JPH0316483A - 固体撮像素子の検査装置 - Google Patents
固体撮像素子の検査装置Info
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- JPH0316483A JPH0316483A JP1151887A JP15188789A JPH0316483A JP H0316483 A JPH0316483 A JP H0316483A JP 1151887 A JP1151887 A JP 1151887A JP 15188789 A JP15188789 A JP 15188789A JP H0316483 A JPH0316483 A JP H0316483A
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Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims 2
- 230000006870 function Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は固体撮像素子の検査装置に関し、特に固体撮像
素子の出力信号をデジタル化して、そのデータを基に判
定する手段をもった検査装置に関するものである。
素子の出力信号をデジタル化して、そのデータを基に判
定する手段をもった検査装置に関するものである。
従来の技術
ビデオカメラ用イメージセンサとして固体撮像素子が用
いられている。
いられている。
ところで、固体撮像素子の検査は、検査治具を用いて実
動作状態にし、被写体をテレビモニター等に映し出し人
間が目視して判定するいわゆる、マニュアル検査から、
アナログ出力信号をデジタル化し、画像処理用演算装置
を用いて自動的に判定する自動検査へ移行している。
動作状態にし、被写体をテレビモニター等に映し出し人
間が目視して判定するいわゆる、マニュアル検査から、
アナログ出力信号をデジタル化し、画像処理用演算装置
を用いて自動的に判定する自動検査へ移行している。
以下，従来の検査装置について説明する。
検査装置による固体撮像素子の検査手順は１ずバイアヌ
回路，パルス回路により電気信号を印加し、光学装置に
より基準となる光を照射する。この条件が満たされた時
に、固体撮像素子の出力端子からアナログの信号が出力
される。このアナログ信号は照射される光の強さに応じ
一定の光の量ｌでは比例する。出力信号を信号増幅器で
▲／Ｄコンバータの入力許容量に応じて、増幅する。増
幅されたアナログ出力信号をＡ ／ Ｄコンバータテ、
デジタル信号に変換され、メモリに順次記憶する。
回路，パルス回路により電気信号を印加し、光学装置に
より基準となる光を照射する。この条件が満たされた時
に、固体撮像素子の出力端子からアナログの信号が出力
される。このアナログ信号は照射される光の強さに応じ
一定の光の量ｌでは比例する。出力信号を信号増幅器で
▲／Ｄコンバータの入力許容量に応じて、増幅する。増
幅されたアナログ出力信号をＡ ／ Ｄコンバータテ、
デジタル信号に変換され、メモリに順次記憶する。
メモリに記憶された情報を用いて、画像処理装置で演算
判定を行なうものである。
判定を行なうものである。
発明が解決しようとする課題
しかし５従来の装置では，検査処理時間が長くかかる欠
点があった。本発明はこの点を解決出来る検査装置を提
供せんとするものである。
点があった。本発明はこの点を解決出来る検査装置を提
供せんとするものである。
課題を解決するための手段
本発明は、固体撮像素子の出力信号をデジタル化して、
そのデータを基に判定する手段をもった検査装置を使用
して合理的に検査をするものである。
そのデータを基に判定する手段をもった検査装置を使用
して合理的に検査をするものである。
作用
本発明によると検査対象となるデジタル化されたデータ
を検査精度を損なうことなく高速に演算処理することが
できる。それによって検査の所要時間の短縮が可能であ
る。
を検査精度を損なうことなく高速に演算処理することが
できる。それによって検査の所要時間の短縮が可能であ
る。
実施例
以下、本発明を実施例によって詳しく説明する。
第１図は本発明の実施例による固体撮像素子試験装置の
構成を示す。バイアス回路１およびパルス回路２とによ
り電気的入力を固体撮像素子に印加し、光学装置３にて
固体撮像素子に光を照射する。
構成を示す。バイアス回路１およびパルス回路２とによ
り電気的入力を固体撮像素子に印加し、光学装置３にて
固体撮像素子に光を照射する。
これにより固体撮像素子４の出力端子から充電変換され
た電気信号が出力される。この電気信号を信号増幅器５
で▲／Ｄコンバーター６の入力許容量に応じて増幅する
。これを▲／Ｄコンバーターでアナログ信号からデジタ
ル信号に変換し，メモリ７に順次記憶される。メモリ７
に記憶されたデータを基に画像処理装置８で演算が行な
われ良否の判定がなされる。第２図は検査過程を大別し
た検査フローチャートである。
た電気信号が出力される。この電気信号を信号増幅器５
で▲／Ｄコンバーター６の入力許容量に応じて増幅する
。これを▲／Ｄコンバーターでアナログ信号からデジタ
ル信号に変換し，メモリ７に順次記憶される。メモリ７
に記憶されたデータを基に画像処理装置８で演算が行な
われ良否の判定がなされる。第２図は検査過程を大別し
た検査フローチャートである。
第３図に固体撮像素子の画素配列を示す。○，△．口．
Ｏ．Ｕ，を付したフォトダイオードを受光部とする画素
が２次元的に配列されており、素子を駆動することによ
って、この画素から信号が第４図のように順に出力され
る。この出力は垂直方向に２画素単位で水平方向に出力
され、固体撮像素子の全画素（１画面分）をＡフィール
ド．Ｂフィールドに分けて走査する。これは実動作状態
と同等の電気的条件を与えている為信号としては垂直方
向に１ラインずつずれた信号がＡフィールド．Ｂフィー
