JPH03204489A - 多段弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は多段弁に係り、特に製作容易にし制御上も高い
精度が得られる上、小さいエネルギーで大きな流量を高
い応答性をもって制御することができ、しかも小形軽量
で弁部の再生利用も容易にでき、特に多段サーボバルブ
に適用するに好適な多段弁の構造に関する。

〔従来の技術〕

従来の多段弁は、一般には、ノズル・フラッパやジェッ
ト・パイプを用いたパイロット弁で主弁を駆動する方式
が採られていた。

あるいは、特開昭５１−６７６４１号公報に記載されで
いるように、フォースモータ式の直動形スプール弁を用
いたパイロット弁で主弁を駆動する方式％式％ また、これら従来技術における主弁は全てスプール弁で
あった。

〔発明が解決しようとする課題〕

丘記第−の従来技術において、パイロット弁に微細な径
のノズルやジェット・パイプを用いているため１作動流
体中の異物等によって）」詰まりを起こして動作不良を
生ずることがあるので、常に作動流体を清浄に保ってお
かなければならず、そのための設備や費用が必要であっ
た。

そこで、これを解決するものとして、上記第二の従来技
術の多段弁が発明されたのであるが、上記の問題点を解
決したものの、パイロット弁もスプール弁であるため、
特に内径部に複雑な加工を要するスリーブの製作が難し
く、また制御オリフィスのランプ量やクリアランスの調
整にも高度な測定技術と加工技術とを要するといつ問題
があった。また、一般に、スプール弁においでは、その
流量制御性能を最大限に引き出すために、スリーブにリ
ング上の溝を設けるなどして制御オリフィスにおける流
体の人出をできるが（、′ｊ全全周均一になるようにし
ているので、パイｌ：］ツ［・、弁から主弁の駆動部に
至るまでの流路が複雑で長くなり、そのままでは多段弁
としての応答性が低下してしまう。そのため、パイロッ
ト弁の応答性を充分に高くしておく必要が生じ、その結
果、パイロット会の駆動手段が大きくなる。駆動エネル
ギーが大きくなるなどの問題もあった。

さらにまた、上述のスプール弁の製作上の問題点と再生
利用が困難であるという問題点は、主弁のスプール弁に
ついても共通の問題であった。さらに長期の使用などに
よって制御オリフィスのエッチが摩耗してしまった場合
など、スプール弁では、弁部を再び追加工（、・て再生
利用することが困難であるため、部品？交換しなければ
ならないという問題もあった。

本発明の目的は、製作容易にし２て制御上も高い精度が
得られる上、小さいエネルギーで大きな流量を高い応答
性をもって制御することができ、しかも小形軽量で弁部
の再生利用も容易にできる多段弁を提供することにある
。

（ｌｌ１題を解決するための手段〕 上記目的を達成するための本発明の、多段弁の主たる特
徴は、パイロット弁を、ケーシングと該ろ−シング内に
回動可能に設けた弁体とを備え、前記弁体と前記ケージ
ングの相対運動によって流体の流れを制御するロータリ
バルブとし、特にそのパイロット弁の構造を、円筒穴を
有する弁体と、該弁体の円筒穴の内径と同等の外径に成
形され、かつ前記弁体の円筒穴と同心に設けたスリーブ
またはプラグを有するとともに、該スリーブまたはプラ
グによって互いに分離されるように構成された流路を有
するケーシングとを備え、該ケーシングで前記弁体を回
動可能に支持した弁部と、前記弁体の一部に一体的に結
合され、かつ円周方向に交互に巻方向が替わるように構
成された複数の巻線を有する可動子と、該可動子に所定
の間隙をもって対向するように前記ケーシングに固定さ
れ、かつ円周方向に交互に極性が替わるように構成され
た磁石とを備えた駆動部とを有し、前記可動子上に発生
する電磁力によって前記弁体を直接回動させ前記弁体と
ケーシングとを相対運動させて流体の流れを制御するロ
ータリバルブとしたことにある。

