JPH0321806A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JPH0321806A JPH0321806A JP15719689A JP15719689A JPH0321806A JP H0321806 A JPH0321806 A JP H0321806A JP 15719689 A JP15719689 A JP 15719689A JP 15719689 A JP15719689 A JP 15719689A JP H0321806 A JPH0321806 A JP H0321806A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（従来の技術）
本発明はレンズやミラーの球面精度、特に、而精度とと
もに曲率半径を測定するための干渉計に関するものであ
る。
もに曲率半径を測定するための干渉計に関するものであ
る。
この種而精度および曲率半径を測定する従来の技術を示
す第１図は、フィゾー型干渉計において、被検レンズの
中心の光軸方向の位置を検出するために別の検出光学系
を用いたものである゛。
す第１図は、フィゾー型干渉計において、被検レンズの
中心の光軸方向の位置を検出するために別の検出光学系
を用いたものである゛。
フィゾー型干渉計はレーザ光源３１、集光レンズ３２、
半透鏡３３、コリメートレンズ３４、参照レンズ３５、
観察系３６から構成される。検出光学系は光源３７、照
明レンズ３８、結像レンズ３９、位置検出素子４０から
構成される。レーザ光源３ｌから出射されたレーザ光は
集光レンズ３２およびコリメートレンズ３４で拡大され
、半透鏡３３で偏向され、参照レンズ３５の参照面３５
ａと被検レンズ４ｌの被検面４１ａとで反射される。こ
れらの光は半透鏡３３を透過し、干渉して観察系３６で
干渉縞が観察される。一方、光ｒＡ３７からの出射光は
照明レンズ３８で被検レンズ４ｌの被検面４１ａ上に集
光され、これを結像レンズ３９により位置検出素子４０
上に結像させることにより被検レンズのフィゾー型干渉
計の光軸方向の位置が検出される。
半透鏡３３、コリメートレンズ３４、参照レンズ３５、
観察系３６から構成される。検出光学系は光源３７、照
明レンズ３８、結像レンズ３９、位置検出素子４０から
構成される。レーザ光源３ｌから出射されたレーザ光は
集光レンズ３２およびコリメートレンズ３４で拡大され
、半透鏡３３で偏向され、参照レンズ３５の参照面３５
ａと被検レンズ４ｌの被検面４１ａとで反射される。こ
れらの光は半透鏡３３を透過し、干渉して観察系３６で
干渉縞が観察される。一方、光ｒＡ３７からの出射光は
照明レンズ３８で被検レンズ４ｌの被検面４１ａ上に集
光され、これを結像レンズ３９により位置検出素子４０
上に結像させることにより被検レンズのフィゾー型干渉
計の光軸方向の位置が検出される。
この場合、フィゾー型干渉計の干渉縞形状および光軸方
向位置検出光学系による位置から演算した値を、事前に
測定した曲率半径が既知のマスターレンズ１２の値と曲
率半径に対して比較することにより相対的に被検レンズ
の曲率半径を測定することができる。
向位置検出光学系による位置から演算した値を、事前に
測定した曲率半径が既知のマスターレンズ１２の値と曲
率半径に対して比較することにより相対的に被検レンズ
の曲率半径を測定することができる。
換言すると、上記のように調整された干渉計をもちいる
ことにより、事前に測定した曲率半径が既知のマスター
レンズ４２によって藺率半径の基準位置を検出し、次い
でマスターレンズ４２を被検レンズ４１に置換し、この
被検レンズ４ｌを光軸方向にて微動させてこの被検レン
ズ４１の結像点を前記基準位置に合致させることにより
フィゾー型干渉計の観察光学系にて観察される干渉縞の
本数にて測定対象の非球面度を知ることができる。
ことにより、事前に測定した曲率半径が既知のマスター
レンズ４２によって藺率半径の基準位置を検出し、次い
でマスターレンズ４２を被検レンズ４１に置換し、この
