性と呼んでいる。

第２図に回折格子における偏光依存性特性を示す。同図
に示す曲線ｇ（λ）は入射される光の偏波面が分光方向
Ｄと平行な場合、つまり偏波面が回折格子の格子溝Ｕと
直交する場合の各波長成分の回折効率を示す。曲ｉｆ（
λ）は入射される光の偏波面が分光方向Ｄと直交する場
合、つまり偏波面が回折格子の格子溝Ｕと平行な場合の
各波長成分の回折効率を示す。この二本の曲線ｇ（λ）
とｆ（λ）が意味するところは、回折格子に入射する光
の偏波面が分光方向と平行する状態から分光方向と直交
する方向まで回転した場合に曲線ｇ（λ）から曲線［（
λ）までの間で分光された波長成分のレヘルが変化する
。一方波長λ。で偏光依存性が無く、λ０以外の波長で
は偏光依存性が生じることを意味している。特に光ファ
イハから出射された光を被測定光とした場合には光ファ
イハの状態によって出射光の偏波面が大きく変化するた
め分光素子の回折効率の変動の影響を大きく受ける。

この問題を解決した分光測定器が［特開昭６２−２８６
２３号公報」で提案されている。この公報に記載された
分光測定器は被測定光を分光素子によって分光した後、
この分光された光を偏光素子によって偏光面が互いに直
交するＰ偏光成分とＳ偏光成分に分離し、この分離され
たＰ偏光成分とＳ偏光成分を別々に二つの受光器に与え
、二つの受光器からＰ偏光成分とＳ偏光成分の光量に対
応した電気信号を得、この電気信号を基に、予め記憶器
に各波長ごとに記憶した分光素子におけるＰ偏光成分の
回折効率ＡＰ，Ｓ偏光成分の回折効率Ｂ，偏光素子にお
ける各偏光成分Ｐ．　　Ｓに対する損失率Ｃｐ，Ｄ＝及
び受光素子の光電変換効率ＬＬ，し２を読み出して被測
定光Ｑの絶対パワーを演算して求める方法を採っている
。上述の公報に提案された従来の分光測定器によれば確
かに分光素子乙こおける偏波面の角度の違いによる回折
効率の変動の影響を除去することができる。しかしなが
ら、そのためには記憶器に分光素子が持つ偏光成分ＰＳ
に対する回折効率Ａ，及びＢ，．偏光素子における各偏
光成分Ｐ，Ｓに対する損失率Ｃ　ｐ　，　Ｄ　ｓ及び受
光素子の光電変換効率等の補正データを記憶しておかな
くてはならない。このデータは各波長ごとに必要なため
波長に対して分解能よく測定するにはかなりの量のデー
タを用意しなければならない。また、各データは各製品
ごとに異なる値となるため補正データを求める作業に手
間が掛り、装置の製造が面倒である。また、記憶器に記
憶した補正データの値によっては回折効率の変動の影響
を受ける状況もあるため、必ずしも分光素子が持つ偏光
依存性を除去できるとは限らない。

「課題を解決するための手段」 この発明の目的は、記憶器に各種の補正データを用倉し
なくても分光素子が持つ偏光依存性を除去することがで
きる分光測定装置を堤供しようとするものである。

この発明では被測定光を予め偏波面が互いに直交し互い
に異なる光軸を有する二つの偏光成分に分離する複像偏
光素子と、この複像偏光素子によって分離された二つの
偏光成分がそれぞれの偏波面が分光方向に対して±４５
゜の角度で交叉するように照射され、二つの偏光に含ま
れる同じ各波長成分を同じ対応する分光角位置に分光す
る分光素子と、この分光素子で分光された二つの偏光成
分の光のパワーの和を計測する光パワー測定手段と、に
よって分光測定装置を構成する。

