JPH03205800A - Ｓｏｒ装置の運転方法 - Google Patents
Ｓｏｒ装置の運転方法Info
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- JPH03205800A JPH03205800A JP34410589A JP34410589A JPH03205800A JP H03205800 A JPH03205800 A JP H03205800A JP 34410589 A JP34410589 A JP 34410589A JP 34410589 A JP34410589 A JP 34410589A JP H03205800 A JPH03205800 A JP H03205800A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
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- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＝産業上の利用分野：
本発明は、電子ビームをシンクロトロン内で光速で周回
させて放射光を取り出すＳＯＲ装置の運転方法に関する
ものである。
させて放射光を取り出すＳＯＲ装置の運転方法に関する
ものである。
：従来の技Ｈｊ Ｅ
最近、半導体のリソグラフィー用光源とじて３
ＳＯＲ装置が注目されてきている。
ＳＯＲ装置は、蓄積リング内の電子ビームを光速で周回
させ、電子ビームが磁場で偏向される際に放射される放
射光（ＳＯＲ光）を取り出すものである。
させ、電子ビームが磁場で偏向される際に放射される放
射光（ＳＯＲ光）を取り出すものである。
通常大型のＳＯＲ装置は、線形加速器とシンクロトロン
と蓄積リングの３台の装置から構或されるが、小型のＳ
ＯＲ装置は、シンクロトロンと蓄積リングを兼用したも
のが現在開発されている。
と蓄積リングの３台の装置から構或されるが、小型のＳ
ＯＲ装置は、シンクロトロンと蓄積リングを兼用したも
のが現在開発されている。
この小型のＳＯＲ装置においては、線形加速器より電子
エネルギ１ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ以下の低いエネルギー
の電子が、シンクロトロンに繰返し入射され、シンクロ
トロン内に所定の蓄積電流が確保されたならばシンクロ
トロン内の電子ビームエネルギーを最終エネルギーまで
高めてＳＯＲ光を取り出すようにしている。
エネルギ１ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ以下の低いエネルギー
の電子が、シンクロトロンに繰返し入射され、シンクロ
トロン内に所定の蓄積電流が確保されたならばシンクロ
トロン内の電子ビームエネルギーを最終エネルギーまで
高めてＳＯＲ光を取り出すようにしている。
二発明か解決しようとする課題］
しかしながら、入射エネルギーが１ ０ ０ Ｍ ｅ
Ｖ以下と低いと、ビームの放射減衰時間が長くなりビー
ムか安定するまで時間かかかり、繰返し入射する間隔が
長くなる，その上、電子が低いエネノギーで入射される
と、電子の運動量が小さく、ｅ子が相互作用で発散しゃ
す＜ （ Ｔｏｕｓｃｈｅｋ効果）、最終エネルギーま
で加速する間に電子ビームがタわれてしまい蓄積運転に
長時間を要する問題がＪる。
Ｖ以下と低いと、ビームの放射減衰時間が長くなりビー
ムか安定するまで時間かかかり、繰返し入射する間隔が
長くなる，その上、電子が低いエネノギーで入射される
と、電子の運動量が小さく、ｅ子が相互作用で発散しゃ
す＜ （ Ｔｏｕｓｃｈｅｋ効果）、最終エネルギーま
で加速する間に電子ビームがタわれてしまい蓄積運転に
長時間を要する問題がＪる。
また電子ビームはシンクロトロン内のガスと謂突するた
め、電子ビームの寿命を数十時間に延はすためには、シ
ンクロ゛トロン内の真空度は１０〜１ ０−” ｔｏｒ
ｒの超高真空に保つ必要がある。
め、電子ビームの寿命を数十時間に延はすためには、シ
ンクロ゛トロン内の真空度は１０〜１ ０−” ｔｏｒ
ｒの超高真空に保つ必要がある。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、シンクロ
トロンに入射される電子が低エネルギーでも、この電子
ビームから効率よ＜ＳＯＲ光を取り出すことができるＳ
ＯＲ装置の運転方法を提供することを目的とする。
トロンに入射される電子が低エネルギーでも、この電子
ビームから効率よ＜ＳＯＲ光を取り出すことができるＳ
ＯＲ装置の運転方法を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段コ
本発明は、上記の目的を達成するために、発生した電子