被検レンズ４ｌを光軸方向にて微動させてこの被検レン
ズ４１の結像点を前記基準位置に合致させることにより
フィゾー型干渉計の観察光学系にて観察される干渉縞の
本数にて測定対象の非球面度を知ることができる。
また、事前に測定した曲率半径が既知のマスターレンズ
４２によってフィゾー干渉計の観察系４１にワンカラー
の干渉縞が観察された位置により［ｌｆＵ率半径の基準
位置を検出し、次いで、マスターレンズを被検レンズに
置換し、おの被検レンズを光軸方向にて微動させて、こ
の被検レンズにより［ 測系４ｌにてワンカラーの干渉
縞が観測された結像点を検出し、基準位置と結像点との
ずれ量から曲率半径のずれ量を知ることができる。即ち
、マスターレンズの基準位置と被検レンズの結像点にお
いて、両者を合致せしめたときは、面精度を知ることが
でき、また、観察系で観測されるワンカラーの干渉縞の
出現における両者の基準位置と結像点とのずれ量にて曲
率半径のずれ量を知ることができる。
４２によってフィゾー干渉計の観察系４１にワンカラー
の干渉縞が観察された位置により［ｌｆＵ率半径の基準
位置を検出し、次いで、マスターレンズを被検レンズに
置換し、おの被検レンズを光軸方向にて微動させて、こ
の被検レンズにより［ 測系４ｌにてワンカラーの干渉
縞が観測された結像点を検出し、基準位置と結像点との
ずれ量から曲率半径のずれ量を知ることができる。即ち
、マスターレンズの基準位置と被検レンズの結像点にお
いて、両者を合致せしめたときは、面精度を知ることが
でき、また、観察系で観測されるワンカラーの干渉縞の
出現における両者の基準位置と結像点とのずれ量にて曲
率半径のずれ量を知ることができる。
（発明が解決しよ−うとする課題）
上記の従来技術での面精度および開率半径の測定は、そ
れ以前に干渉計単体で行われていた球心反射光と面頂反
射光との間の移動距離で測定する方法に比べ、測定時間
が大幅に短縮される利点はあるが、位置検出光学系が必
要であるために高価になること、および、干渉縞形状値
と光軸方向位置検出値のどちらかを基準値に合わせるた
めに、レンズを光軸方向に移動させる必要があるため、
多少の時間がかかることなどの欠点がある。
れ以前に干渉計単体で行われていた球心反射光と面頂反
射光との間の移動距離で測定する方法に比べ、測定時間
が大幅に短縮される利点はあるが、位置検出光学系が必
要であるために高価になること、および、干渉縞形状値
と光軸方向位置検出値のどちらかを基準値に合わせるた
めに、レンズを光軸方向に移動させる必要があるため、
多少の時間がかかることなどの欠点がある。
本発明は上記の欠点を解決するために安価で迅速に而精
度と曲率半径とを測定し得る干渉計を提供することを目
的とする。
度と曲率半径とを測定し得る干渉計を提供することを目
的とする。
（問題点を解決する手段および作用）
本発明は反射により被検体の光学面の形状を測定するフ
ィゾー型干渉計において、被検体の被検面を機械的に位
置決めするホルダーと、該ホルダーおよび参照面の距離
を検出する手段と、縞走査法により干渉縞のデフォーカ
ス成分を検出する解析装置と、これにより被検面の藺率
半径および面精度を算出する演算装置とを具えることを
特徴とする。
ィゾー型干渉計において、被検体の被検面を機械的に位
置決めするホルダーと、該ホルダーおよび参照面の距離
を検出する手段と、縞走査法により干渉縞のデフォーカ
ス成分を検出する解析装置と、これにより被検面の藺率
半径および面精度を算出する演算装置とを具えることを
特徴とする。
第１図に示すように、本発明干渉計は、レーザー光源１
と、集光レンズ２と、半透鏡３と、コリメートレンズ４
と、参照レンズ５とからフィゾー型干渉計を、撮像装置
６と、処理装置７と、微動装置８と、入出力装置９とか
ら解析装置を夫々構成し、被検レンズ１１をレンズ台１
０により保持するものである。
と、集光レンズ２と、半透鏡３と、コリメートレンズ４
と、参照レンズ５とからフィゾー型干渉計を、撮像装置
６と、処理装置７と、微動装置８と、入出力装置９とか
ら解析装置を夫々構成し、被検レンズ１１をレンズ台１