〔作用〕

本発明によれば、特にパイロット弁が製作容易にして制
御上も高い精度が得られる上５小形軽量であるので多段
弁全体の構造を簡単にし小形軽量化することができ、し
かもパイロット弁から主弁駆動部の圧力室に至るまでの
流路を短くてき該流路中の流体の容積を少なくできるの
で小さい駆動エネルギーで高い応答性を得ることができ
る。

また、長期の使用などによってパイロット弁の制御オリ
フィスのメータリング・エッチが摩耗してしまった場合
などには、弁部を分解して摩耗した部分を取り除いた後
で再び弁体とケーシングの間の間隙を所定の寸法に調整
しなおせば弁部は再び新品と同様の性能を回復するので
、弁部の再生利用が容易にできるようになる。

よって、本発明によれば、製作容易にして制御上も高い
精度が得られる上、小さいエネルギーで大きな流量を高
い応答性をもって制御することができ、しかも小形軽量
で弁部の再生利用も容易にできる多段弁を得ることがで
きる。

〔実施例〕

まず、第１図を用いて本発明の多段弁の一実施例を説明
する。

パイロット弁の構成及び動作の詳細は特願昭６３−６８
６８号公報で説明しているのでここでは省略する。

本発明の多段弁は、パイロット弁と主弁から構成される
。主弁の供給ポート５９．５４は、パイロット弁の供給
ポート（図示せず）に接続し、主弁の排出ポート６３．
５３は、パイロット弁の排出ポート（図示せず）に接続
している。また主弁の制御ポート５５．５６は、パイロ
ット弁の制御ポート２２．２３に接続されている。パイ
ロット弁の弁体１が供給ポート５４と制御ポート２２と
を接続するように回動したときには、圧力室６４に流体
が導かれ、排出ポート５３は、制御ポート２３と連通し
、圧力室６５の流体は排出される。

またパイロット弁の弁体１が反対の向きに回動すれば、
主弁の供給ポート５４はパイロット弁の制御ポート２３
に接続し、圧力室６５に流体が流入して圧力室６４の流
体は排出される。

主弁のスプール５０には、連結ロッド６６を介してピス
トン５１が固定され、ピストン５１にはロッド６７が固
定されている。差動トランス７０は主弁スプール５０の
変位を測定するための変位計であり、コイル７１はボデ
ィ５２に、コア７２は連結棒６８を介してロッド６７に
それぞれ固定されている。主弁のボディ５２はスリーブ
を兼ねている。

主弁スプール５０は、例えば圧力室６４に流体が作用し
た場合、矢印７５の方向に移動し、制御オリフィス７３
．７４を開口する。この時、制御ポート５８には制御オ
リフィス７４を通って流体が流れ込み、制御ポート５７
の流体は制御ポート７３を通ってタンクへ排出される。

本実施例では、パイロット弁から主弁の圧力室６４．６
５までの流路を短くし、さらにパイロット弁を余計な絞
り部、曲がり部が少なく、単純な流路を有する構造のロ
ータリバルブとしている。

従って本実施例によれば、パイロット弁から主弁のスプ
ールを駆動する圧力室に至る間の流路を短縮し単純な形
状とすることによって途中の流体の容積を小さくシ、流
体の圧縮量を小さくして圧力伝播時間を短くしているの
で主弁のスプール５０の応答性が高まる。

従って、パイロット弁の応答性が必要最小限で済むので
小さな駆動エネルギで大きな流量を高い応答性をもって
制御することができるようになる。

尚、第２図に示すように、ロッド６７を取り除いた構造
としても良い。

次に、第３図に本発明の他の実施例を示す。本実施例は
、パイロット弁からの制御流体を主弁スプール５０の両
端部に導いて主弁を駆動する構造としたものである。

本実施例によれば、第１図及び第２．図に示した実施例
に比べると流路５５，５６の長さは長くなるが、スプー
ル５０にはピストン５１．連結ロッド６６、ロッド６７
が不要となるため、スプール５０の質量を軽量化できる
ので７スプール５０の応答性を高めることができ、王妃
の実施例と同様の効果を得ることができる。

