JPH03154841A - ポリゴンスキャナのジッタ計測装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナのジッタ計測装置Info
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- JPH03154841A JPH03154841A JP29372289A JP29372289A JPH03154841A JP H03154841 A JPH03154841 A JP H03154841A JP 29372289 A JP29372289 A JP 29372289A JP 29372289 A JP29372289 A JP 29372289A JP H03154841 A JPH03154841 A JP H03154841A
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- polygon
- movable parts
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 101100136092 Drosophila melanogaster peng gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、レーザプリンタ等に用いられるポリゴンスキ
ャナのジッタを測定するポリゴンスキャナのジッタ計測
装置に関する。
ャナのジッタを測定するポリゴンスキャナのジッタ計測
装置に関する。
(従来の技術)
一般に、複雑な画像情報あるいは文字情報の出力装置と
して用いられるレーザビームプリンタには、レーザ光を
反射する多面体鏡、すなわちポリゴンスキャナが設けら
れており、高速回転しなから感光体等を走査して画像が
形成されるようになっている。そして、このようなポリ
ゴンスキャナの性能は形成される画像の品質に大きな影
響を与えるため、ポリゴンスキャナの回転むら、あるい
は多面ミラーの回転軸に対する位置ずれ等により生じる
ジッタを測定してその性能の良否を判定するポリゴンス
キャナのジッタ計測装置が各種開発され、実用に供され
ている。
して用いられるレーザビームプリンタには、レーザ光を
反射する多面体鏡、すなわちポリゴンスキャナが設けら
れており、高速回転しなから感光体等を走査して画像が
形成されるようになっている。そして、このようなポリ
ゴンスキャナの性能は形成される画像の品質に大きな影
響を与えるため、ポリゴンスキャナの回転むら、あるい
は多面ミラーの回転軸に対する位置ずれ等により生じる
ジッタを測定してその性能の良否を判定するポリゴンス
キャナのジッタ計測装置が各種開発され、実用に供され
ている。
従来のこの種のジッタ計測装置としては、例えば特開昭
64−28535号公報に記載のもの、あるいは各種の
文献、カタログ等に紹介されたものが知られており、そ
れぞれ特色を備えてはいるものの、その基本的構成はほ
ぼ同一であり、これを第5図に示す。
64−28535号公報に記載のもの、あるいは各種の
文献、カタログ等に紹介されたものが知られており、そ
れぞれ特色を備えてはいるものの、その基本的構成はほ
ぼ同一であり、これを第5図に示す。
第5図において、符号lは複数のミラー2が外周に形成
された上述のポリゴンスキャナであり、ポリゴンスキャ
ナ1は図示は省略してあ名が、゛ジッタ計測装置3のス
キャナモータに取り付けられて回転軸心0を中心として
図中矢印方向に回転する。また、符号4は半導体レーザ
からなるレーザ光源であり、レーザ光源4からポリゴン
スキャナ1の回転軸心0に向かって投射されるレーザ光
を複数のミラー2が順次に反射する。そして、主走査線
L−L上で最大像高位置のaSb点にそれぞれ設けられ
たPINフォトダイオードからなる一対の受光センサ5
.6が、各ミラー2に反射されたレーザ光をfθレンズ
7を通して順次に受光し、計測部8に信号を出力する。
された上述のポリゴンスキャナであり、ポリゴンスキャ
ナ1は図示は省略してあ名が、゛ジッタ計測装置3のス
キャナモータに取り付けられて回転軸心0を中心として
図中矢印方向に回転する。また、符号4は半導体レーザ
からなるレーザ光源であり、レーザ光源4からポリゴン
スキャナ1の回転軸心0に向かって投射されるレーザ光
を複数のミラー2が順次に反射する。そして、主走査線
L−L上で最大像高位置のaSb点にそれぞれ設けられ
たPINフォトダイオードからなる一対の受光センサ5
.6が、各ミラー2に反射されたレーザ光をfθレンズ
7を通して順次に受光し、計測部8に信号を出力する。
さらに、計測部8においては、受光センサ5.6の信号
に基づき受光センサ5および6の検出時間差が各ミラー