を加速する線形加速器と、その線形加速器からの電子が
入射され、この電子ビームを周回させるシンクロトロン
とを備えたＳＯＲ装置の運転方法において、シンクロト
ロンに電子を１００ＭｅＶ以下のエネルギーで入射する
と共にその入射のたびにシンクロトロン内で電子ビーム
を最終エネルギまで高めてＳＯＲ光を取り出すものであ
る． ［作用］ 上記の構成によれば、低エネルギーの電子をシンクロト
ロンに入射した後、これを直ちに最終エネルギー（例え
ば８ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ ）まで加速することで、電
子ビームが失われることがなくなり、またシンクロトロ
ン内の真空度も１ ０−’ｔｏｒｒと低くてすむ６１＆
終エネルギーまで加速された電子ビームから放射される
ＳＯＲ光の輝度や強度は低くなるが、その分、露光時間
を長くすれば十分実用性に耐えうる。
を加速する線形加速器と、その線形加速器からの電子が
入射され、この電子ビームを周回させるシンクロトロン
とを備えたＳＯＲ装置の運転方法において、シンクロト
ロンに電子を１００ＭｅＶ以下のエネルギーで入射する
と共にその入射のたびにシンクロトロン内で電子ビーム
を最終エネルギまで高めてＳＯＲ光を取り出すものであ
る． ［作用］ 上記の構成によれば、低エネルギーの電子をシンクロト
ロンに入射した後、これを直ちに最終エネルギー（例え
ば８ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ ）まで加速することで、電
子ビームが失われることがなくなり、またシンクロトロ
ン内の真空度も１ ０−’ｔｏｒｒと低くてすむ６１＆
終エネルギーまで加速された電子ビームから放射される
ＳＯＲ光の輝度や強度は低くなるが、その分、露光時間
を長くすれば十分実用性に耐えうる。
［実施例コ
以下、本発明の好適実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図において、１はシンクロトロンで、電子ビームが
周回する環状の真空容器２と、その真空容器２内を周回
する電子ビームにエネルギーを補給する高周波加速空洞
３と、電子ビームを偏向する偏向電磁石４とから＃ｌ或
される。５は電子発生装置、６は線形加速器、７は入射
部の偏向電磁石、８は光取り出しライン、９は露光装置
である。
周回する環状の真空容器２と、その真空容器２内を周回
する電子ビームにエネルギーを補給する高周波加速空洞
３と、電子ビームを偏向する偏向電磁石４とから＃ｌ或
される。５は電子発生装置、６は線形加速器、７は入射
部の偏向電磁石、８は光取り出しライン、９は露光装置
である。
次にこの第１図に示したＳＯＲ装置の運転方法を、第２
図に示した運転モードと併せて説明する。
図に示した運転モードと併せて説明する。
先ず電子発生装置５からの電子は、線形加速器６で、例
えば４５ＭｅＶまで加速され、入射部の偏向電磁石７で
丙向されて真空容器２内に入射される。
えば４５ＭｅＶまで加速され、入射部の偏向電磁石７で
丙向されて真空容器２内に入射される。
この真空容器２内に入射された電子は、偏向電磁石４で
偏向され、かつ高周波加速空洞３でエネルギーを補給さ
れながら真空容器２内を光速で周回するが、電子の入射
後、偏向電磁石４での磁場を順次高め電子ビームのエネ
ルギーを最終エネルギー（ ８ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ
）まで高め、その間、偏向磁石４で偏向されるビームよ
り接線方向に放射されるＳＯＲ光を、光取り出しライン
８より取り出し、露光装置９に入射する。
偏向され、かつ高周波加速空洞３でエネルギーを補給さ
れながら真空容器２内を光速で周回するが、電子の入射
後、偏向電磁石４での磁場を順次高め電子ビームのエネ
ルギーを最終エネルギー（ ８ ０ ０ Ｍ ｅ Ｖ
）まで高め、その間、偏向磁石４で偏向されるビームよ
り接線方向に放射されるＳＯＲ光を、光取り出しライン
８より取り出し、露光装置９に入射する。
この電子の入射は、シンクロトロン１内の電子ビームの
寿命に応じた周期で、偏向電磁石４の磁場を＊Ｊ御し、
最終エネルギーがら入射エネルギーまで下げた後、再度
線形加速器６から電子を入射し、上述のように電子ビー
ムのエネルギーを高めることでＳＯＲ光を取り出す． このように電子を低エネルギーのままで入射しても、そ
の入射のたびに加速して最終エネルギーまで高めること
で、電子ビームが低エネルギーである時間が短く、ビー
ムが失われることがなく短時間電流蓄積を行ってＳＯＲ
光を取り出すことができる。なお、取り出されたＳＯＲ
先の輝度及び強度は落ちるが、その分、露光時間を調整
すればよい。
寿命に応じた周期で、偏向電磁石４の磁場を＊Ｊ御し、
最終エネルギーがら入射エネルギーまで下げた後、再度