第４図は、本発明の他の実施例有量すもので、パイロッ
ト弁のケーシング２をスリーブを兼ねる主弁のボディ５
２で兼ねた構造としている。すなわち、パイロット弁の
スリーブ１４．１５及び流路１８，１９をボディ５２に
形成し、弁体１はボディ５２とケーシング３によってス
ペーサ４とともに挟設している。

本実施例によれば、流路５５．５６をさらに短くできる
ので一層高応答化することができる。また、パイロット
弁のケーシング２が不要になるとともに、パイロット弁
と主弁の間で制御ポート２２．２３と流路５５，５６を
結合する際のパツキン及びその取付は溝の加工も不要と
なるので、より構造が簡単で小形軽量の多段弁を得るこ
とができる。

第５図は本発明の他の実施例を示すもので、第４図に示
すケーシング１４，１５及び流路１８゜１９を排除しス
リーブ１６．１７で流量を制御する構造としている。流
体は、スリーブ１６，１．７のエッチと弁体１の円筒穴
のエッチの間の開口量だけで制御される。

本実施例によれば、流路５５．５６が一層短縮されるた
めさらに高応答化が可能であり、また部品点数、加工作
業量及び組立て作業量も削減できるので、安価な高応答
の多段弁を得ることができる。

第６図は本発明の他の実施例を示すもので、パイロット
弁を３方弁のロータリバルブとし、さらに、このパイロ
ット弁を主弁の側方に配置した例である。

主弁スプール５０に、連結ロッド６６を介し、で固定さ
れるピストン５１の圧力冗６４側と６５側の受圧面積は
圧力室６５側の方が大きくなるように構成してあり、圧
力室６４は供給ポート５４゜５９に接続して常時供給圧
が作用するようにし、圧力室６５は流路６５を介してパ
イロット弁の制御ポート２３と接続されている。従って
、パイロット弁の弁体１が回動し供給ポート（図示せず
）と制御ポート２３が連通したときには、圧力室６５に
流体が流入し、供給ポート５９．５４に接続された圧力
室６４側から作用する力を超えるとスプール５０は矢印
９０の方向に移動する。また、反対に制御ポート２３と
排出ポート２５が連通ずると圧力室６５の流体が排出さ
れ、スプール５゜は圧力室６４側の供給圧によって矢印
９０と反対の方向に移動する。

本実施例によれば、パイロット弁が３方弁で済むのでパ
イロット弁の構造が簡単になる上、パイロット弁と主弁
の間で接続すべき流路の数も少なくて済むので多段弁全
体としても構造をより簡単にすることができる。また、
パイロット弁を３方弁としているので弁体１の構造が簡
単となり軽量化することができるので、パイロット弁の
応答性を高くすることが容易にでき、多段弁全体として
の応答性を高めることができる。

尚１本実施例ではパイロット弁を主弁の側方に配置した
が、これは他の位置としても良い。

第７図ないし第８図は本発明の主弁の他の実施例を示す
。本実施例は主弁をロータリバルブとした多段弁の例で
ある。以下、第７図を用いて本実施例の構造を説明する
。

弁体１００はケーシング１０２および１０４によってス
ペーサ１０３とともにはさまれるように設けられており
、スペーサ１０３の厚さは弁体１００の軸方向の厚さよ
りも所定の厚み差だけ厚く成形されている。また、弁体
１００の両端面からは軸１０６ａ、１０６ｂが突出して
おり、ケーシング１０４，１０２に設けた軸穴１０７，
１３１との間でラジアル軸受を構成している。従って、
弁体１００は、ケーシング１０２，１０４およびスペー
サ１０３に対して回動中心軸１０８を中心として回動可
能に設けられている。ポテンショメータ１４０は、弁体
の角変位を検出するための角変位計であり、弁体の軸１
０６ｂの回動中心軸１０８上に結合している。

