JPH03208383A

JPH03208383A - ガスレーザ装置

Info

Publication number: JPH03208383A
Application number: JP247190A
Authority: JP
Inventors: Masao Tada; 多田　正雄
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-01-11
Filing date: 1990-01-11
Publication date: 1991-09-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、放電部の取付構造に改良を施したガスレーザ
装置に関するものである。

（従来の技術）従来から用いられている大出力のガスレーザ装置は、一
般に、第３図に示した様に構成されている。即ち、風洞
６の上部に放電部１が設けられ、また、風洞６の内部に
レーザガスを循環させる送風機４が取付けられ、さらに
、レーザガスを冷却するために熱交換器５が取付けられ
ている。また、前記放電部１には、放電ビン２とアノ−
トノ＜−３が配置され、高電圧を印加してグロー放電を
発生させることによってレーザ光が得られるように構成
されている。そして、このレーザ光を共振器で共振させ
て強力にした後、外部へと導いて金属板等の穴開け、切
断、溶接等に使用している。なお、風洞６が形成するレ
ーザガス循環回路は常時真空に保たれている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上述した様な従来のガスレーザ装置には
、以下に述べる様な解決すべき課題があった。即ち、放
電部において、放電ピン２とアノードバー３を対向配置
した電極構造では、放電によって放電ピン２の表面が荒
れたり、減耗したり、また、ガス循環回路の異物が付着
する等によって、正常なりロー放電が得られなくなり、
アーク放電を起こす危険性があった。そのため、放電ピ
ン２を常に正常に保つためにはピンの清掃・保守が必要
であった。

また、近年、大出力のガスレーザ装置への要望が高まっ
ており、その電極構造に改良を施し、誘電体に取ｆｌけ
た電極を対向配置して放電空間を形成し、両電極間に高
周波電圧を印加して放電させ、レーザを発生させるよう
に構成したガスレーザ装置が使用されるようになってい
る。

しかし、この様なガスレーザ装置においては、金属電極
を取付けるセラミックス誘電体として、大きい寸法のも
のを製作することが困難であるため、それらを複数個に
分割して構成しなければならず、電極を取付けた各誘電
体と容器との耐真空シール構造が非常に複雑なものとな
っていた。また、電極及び誘電体を単体で取り外すこと
ができなかったため、電極の保守・点検作業が困難なも
のとなり、ガスレーザ装置の信頼性も低下していた。

本発明は、上記の様な問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的は、耐真空シール構造が簡単で、
信頼性の高いガスレーザ装置を提供することにある。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明のガスレーザ装置は、複数対の電極を、放電部に
対向配置される第１及び第２の誘電体の背面側に別個に
取付け、また、風洞容器の外壁、及び容器内部に設けら
れた電極取付部に開口部を形成し、この開口部に取付け
る第１及び第２の絶縁板に切欠きを形成し、この切欠き
内に前記誘電体を着脱自在に取付け、さらに、前記容器
外壁と第１の絶縁板の間及び第１の絶縁板と第１の誘電
体との間に、容器内部の気密性を保持するためのシール
部材を配設したことを特徴とするものである。

（作用）以上の構成を有する本発明のガスレーザ装置においては
、放電部を構成する電極及び誘電体を分割して構成し、
それらを風洞容器に着脱自在に取付けているので、保守
・点検時には、それぞれを単体として取外し、保守・点
検作業を行うことができる。また、放電部と容器との間
にシール部材を配設しているので、風洞容器内の気密性
も維持される。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
具体的に説明する。なお、第３図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。

本実施例においては、第１図及び第２図に示した様に、
放電部を構成する電極及びセラミックス誘電体がそれぞ
れ複数個に分割されて構成されている。即ち、第２図に
示した様に、風洞６の容器７には、放電部を構成する上
部金属電極１０ａ及び第１の誘電体である上部セラミッ
クス誘電体１１ａを取付けるための開口部１２が形成さ
れている。また、前記上部金属電極１０ａは複数個に分
割されて構成され、それぞれ別個に上部セラミックス誘
電体１１ａの片面に取付けられている。なお、この上部
金属電極１０ａは大気に接しており、また、互いに図示
しない導線によって接続されている。さらに、金属電極
１０ａと容器７間には所定の絶縁距離が必要となるが、
上部セラミックス誘電体１１ａは耐久性の点から大きい
寸法のものが製作できないため、上部セラミックス誘電
体１１ａも分割して構成され、これら複数個の上部セラ
ミックス誘電体１．１　ａが、第１の絶縁板である上部
絶縁板１３ａを介して前記容器７の開口部１２に配設さ
れている。即ち、前記上部絶縁板１３ａには複数個の切
欠き］、４ａが形成され、この切欠き１４ａ内に上部セ
ラミックス誘電体１１ａが挿入されている。なお、上部
セラミックス誘電体１１ａは断面形状が略Ｔ字状に構成
され、前記上部絶縁板］、　３　ａの上面に張り出す取
付部が延設されている。そして、この取付部の下面と上
部絶縁板１３ａの上面とが密着するように配置され、シ
ール部材であるガスケット１５ａを介してボルトによっ
て上部絶縁板１３ａに気密に固定されている。さらに、
前記上部絶縁板１３ａはガスケット１５ｂを介して容器
７に気密に取付けられている。

