JPH03200360A - 集積回路モジュール - Google Patents

集積回路モジュール

Info

Publication number
JPH03200360A
JPH03200360A JP1341470A JP34147089A JPH03200360A JP H03200360 A JPH03200360 A JP H03200360A JP 1341470 A JP1341470 A JP 1341470A JP 34147089 A JP34147089 A JP 34147089A JP H03200360 A JPH03200360 A JP H03200360A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
semiconductor substrate
integrated circuit
chip
dram
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1341470A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukichi Murakami
村上 祐吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP1341470A priority Critical patent/JPH03200360A/ja
Publication of JPH03200360A publication Critical patent/JPH03200360A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48145Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • H01L2224/48147Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、高密度の集積回路モジュールに関する。
[従来の技術] 近年、計算機の主記憶装置、画像記憶装置をはじめとし
て、電子機器に用いられる集積回路モジュールの高密度
化がより一層強く要求されてきている。記憶装置用のメ
モリモジュールについても例外ではなく、複数のパッケ
ージをプリント基板に実装することにより小型化が図ら
れている。例えば第5図に示す如く、4Mビットの単一
のチップを通常のプラスチックパッケージに納めてなる
DRAM (ダイナミックランダムアクセスメモリ)1
0をプリント基板11に複数(この例では9つ)実装す
ることにより4M×9ビットの高密度のメモリモジュー
ル(マルチパッケージモジュール)12が実現されてい
る。
このメモリモジュール12はプリント基板ll中の配線
パターンを介してDRAMIOに接続されている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような従来の集積回路モジュールに
よると、モジュール全体の大きさを複数のプラスチック
パッケージの大きさの和より小さくすることができない
。即ち、DRAMチップをプラスチックパッケージに納
めた後にプリント基板に実装しているためモジュール全
体の大きさが、プラスチックパッケージの外形寸法の制
約を受けてしまい、小型化に限界がある。例えばSOJ
(スモールアウトラインJベンド)パッケージを9つ実
装した場合、モジュールの外形寸法は約90mmX25
mmとなり非常に大型化してしまう。
さらにこの種の集積回路モジュールは、プリント基板を
用いて集積回路間の配線が行われるため、配線長が長く
なり、配線間の分布容量が大きくなるので信号が遅延す
るという問題点をも有している。
従って本発明の目的は、より高−密度化された小型で信
号伝達速度の速い集積回路モジュールを提供することに
ある。
[課題を解決するための手段] 上述の目的は本発明によれば、外部リードに接続された
導電層を有する配線用半導体基板と、該半導体基板上に
載置された複数の半導体集積回路チップと、該複数の半
導体集積回路チップと前記導電層とを接続するワイヤボ
ンディング手段とを単一のパッケージ内に納めることで
達成される。
[作用] 半導体で構成される配線用基板に複数のチップを載置し
て接続を行ったものを単一のパッケージ内に納めるよう
にしているため、複数の半導体集積回路チップと外部リ
ードとの間の配線距離が短縮され、配線分布容量が減少
され、モジュールの体積が縮小される。
〔実施例] 以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
第1図は、本発明の一実施例であるメモリモジュール1
3の全体を示す平面図である。なお、同図においては、
プラスチックパッケージの図示が省略されている。
同図に示すように、配線用半導体基板14上に複数のD
RAMチップ10及びコンデンサチップ15が配置され
ている。DRAMチップlO及びコンデンサチップ15
は全て単一のプラスチックパッケージ内に納められてい
る。各DRAMチップ1oは配線用半導体基板14を介
して外部リード16に接続されている。
コンデンサチップ15は、電源ノイズを遮断するための
バイパスコンデンサであり、夫々のDRAMチップl0
E1つづつ配置されている。
コンデンサチップ15は通常、DRAMチップ10の電
源線(Vcc)と接地線(GND)とに接続される。な
お、バイパスコンデンサとしてコンデンサチップ15を
用いたが、これに限らず配線用半導体基板14の上にM
OSコンデンサを形成してもよい。
DRAMチップ10は通常のDRAMパッケージに内蔵
されている半導体チップである。DRAMチップ10は
CMO8(コンプリメンタリメタルオキサイドセミコン
ダクタ)型DRAMでもNMO3(Nチャネル型メタル
オキサイドセミコンダクタ)型DRAMでもよい。
外部リード16は、配線用半導体基板14上のDRAM
チップ10と図示しない外部回路とを接続するための端
子である。通常は、銅板に錫又は金がメツキされたもの
が用いられるが、導電性がありワイヤボンディング及び
ハンダ付けができればよい。
第2図は、第1図のA−A線の部分断面図である。同図
に示す如く、メモリモジュール13はり−ドフシーム1
7に配線用半導体基板L4が載置され、さらにその上に
DRAMチップ10が載置されている。DRAMチップ
lO上の導電層で構成される配線領域と、配線用半導体
基板14上の導電層で構成される配線領域とはワイヤ1
8でボンディング法により接続されている。配線用半導
体基板14の配線領域と外部リード16との間はワイヤ
19でボンディング法により接続されている。これらの
部品は図に示す如く、外部リード16の一部が露出する
ように単一のプラスチックパッケージ20にモールドさ
れている。