2について演算され、該時間差のばらつきによってポリ
ゴンスキャナ1のジッタが算出されるようになっている
。一方、ポリゴンスキャナlが実装されるレーザビーム
プリンタにおいては、a点の受光センサ5が受光するレ
ーザ光をスタート同期信号として主走査線L−Lに沿っ
た画像の形成が開始されるので、ab間の中点Cからb
点までの間、特にb点近傍でジッタの影響が生じ易い、
したがって、上述のようなジッタ計測装置3においては
、ポリゴンスキャナ1が実装されるレーザビームプリン
タと同一の走査幅を有するa、b点に受光センサ5.6
がセットされてジッタの計測が行われる。な右、上述し
た主走査線L−L上における最大像高とは、第6図にお
いて、回転軸心0を中心として回転するポリゴンスキャ
ナ1の任意のミラー2にレーザ光源4から投射レーザ光
Pが投射されてミラー2により反射された反射レーザ光
Rがfθレンズ7を通して主走査線L−L上に投射され
る点をrtとし、また投射レーザ光Pと主走査線L−L
の交点をpとすると、rlと2間の最大距離Hを示す、
したがって、レーザ光の正面入射、すなわち投射レーザ
光Pがポリゴンスキャナ1の回転軸心Oと一致し、かつ
主走査線L−Lが投射レーザ光Pに直角の場合には、ポ
リゴンスキャナ1の回転に伴い主走査線L−L上で2点
に関してrt点に対称なr、点が存在し、rl、11間
の距離、すなわち2Hがポリゴンスキャナエの実装され
るレーザビームプリンタにおける走査幅となる。また、
上述の最大像高Hの値はポリゴンスキャナlの機種によ
って変化し、さらに第6図における点rlsr!および
pが第5図における点a、bおよびCに相当することは
勿論である。
に基づき受光センサ5および6の検出時間差が各ミラー
2について演算され、該時間差のばらつきによってポリ
ゴンスキャナ1のジッタが算出されるようになっている
。一方、ポリゴンスキャナlが実装されるレーザビーム
プリンタにおいては、a点の受光センサ5が受光するレ
ーザ光をスタート同期信号として主走査線L−Lに沿っ
た画像の形成が開始されるので、ab間の中点Cからb
点までの間、特にb点近傍でジッタの影響が生じ易い、
したがって、上述のようなジッタ計測装置3においては
、ポリゴンスキャナ1が実装されるレーザビームプリン
タと同一の走査幅を有するa、b点に受光センサ5.6
がセットされてジッタの計測が行われる。な右、上述し
た主走査線L−L上における最大像高とは、第6図にお
いて、回転軸心0を中心として回転するポリゴンスキャ
ナ1の任意のミラー2にレーザ光源4から投射レーザ光
Pが投射されてミラー2により反射された反射レーザ光
Rがfθレンズ7を通して主走査線L−L上に投射され
る点をrtとし、また投射レーザ光Pと主走査線L−L
の交点をpとすると、rlと2間の最大距離Hを示す、
したがって、レーザ光の正面入射、すなわち投射レーザ
光Pがポリゴンスキャナ1の回転軸心Oと一致し、かつ
主走査線L−Lが投射レーザ光Pに直角の場合には、ポ
リゴンスキャナ1の回転に伴い主走査線L−L上で2点
に関してrt点に対称なr、点が存在し、rl、11間
の距離、すなわち2Hがポリゴンスキャナエの実装され
るレーザビームプリンタにおける走査幅となる。また、
上述の最大像高Hの値はポリゴンスキャナlの機種によ
って変化し、さらに第6図における点rlsr!および
pが第5図における点a、bおよびCに相当することは
勿論である。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来のポリゴンスキャナのジ
ッタ計測装置にあ・うては、大半のものがレーザ光源4
および受光センサ5.6の位置をポリゴンスキャナlに
対して固定した構成であったため、ポリゴンスキャナ1
の機種を変更した場合、ポリゴンスキャナlの最大像高
Hの値が変化してポリゴンスキャナ1の有効走査幅全域
に関するジッタを測定することができず、した゛がって
各機種のポリゴンスキ中ナエに対応することができない
という不具合があった。また、上述の固定タイプのもの
の外に、レーザ光源4をポリゴンスキャナ1の反射点を
中心とする円周に沿って移動させるタイプのもの、ある
いはさらに進歩したものとして受光センサ5.6を一対
の回転ステージ上に載置し、該回転ステージを受光セン
サ5.6とともに三角形断面を有する光学用ガイドレー
ル上をスライFさせ、さらにポリゴンスキャナ1の受光
面と投射レーザ光のなす角4度をオシロスコープの出力
により調整するタイプのものがある。しかしながら、前
者のものにおいても受光センサ5.6が固定されている
ため、ポリゴンスキャナ1の有効走査幅全域をカバーす
ることは困難であり、一方後者のものにおいては、受光
センサ5.6の移動および角度の調整が人手で行われ、