０により保持するものである。
微動装置８にて一定量ずつ微動させるフィゾー型干渉計
の参照レンズ５と、レンズ台１０上で位置が決められ固
定された被検レンズ１１とから縞走査を行って干渉縞を
得、この得られた干渉縞を撮像装置６で処理装置７に取
込む。この縞走査を行った干渉縞から被検レンズｌ１の
形状及びアライメント誤差を処理装置７にて計算する。
の参照レンズ５と、レンズ台１０上で位置が決められ固
定された被検レンズ１１とから縞走査を行って干渉縞を
得、この得られた干渉縞を撮像装置６で処理装置７に取
込む。この縞走査を行った干渉縞から被検レンズｌ１の
形状及びアライメント誤差を処理装置７にて計算する。
アライメント誤差のうちデフォーカス分と参照レンズ５
とレンズ台１０との距離から被検レンズ１１の曲率半径
を計算する。また、面精度は計算した被検レンズ１１の
形状からレンズ面の各位置における最大値および最小値
の差で偏差を計算する。これらを人出力装置９の表示部
に表示する。
とレンズ台１０との距離から被検レンズ１１の曲率半径
を計算する。また、面精度は計算した被検レンズ１１の
形状からレンズ面の各位置における最大値および最小値
の差で偏差を計算する。これらを人出力装置９の表示部
に表示する。
（第１実施例）
第２図は本発明干渉計の第１実施例を示す。本例では、
レーザ光源ｌ４と、集光レンズｌ５と、半透鏡１６と、
コリメートレンズ１７と、参照レンズ１８とからフィゾ
ー型干渉計１９を構成する。解析装置２ｏは、ＴＶカメ
ラ２ｌと、マイクロコンピュータ２２と、ピエゾ駆動回
路２３と、例えば、制御卓３０を有するＣＲＴのターミ
ナル２４とから構成する。レンズ台はガイドレール５０
上にあらかじめ位置が決められたうえ、スライダー５Ｉ
に固定されたレンズホルダ２５と、ピエ７’素子５３に
より駆動される参照レンズ１８の保持用下側スライダー
５２と、上側スライダー５ｌと、下側スライダー５２の
距離を測定するスケール２６から構成する。上側スライ
ダー５Ｉと下側スライダー５２には夫々基準目盛を刻設
する。干渉計１９の支持枠に固定されたガイドレール５
０と、下側スライダー５２との間にはビエゾ素子５３を
介在させ、ビエゾ素子５３によって下側スライダー５２
を移動し得るようにする。ピエゾ素子５３はビエゾ駆動
回路２３にて駆動制御する。 フィゾー型干渉計１９は
、レーザー光源ｌ４から出射されたレーザー光を集光レ
ンズｌ５およびコリメートレンズｌ７により拡大し、半
透鏡１６で偏向し、参照レンズｌ８と被検レンズ２７と
で反躬された光は半透鏡１６を透過して、干渉縞を形成
する。
レーザ光源ｌ４と、集光レンズｌ５と、半透鏡１６と、
コリメートレンズ１７と、参照レンズ１８とからフィゾ
ー型干渉計１９を構成する。解析装置２ｏは、ＴＶカメ
ラ２ｌと、マイクロコンピュータ２２と、ピエゾ駆動回
路２３と、例えば、制御卓３０を有するＣＲＴのターミ
ナル２４とから構成する。レンズ台はガイドレール５０
上にあらかじめ位置が決められたうえ、スライダー５Ｉ
に固定されたレンズホルダ２５と、ピエ７’素子５３に
より駆動される参照レンズ１８の保持用下側スライダー
５２と、上側スライダー５ｌと、下側スライダー５２の
距離を測定するスケール２６から構成する。上側スライ
ダー５Ｉと下側スライダー５２には夫々基準目盛を刻設
する。干渉計１９の支持枠に固定されたガイドレール５
０と、下側スライダー５２との間にはビエゾ素子５３を
介在させ、ビエゾ素子５３によって下側スライダー５２
を移動し得るようにする。ピエゾ素子５３はビエゾ駆動
回路２３にて駆動制御する。 フィゾー型干渉計１９は
、レーザー光源ｌ４から出射されたレーザー光を集光レ
ンズｌ５およびコリメートレンズｌ７により拡大し、半
透鏡１６で偏向し、参照レンズｌ８と被検レンズ２７と
で反躬された光は半透鏡１６を透過して、干渉縞を形成
する。
解析装置２０は、マイクロコンピュータ２２によりピエ
ゾ駆動回路２３を介してビエゾ素子５３を例えばＮ＝４
として１／（２Ｎ］波長分動かすようにする。