さて、弁体１００には、回動中心軸１０８と平行な円筒
穴１０９，１１０および貫通部１１１゜１１２が設けら
れている。一方、ケーシング１０２および１０４には、
弁体１００の円筒穴１０９゜１１０の内径と同等の外径
に成形されたスリーブ１２７．１２８およびプラグ１１
５，１１６と。

スリーブ１２７，１２８およびプラグ１１５゜１１６に
よって互いに分離されるように構成された流路１３２，
１３３および１３４，１３５がそれぞれ設けられており
、ケーシング１０４において、スリーブ１２７，１２８
の内径部には制御ポート１２３，１２４が、流路１３２
には排出ポート１２６が、また流路１３３には供給ポー
ト１２５がそれぞれ接続されている。また、流路１３２
と１３４は貫通部１１２を介して、流路１３３と１３５
は貫通部１１１を介してそれぞれ連通するように構成さ
れている。さらにパイロット弁の制御ポート２２．２３
は、弁体１００と、弁体１００に設けたベーン１２９と
、スペーサ１０３とで形成される制御油圧室圧力室１１
４，１１３に、供給ポート２４は供給ポート１３６に、
排出ポート２５は排出ポート１１９にそれぞれ接続し、
排出ポート１１９は流路１２０，１２１に連通する。

さらにパイロット弁のケーシング２はケーシング１０２
と結合され、パイロット弁の供給ポート２４はケーシン
グ１０２の流路１３５に連通し、貫通穴１１１を介して
流路１３３にも連通しているので１以上の各流路はほと
んど直線上にあり、曲がりのない短い流路で構成される
。またパイロット弁の排呂ポート２５はケーシング１０
２の流路１１９、スペーサ１０３の流路１２０及びケー
シング１０４の流路１２１と連通している。

次に、本実施例の主弁の駆動方法について第８図を用い
て説明する。但し、本図では、弁体１００と、弁体１０
０に設けたベーン１２９、及びスペーサ１０３とで形成
される圧力室１１４，１１３とで構成される流体圧アク
チュエータを揺動モータ１４１の油圧回路記号で表わし
ている。

弁体１００は揺動モータ１４１の流体圧室１１３または
１１４にパイロット弁からの流体を作用させることによ
り駆動される。矢印１４２，１４３はそれぞれ圧力室１
１３，１１４に流体が作用したときに回動する方向を示
している。第８図はパイロット弁が矢印２６の方向に回
動したときを示しており、供給ポート２４からの流体が
圧力室１１３に流入した状態を表わしている。そして、
弁体１００は矢印１４２の方向に回動し、主弁の制御ポ
ート１２４には供給ポート１２５からの流体が流入する
。またパイロット弁が矢印２６と逆に回動したときは、
主弁の圧力室１１４に流体が流入し、矢印１４３の方向
に弁体１００が回動するため制御ポート１２３に流体が
流入する。

本実施例によれば、主弁をスプール弁とした上記実施例
の多段弁よりもさらにパイロット弁の流路２２，２３，
２４，２５から主弁の流路１１８゜１１７．１３６，１
１９を短くできる上、各流路間の曲がり、絞りは制御オ
リフィス部だけになるので流体の流れに対する損失や抵
抗が少なくなり、流体の圧力伝播が速くなるので、より
高応答の多段弁を実現することができる。また、主弁、
パイロット弁ともに弁部を製作する際に、弁体１の円筒
穴１０．１１と、ケーシング２のスリーブ１４゜１５と
ケーシング３のプラグ１６．１７および弁体１００の円
筒穴１０９，１１０と、ケーシング１０４のスリーブ１
２７，１２８とケーシング１０２のプラグ１１５，１１
６を装着する穴とを同時に加工し、その後でスリーブ１
４．１５と１２７，１２８およびプラグ１６．１７と１
１５゜１１６をケーシング２と１０４、またはケーシン
グ３と１０２に装着すればよい、そして、ラップ量の調
整はこの間に円筒穴の内径とスリーブおよびプラグの外
径とを所定の寸法差に調整することによってでき、また
、クリアランスの調整は弁体１とスペーサ４および弁体
１００とスペーサ１０３の厚み差を調整することによっ
てできる。従って。