さらに光学ガイドレール等の支持機構の剛性が低いため
、受光センサ5.6の移動は可能であっても、高精度の
位置決めが困難であるという不具合があった。
ッタ計測装置にあ・うては、大半のものがレーザ光源4
および受光センサ5.6の位置をポリゴンスキャナlに
対して固定した構成であったため、ポリゴンスキャナ1
の機種を変更した場合、ポリゴンスキャナlの最大像高
Hの値が変化してポリゴンスキャナ1の有効走査幅全域
に関するジッタを測定することができず、した゛がって
各機種のポリゴンスキ中ナエに対応することができない
という不具合があった。また、上述の固定タイプのもの
の外に、レーザ光源4をポリゴンスキャナ1の反射点を
中心とする円周に沿って移動させるタイプのもの、ある
いはさらに進歩したものとして受光センサ5.6を一対
の回転ステージ上に載置し、該回転ステージを受光セン
サ5.6とともに三角形断面を有する光学用ガイドレー
ル上をスライFさせ、さらにポリゴンスキャナ1の受光
面と投射レーザ光のなす角4度をオシロスコープの出力
により調整するタイプのものがある。しかしながら、前
者のものにおいても受光センサ5.6が固定されている
ため、ポリゴンスキャナ1の有効走査幅全域をカバーす
ることは困難であり、一方後者のものにおいては、受光
センサ5.6の移動および角度の調整が人手で行われ、
さらに光学ガイドレール等の支持機構の剛性が低いため
、受光センサ5.6の移動は可能であっても、高精度の
位置決めが困難であるという不具合があった。
(発明の目的)
本発明は、上述のような従来技術の課題を背景としてな
されたものであり、受光センサを移動する可動部、可動
部を案内する剛性の大きいガイドレールおよび可動部の
位置を検出する位置センサを備えた位置決め機構を設け
ることにより、人手のいらない受光センサの移動、位置
決めを可能として、各機種のポリゴンスキャナに対応可
能で、しかも受光センサの高精度の位置決めが可能なポ
リゴンスキャナのジッタ計測装置を提供することを目的
としている。
されたものであり、受光センサを移動する可動部、可動
部を案内する剛性の大きいガイドレールおよび可動部の
位置を検出する位置センサを備えた位置決め機構を設け
ることにより、人手のいらない受光センサの移動、位置
決めを可能として、各機種のポリゴンスキャナに対応可
能で、しかも受光センサの高精度の位置決めが可能なポ
リゴンスキャナのジッタ計測装置を提供することを目的
としている。
(発明の構成)
本発明は、上記目的達成のため、レーザ光源と、レーザ
光源から投射されて回転するポリゴンスキャナの多面ミ
ラーにより反射されたレーザ光を受光する一対の受光セ
ンサと、を備えたポリゴンスキャナのジッタ計測装置に
おいて、前記一対の受光センサをそれぞれ移動する一対
の可動部と、可動部の移動を案内するガイドレールと、
可動部の位置を検出して信号を出力する位置センサと、
を有し、該位置センサの信号に基づき可動部を移動させ
て受光センサを所定の位置に位置決めする位置決め機構
を設けたことを特徴とするものである。
光源から投射されて回転するポリゴンスキャナの多面ミ
ラーにより反射されたレーザ光を受光する一対の受光セ
ンサと、を備えたポリゴンスキャナのジッタ計測装置に
おいて、前記一対の受光センサをそれぞれ移動する一対
の可動部と、可動部の移動を案内するガイドレールと、
可動部の位置を検出して信号を出力する位置センサと、
を有し、該位置センサの信号に基づき可動部を移動させ
て受光センサを所定の位置に位置決めする位置決め機構
を設けたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例に基づいて具体的に説明する。第
1図から第4図までは本発明に係るポリゴンスキャナの
ジッタ計測装置の一実施例を示す図である。なお、第1
図はその基本構成図、第2図はその詳細正面図、第3図
および第4図はそれぞれその受光センサ部の詳細を示す
図である。
1図から第4図までは本発明に係るポリゴンスキャナの
ジッタ計測装置の一実施例を示す図である。なお、第1
図はその基本構成図、第2図はその詳細正面図、第3図
および第4図はそれぞれその受光センサ部の詳細を示す
図である。
まず、構成を説明する。
第1図および第2図において、符号11は半導体レーザ
からなるレーザ光源であり、レーザ光源11から投射さ
れた投射レーザ光Pは高速回転するポリゴンスキャナ1
2の多面ミラー13により順次に反射される。ポリゴン
スキャナ12の各多面ミラー13により反射された反射
レーザ光Rはポリゴンスキャナ12の回転に伴って一対
の受光センサ14.15のうち図中左側の受光センサ1
4に受光、検出され、次いで図中右側の受光センサ15
に受光、検出される。なお、レーザ光源11の投射レー