「作用」 この発明の積成によれば、被測定光をその偏波面が分光
素子の分光方向に対して予め±４５゜の角廣で交叉する
ように二つの偏光に分離して分光素子に照射したから、
二つの偏光に対する回折効率は互いに等しい。よって被
測定光の偏波面が変化しても、二つの偏光のパワーは相
補的に変化し、つの偏光のパワーの和は常に一定値に維
持される。この結果、二つの偏光を分光した各波長成分
の光パワーの和を求めることによって分光素子が持つ偏
光依存性を除去することができる。よって、この発明に
よれば補正データ等を用いることなく、分光素子が持つ
偏光依存性を除去することができ、構成が簡単で製造が
容易な分光測定装置を提供することができる。また、補
正データを必要としないから波長方向に対する分解能の
制限はない。よって、精度の高い分光測定を行うことが
できる。

「実施例」 第３図にこの発明の一実施例を示す。第３図において１
１は被測定光を照射する光源を示す。この例では光ファ
イハ１０を通して送られてきた光を被測定光とした場合
を示す。

ｌ２はこの光源１１から出射された光を互いに偏波面が
直交する二つの偏光成分に分離する複像偏光素子を示す
。この複像偏光素子１２は入射される光を偏波面が互い
に直交する二つの偏光に分離する機能の他に、光軸が互
いに異なる二つの光束に分離する機能を具備する。この
ような機能を持つ複像偏光素子は市販されている。複像
偏光素子の一例としてサヴァール板がある。サヴァール
板の構造を簡単に説明すると、水晶、方解石のような単
軸結晶を結晶軸Ｃｘに対して斜めに切断して平行平面板
を作る。この平行平面板を二枚全く同じ厚さに作り、こ
の第１板１２ａと第２板１２ｂを第４図に示すように主
断面が互いに９０度回転され貼り合わせた構造になって
いる。

サヴァール板の第１板１２ａでの常光線２２は第２板１
２ｂで異常光線２４になり、第１板１２ａでの異常光１
２３は第２板１２ｂで常光線２５になるので、二つの偏
光は第１板１２ａと第２板］２ｂとを通ることにより光
軸がそれぞれ１回互いに直角方向に平行横偏位し、二本
の互いに直角に偏光した光２４．２５に分離される。

この様子を第．５Ａ．５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ図に示す．第５
Ａ図は第１仮１２ａに入射する任意の偏光状態の入射光
２ｌを示す。第５Ｂ図は第ｌ板１２ａから出射して第２
板１２ｂに入射する第１板と第２板の境界における常光
線２２と横偏位した異常光線２３の関係、第５Ｃ図は偏
光２３が第２板ｌ２ｂに入射し、そこからそのまま出射
される常光２４と偏光２２が第２板１２ｂに入射し、そ
こから出射される横偏位された異常光２５の関係を示し
、矢印はそれぞれ偏光方向を示す。第５Ｃ図を紙面内で
例えば時計方向に４５゜回転させれば第５Ｄのように上
下方向に偏移され、その上下方向の軸Ｚに対し±４５″
の偏光をもつ光軸が互いに平行な２光束２４．２５が得
られる。

第３図において複像偏光素子１２は第５Ｄ図に示すその
Ｚ軸が分光素子１４０回動中心軸Ｏ，と平行になるよう
に配置されている。尚、第５Ａ〜５Ｄ図で光束２２と２
３及び２４と２５は互いに分離して描かれているが、実
際の光束２２．２３２４．２５の径に比べて横偏位の大
きさが小さく、光束２４と２５は互いにほとんど重なっ
ている。