ゾ駆動回路２３を介してビエゾ素子５３を例えばＮ＝４
として１／（２Ｎ］波長分動かすようにする。
これにより下側スライダー５２に取付けられた参照レン
ズｌ８も動き、従って光路長が変動する。この状態でフ
ィゾー型干渉計１９で形成された干渉縞をＴＶカメラ２
ｌで撮像し、マイクロコンピュータ２２上のメモリの一
部に記憶する。この間の縞の形を第５図に示す。これを
Ｎ回行う。このようにして取込まれたＮ個の画像ｊの各
画素（ｘ，ｙ）の強度■を次式によりマイクロコンピュ
ータで計算し、波而ｈ ＜ｘ． ｙ）を求める。
ズｌ８も動き、従って光路長が変動する。この状態でフ
ィゾー型干渉計１９で形成された干渉縞をＴＶカメラ２
ｌで撮像し、マイクロコンピュータ２２上のメモリの一
部に記憶する。この間の縞の形を第５図に示す。これを
Ｎ回行う。このようにして取込まれたＮ個の画像ｊの各
画素（ｘ，ｙ）の強度■を次式によりマイクロコンピュ
ータで計算し、波而ｈ ＜ｘ． ｙ）を求める。
λ Σ ＩＪｓｉｎ（ ２ ｙｒ ｊ／ Ｎ）こ
の後この波面を次式のツェルニケ多項式で解析する。
の後この波面を次式のツェルニケ多項式で解析する。
Ｗ＝Ｃ． ＋ Ｃ， ｇ ｃｏｓθ＋Ｃ３ρｓｉｎθ＋
Ｃ．（２ρ″−１）＋Ｃｓρ”ｃｏｓ２０＋Ｃ＠／）
”ｓｉｎ２θ＋ｃ７（３ρ”−２） ｌ）ｃｏｓＯ ＋
ｃ＠（３ρ”−２）ρｓｉｎθ＋ｃｓ（ａρ４−６ρ”
＋１） この式の各係数からアライメント誤差のチルト、デフォ
ーカスと球面誤差のアス、コマ、球面収差を求める。こ
の中のデフォーカス成分とＴＶカメラ２１で得られた被
検レンズ２７の直径と、スケール２６で得られた参照レ
ンズ１８と被検レンズ２７の距離から被検レンズの曲率
半径をマイクロコンビュータ２２で演算し、その結果を
ＣＲＴ夕一ミナル表示することで被検レンズの■率半径
を測定する。面精度は波面の形状から最大値と最小値と
の差であるＰ−ｖ値や偏差のＲＮＳ値を計算する。この
後前記の面形状誤差のアス、コマ、球面収差などの値を
ＣＲＴ夕一ミナルに表示する。
Ｃ．（２ρ″−１）＋Ｃｓρ”ｃｏｓ２０＋Ｃ＠／）
”ｓｉｎ２θ＋ｃ７（３ρ”−２） ｌ）ｃｏｓＯ ＋
ｃ＠（３ρ”−２）ρｓｉｎθ＋ｃｓ（ａρ４−６ρ”
＋１） この式の各係数からアライメント誤差のチルト、デフォ
ーカスと球面誤差のアス、コマ、球面収差を求める。こ
の中のデフォーカス成分とＴＶカメラ２１で得られた被
検レンズ２７の直径と、スケール２６で得られた参照レ
ンズ１８と被検レンズ２７の距離から被検レンズの曲率
半径をマイクロコンビュータ２２で演算し、その結果を
ＣＲＴ夕一ミナル表示することで被検レンズの■率半径
を測定する。面精度は波面の形状から最大値と最小値と
の差であるＰ−ｖ値や偏差のＲＮＳ値を計算する。この
後前記の面形状誤差のアス、コマ、球面収差などの値を
ＣＲＴ夕一ミナルに表示する。
本実施例では、参照レンズ１８と被検レンズ２７との距
離はレンズホルダー２５に被検レンズ２７を当てつけて
スケール２５で測定することと、被検レンズ２７により
得られた干渉縞を解析装置でデフォーカス成分を分離す
るために測定時に被検レンズを移動させることとが不要
であり曲率の迅速な測定が可能となる効果がある。
離はレンズホルダー２５に被検レンズ２７を当てつけて
スケール２５で測定することと、被検レンズ２７により
得られた干渉縞を解析装置でデフォーカス成分を分離す
るために測定時に被検レンズを移動させることとが不要
であり曲率の迅速な測定が可能となる効果がある。
（第２実施例）
第４図は本発明干渉計の第２実施例を示す。フィゾー型
干渉計と、解析装置とは第１実施例と同様に構成する。
干渉計と、解析装置とは第１実施例と同様に構成する。
本例では、レンズ台は基準レンズ用レンズホルダ２５ａ
と、被検レンズ用レンズホルダ２５ｂとを保持して、夫
々を光軸上に移動できる回転テーブル２８とガイドレー
ル５０上でピエゾ素子５３により駆動され、参照レンズ
ｌ８の保持用のストノバ５４が構成される。
と、被検レンズ用レンズホルダ２５ｂとを保持して、夫
々を光軸上に移動できる回転テーブル２８とガイドレー