ザ光Pは第2図に示す上下一対のfθレンズ16.17
の中心部に穿設された透孔16a、17aをそれぞれ通
過してポリゴンスキャナ12の回転軸心0に向かって投
射され、本実施例においてはレーザ光の正面入射の場合
を示す。また、ポリゴンスキャナ12は、図示は省略し
であるが、スキャナモータにより回転軸心0を中心とし
て回転し、さらに受光センサ14.15に対して所定位
置に位置決めされている。一方、符号18および19は
受光センサ14および15をそれぞれ保持して移動する
一対の可動部であり、可動部18.19はそれぞれ上下
一対のガイドレール20.21に案内されて直線上を移
動する。そして第2図において、ガイドレール20.2
1に挟持された固定子22および可動部18.19はリ
ニアパルスモータ23を構成し、リニアパルスモータ2
3は制御部24のパルス信号に基づいて可動部18.1
9をそれぞれガイドレール20.21に沿って移動させ
るようになっでいる。なお、受光センサ14.15を保
持する可動部18.19はリニアパルスモータ23の可
動子を構成している。
からなるレーザ光源であり、レーザ光源11から投射さ
れた投射レーザ光Pは高速回転するポリゴンスキャナ1
2の多面ミラー13により順次に反射される。ポリゴン
スキャナ12の各多面ミラー13により反射された反射
レーザ光Rはポリゴンスキャナ12の回転に伴って一対
の受光センサ14.15のうち図中左側の受光センサ1
4に受光、検出され、次いで図中右側の受光センサ15
に受光、検出される。なお、レーザ光源11の投射レー
ザ光Pは第2図に示す上下一対のfθレンズ16.17
の中心部に穿設された透孔16a、17aをそれぞれ通
過してポリゴンスキャナ12の回転軸心0に向かって投
射され、本実施例においてはレーザ光の正面入射の場合
を示す。また、ポリゴンスキャナ12は、図示は省略し
であるが、スキャナモータにより回転軸心0を中心とし
て回転し、さらに受光センサ14.15に対して所定位
置に位置決めされている。一方、符号18および19は
受光センサ14および15をそれぞれ保持して移動する
一対の可動部であり、可動部18.19はそれぞれ上下
一対のガイドレール20.21に案内されて直線上を移
動する。そして第2図において、ガイドレール20.2
1に挟持された固定子22および可動部18.19はリ
ニアパルスモータ23を構成し、リニアパルスモータ2
3は制御部24のパルス信号に基づいて可動部18.1
9をそれぞれガイドレール20.21に沿って移動させ
るようになっでいる。なお、受光センサ14.15を保
持する可動部18.19はリニアパルスモータ23の可
動子を構成している。
上述の受光センサ14.15は第3図および第4図に示
すように、可動部18あるいは19に固着されたL字形
のホールダ25、ホールダ25の突出部25aに載置さ
れたフォトダイオード駆動基板26、ホールダ25の突
出部25aに上下方向に穿設された透孔25bの上端側
に内挿されたフォトダイオード27、透孔25bの下端
を覆うシリンドリカルレンズ28、透孔25bの中間部
にほぼ直角に形成されたスリット25cに挿入された仮
ガラス製スリット29および仮ガラス製スリット29に
フォトダイオード27に対向して形成されたアルミニウ
ム蒸着膜30からなる。
すように、可動部18あるいは19に固着されたL字形
のホールダ25、ホールダ25の突出部25aに載置さ
れたフォトダイオード駆動基板26、ホールダ25の突
出部25aに上下方向に穿設された透孔25bの上端側
に内挿されたフォトダイオード27、透孔25bの下端
を覆うシリンドリカルレンズ28、透孔25bの中間部
にほぼ直角に形成されたスリット25cに挿入された仮
ガラス製スリット29および仮ガラス製スリット29に
フォトダイオード27に対向して形成されたアルミニウ
ム蒸着膜30からなる。
そして、第2図に示すポリゴンスキャナ12の多面ミラ
ー13に反射された反射レーザ光Rがシリンドリカルレ
ンズ28、仮ガラス製スリット29およびアルミニウム
蒸着膜30に形成された透孔30aを通してフォトダイ
オード27に投射され、フォトダイオード27が反射レ
ーザ光Rを検出してフォトダイオード駆動基板26を介
して第2図に示す制御部24に信号を出力し、該信号に
基づきポリゴンスキャナ12のジッタが算出される。さ
らに、上述のように構成された受光センサ14.15は
第2図に示すように、投射レーザ光Pに対し、それぞれ
18゛の角度で内方に傾斜して可動部18.19に保持
されており、このため各機種のポリゴンスキャナ12に
対応可能となっている、一方、第4図に示すように、可
動部18.19とガイドレール20.21の間には予圧
済みの鋼球からなる軸受31.32が介装されており、