一方、容器７内には、放電部を構成する下部金属電極１
０ｂを取付けるための電極取付部２０が前記容器７に支
持されて設けられ、下部金属電極１０ｂ及び第２の誘電
体である下部セラミックス誘電体１１ｂを取付けるため
の開口部２］か形成されている。また、前記下部金属電
極１０ｂは複数個に分割されて構成され、それぞれ別個
に下部セラミックス誘電体１１ｂに取付けられている。

なお、この下部金属電極１０ｂは互いに図示しない導線
によって接続されている。また、下部セラミックス誘電
体１１ｂも分割して構成され、複数個の下部セラミック
ス誘電体１１ｂが下部絶縁板１３ｂを介して前記電極取
付部２０の開口部２１に配設されている。即ち、前記下
部絶縁板１３ｂには複数個の切欠き１４ｂが形成され、
この切欠き１４ｂ内に下部セラミックス誘電体１１ｂが
取付けられている。なお、下部絶縁板１３ｂに形成され
る切欠き１４ｂは、断面形状か略Ｔ字状に構成されてい
る。

この様に構成された本実施例のガスレーザ装置において
、放電部を構成する」二下金属電極及び上下セラミック
ス誘電体の保守・点検を行う場合には、まず、上部絶縁
板１３ａに取付けられた一Ｌ部セラミックス誘電体１１
ａを取り外し、次に」一部セラミックス誘電体１　］、
　ａが取付けられていた切欠き１４ａから、容器内部に
配設されている下部セラミックス誘電体１１ｂを下部絶
縁板１３ｂから取り外す。なお、に下金属電極は互いに
対向する位置に配設されているため、−１一部絶縁板１
．３　ａに取付けられた上部セラミックス誘電体１１ａ
を取り外すことによって、その内部の対向する位置に配
設された下部セラミックス誘電体１１ｂ及び下部金属電
極１０ｂを容易に取り外すことができる。

また、風洞容器に絶縁板を介してセラミックス誘電体を
取付け、容器と絶縁板との間及び絶縁板とセラミックス
誘電体との間にそれぞれシール部材であるガスケットを
配設したため、シール性能が大幅に向上される。

この様に、本実施例によれば、放電部を構成する電極及
び誘電体を単体で取り外すことができるので、保守・点
検作業が大幅に簡略化される。また、精度の高い保守・
点検を実施できるので、ガスレーザ装置の信頼性も大幅
に向」ニされる。さらに、放電部と風洞容器との気密性
も維持することができる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、金属電極及び誘電体の分割個数は適宜設定すること
かできる。また、風洞容器と絶縁板、絶縁板と誘電体の
間に配設されるシール部材はガスケット以外のふのでも
良い。

［発明の効果］以上説明した様に、本発明によれば、分割して構成した
電極をそれぞれ別個の誘電体に取付け、この誘電体を絶
縁板を介して風洞容器の外壁、及び容器内部に設けられ
た電極取付部に着脱自在に取付けることにより、耐真空
シール構造が簡単で、信頼性の高いガスレーザ装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のガスレーザ装置の一実施例を示す断面
図、第２図は第１図の要部拡大断面図、第３図は従来の
ガスレーザ装置の一例を示す概略図である。１・・・放電部、２・・・放電ピン、３・・・アノード
バー４・・・送風機、５・・・熱交換器、６・・・風洞
、７・・容器、１０ａ、１０ｂ・・・金属電極、１１　
ａ、　　１　］、　ｂ−・・セラミックス誘電体、１２
・・・開口部、１３ａ、１３ｂ−、、絶縁板、１４ａ、
１．４ｂ・・切欠き、１５ａ。１５ｂ・・・ガスケラト、２０・・・電極取付部、２１・・・開口部。

Claims

【特許請求の範囲】風洞内に複数対の電極を対向配置して放電部を形成し、
この放電部内にレーザ媒質を流しながら前記両電極間に
高周波電圧を印加して放電させ、前記レーザ媒質を励起
してレーザを発生させるガスレーザ装置において、前記複数対の電極が、互いに電気的に接続された状態で
、前記放電部に対向配置される第１及び第２の誘電体の
背面側に別個に取付けられ、また、前記風洞容器の外壁
、及び容器内部に設けられた電極取付部にはそれぞれ開
口部が形成され、これらの開口部に取付けられる第１及
び第２の絶縁板には前記誘電体取付用の切欠きが形成さ
れ、この切欠き内に前記第１及び第２の誘電体が着脱自
在に取付けられ、さらに、前記容器外壁と第１の絶縁板
の間及び第１の絶縁板と第１の誘電体との間には、容器
内部の気密性を保持するためのシール部材が配設されて
いることを特徴とするガスレーザ装置。