JPH03197083A - 情報記録媒体 - Google Patents

情報記録媒体

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JPH03197083A
JPH03197083A JP1334765A JP33476589A JPH03197083A JP H03197083 A JPH03197083 A JP H03197083A JP 1334765 A JP1334765 A JP 1334765A JP 33476589 A JP33476589 A JP 33476589A JP H03197083 A JPH03197083 A JP H03197083A
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JP
Japan
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recording layer
recording
layer
alloy
pseudo
Prior art date
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Pending
Application number
JP1334765A
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English (en)
Inventor
Tadashi Kobayashi
忠 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、レーザビーム等の光ビームを記録層に照射
し、その照射条件によって照射部分に相変化を誘起させ
て情報を記録・消去し、この相変化に伴う反射率、透過
率等の光学特性の変化を検出することにより情報を再生
する情報記録媒体に関する。このような情報記録媒体と
しては、光ディスク、光カード、光テープ、及び光ドラ
ム等がある。
、(従来の技術及び 発明が解決しようとする課題) 従来、所謂イレーサブル光ディスク等の情報の消去が可
能な情報記録媒体として、相変化型のものが広く知られ
ている。この相変化型情報記録媒体は、例えば、ガラス
又はプラスチック(ポリカーボネート樹脂、ポリメチル
メタクリレート樹脂等)からなる基板と、この基板上に
形成された記録層とを備えている。この記録層を形成す
る材料としては、例えばGeTe等のカルコゲナイド系
合金が知られており、これらは異なる条件の光ビーム(
例えばレーザビーム)を照射することにより、例えば結
晶と非晶質との間で可逆的に相変化するので、この相変
化を利用して情報を記録及び消去し、これらの相変化に
伴う反射率又は透過率等の光学的特性の変化を利用して
情報を読取ることができる。
このような記録層としては、光ビームの照射条件によっ
て相変化が生じ易い共晶組成を有する材料や金属間化合
物を形成する材料が適している。
しかしながら、従来、相変化型情報記録媒体の記録層と
して用いられているGeTe等の合金は、一応上述の条
件は満足するものの、未だ情報記録媒体として十分な特
性を保持しているとは言えない。特−に、初期化、記録
及び消去を高速化することが望まれている。また、結晶
−非晶質間の相変化により情報を記録・消去する場合に
は、通常記録部分を非晶質としているが、一般に非晶質
は比較的安定性が低いため、非晶質状態をより安定化す
ることも要求されている。
この発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、
初期化、記録及び消去を高速で実施することができ、記
録した情報が安定である情報記録媒体を提供することを
目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) この発明に係る情報記録媒体は、基板と、光ビームの照
射によって照射部分が相異なる2つの相間で相変化する
記録層とを有する情報記録媒体であって、前記記録層は
、主とじてTl5bSe2とTl5bTe2との擬二元
系合金からなることを特徴とする。
(作用) T 1) S b S e 2とTp 5bTe2との
擬二元系合金は、前述のような相変化型記録媒体の記録
層としての条件を満たす材料であり、しかも結晶化速度
が大きい。従って、記録層を主としてTり S b S
 e 2とT11SbTezとの擬二元系合金で構成す
ることにより、初期化、記録及び消去を高速化すること
ができる。
(実施例) 以下、添付図面を参照してこの発明について具体的に説
明する。第1図はこの発明の実施例に係る情報記録媒体
を示す断面図である。基板1はポリオレフィン、エポキ
シ、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)等のプラスチック、又はガラス等、こ
の技術分野で通常用いられる材料で形成されている。こ
の基板1の上に、保護層3、記録層2、保護層4及び保
護層5がこの順に形成されている。
保護層3及び保護層4は、記録層2を挟むように配設さ
れており、有機高分子材料、例えばPMMA、ポリスチ
レン等の熱可塑性樹脂若しくは紫外線硬化樹脂(所謂2
P樹脂) 又はS I O2、A 120 i 、A 
I N s Z n S s若しくはZrO□等の誘電
体で形成される。これら保護層3,4は記録層2が空気
中の水分の影響を受けることを未然に防止する機能、記
録・消去の際にレーザビーム等の光ビームにより記録層
2の照射部分が飛散したり穴が形成されてしまうことを