このため可動部18.19が移動する際の上下方向の精
度は極めて良好である。また、ガイドレール20.21
がリニアパルスモータ23の固定子22と一体で形成さ
れているため、ガイドレール20.21の軸方向の剛性
は大きく、このため可動部18.19とともに受光セン
サ14.15がガイドレール20.21に沿って極めて
高精度で移動することが可能である。なお、第3図中破
線部は反射レーザ光Rの光束を示す。
ー13に反射された反射レーザ光Rがシリンドリカルレ
ンズ28、仮ガラス製スリット29およびアルミニウム
蒸着膜30に形成された透孔30aを通してフォトダイ
オード27に投射され、フォトダイオード27が反射レ
ーザ光Rを検出してフォトダイオード駆動基板26を介
して第2図に示す制御部24に信号を出力し、該信号に
基づきポリゴンスキャナ12のジッタが算出される。さ
らに、上述のように構成された受光センサ14.15は
第2図に示すように、投射レーザ光Pに対し、それぞれ
18゛の角度で内方に傾斜して可動部18.19に保持
されており、このため各機種のポリゴンスキャナ12に
対応可能となっている、一方、第4図に示すように、可
動部18.19とガイドレール20.21の間には予圧
済みの鋼球からなる軸受31.32が介装されており、
このため可動部18.19が移動する際の上下方向の精
度は極めて良好である。また、ガイドレール20.21
がリニアパルスモータ23の固定子22と一体で形成さ
れているため、ガイドレール20.21の軸方向の剛性
は大きく、このため可動部18.19とともに受光セン
サ14.15がガイドレール20.21に沿って極めて
高精度で移動することが可能である。なお、第3図中破
線部は反射レーザ光Rの光束を示す。
第2図において、符号33.34はそれぞれガイドレー
ル21の図中左右端に固定された位置センサであり、位
置センサ33.34は、それぞれ可動部18.19の下
面に突出して設けられたドグと言われる検出端18a、
19aとの離隔距離を検出して信号を制御部24に出力
する。すなわち、位置センサ33.34はそれぞれ可動
部18.19の現在位置を検出して信号を制御部24に
出力する機能を存する。そして、該信号に基づき制御部
24は各機種のポリゴンスキャナ12が有する第6図に
示す最大像高Hと受光センサ14.15の現在位置との
差異を算出し、リニアパルスモータ23にパルス信号を
出力して可動部18.19をガイドレール20.21に
沿って移動させ、受光センサ14.15を所定の位置、
すなわち各ポリゴンスキャナ12が有する特有の最大像
高位置に位置決めする。そして、上述の一対の可動部1
8.19、ガイドレール20.21および位置センサ3
3.34は、可動部18.19を除くリニアパルスモー
タ23および制御部24とともに位置決め機構35を構
成し、位置決め機構35は上述のように位置センサ33
.34の信号に基づき可動部18.19を移動させて受
光センサ14.15を所定の位置に位置決めする機能を
有している。
ル21の図中左右端に固定された位置センサであり、位
置センサ33.34は、それぞれ可動部18.19の下
面に突出して設けられたドグと言われる検出端18a、
19aとの離隔距離を検出して信号を制御部24に出力
する。すなわち、位置センサ33.34はそれぞれ可動
部18.19の現在位置を検出して信号を制御部24に
出力する機能を存する。そして、該信号に基づき制御部
24は各機種のポリゴンスキャナ12が有する第6図に
示す最大像高Hと受光センサ14.15の現在位置との
差異を算出し、リニアパルスモータ23にパルス信号を
出力して可動部18.19をガイドレール20.21に
沿って移動させ、受光センサ14.15を所定の位置、
すなわち各ポリゴンスキャナ12が有する特有の最大像
高位置に位置決めする。そして、上述の一対の可動部1
8.19、ガイドレール20.21および位置センサ3
3.34は、可動部18.19を除くリニアパルスモー
タ23および制御部24とともに位置決め機構35を構
成し、位置決め機構35は上述のように位置センサ33
.34の信号に基づき可動部18.19を移動させて受
光センサ14.15を所定の位置に位置決めする機能を
有している。
ここで、第6図に基づき、最も頻用される4種類のポリ
ゴンスキャナ12に対、応して位置決め機構35が受光
センサ14.15をガイドレール20.21に沿って位
置決めする所定の位置につき説明する。
ゴンスキャナ12に対、応して位置決め機構35が受光
センサ14.15をガイドレール20.21に沿って位
置決めする所定の位置につき説明する。
第6図において、前述のように点r、およびr2は、レ
ーザ光源11から投射された投射レーザ光Pが回転する