パイロット弁、主弁ともに弁部の製作方法が容易であり
、製作工数も削減できる。しかも、制御上も高い精度を
得ることができる。さらに多段弁全体の薄型化ができる
ため、より小形軽量とすることができる。

その上、制御オリフィスのエッチが、長期の使用などで
摩耗してしまった場合や、異物のかみ込み等によって一
部損傷してしまった場合などには、弁体１とケーシング
２，３および弁体１００とケーシング１０４，１０２の
端面を再び研削して摩耗や損傷した部分を取り除き、そ
の上で再びスペーサ４，１０３の厚さを弁体１，１００
の軸方向の厚さよりも所定の厚み差だけ厚くなるように
調整し直すことによって弁部は再び新品と同等の性能を
回復するので、弁部の再生利用が容易にできるようにな
る。さらに、駆動手段での消費エネルギーや発熱量も少
なくすることができることのほか、供給ポートから制御
ポートに至る高圧部が必要最小限に抑えられているので
弁部全体も小形で軽量となる。

また、第９図に、前記主弁駆動部の他の実施例を示す。

圧力室１１３，１１４は弁体１００．ベーン１２９、ス
ペーサ１７３とシュー１７０，１７１により形成されて
おり、弁体１００の外周のシュー１７０，１７１に接す
る部分と圧力室１１３゜１１４を形成している部分以外
の部分は空洞部１７２となっている。

本実施例によれば、スペーサ１７３を第７図のスペーサ
１０３のような形状に加工する必要が無いので加工が容
易になるという利点があり、また、弁体外周の摺動部が
小さいので摺動抵抗が小さくなり、駆動エネルギーが小
さくて済むようになる。

さらに、第１０図に示すように、弁体１００にレバー１
８５を設け、このレバー１８５を両側からはさむように
相対向する流体圧シリンダ１８０゜１８１を設けてこれ
らの流体圧シリンダの圧力室にパイロット弁の制御ポー
トを接続する構造でも良く、あるいはまた、第１１図に
示すように揺動モータを弁体１００の軸１０６ｂに設け
る構造としても良い。

これらのようにしても同様の効果を得ることができる。

なお、以上の実施例では２段弁についてだけ述べている
が、３段弁またはそれ以上の多段弁についても同様の効
果が得られる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の多段弁によれば、特にパ
イロット弁が製作容易にして制御上も高い精度が得られ
る上、小形軽量であるので多段弁全体の構造を簡単にし
小形軽量化することができ、しかもパイロット弁から主
弁駆動部の圧力室に至るまでの流路を短くでき該流路中
の流体の容積を少なくできるので小さい駆動エネルギー
で高い応答性を得ることができる。従って、制御装置も
小形のもので済み、装置全体の消費エネルギーが少なく
て済む１発熱量が少なくなるなどの効果を得ることがで
きる。

また、長期の使用などによってパイロット弁の制御オリ
フィスのメータリング・エッチが摩耗してしまった場合
などには、弁部を分解して摩耗した部分を取り除いた後
で再び弁体とケーシングの間の間隙を所定の寸法に調整
しなおせば弁部は再び新品と同様の性能を回復するので
、弁部の再生利用が容易にできるようになる。