リードフレーム17は配線用半導体基板14をボンディ
ングの際の衝撃から保護するための補強部材であり、配
線用半導体基板14にバイアス電圧を与えるための導電
性の部材でもある。リードフレーム17は通常、外部リ
ード16と同一の金属で構成される。リードフレーム1
7の大きさは、図では配線用半導体基板14の大きさよ
り大きいが等しくてもよい。リードフレーム17の一端
は通常、図示しない接地線(GND)端子に導通してい
る。
次に、第3図は第1図の一部を拡大した平面図を示す。
外部リード16と配線用半導体基板14上のボンディン
グ・パッド(図示せず)とがワイヤ19により接続され
ている。さらに、配線用半導体基板14上のボンディン
グ・パッドと、配線用半導体基板14の上に載置された
DRAMチップ10のボンディング・パッドとが、ワイ
ヤ18により接続されている。
なお、破線はメモリモジュール13のプラスチックパッ
ケージ20の境界部分を示す。
ワイヤ18又は19は、配線用半導体基板14、外部リ
ード16又はDRAMチップ10とをボンディング法に
より接続するため金又はアルミニウム等の金属で構成さ
れている。ワイヤ18又は19のボンディングは例えば
、超音波を印加することにより行われるが、熱圧着でも
よい。
配線用半導体基板14は、導電層と絶縁層とを有する配
線専用の半導体の基板である。配線用半導体基板14は
、例えばシリコンウェハ又はガリウム・砒素等の半導体
基板に拡散、蒸着又はエツチング等を施すことにより作
製される。配線用半導体基板14は、DRAMチップl
O等の集積回路チップやコンデンサチップ15(第1図
)等の受動素子が載置されるような大きさであればよい
配線用半導体基板14には、外部リード16と琴線用半
導体基板14上の導電層とを接続するための正方形の電
極、即ちボンディング・パッドが設けられている。ボン
ディング・パッドはDRAMチップ10にも設けられて
いる。このボンディング・パッドは、DRAMチップ1
0又は配線用半導体基板14の導電層の一部が平面的に
広がったものである。
配線用半導体基板14は、DRAMチップlOにバイア
ス電圧を与えるための複数の領域を有する。
この複数の領域はDRAMチップ10と同一の大きさで
あり、導電層の一部が平面的に広がったものである。こ
のDRAMチップ10上の複数の領域に、複数のDRA
MチップlOが導電性の接着剤で接着されている。
なお、配線用半導体基板14の導電層はアルミニウムで
構成されているが、ポリシリコン又は拡散層で構成され
ていてもよい。
このメモリモジュール13の外部リード16、即ちアド
レス信号端子(AO〜A11)、データ入出力端子(D
O〜D7.DP、DQ) 、制御信号端子(RAS、C
AS、CASP、WE) 、電源線端子(Vcc)及び
接地線端子(GND)は、第4図に示す如く、メモリモ
ジュール13内のワイヤ及び配線用半導体基板14を介
してDRAMチップlOの導電層に接続されている。
このように実施例のメモリモジュール13には、DRA
Mチップ10を個々に納める従来例のようなパッケージ
及びプリント基板がない。従って、モジュールの高密度
化が図れる。
そのためメモリモジュール13の外形寸法は、個別部品
としてDRAMチップlOをモールドしたプラスチック
パッケージの寸法ではなく、DRAMチップlOの寸法
と配線領域とに基づいて決定される。配線領域の配線パ
ターンの幅は、従来例のようなプリント基板11のよう
なmm単位で表示されるような大きさではなく、μm単
位で表示されるような大きさに縮小される。
例えば、DRAMチップ10のサイズを15mmX5m
m、コンデンサチップ15のサイズをlmmX5mmと
し、配線用半導体基板14上のDRAMチップ10間の
配線領域の幅を400μmと仮定する。
メモリモジュール13の外形寸法は約50mm x 2
0mmとなり、その面積は100mm2となる。従って
、従来のモジュール12の寸法90mmX22mm、面
積225mm2に比べて半分以下の大きさに縮小するこ
とができる。
以上述べたメモリモジュールは、DRAMモジュールに
限らず、ROM (リードオンリメモリ)、CPU (
セントラルプロセシングユニット)、PLD(プログラ
マブルロジックデバイス)等の集積回路で構成されるモ
ジュールの高密度化に応用することができる。
なお、配線用半導体基板14上にはコンデンサチップ1
5(第1図)が載置されているが、これ以外に、抵抗チ
ップ、拡散抵抗、又はスパイラル構造のインダクタを形
成して用いてもよい。
[発明の効果コ 以上詳細に説明したように本発明によれば、導電層を有
する配線用半導体基板上に複数の半導体集積回路チップ
を載置し、これらを単一のモジュールに内蔵することで
モジュール全体の体積を縮小することができる。さらに
、配線距離の短縮と配線容量が軽減できるので、信号の
遅延時間を短縮することもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による集積回路モジュールの一実施例を
示す平面図、第2図は同実施例の回路図、第3図は第1
図のA−A線の部分断面図、第4図は第1図の平面図の
部分拡大図、第5図は従来例のモジュールの平面図であ
る。 10・・・・・・DRAMチップ、13・・・・・・メ
モリモジュール、14・・・・・・配線用半導体基板、
15・・・・・・コンデンサチップ、1G・・・・・・
外部リード、17・・・・・・リードフレーム、18.
19・・・・・・ワイヤ、20・・・・・・プラスチッ
クパッイtJ’l! A  イ1理士 船  山第2図 第4図 第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 外部リードに接続された導電層を有する配線用半導体基
    板と、該半導体基板上に載置された複数の半導体集積回
    路チップと、該複数の半導体集積回路チップと前記導電
    層とを接続するワイヤボンディング手段とを単一のパッ
    ケージ内に納めたことを特徴とする集積回路モジュール
JP1341470A 1989-12-27 1989-12-27 集積回路モジュール Pending JPH03200360A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1341470A JPH03200360A (ja) 1989-12-27 1989-12-27 集積回路モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1341470A JPH03200360A (ja) 1989-12-27 1989-12-27 集積回路モジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03200360A true JPH03200360A (ja) 1991-09-02