防止する機能、又は記録層の温度をコントロールする機
能等を有している。これら保護層3.4はスピンコード
法、蒸着法、スパッタリング法等によって好適に形成す
ることができる。なお、これら保護層3.4の厚みは1
0人乃至数十μmであることが好ましい。
保護層5は情報記録媒体取扱う際の表面での傷やほこり
等を防止するために配設されるもので、スピンコード法
等により紫外線硬化樹脂を塗布し、これに紫外線を照射
して硬化させること等により形成される。この保護層5
の層厚は100人乃至数十μmであることが好ましい。
なお、保護層3゜4.5は設けることが好ましいが、必
ずしも設けなくてもよい。
また、第2図に示すように、保護層4と保護層5との間
に反射層6を設けてもよい。この反射層6は、再生用の
光ビームを反射させて多重干渉により再生信号を増大さ
せる機能、及び情報の記録・消去の際に記録層2を急冷
して後述するオーバーライドを容易化する機能を有して
いる。
反射層6としては、Au、A、Q、Cu、Cr。
Ni−Cr等の金属又は合金を用いることができる。上
記機能を達成するために、反射層6の厚みは数十人乃至
3000人であることが好ましい。
記録層2は、主としてTNSbSe2とT11SbTe
zとの擬二元系合金で構成されており、蒸着法、スパッ
タリング法等によって好適に形成することができる。な
お、合金ターゲットを使用して蒸着又はスパッタリング
する場合には、ターゲット組成と実際に形成される膜の
組成とに差があることを考慮する必要がある。また、多
元同時蒸着又は多元同時スパッタリング等によって成膜
することもできる。記録層2の層厚は100乃至300
0人であることが好ましい。
記録層2を構成するTl5bTe2と Tl5bTe2との擬二元系合金は、照射する光ビーム
の条件を変えることにより結晶と非晶質との間で相変化
し得る材料である。この合金の結晶組織はT、QSbS
e2とT II S b T e 2との混合体であり
、結晶粒が微細である。このため、この合金は非晶質化
しやすく、かつ結晶化速度が大きいという特徴を有して
いる。従って、このような合金で記録層2を形成するこ
とにより、初期化、記録及び消去を高速化することがで
きる。また、結晶化温度が比較的高く、室温で非晶質状
態が安定である。
次に、第3図及び第4図を参照しながらこの実施例に係
る情報記録媒体の記録層の形成方法の一例について説明
する。第3図はこの実施例の記録層を形成するために用
いられるスパッタリング装置の概略構成を示す縦断面図
、第4図はその横断面図である。図中10は真空容器を
示し、この真空容器10はその底面にガス導入ボート1
1及びガス排出ボート12を有している。ガス排出ボー
ト12は排気装置13に接続されており、この排気装置
13により排出ポート12を介して真空容器10内が排
気される。また、ガス導入ポート11はアルゴンガスボ
ンベ14に接続されており、このボンベ14から真空容
器10内にガス導入ボート11を介してスパッタリング
ガスとしてのアルゴンガスが導入される。真空容器10
内の上部には、基板支持用の円板状の回転基台15がそ
の面を水平にして配設されており、その下面に基板1が
支持され、図示しないモータによって回転されるように
なっている。また、真空容器10内の底部近傍には、基
台15に対向するように、夫々記録層を構成するTl5
bTe2、Tl5bTe2で形成されたスパッタリング
源(ターゲット)21.22及び保護層等の形成用のス
パッタリング源23が配設されており、各、スパッタリ
ング源には図示しない高周波電源が接続されている。こ
れらスパッタリング源21,22゜23の上方には、夫
々モニタ装置24,25゜26が設けられており、これ
らモニタ装置により各スパッタリング源からのスパッタ
リング量をモニタし、記録層が所定の組成になるように
各スパッタリング源に投入する電力量を調節するように
なっている。
このようなスパッタリング装置においては、先ず、排気
装置により真空容器10内を例えば10−6T orr
まで排気する。次いで、ガス導入ポート11を介して容
器10内にアルゴンガスを導入しつつ、排気装置13の
排気量を調節して真空容器10内を所定圧力のアルゴン
ガス雰囲気に保持する。この状態で、基板1を回転させ
つつ、スパッタリング源21.22に所定時間所定の電
力を印加する。これにより、基板1に所定組成の記録層
が形成される。なお、保護層を形成する場合には、記録
層2の形成に先立ち、保護層の組成に調整されたスパッ
タリング源23を用いて上述したようにスパッタリング
するこにより基板l上に保護層3を形成し、その後記録
層2を形成し、更に保護層3を形成する場合と同様の条
件で記録層2の上に保護層4を形成することができる。
また、反射層6を形成する場合には、スパッタリング源
23を反射層6の材料にして行う。
次に、この発明の情報記録媒体における初期化、並びに
、情報の記録、消去及び再生について説明する。
初期化 記録層2は成膜直後に通常非晶質であるが、情報を記録
するためには結晶である必要があるので、レーザビーム
等の光ビームを記録層2に全面照射して加熱徐冷し、記
録層2を結晶化する。
呈μ 高出力でパルス幅が短い光ビームを記録層2に照射し、
照射部分を加熱急冷して非晶質に相変化させ、記録マー
クを形成する。
直入 記録層2に形成された記録マーク部に、記録の際よりも
低出力でパルス幅が長い光ビームを照射して記録マーク
部を結晶に相変化させ、情報を消去する。
再生 情報を記録した記録層2に比較的弱い光ビームを照射し
、記録マーク部と非記録部との間の光学的特性、例えば