ポリゴンスキャナ12の各多面ミラー13に反射されて
反射レーザ光Rがfθレンズ16.17を通して主走査
線L−L上に投射される最大像高Hの位置を示す各点で
ある。そして、各機種のポリゴンスキャナ12の特有の
諸元を下記の通りとした場合、最大像高HCm)は下記
(1)式により示される。
ーザ光源11から投射された投射レーザ光Pが回転する
ポリゴンスキャナ12の各多面ミラー13に反射されて
反射レーザ光Rがfθレンズ16.17を通して主走査
線L−L上に投射される最大像高Hの位置を示す各点で
ある。そして、各機種のポリゴンスキャナ12の特有の
諸元を下記の通りとした場合、最大像高HCm)は下記
(1)式により示される。
A:ポリゴンスキャナ12の回転軸心0から各多面ミラ
ー13までの距離〔薗〕 B : (C−D) /2 C:各多面ミラー13の有効辺長(加工だれを除いた長
さ)〔鵬〕 D二投射し−ザ光Pの主走査径[M] 但し、(1)式中fはfθレシズ16.17の焦点距離
を示す、そして、(1)式に基づき上述のように最も頻
用される4種のポリゴンスキャナ12について次表に示
す結果が得られた。
ー13までの距離〔薗〕 B : (C−D) /2 C:各多面ミラー13の有効辺長(加工だれを除いた長
さ)〔鵬〕 D二投射し−ザ光Pの主走査径[M] 但し、(1)式中fはfθレシズ16.17の焦点距離
を示す、そして、(1)式に基づき上述のように最も頻
用される4種のポリゴンスキャナ12について次表に示
す結果が得られた。
なお、この場合、本実施例においてはD=1.86aa
m、 f =145.75811111である。
m、 f =145.75811111である。
したがって、第2図において受光センサ14.15は、
投射レーザ光Pを挟んで左右対称嘔2H,すなわち15
9.14m 〜274.96mの間で、(可動部18.
19それぞれのストロークは57.91 m)位置決め
機構35によって位置決め可能であればよい、一方、本
実施例の位置決め機構35においては、固定子22の全
長、すなわち可動部18.19を案内するガイドレール
20.21の有効長は48011101.可動部18.
19の長さがそれぞれ156 mであるため、可動部1
B、19のストロークはそれぞれ84mであり、上述の
条件を満足するように構成されている。
投射レーザ光Pを挟んで左右対称嘔2H,すなわち15
9.14m 〜274.96mの間で、(可動部18.
19それぞれのストロークは57.91 m)位置決め
機構35によって位置決め可能であればよい、一方、本
実施例の位置決め機構35においては、固定子22の全
長、すなわち可動部18.19を案内するガイドレール
20.21の有効長は48011101.可動部18.
19の長さがそれぞれ156 mであるため、可動部1
B、19のストロークはそれぞれ84mであり、上述の
条件を満足するように構成されている。
次に、作用を説明する。
第2図において、ポリゴンスキャナ12の特有の諸元に
より算出された最大像高Hの値に基づき位置決め機構3
5によって受光センサ!4.15がそれぞれガイドレー
ル20.21に沿って可動部18.19とともに移動し
、所定の位置に位置決めされる。この際、可動部18お
よび19の原点位置が位置センサ33.34により検出
されて信号として制御部24に出力され、予め設定され
たポリゴンスキャナ12の最大像高Hとの差異が算出さ
れてリニアパルスモータ23にパルス信号が出力される
。そして、分解能1.6μ/パルスの性能を有するリニ
アパルスモーク23により可動部18.19に保持され
た受光センサ14.15が図示しないスキャナモータに
装着されたポリゴンスキャナ12に対してμ単位の高精
度をもって位置決めされる。なお、位置センサ33.3
4の取付位置は投射レーザ光Pに関して正確に左右対称
でないため、位置センサ33.34の信号に基づく制御
部24のパルス信号は必ずしも同一ではない。次いで、
ポリゴンスキャナ12の回転とともにレーザ光源11か
らポリゴンスキャナ12の回転軸心Oに向けて投射レー
ザ光Pが回転するポリゴンスキャナ12の多面ミラー1
3に投射され、各多面ミラー13によって順次に反射さ
れる。さらに、各多面ミラー13により反射された反射
レーザ光Rを受光センサ14.15が検出して制御部2
4に信号を出力し、該信号に基づきポリゴンスキャナ1
2のジッタが算出される。
より算出された最大像高Hの値に基づき位置決め機構3
5によって受光センサ!4.15がそれぞれガイドレー
ル20.21に沿って可動部18.19とともに移動し
、所定の位置に位置決めされる。この際、可動部18お
よび19の原点位置が位置センサ33.34により検出
されて信号として制御部24に出力され、予め設定され
たポリゴンスキャナ12の最大像高Hとの差異が算出さ