ルドに出力される。両フィールドとも全画素分のデータ
を含んでふ・り，Ａフィールド．Ｂフィールドの信号読
み出し中に光学的条件に変化がない場合には，同等の情
報が出力されると考えることができる。
Ｏ．Ｕ，を付したフォトダイオードを受光部とする画素
が２次元的に配列されており、素子を駆動することによ
って、この画素から信号が第４図のように順に出力され
る。この出力は垂直方向に２画素単位で水平方向に出力
され、固体撮像素子の全画素（１画面分）をＡフィール
ド．Ｂフィールドに分けて走査する。これは実動作状態
と同等の電気的条件を与えている為信号としては垂直方
向に１ラインずつずれた信号がＡフィールド．Ｂフィー
ルドに出力される。両フィールドとも全画素分のデータ
を含んでふ・り，Ａフィールド．Ｂフィールドの信号読
み出し中に光学的条件に変化がない場合には，同等の情
報が出力されると考えることができる。
第５図でメモリ７と画像処理演算装置間にかける画素デ
ータの転送について説明する。先に記したように▲フィ
ールド，Ｂフィールドの情報が同等であれば、片フィー
ルドの画素データだけをメモリ７から画像処理演算装置
８に転送し、画素データ量を恥にすることが可能で、こ
の手段としてメモリ７から画像処理演算装置８へ画素デ
ータを転送する際，＠に示すようにストローブにより片
フィールドのデータをキャンセルすることにより、のに
示したように画像処理演算装置８の画素データ量が、メ
モリ了の画素データ量の恥にすることができる。
ータの転送について説明する。先に記したように▲フィ
ールド，Ｂフィールドの情報が同等であれば、片フィー
ルドの画素データだけをメモリ７から画像処理演算装置
８に転送し、画素データ量を恥にすることが可能で、こ
の手段としてメモリ７から画像処理演算装置８へ画素デ
ータを転送する際，＠に示すようにストローブにより片
フィールドのデータをキャンセルすることにより、のに
示したように画像処理演算装置８の画素データ量が、メ
モリ了の画素データ量の恥にすることができる。
発明の効果
以上に説明したように本発明によれば、固体撮像素子の
検査装置における画素データをメモリから画像処理演算
装置に転送する際に、データを選択する機能を活用する
ことによシ、画像処理の対象となるデータを半減するこ
とが可能となり、演算時間の短縮が図れ検査を能率化で
きるという経済的な効果がちる。特に画素数の多い固体
撮像素子や、複雑な画像処理を行なう項目に関しては効
果が大きい。
検査装置における画素データをメモリから画像処理演算
装置に転送する際に、データを選択する機能を活用する
ことによシ、画像処理の対象となるデータを半減するこ
とが可能となり、演算時間の短縮が図れ検査を能率化で
きるという経済的な効果がちる。特に画素数の多い固体
撮像素子や、複雑な画像処理を行なう項目に関しては効
果が大きい。
第１図は固体撮像素子検査装置の構成ブロック図、第２
図は固体撮像素子検査装置の検査フローチャート図、第
３図は固体撮像素子の画素配列を示す図、第４図は第３
図の画素配列の固体掬像素子の出力波形図、第６図は第
１図に示した横成図で、メモリ７かも画像処理演算装＠
８に画素データを転送する手段を示す図である。 １・・・・・・バイアス回路、２・・・・・・パルス回
路、３・・・・光学装置、４・・・・固体撮像素子、５
・・・・・・信号増ｍ器，ａ・・・・・・Ａ ／ Ｄコ
ンバータ、７・・・・・メモリ、８・・・・・画像処理
演算装置。
図は固体撮像素子検査装置の検査フローチャート図、第
３図は固体撮像素子の画素配列を示す図、第４図は第３
図の画素配列の固体掬像素子の出力波形図、第６図は第
１図に示した横成図で、メモリ７かも画像処理演算装＠
８に画素データを転送する手段を示す図である。 １・・・・・・バイアス回路、２・・・・・・パルス回
路、３・・・・光学装置、４・・・・固体撮像素子、５
・・・・・・信号増ｍ器，ａ・・・・・・Ａ ／ Ｄコ
ンバータ、７・・・・・メモリ、８・・・・・画像処理
演算装置。
Claims (1)
- 固体撮像素子の出力信号をデジタル信号化するＡ／Ｄ
コンバータと、前記デジタル信号を記憶するデータ記憶
部と、前記データ記憶部のデータを判定する手段をそな
えた固体撮像素子の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1151887A JPH0316483A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 固体撮像素子の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1151887A JPH0316483A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 固体撮像素子の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316483A true JPH0316483A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15528378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1151887A Pending JPH0316483A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 固体撮像素子の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316483A (ja) |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP1151887A patent/JPH0316483A/ja active Pending
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