反射率の差を検出して情報を読取る。
なお、この発明に係る情報記録媒体は、単一ビームオー
バーライトが可能である。単一ビームオーバーライトと
は、単一の光源から放射されるレーザビームを、第5図
に示すように消去レベルPRと記録レベルPWとの間で
パワー変調して、消去パワーレベルの光ビームに記録パ
ワーレベルのパルスを重畳させ、既に記録された情報を
消去しながら新しい情報を重ね書きすることである。
この発明に係る情報記録媒体において、単一ビームオー
バーライトが可能な理由は、記録層の結晶化速度が大き
いことにある。すなわち、単一ビームオーバーライトの
場合には、ビームのパワー変調のみで記録・消去を行う
ため、消去速度が大きいことが要求される。情報の消去
は、非晶質から結晶への相変化に対応しているため、記
録層の結晶化速度が大きいことが要求されるのである。
なお、媒体を第2図に示す層構成にし、保護層4.5に
断熱機能を持たせ、反射層6に急冷機能を持たせること
により、−層、単一ビームオーバーライトを容易化する
ことができる。つまり、保護層の断熱機能により消去が
行われ易くなり、反射層の急冷機能により非晶質化を確
実化することができ、もって単一ビームオーバーライト
を行い易くすることができる。
さらに、記録の際の光ビームのパワー又はパルス幅等を
何段階かに変化させて照射し、記録マークの反射率を複
数段階にする多値記録を行うことも可能である。
次に、この発明の試験例について説明する。
試験例1 ガラス基板上に、第3図及び第4図に示すスパッタリン
グ装置により、TpSbSe2とT I S b T 
e 2との擬二元系合金薄膜を形成し、X線回折により
その膜の構造を確認した。その結果、この擬二元系のど
の範囲においても、この薄膜は成膜したままの状態で非
晶質状態であった。
すなわち、この組成範囲においてはレーザビームの照射
条件を選択することにより非晶質状態をとり得ることが
でき、相変化型の記録層として利用し得ることが確認さ
れた。
試験例2 ガラス基板上に、Tl5bSe2、 Tji)SbTe2、Tl5bSe2とT D S b
 T e 2との擬二元系合金薄膜を形成したA−Fの
サンプルを作製し、各薄膜の結晶化温度を把握した。こ
れらサンプルの記録層の組成、及び結晶化温度を第1表
に示す。なお、第1表中、XはTl7SbSe2の体積
%を示し、YはT D S b T e 2の体積%を
示す。
第 表 この表に示すように、いずれのサンプルも結晶化温度が
100℃以上であり、室温における非晶質状態の安定性
が確認された。
試験例3 第1図に示した層構成を有し、記録層が第1表に示すA
−Fの組成を有する6個の光デイスクサンプルを作製し
た。これらサンプルについて、基板側から種々のパルス
幅の波長830 nmの半導体レーザビームを一定強度
で記録層に対物レンズを用いて集光照射し、パルス幅と
照射部分の反射率変化との間の関係を把握した。その結
果を第6図に示す。第6図は横軸に照射するレーザビー
ムのパルス幅をとり、縦軸に反射率変化量をとって、こ
れらの関係を示すグラフである。このグラフにおいて急
激に反射率変化量が増加するところが非晶質から結晶へ
の相変化に対応する。
このグラフによれば、記録層をTl)SbSe2とTl
SbTe2との擬二元系合金及びにしたサンプルは、結
晶化のためのレーザビームのパルス幅が小さいことわか
った。すなわち、記録層をT、QSbSe2とTI 5
bTe2との擬二元系合金で構成することにより結晶化
速度を極めて高速化することができることが確認された
以上の試験例により、T、1lsbsezとTNSbT
ezとの擬二元系合金で相変化型の記録層を形成するこ
とができること、並びに、この合金で形成された記録層
は非晶質状態で安定であり、結晶化速度が大きいことが
確認された。
[発明の効果] この発明によれば、記録層を主とじて T、QSbSe2とTlSbTe2との擬二元系合金で
形成したので、非晶質の安定性が高く、また結晶化速度
が大きい。従って、非晶質記録マークの安定性に優れ、
しかも初期化、記録及び消去を高速で実施することがで
きるという極めて特性が優れた情報記録媒体を得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図はこの発明の実施例に係る情報記録媒
体を示す断面図、第3図は記録層を形成するための装置
の概略構成を示す縦断面図、第4図はその横断面図、第
5図はオーバーライドの際のレーザパワーを示す図、第
6図は照射するレーザビームのパルス幅と反射率変化量
との関係を示すグラフ図である。 1;基板、2;記録層、3,4.5.保護層、6;反射
層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板と、光ビームの照射によって照射部分が相異なる2
    つの相間で相変化する記録層とを有する情報記録媒体で
    あって、前記記録層は、主としてTlSbSe_2とT
    lSbTe_2との擬二元系合金からなることを特徴と
    する情報記録媒体。
JP1334765A 1989-12-26 1989-12-26 情報記録媒体 Pending JPH03197083A (ja)

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JP1334765A JPH03197083A (ja) 1989-12-26 1989-12-26 情報記録媒体

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