よって、本発明によれば、製作容易にして制御上も高い
精度が得られる上、小さいエネルギーで大きな流量を高
い応答性をもって制御することができ、しかも小形軽量
で弁部の再生利用も容易にできる多段弁を得ることがで
きる。また、製造原価やランニングコストを低減できる
など経済上の効果も得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の多段弁の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図の主弁駆動部の他の実施例を示す断面図、第
３図ないし第６Ｕｆ！Ｊはパイロット弁と主弁の他の構
成を示す断面図、第７図は本発明の他の実施例を示す斜
視図、第８図は第７図の動作を示す断面図、第９図は第
７図の主弁の弁体を駆動する部分の他の実施例を示す断
面図、第１０図及び第１１図は主弁の弁体を駆動する部
分の変形例を示す断面図である。 １．１００・・・弁体、５０・・・スプール、５１・・
ピストン、６６・・・連結ロッド、６７・・・ロッド、
６４゜６５．１１３，１１４，１８３，１８４．］−９
２゜１９３・・・圧力室、２２，２３．５７，５８，１
２３゜遁 と 〔］ 囁 ｔ。 口 力　、・ｌり　（？］ ／？Ｉ乙

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、作動流体の流れを制御する主弁と、該主弁の運動を
   制御するパイロット弁とを備えた多段弁において、前記
   パイロット弁は、ケーシングおよび該ケーシングに対し
   て回動可能に設けた弁体を有する弁部と、前記ケーシン
   グに固定された固定子および前記弁体の一部に一体的に
   結合された可動子を有する駆動手段とを備え、前記可動
   子上に発生する電磁力によつて前記弁体を直接駆動し前
   記弁体とケーシングとを相対運動させて流体の流れを制
   御するロータリバルブとしたことを特徴とする多段弁。 ２、作動流体の流れを制御する主弁と、該主弁の運動を
   制御するパイロット弁とを備えた多段弁において、前記
   パイロット弁は、円筒穴を有する弁体と、該弁体の円筒
   穴の内径と同等の外径に成形され、かつ前記弁体の円筒
   穴と同心に設けたスリーブまたはプラグを有するととも
   に、該スリーブまたはプラグによつて互いに分離される
   ように構成された流路を有するケーシングとを備え、該
   ケーシングで前記弁体を回動可能に支持した弁部と、前
   記弁体の一部に一体的に結合され、かつ円周方向に交互
   に巻方向が替わるように構成された複数の巻線を有する
   可動子と、該可動子に所定の間隙をもつて対向するよう
   に前記ケーシングに固定され、かつ円周方向に交互に極
   性が替わるように構成された磁石とを備えた駆動部とを
   有し、前記可動子上に発生する電磁力によつて前記弁体
   を直接回動させ前記弁体とケーシングとを相対運動させ
   て流体の流れを制御するロータリバルブとしたことを特
   徴とする多段弁。 ３、請求項２記載の多段弁において、前記パイロット弁
   は、円筒穴および軸方向に貫通した別の貫通孔を有する
   弁体と、該弁体の円筒穴の内径と同等の外径に成形され
   、かつ前記弁体の円筒穴と同心に設けられたスリーブま
   たはプラグを有するとともに、該スリーブまたはプラグ
   によつて互いに分離されるように構成された流路を有す
   る２つのケーシングと、前記弁体の軸方向の厚さよりも
   厚く成形したスペーサとを備え、前記２つのケーシング
   で前記弁体及び前記スペーサを狭設し前記弁体を回動可
   能に支持した弁部と、前記弁体の一部に一体的に結合さ
   れ、かつ円周方向に交互に巻方向が替わるように構成さ
   れた複数の巻線を有する可動子と、前記可動子に対向し
   前記ケーシングに固定され、かつ円周方向に交互に極性
   が替わるように構成された磁石とを備える駆動部とを有
   し、前記可動子上に発生する電磁力によつて前記弁体を
   直接回動させ前記弁体とケーシングとを相対運動させて
   流体の流れを制御するロータリバルブとしたことを特徴
   とする多段弁。 ４、作動流体の流れを制御する主弁と、該主弁の運動を