ル５０上でピエゾ素子５３により駆動され、参照レンズ
ｌ８の保持用のストノバ５４が構成される。
レンズホルダー２５ａに嵌装された基準レンズ２９のフ
ィゾー型干渉計による干渉縞は、解析装置によりそのデ
フォーカス成分を求める。その後回転テーブル２８を１
８００回転し、レンズホルダー２５ｂに嵌装された被検
レンズ２７をフィゾー型干渉計の光軸上に移動し、同様
にデフォーカス成分を求める。基帖レンズの＋ｆｂ率半
径は、制御卓３０を経てＣＲＴターミナル２４から人力
し、それぞれのデフォーカス成分と演算することにより
被検レンズ２７の曲率が測定される。面精度は被検レン
ズ２７を光軸上に移動したときに第１実施例の場合と同
様にして測定する。
ィゾー型干渉計による干渉縞は、解析装置によりそのデ
フォーカス成分を求める。その後回転テーブル２８を１
８００回転し、レンズホルダー２５ｂに嵌装された被検
レンズ２７をフィゾー型干渉計の光軸上に移動し、同様
にデフォーカス成分を求める。基帖レンズの＋ｆｂ率半
径は、制御卓３０を経てＣＲＴターミナル２４から人力
し、それぞれのデフォーカス成分と演算することにより
被検レンズ２７の曲率が測定される。面精度は被検レン
ズ２７を光軸上に移動したときに第１実施例の場合と同
様にして測定する。
そのとき曲率半径と面精度とをＣＲＴターミナルに表示
する。
する。
本実施例では、参照レンズ１８と被検レンズ２７の距離
を基準レンズを使用し、間接的に求めることにより、ス
ケールが不要となるので安価になる効果がある。
を基準レンズを使用し、間接的に求めることにより、ス
ケールが不要となるので安価になる効果がある。
（発明の効果）
本発明による干渉計によれば、被検レンズの位置を参照
レンズとの距離が判っているレンズホルダーにより、機
械的に決めて、ツェルニケ多項式解析のデフォーカス成
分との演算により測定するので、被検レンズを基準位置
へその都度動かすことが無く迅速な測定が可能になる。
レンズとの距離が判っているレンズホルダーにより、機
械的に決めて、ツェルニケ多項式解析のデフォーカス成
分との演算により測定するので、被検レンズを基準位置
へその都度動かすことが無く迅速な測定が可能になる。
また、レンズ位置をその都度測定する装置が不要となる
ので安価になる効果がある。
ので安価になる効果がある。
第１図は本発明干渉計の原理を示す構成説明図、第２図
は本発明干渉計の第１実施例を示す構成説明図、 第３図は本発明干渉計の第２実施例を示す構成説明図、 第４図は従来の干渉計の構成を示す説明図、第５図は本
発明干渉計による干渉縞の形状を示す説明図である。 ５、１８ ６、２１ ７ ・・・ ９ ・・・ ２０ ・・− ２２ ・・・ ２３ ・・・ ２４ ・・・ ２５ ・・・ ２７ ・・・ ２８ ・・・ ３０ ・・・ ５１ ・・・ ５２ ・・・ ５３ ・・・ ・・・ 参照レンズ ・・・ 撮像装置（ＴＶカメラ） 処理装置、８ ・・・ 微動装置 入出力装置、１０ ・・・ レンズ台解析装置 マイクロコンピュータ ビエゾ素子駆動回路 ＣＲＴ夕一ミナル レンズホルダー、２６ ・・・ スケールコリメート
レンズ 回転テーブル、２９ ・・・ 基準レンズ制御卓、５
０ ・・・ ガイドレール上側スライダー 下側スライダー ピエゾ素子、５４ ・・・ ストノバ１、１４ ・
・・ レーザ光源
は本発明干渉計の第１実施例を示す構成説明図、 第３図は本発明干渉計の第２実施例を示す構成説明図、 第４図は従来の干渉計の構成を示す説明図、第５図は本
発明干渉計による干渉縞の形状を示す説明図である。 ５、１８ ６、２１ ７ ・・・ ９ ・・・ ２０ ・・− ２２ ・・・ ２３ ・・・ ２４ ・・・ ２５ ・・・ ２７ ・・・ ２８ ・・・ ３０ ・・・ ５１ ・・・ ５２ ・・・ ５３ ・・・ ・・・ 参照レンズ ・・・ 撮像装置（ＴＶカメラ） 処理装置、８ ・・・ 微動装置 入出力装置、１０ ・・・ レンズ台解析装置 マイクロコンピュータ ビエゾ素子駆動回路 ＣＲＴ夕一ミナル レンズホルダー、２６ ・・・ スケールコリメート