れてリニアパルスモータ23にパルス信号が出力される
。そして、分解能1.6μ/パルスの性能を有するリニ
アパルスモーク23により可動部18.19に保持され
た受光センサ14.15が図示しないスキャナモータに
装着されたポリゴンスキャナ12に対してμ単位の高精
度をもって位置決めされる。なお、位置センサ33.3
4の取付位置は投射レーザ光Pに関して正確に左右対称
でないため、位置センサ33.34の信号に基づく制御
部24のパルス信号は必ずしも同一ではない。次いで、
ポリゴンスキャナ12の回転とともにレーザ光源11か
らポリゴンスキャナ12の回転軸心Oに向けて投射レー
ザ光Pが回転するポリゴンスキャナ12の多面ミラー1
3に投射され、各多面ミラー13によって順次に反射さ
れる。さらに、各多面ミラー13により反射された反射
レーザ光Rを受光センサ14.15が検出して制御部2
4に信号を出力し、該信号に基づきポリゴンスキャナ1
2のジッタが算出される。
1機種のポリゴンスキャナ12のジッタ計測が終了する
と、他機種のポリゴンスキャナ12が装着されるが、可
動部18.19は自動的に原点に復帰し、再び同様な手
続きを経て他機種のポリゴンスキャナ12の計測が実施
される。
と、他機種のポリゴンスキャナ12が装着されるが、可
動部18.19は自動的に原点に復帰し、再び同様な手
続きを経て他機種のポリゴンスキャナ12の計測が実施
される。
そして、前述のように、本実施例においては、頻用され
る4種のポリゴンスキャナ12の諸元を満足させるよう
に可動部18.19のストロークが設定されているので
、各種のポリゴンスキャナ12に対応したジッタの計測
が可能である。なお、可動部18.19はポリゴンスキ
ャナ12の交換時に必ず原点に復帰後、次のポリゴンス
キャナ12の最大像高Hに基づいて移動するため、リニ
アパルスモータ23のヒステリシス(例えば50μ)が
除去され、高精度の位置めの再現性を確保することがで
きる。また、受光センサ14.15を投射レーザ光Pに
対して18°傾けて設けであるため、各種のポリゴンス
キャナ12の反射レーザ光Rを受光センサ14.15が
的確に捕えることが可能であり、受光センサ14.15
の回転調整は必要としない。さらに、受光センサ14.
15がリニアパルスモータ23によって移動、位置決め
されるので、制御部24による制御はオーブンループと
なり、複雑な制御回路を必要としないので、コストの低
減も併せて期待可能である。
る4種のポリゴンスキャナ12の諸元を満足させるよう
に可動部18.19のストロークが設定されているので
、各種のポリゴンスキャナ12に対応したジッタの計測
が可能である。なお、可動部18.19はポリゴンスキ
ャナ12の交換時に必ず原点に復帰後、次のポリゴンス
キャナ12の最大像高Hに基づいて移動するため、リニ
アパルスモータ23のヒステリシス(例えば50μ)が
除去され、高精度の位置めの再現性を確保することがで
きる。また、受光センサ14.15を投射レーザ光Pに
対して18°傾けて設けであるため、各種のポリゴンス
キャナ12の反射レーザ光Rを受光センサ14.15が
的確に捕えることが可能であり、受光センサ14.15
の回転調整は必要としない。さらに、受光センサ14.
15がリニアパルスモータ23によって移動、位置決め
されるので、制御部24による制御はオーブンループと
なり、複雑な制御回路を必要としないので、コストの低
減も併せて期待可能である。
このように、本実施例においては位置決め機構35を設
けて受光センサ14.15の位置決めを行っているので
、下記に列挙する作用効果が得られる。
けて受光センサ14.15の位置決めを行っているので
、下記に列挙する作用効果が得られる。
(1)可動部18.19により、受光センサ14.15
の位置が任意に変えられるので、多機種のポリゴンスキ
ャナ12に対応可能である。
の位置が任意に変えられるので、多機種のポリゴンスキ
ャナ12に対応可能である。
(2)本実施例では、正面入射の場合につき説明したが
、(1)項の作用効果により、ポリゴンスキャナ12が
実装されるレーザプリンタと同様の斜め入射にも対応で
きる。(この場合、受光センサは左右対称のレイアウト
とはならない。)(3)位置センサ33.34により受
光センサ14.15をガイドレール20.21に沿っχ
高精度で位置決めができる。
、(1)項の作用効果により、ポリゴンスキャナ12が
実装されるレーザプリンタと同様の斜め入射にも対応で
きる。(この場合、受光センサは左右対称のレイアウト
とはならない。)(3)位置センサ33.34により受
光センサ14.15をガイドレール20.21に沿っχ
高精度で位置決めができる。
(4)両回動部18.19を共通のガイドレール20.