線形加速器６から電子を入射し、上述のように電子ビー
ムのエネルギーを高めることでＳＯＲ光を取り出す． このように電子を低エネルギーのままで入射しても、そ
の入射のたびに加速して最終エネルギーまで高めること
で、電子ビームが低エネルギーである時間が短く、ビー
ムが失われることがなく短時間電流蓄積を行ってＳＯＲ
光を取り出すことができる。なお、取り出されたＳＯＲ
先の輝度及び強度は落ちるが、その分、露光時間を調整
すればよい。
このように入射後の電子を加速することで、加速による
電子集束効果が高く、また寿命は短くてよいため真空容
器２内の真空度は１ ０−’ｔｏｒｒと低くてすみ、ま
た高周波加速空洞３に加える高周波加速系のパワーも少
なくてすむため、低コストのＳＯＲ装置を実現できる． なお偏向電磁石４は、それ自体で真空容器２の一部を構
成するようにしてもよい． ［発明の効果］ 以上説明したことから明らかなように本発明によれば次
のごとき優れた効果を発揮する．（１）電子入射のたび
に最終エネルギーまで電子ビームエネルギーを高めてＳ
ＯＲ光を取り出すことで、効率のよいＳＯＲ運転が行え
る．（２）シンクロトロン内の真空度を高めることなく
運転できるため、低コストでしかも短時間にＳＯＲ運転
が行える。
電子集束効果が高く、また寿命は短くてよいため真空容
器２内の真空度は１ ０−’ｔｏｒｒと低くてすみ、ま
た高周波加速空洞３に加える高周波加速系のパワーも少
なくてすむため、低コストのＳＯＲ装置を実現できる． なお偏向電磁石４は、それ自体で真空容器２の一部を構
成するようにしてもよい． ［発明の効果］ 以上説明したことから明らかなように本発明によれば次
のごとき優れた効果を発揮する．（１）電子入射のたび
に最終エネルギーまで電子ビームエネルギーを高めてＳ
ＯＲ光を取り出すことで、効率のよいＳＯＲ運転が行え
る．（２）シンクロトロン内の真空度を高めることなく
運転できるため、低コストでしかも短時間にＳＯＲ運転
が行える。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は本発
明における運転モードを示す図である。 図中、１はシンクロトロン、２は真空容器、３は高周波
加速空洞、４は偏向磁石、６は線形加速器、８は光取り
出しラインである．第 ２ 図
明における運転モードを示す図である。 図中、１はシンクロトロン、２は真空容器、３は高周波
加速空洞、４は偏向磁石、６は線形加速器、８は光取り
出しラインである．第 ２ 図
Claims (1)
- １、発生した電子を加速する線形加速器と、その線形加
速器からの電子が入射され、この電子ビームを周回させ
るシンクロトロンとを備えたＳＯＲ装置の運転方法にお
いて、シンクロトロンに電子を１００ＭｅＶ以下のエネ
ルギーで入射すると共にその入射のたびにシンクロトロ
ン内で電子ビームを最終エネルギまで高めてＳＯＲ光を
取り出すことを特徴とするＳＯＲ装置の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34410589A JPH03205800A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | Ｓｏｒ装置の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34410589A JPH03205800A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | Ｓｏｒ装置の運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03205800A true JPH03205800A (ja) | 1991-09-09 |
Family
ID=18366685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34410589A Pending JPH03205800A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | Ｓｏｒ装置の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03205800A (ja) |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP34410589A patent/JPH03205800A/ja active Pending
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| CLEGG | and Triangle Universities Nuclear Laboratory," Durham, NC 27708-0308 USA |