複像偏光素子１２で分離された二つの偏光２４と２５は
必要に応してコリメート鏡ｌ３で反射されてそれぞれ平
行光束とされて分光素子Ｉ４に入射される。

例えば、第６図に理解し易いように第３図の実施例にお
けるコリメート鏡１３をコリメートレンズ１３′に置き
替えて、光［１　１．　？３［像偏光素子１２，コリメ
ートレンズ１３′，分光素子１４をこの順に直線上に配
列した光学系をその光学軸ＯＸに沿って分光素子１４の
回動中心軸ＯＬと平行な断面で示す。コリメートレンズ
１３′の焦点上に配置された光源１１から放射された光
束２１は複像偏光素子１２に入射され、第５Ｄ図で説明
したようにそれぞれＺ軸に対し±４５゜の偏光面を存す
る二つの偏光光束２４，２５がＺ軸方向に互いに偏移し
て出射される。光束２４と２５を互いに区別し易いよう
に前者は破線で、後者は実線でそれぞれ示してある。こ
れらの偏光光束２４、２５の中心軸２４Ａ．２５Ａは光
学軸Ｏ，，に平行である。偏光光束２４．２５はコリメ
ートレンズ１３″によりそれぞれ平行光束にされて分光
素子１４に入射されるが第６図に示すようにそれら平行
光束２４．２５の中心軸２４Ａ．２５ＡはＺ軸と光学軸
０８を含む面内にあり、コリメートレンズの焦点面上で
互いに交叉する。従って分光素子１４がコリメートレン
ズ１３′の焦点面上にない場合、例えば懺点面より遠い
位置に配置された場合には第７図に示すように分光素子
ｌ４として使用される例えば回折格子の格子面に対し偏
光光束２４　２５はＺ軸方向、即ち格子溝Ｕの延長方向
に互いにずれて入射する。

上述のように同一光源１１から出射された光を複像偏光
素子１２によって光軸の異なる二つの偏光２４及び２５
に分離することによって、この二つの偏光２４．２５は
第６回に示すように実質的に異なる二つの光源１１ａ，
ｌｌｂから出射された光として取り扱うことができる。

よって、同一空間内を伝播しても、またコリメート鏡Ｉ
３、分光素子１４あるいは集光鏡１５において同一面上
で重なり合って反射面を利用しても二つの光束２４と２
５の偏光性はそれぞれ保存される。よって、分光素子ｌ
４では二つの偏光２４と２５は別々に分光され、分光さ
れた光は集光鏡１５で集光され、スリットＩ７を通じて
例えばフォトダイオードのような受光器１６に受光され
る。

スリット１７の開口幅は分光測定装置に要求される波長
分解能に応じて決められる。一方スリット１７の開口高
さ（Ｚ軸方向の長さ）は迷光を遮断するためできるだけ
短いことが望まれるが、第６図で説明したＺ軸方向に互
いにシフトした２つの偏光２４、２５をスリット１７に
おいて常にそれぞれの偏光の光量の比率が変化しないよ
うにＺ軸方向において切り取るように構成することは現
実的に困難であるので、第３図に示す集光鏡１５によっ
て集光された偏光２４、２５が分光方向と直角なＺ軸方
向において切り取られることなくスリットｌ７を通過す
るようにスリソト１７の高さを選ぶ必要がある。

第３図において、コリメート鏡Ｉ３の焦点距離をｒ１、
集光１ｊｌ５の焦点距離を［２、コリメート鏡ｌ３の焦
点面（第３図において光＃１１の光出射端が配置されて
いる）上に配置された物体のＺ軸方向の高さをＹＭとす
ると、集光鏡１５の隼屯面（第３図においてスリットｌ
７が配置されている）上に結像される物体の像のＺ軸方
向の高さＹ，はＹ．＝Ｙ．　　・１２／ｆ．となる。一
方第６図で説明したサハール板ｌ２によりシフトされた
２つの偏光２４、２５の中心軸２４Ａと２４Ｂの間の距
離をｄ、光源１１の光出射面の直径をＲとすると、見か
け上の２つの光ｆｉｌｌａ、ｌｌｂの直径もＲであり、
それら間の距Ｍ（中心から中心）もｄである。従って、
２つの光ｆｉｌｌａ，ｌｌｂを２軸方向に縦断する線分
の長さ（即ち光源１１ａの下端から光源１ｌｂの上端ま
での距離）はｄ十Ｒである。尚２つの光源１１ａ、ｌｌ
ｂは互いに重ならないようにするためｄ＞Ｒとなるよう
にサハール板１２の厚さと光＃１ｌの光出射面の径が選
ばれてえる。前述の物体の２軸方向の高さＹ。