Family

ID=18346314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1341470A Pending JPH03200360A (ja) 1989-12-27 1989-12-27 集積回路モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03200360A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2596996A (en) * 2019-04-16 2022-01-12 Noco Co Battery clamp device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2596996A (en) * 2019-04-16 2022-01-12 Noco Co Battery clamp device
GB2596997A (en) * 2019-04-16 2022-01-12 Noco Co Battery clamp device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6831353B2 (en) Interdigitated leads-over-chip lead frame and device for supporting an integrated circuit die
US5227664A (en) Semiconductor device having particular mounting arrangement
US6344976B1 (en) Interdigitated leads-over-chip lead frame device and method for supporting an integrated circuit die
US5780925A (en) Lead frame package for electronic devices
US6858472B2 (en) Method for implementing selected functionality on an integrated circuit device
US5834832A (en) Packing structure of semiconductor packages
KR0120921B1 (ko) 반도체 장치
US6611434B1 (en) Stacked multi-chip package structure with on-chip integration of passive component
US6724074B2 (en) Stack semiconductor chip package and lead frame
US6278616B1 (en) Modifying memory device organization in high density packages
US6313998B1 (en) Circuit board assembly having a three dimensional array of integrated circuit packages
KR970006529B1 (ko) 반도체 장치
US20020088633A1 (en) Multi-chip memory devices, modules and control methods including independent control of memory chips
US5295045A (en) Plastic-molded-type semiconductor device and producing method therefor
JPH11168150A (ja) 半導体集積回路装置
US6181005B1 (en) Semiconductor device wiring structure
US11222839B1 (en) Semiconductor structure
JPH03200360A (ja) 集積回路モジュール
JP2001177046A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3153216B2 (ja) 半導体装置
TWI732647B (zh) 半導體封裝件
KR950013050B1 (ko) 엘오씨(Lead On Chip)용 리드 프레임
KR100235495B1 (ko) 반도체 장치
JPH11111888A (ja) 半導体モジュール,メモリモジュール,電子装置および半導体モジュールの製造方法
KR200283835Y1 (ko) 핀 접속부를 구비하는 패키지 적층형 반도체 소자