レンズ 回転テーブル、２９ ・・・ 基準レンズ制御卓、５
０ ・・・ ガイドレール上側スライダー 下側スライダー ピエゾ素子、５４ ・・・ ストノバ１、１４ ・
・・ レーザ光源
Claims (1)
- １、反射により被検体の光学面の形状を測定するフィゾ
ー型干渉計において、被検体の被検面を機械的に位置決
めするホルダーと、該ホルダーおよび参照面の距離を検
出する手段と、縞走査法により干渉縞のデフォーカス成
分を検出する解析装置と、これにより被検面の曲率半径
および面精度を算出する演算装置とを具えることを特徴
とする干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15719689A JP2686146B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15719689A JP2686146B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321806A true JPH0321806A (ja) | 1991-01-30 |
| JP2686146B2 JP2686146B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=15644304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15719689A Expired - Fee Related JP2686146B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686146B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5341212A (en) * | 1991-07-19 | 1994-08-23 | Olympus Optical Company Limited | Wave front interferometer |
| GB2577582A (en) * | 2019-06-05 | 2020-04-01 | Durham Magneto Optics Ltd | Laser interferometer with nanometer resolution |
| RU2744847C1 (ru) * | 2020-07-28 | 2021-03-16 | АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "Научно-исследовательский институт оптико-электронного приборостроения" (АО "НИИ ОЭП") | Интерферометр с функцией дифференциальных измерений |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15719689A patent/JP2686146B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5341212A (en) * | 1991-07-19 | 1994-08-23 | Olympus Optical Company Limited | Wave front interferometer |
| GB2577582A (en) * | 2019-06-05 | 2020-04-01 | Durham Magneto Optics Ltd | Laser interferometer with nanometer resolution |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686146B2 (ja) | 1997-12-08 |
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