をｄ十Ｒで！き換えれば、集光鏡Ｉ５の僚点面上に結像
される光ａ．　１　１　ａ、ｌｌｂの２つの像の最外両
端間の距離は（　ｄ　＋　Ｒ）ｆｚ／ｆｔと表される。

スリット１７の高さは集光鏡１５の焦点面上において最
も短く選ぶことができ、その長さは（ｄ＋Ｒ）ｈ／ｆ＋
　よりわずかに長くする必要がある．受光器１６は二つ
の偏光２４と２５が分光されて得られた同じ波長成分の
二つの偏光を受光することによって、その波長成分につ
いて二つの偏光のパワーの和に対応した電気信号を出力
する．受光器１６から得られる各波長成分についての二
つの偏光のパワーの和の値に対応した電気信号は被測定
光の偏波面が回転しても変動することなく、従って分光
素子ｌ４の偏光依存性に影響されることなく、偏波面の
回転に対しては一定値を維持する。

この理由を分光素子１４として回折格子を使用した場合
について以下に数式を用いて説明する。

偏光依存性未対策の状態で回折格子に入射する入射光及
び出射光は、それぞれ次式（１）　．　（２）で与えら
れる。

Ｐ　，，１（λ）　＝　Ｐ　．，，（λ，Ｐ）＋Ｐｉ，
ｌ（λ，ｓ）　　−（１）Ｐ０，（λ）一丁（λ）・Ｐ
．７（λ，Ｐ）千ｇ（λ）・Ｐ，７（λ，　ｓ　）　　
−（２）ここで、 Ｐ．１（λ）二波長λの入射光量（パワー）Ｐ１４（λ
，ｐ）二入射光看Ｐ．７（λ）の回折格子の溝方向成分
（ｐ成分）の光量 Ｐ，、（λ，Ｓ）：入射光量Ｐ．、（λ）の回折格子の
溝方向に直交する成分（Ｓ成分）の 光量 Ｐ．，（λ）二回折された波長λの出射光量（パワー） ｒ（λ）：格子溝Ｕに対して平行（ｐ成分）な偏波に対
する回折効率（第８図参照） ｇ（λ）：格子溝Ｕに対して垂直（Ｓ成分）な偏波に対
する回折効率（第８図参照） である。

式（２）は入射光のパワーが一定であっても偏光？態が
変化すると、回折効率が変化することを示している。

これに対しこの発明の構成では、入射光Ｐ．７（λ）は
複像偏光素子によって回折格子の溝に対して±４５゜の
偏波面を持つ２光束に分離される。従って回折格子への
入射光は次式のように表される。

Ｐ，Ｒ（λ）一Ｐｉｌｌ．（λ）　　＋　　Ｐ，．（λ
）　　一−−（３）ここで、 Ｐ．，．（λ）：入射光の回折格子の溝に対して＋４５
度の偏光成分の光量 Ｐ．一（λ）二入射光の回折格子の溝に対して４５度の
偏光成分の光量 である。回折格子へ偏光成分Ｐｉｌ１。（λ）とＰ．．
−（λ）が入射する場合、次式で示すようにそれぞれの
偏光成分は回折格子の溝の方向と溝に直角な方向に分け
られる． Ｐ．．．（　λ）　　　＝ＰＬ，．（　λ　，ｐ）＋Ｐ
；ａ−（　λ．ｓ）　　　■−−−−（４）Ｐ．，ｌ−
（λ）　一Ｐｉ．−（λ，ｐ）十Ｐｉｎ−（λ．ｓ）　
−−−−−（５）従って各入射偏光成分に対する出射光
量は次式Ｐ０い（λ）一ｆ（λ）ＰＬ，ｌ．（λ．ｐ）
十ｇ（λ）Ｐｉ，ｌ．（λ，ｓ）−（６）Ｐ−Ｌ−（λ
）一ｆ（λ）Ｐｉいバλ，ｐ）＋ｇ（λ）Ｐｉ．−（λ
．　ｓ）−−−（７）で表される。

入射光の偏光面が回折格子の溝に対して±４５゜の場合
、その入射偏光の回折格子の溝方向成分（ρ成分）とそ
れに直角な成分（Ｓ成分）は光量が互いに等しく、それ
ぞれ入射光量の１／２である。

即ち次式が成立する。

Ｐｉ，．（λ，ｐ）＝Ｐ．ｌ１−（λ．！ｌ）＝１／２
　Ｐ．ｎ．（λ’）　一−−−一（８）ＰＬ，ｌ−（λ
＋＋））＝Ｐｉ＊−（λ．ｓ）＝１／２　Ｐ，，，−（
λ）　−（９）式（６）　，　（８）及び式（７）　，
　（９）から次式が成立する。

Ｐ−ｔ−（λ）＝Ｐｉｎ．（λ）｛ｒ（λ）千ｇ（λ）
｝／２（１０） Ｐｏｔ−（λ）＝Ｐｉ．−（λ）｛ｒ（λ）十ｇ（λ）
｝／２（１１） 回折格子から出射される全光量Ｐ．ｔ（λ）は次式で表
される。

ｐｏｔ（λ）　　−　ｐ．．．（λ）　　＋　ｐ．ｔ−
（λ）一　｛ｒ（λ）＋−ｇ（λＮ　　ｉｐ，，１．（
λ）＋Ｐｉ，ｌ（λ）ｌ　／２＝　　（ｆ（Ｊ）＋ｇ（
　λ）ｌ　　　Ｐｉ，ｌ（　　λ）／２　　　　　　−
−（１２）式（１２）から明らかなように回折効率は入
射光に対し常にｆ（λ）とｇ（λ）の平均値となり一定
であり、入射光の偏光状態に依存しない。この証明は回
折格子以外の他の分光素子にも当てはまる。

第９図はこの発明のもう１つの実施例を示す。

この第２の実施例においては複像偏光素子１２としてコ
リメート鏡１３と回折格子１４との間に配置されたダブ
ルウオーラストンプリズムを用いる。

ダブルウオーラストンプリズム１２は第１０Ａ１０Ｂ図
に側面図と平面図で示すように二つのウオーラストンプ
リズム１２ａ，１２ｂを共通の光学軸０８上で互いに９
０゜回転して配置した構成とする。この構成によれば第
１のウオーラストンプリズム１２ａに入射した光束２ｌ
は第１１Ａ図に示すように互いに直角な方向に偏光した
二つの光束２２．２３としてＺ軸方向に互いに分離され
、これらの光束２２．２３は第２のウオーラストンプリ
ズム１２ｂにより、それらの偏光方向を保つたまま光学
軸０イとＺ軸に直角なＹ軸方向に互いに分離され光束２
４．２５として出射される。従って第５Ｃ図、第５Ｄ図
で説明した場合と同様にダブルウオーラストンプリズム
ｌ２を光学軸ｏ８を中心として４５゜回転することによ
りＺ軸方向にそれぞれ±４５゜の偏光方向を有し、互い
にＺ軸方向に離れた光束２４．２５が得られる。このよ
うにして得られた光束２４．２５をＺ軸方向が回折格子
ｌ４の回動中心軸ＯＬと平行になるように回折格子１４
に入射させることによって第３図の実施例と同樺に偏光
方向に依存しない分光パワーを受光器１６で検出するこ
とができる。

「発明の効果Ｊ 以上説明したように、この発明によれば分光素子ｌ４が
持つ偏光依存性が解消された分光測定装置を提供するこ
とができ、光パワーの絶対値を正確に求めることができ
る。また、この発明では記憶器に補正データを用意する
ことなく、分子素子が持つ偏光依存性を解消することが
できるから補正データの取込作業を行う必要がない。よ
って、製造が容易な分光測定装置を堤供することができ
る。

また補正データを用いなくとも波長を連続的に変化させ
任意の波長での分光量を測定できるから波長方向に対す
る分解能の制限は無い。従って光学系の精度を高めるこ
とにより精度の高い測定を行うことができる。

なお、受光器１６は一個の受光器で二つの偏光成分の分
光パワーの和を求める実施構造の外に、二つの受光素子
を使って、二つの偏光成分の分光のパワーを別々に測定
して二つの測定結果を加算するように構成してもよい。

また受光器１６は必ずしもフォトダイオードのような受
光素子でなくてもよく、必要に応して例えばガラスファ
イバ６こ二つの偏光成分の分光を入射させ、遠方に伝送
した状態で光一電気変換したり、あるいは他の測定器に
光のまま入力するように構成することもできる。

また、分光素子１４は回折格子に限られるものでなく、
他の例えばプリズム等の分光素子を使うこともできる。

更に分光素子ｌ４として凹面回折格子を使用すればコリ
メート鏡１３を省略することができる。

また、複像偏光素子はサヴァール板や、ダブルウォーラ
ストンプリズムのみに限定されるものでなく、その他の
複像偏光素子を用いることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は分光素子の構造及びその動作を説明するための
側面ｌ、第２図は分光素子が持つ偏光依存性を説明する
ためのグラフ、第３図はこの発明の一実施例を示す光学
図、第４図はこの発明に用いた複像偏光素子の動作を説
明するための側面図、第５Ａ．５Ｂ，５Ｃ．５Ｄ図は複
像偏光素子の動作を説明するための正面図、第６回は光
ａｌｌから分光素子１４に至る光束と光軸を説明するた
めの図、第７閏はこの実施例に用いた分光素子に対する
二つの偏光の照射状況を説明するための正面図、第８図
はこの発明の動作を説明するためのグラフ、第９図はこ
の発明の第２の実施例を示す光学図、第１０Ａ図はダブ
ルウオーラストンプリズムの側面図、第１０Ｂ図はダブ
ルウオーラストンプリズムの平面図、第１１Ａ，ＩＩＢ
図はダブルウオーラストンプリズムの動作を説明をする
ための正面図である。 １１−光源、１２：複像偏光素子、ｌ３：コリメート鏡
、１４：分光素子、ｌ５：集光鏡、１６：受光器、１７
：スリット、Ｕ：格子溝、Ｄ＝分光方向、２４．２５：
偏光光束。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定光を互いに直交する偏波面をもち光軸が互
   いに異なる二つの偏光成分に分離する複像偏光素子と、 前記複像偏光素子によって分離された前記二つの偏光成
   分の偏波面がそれぞれ分光方向に対して±４５゜の角度
   で交叉するように照射され、前記二つの偏光成分に含ま
   れる同じ各波長成分を同じ対応する分光角位置に分光す
   る分光素子と、 前記分光素子で分光された同じ各波長成分の二つの偏光
   成分の光の量の和を計測する光量測定手段と、 を含む分光測定装置。
2. （２）前記分光素子は回折格子である請求項１記載の分
   光測定装置。
3. （３）前記複像偏光素子から出射される前記二つの偏光
   成分をそれぞれ平行にして前記分光素子に入射させるコ
   リメート手段が設けられている請求項１記載の分光測定
   装置。
4. （４）前記複像偏光素子はサヴァール板である請求項１
   、２又は３のいずれかに記載の分光測定装置。
5. （５）前記被測定光が入射され、それを平行光にして前
   記複像偏光素子に入射するコリメート手段が設けられて
   いる請求項１記載の分光測定装置。
6. （６）前記複像偏光素子はダブルウォーラストンプリズ
   ムである請求項１、２又は５のいずれかに記載の分光測
   定装置。
7. （７）前記ダブルウォーラストンプリズムはそれぞれの
   偏光分離方向が互いに直角になるよう同一の光学軸上に
   配置された二つのウォーラストンプリズムから構成され
   ている請求項６記載の分光測定装置。
8. （８）前記分光素子により分光された光が入射され、そ
   れを前記光量測定手段上に集光するための集光手段が設
   けられている請求項１、２、３又は５のいずれかに記載
   の分光測定装置。
9. （９）前記光量測定手段は前記分光された二つの偏光成
   分が同時に入射されそれらの光パワーの和に対応する電
   気信号を出力する１つの光検出器である請求項１記載の
   分光測定装置。
10. （１０）前記光量測定手段は前記分光素子からの前記２
    つ偏光成分の分光された光を所望の波長幅で分離するた
    めのスリットを含み、前記スリットの長さは分離された
    前記偏光成分が分光方向と直角な方向において切り取ら
    れずに通過できる長さに選ばれている請求項１、２、３
    又は５のいずれかに記載の分光測定装置。
11. （１１）前記複像偏光素子は前記２つの偏光成分を前記
    分光方向と直角な方向に互いに分離するように配置され
    ている請求項１、２、３又は５のいずれかに記載の分光
    測定装置。