   制御するパイロット弁とを備え、該パイロット弁は、ケ
   ーシングおよび該ケーシングに対して回動可能に設けた
   弁体を有する弁部と、前記ケーシングに固定された固定
   子および前記弁体の一部に一体的に結合された可動子を
   有する駆動手段とを備え、前記可動子上に発生する電磁
   力によつて前記弁体を直接駆動し前記弁体とケーシング
   とを相対運動させて流体の流れを制御するロータリバル
   ブとした多段弁において、前記主弁は、円柱状のスプー
   ルと円筒内面で該スプールを軸方向に運動可能に保持す
   るスリーブとを有し、前記スプールと前記スリーブとを
   相対運動させて流体の流れを制御するスプール弁とした
   ことを特徴とする多段弁。 ５、請求項４記載の多段弁において、前記主弁のスプー
   ルの一端部に、前記パイロット弁の制御ポートに接続す
   る一対の圧力室を隣接して有する流体圧シリンダを設け
   たことを特徴とする多段弁。 ６、請求項４記載の多段弁において、前記主弁のスプー
   ルの両端に、前記パイロット弁の制御ポートに接続する
   一対の圧力室を有する流体圧シリンダを設けたことを特
   徴とする多段弁。 ７、請求項５または６記載の多段弁において、前記パイ
   ロット弁は３方弁とし、かつ前記流体圧シリンダの一方
   の圧力室には供給ポートを接続するとともに、他方の圧
   力室には前記パイロット弁の制御ポートを接続したこと
   を特徴とする多段弁。 ８、作動流体の流れを制御する主弁と、該主弁の運動を
   制御するパイロット弁とを備え、該パイロット弁は、ケ
   ーシングおよび該ケーシングに対して回動可能に設けた
   弁体を有する弁部と、前記ケーシングに固定された固定
   子および前記弁体の一部に一体的に結合された可動子を
   有する駆動手段とを備え、前記可動子上に発生する電磁
   力によつて前記弁体を直接駆動し前記弁体とケーシング
   とを相対運動させて流体の流れを制御するロータリバル
   ブとした多段弁において、前記主弁は、ケーシングと、
   該ケーシングに対して回動可能に設けた弁体とを有する
   ロータリバルブとしたことを特徴とする多段弁。 ９、請求項８記載の多段弁において、前記主弁は、円筒
   穴を有する弁体と、前記該弁体の円筒穴の内径と同等の
   外径に成形され、かつ前記弁体の円筒穴と同心に設けた
   スリーブまたはプラグを有するとともに、該スリーブま
   たはプラグによって互いに分離されるように構成された
   流路を有するケーシングとを備え、該ケーシングで前記
   弁体を回動可能に支持し、前記主弁の弁体とケーシング
   とを相対運動させて流体の流れを制御するロータリバル
   ブとしたことを特徴とする多段弁。 １０、請求項８記載の多段弁において、前記主弁は、円
   筒穴および軸方向に貫通した別の貫通孔を有する弁体と
   、該弁体の円筒穴の内径と同等の外径に成形され、かつ
   前記弁体の円筒穴と同心に設けたスリーブまたはプラグ
   を有するとともに、該スリーブまたはプラグによつて互
   いに分離されるように構成された流路を有する２つのケ
   ーシングと、前記弁体の軸方向の厚さよりも厚く成形し
   たスペーサとを備え、前記２つのケーシングで前記弁体
   及び前記スペーサを挟設し前記弁体を回動可能に支持し
   、前記主弁の弁体とケーシングとを相対運動させて流体
   の流れを制御するロータリバルブとしたことを特徴とす
   る多段弁。１１、請求項８ないし１０のいずれか記載の
   多段弁において、前記主弁の弁体の一部にベーンを設け
   るとともに、前記ケーシングまたはスペーサに圧力室を
   形成し、該圧力室内に前記ベーンを配して前記圧力室を
   前記ベーンによつて２つに区切り、前記ベーンの両側の
   圧力室に前記パイロット弁の制御ポートを接続したこと
   を特徴とする多段弁。 １２、請求項８ないし１０のいずれか記載の多段弁にお
   いて、前記主弁の弁体の一部にレバーを設けるとともに
   、前記ケーシングまたはスペーサに該前記レバーを両側
   からはさむように相対向する２個の流体圧シリンダを設
   け、該流体圧シリンダに前記パイロット弁の制御ポート
   を接続したことを特徴とする多段弁。