21に沿ってスライドさせているので、ポリゴンミラー
反射点からの距離(光路)がミクロン単位で管理できる
。
21に沿ってスライドさせているので、ポリゴンミラー
反射点からの距離(光路)がミクロン単位で管理できる
。
(5)ガイドレール20.21に、予圧済の鋼球を用い
た軸受31.32を使用しているので、回転モーメント
に対して剛性が大きく、受光センサ14.15を上下方
向に高精度で位置決めすることができる。
た軸受31.32を使用しているので、回転モーメント
に対して剛性が大きく、受光センサ14.15を上下方
向に高精度で位置決めすることができる。
(6)(1)項の作用効果により、ポリゴンスキャナ1
2が実装されるレーザビームプリンタと同寸法の走査幅
でジッタを測定することができる。
2が実装されるレーザビームプリンタと同寸法の走査幅
でジッタを測定することができる。
(効果)
本発明によれば、受光センサを移動する可動部、可動部
を案内する剛性の大きいガイドレールおよび可動部の位
置を検出する位置センサを備えた位置決め機構を設けて
いるので、人手によらない受光センサの移動、位置決め
をすることができる。
を案内する剛性の大きいガイドレールおよび可動部の位
置を検出する位置センサを備えた位置決め機構を設けて
いるので、人手によらない受光センサの移動、位置決め
をすることができる。
したがって、本発明の目的とする各機種のポリゴンスキ
ャナに対応可能で、しかも受光センサの高精度の位置決
めが可能なポリゴンスキャナのジッタ計測装置を提供す
ることができる。
ャナに対応可能で、しかも受光センサの高精度の位置決
めが可能なポリゴンスキャナのジッタ計測装置を提供す
ることができる。
第1図から第4図までは、本発明に係るポリゴンスキャ
ナのジッタ計測装置の一実施例を示す図であり、第1図
はその基本構成図、第2図はその詳細正面図、第3図は
その受光センサおよび可動部の拡大要部断面図、第4図
は第3図における■−IV矢視要部断面図である。 第5図は従来例を示すその基本構成図であり、第6図は
ポリゴンスキャナの最大像高Hを説明するための図であ
る。 11・・・・・・レーザ光源、 12・・・・・・ポリゴンスキャナ、 13・・・・・・多面ミラー 14.15・・・・・・受光センサ(一対の受光センサ
)、18.19・・・・・・可動部(一対の可動部)、
20.21・・・・・・ガイドレール、33.34・・
・・・・位置センサ、 35・・・・・・位置決め機構。 第 図 第 図
ナのジッタ計測装置の一実施例を示す図であり、第1図
はその基本構成図、第2図はその詳細正面図、第3図は
その受光センサおよび可動部の拡大要部断面図、第4図
は第3図における■−IV矢視要部断面図である。 第5図は従来例を示すその基本構成図であり、第6図は
ポリゴンスキャナの最大像高Hを説明するための図であ
る。 11・・・・・・レーザ光源、 12・・・・・・ポリゴンスキャナ、 13・・・・・・多面ミラー 14.15・・・・・・受光センサ(一対の受光センサ
)、18.19・・・・・・可動部(一対の可動部)、
20.21・・・・・・ガイドレール、33.34・・
・・・・位置センサ、 35・・・・・・位置決め機構。 第 図 第 図
Claims (1)
- レーザ光源と、レーザ光源から投射されて回転するポリ
ゴンスキャナの多面ミラーにより反射されたレーザ光を
受光する一対の受光センサと、を備えたポリゴンスキャ
ナのジッタ計測装置において、前記一対の受光センサを
それぞれ移動する一対の可動部と、可動部の移動を案内
するガイドレールと、可動部の位置を検出して信号を出
力する位置センサと、を有し、該位置センサの信号に基
づき可動部を移動させて受光センサを所定の位置に位置
決めする位置決め機構を設けたことを特徴とするポリゴ
ンスキャナのジッタ計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29372289A JP2940962B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ポリゴンスキャナのジッタ計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29372289A JP2940962B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ポリゴンスキャナのジッタ計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03154841A true JPH03154841A (ja) | 1991-07-02 |
JP2940962B2 JP2940962B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=17798396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29372289A Expired - Fee Related JP2940962B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ポリゴンスキャナのジッタ計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2940962B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2694636C1 (ru) * | 2018-12-18 | 2019-07-16 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Калужский приборостроительный завод "Тайфун" | Многофункциональный компактный полигон |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP29372289A patent/JP2940962B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2694636C1 (ru) * | 2018-12-18 | 2019-07-16 | Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Калужский приборостроительный завод "Тайфун" | Многофункциональный компактный полигон |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2940962B2 (ja) | 1999-08-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |