JPH03153588A - セラミックスの表面粗化方法 - Google Patents
セラミックスの表面粗化方法Info
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- JPH03153588A JPH03153588A JP29419589A JP29419589A JPH03153588A JP H03153588 A JPH03153588 A JP H03153588A JP 29419589 A JP29419589 A JP 29419589A JP 29419589 A JP29419589 A JP 29419589A JP H03153588 A JPH03153588 A JP H03153588A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000007788 roughening Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012700 ceramic precursor Substances 0.000 claims description 3
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 18
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910001563 bainite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/4582—Porous coatings, e.g. coating containing porous fillers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はセラミックス表面に金ＫＬｉ膜を密着させる為
のセラミックスの表面粗化方法に関するものである。
のセラミックスの表面粗化方法に関するものである。
近年、エレクトロニクス材料の高機能化に伴いセラミッ
クスの表面に金属薄膜を密着させる方法への期待が高ま
っている。
クスの表面に金属薄膜を密着させる方法への期待が高ま
っている。
本発明はセラミックスに、セラミックス前駆体の線状高
分子またはコロイド粒子からなるゾル溶液中にセラミッ
クスの微粒子を含有する溶液を塗工した後に、加水分解
、乾燥、焼成することによりセラミックス表面に多孔質
なセラミックスの薄膜を形成させて無電解めっきなどに
より金属被膜を密着しやすくしたものである。
分子またはコロイド粒子からなるゾル溶液中にセラミッ
クスの微粒子を含有する溶液を塗工した後に、加水分解
、乾燥、焼成することによりセラミックス表面に多孔質
なセラミックスの薄膜を形成させて無電解めっきなどに
より金属被膜を密着しやすくしたものである。
従来、セラミックスの表面を粗化する方法として、フン
化水素酸、硝酸などの強酸で処理する方法、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウムなどの強アルカリで処理する方
法などがある。しかし、これらの方法でセラミックスの
表面を粗化しても金属被膜との十分な密着力が得られず
、特に、高純度なセラミックスではほとんど粗化するこ
とが出来ず金属被膜をほとんど密着することが出来なか
った。
化水素酸、硝酸などの強酸で処理する方法、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウムなどの強アルカリで処理する方
法などがある。しかし、これらの方法でセラミックスの
表面を粗化しても金属被膜との十分な密着力が得られず
、特に、高純度なセラミックスではほとんど粗化するこ
とが出来ず金属被膜をほとんど密着することが出来なか
った。
従来のセラミックスの表面粗化方法では十分な粗化が出
来ない、さらに、高純度なセラミックスではほとんど粗
化できないといった問題点があった。
来ない、さらに、高純度なセラミックスではほとんど粗
化できないといった問題点があった。
そこで、本発明は従来のこの様な問題点を解決するセラ
ミックスの表面粗化方法を提供することを目的としてい
る。
ミックスの表面粗化方法を提供することを目的としてい
る。
（課題を解決するための手段〕
本発明は、上記問題点を解決する為に、従来の様なセラ
ミックスの表面をエツチングして粗化するという方法で
はなく、セラミックスの表面に粗化物を付加するという
方法を用いてセラミックスの表面が均一に十分粗化でき
る様にした。すなわち、セラミックスにセラミックス前
駆体の線状高分子またはコロイド粒子からなるゾル溶液
中にセラミックスの微粒子を含有する溶液を塗工した後
に、加水分解、乾燥、焼成することによりセラミックス
表面に多孔質なセラミックスの薄膜を形成させてセラミ
ックスの表面が均一に十分粗化できる様にした。ここで
、ゾル溶液中にセラミックスの微粒子を添加することは
多孔質度を上げ、焼成温度を下げるのに有効である。
ミックスの表面をエツチングして粗化するという方法で
はなく、セラミックスの表面に粗化物を付加するという
方法を用いてセラミックスの表面が均一に十分粗化でき
る様にした。すなわち、セラミックスにセラミックス前
駆体の線状高分子またはコロイド粒子からなるゾル溶液
中にセラミックスの微粒子を含有する溶液を塗工した後
に、加水分解、乾燥、焼成することによりセラミックス
表面に多孔質なセラミックスの薄膜を形成させてセラミ
ックスの表面が均一に十分粗化できる様にした。ここで
、ゾル溶液中にセラミックスの微粒子を添加することは
多孔質度を上げ、焼成温度を下げるのに有効である。
以下に本発明の実施例を示す。
一実施例１〜
アルミナセラミックス前駆体であるヘーマイトヅル７容
液に０．５μのα−アルミナ倣杓子を１％添加したｉ８
液に９９．５％アルミナセラミックスを浸漬して引き上
げた後に、雰囲気中加水分解し、１５０℃で乾燥した後
に１２００℃で焼成することによりアルミナセラミック
ス表面に多孔質なアルミナセラミックス薄膜が形成され
た。これに銅の無電解めっきを施したところ密着性の良
い銅被膜が得られた。
液に０．５μのα−アルミナ倣杓子を１％添加したｉ８
液に９９．５％アルミナセラミックスを浸漬して引き上
げた後に、雰囲気中加水分解し、１５０℃で乾燥した後
に１２００℃で焼成することによりアルミナセラミック
ス表面に多孔質なアルミナセラミックス薄膜が形成され
た。これに銅の無電解めっきを施したところ密着性の良
い銅被膜が得られた。
一実施例２−
アルミナセラミックス前駆体であるベーマイトゾル溶液
に０．５μのα−アルミナ微粒子を１％添加した溶液を
９９．５％アルミナセラミックスに噴霧した後に、雰囲
気中加水分解し、１５０℃で乾燥した後に１２００℃で
焼成することによりアルミナセラミックス表面に多孔質
なアルミナセラミックス薄膜が形成された。これに銅の
無電解めっきを施したところ密着性の良い銅被膜が得ら
れた。
に０．５μのα−アルミナ微粒子を１％添加した溶液を
９９．５％アルミナセラミックスに噴霧した後に、雰囲
気中加水分解し、１５０℃で乾燥した後に１２００℃で
焼成することによりアルミナセラミックス表面に多孔質
なアルミナセラミックス薄膜が形成された。これに銅の
無電解めっきを施したところ密着性の良い銅被膜が得ら
れた。
実施例３〜
アルミナセラミックス前駆体であるベーマイトゾル溶液
を０．３μのα−アルミナ微粒子を０，８％添加した溶
液を９９．５％アルミナセラミックスにスピンコーティ
ングした後に、雰囲気中加水分解し、１５０℃で乾燥し
た後に１２００℃で焼成することによりアルミナセラミ
ックス表面に多孔質なアルミナセラミックス薄膜が形成
された。これに銅の無電解めっきを施したところＴｌｉ
着性の良い銅被膜が得られた。
を０．３μのα−アルミナ微粒子を０，８％添加した溶
液を９９．５％アルミナセラミックスにスピンコーティ
ングした後に、雰囲気中加水分解し、１５０℃で乾燥し
た後に１２００℃で焼成することによりアルミナセラミ
ックス表面に多孔質なアルミナセラミックス薄膜が形成
された。これに銅の無電解めっきを施したところＴｌｉ
着性の良い銅被膜が得られた。
Claims (1)
- セラミックスに、セラミックス前駆体の線状高分子また
はコロイド粒子からなるゾル溶液中にセラミックスの微
粒子を含有する溶液を塗工した後に、加水分解、乾燥、
焼成することによりセラミックス表面に多孔質なセラミ
ックスの薄膜を形成することを特徴とするセラミックス
の表面粗化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29419589A JPH03153588A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | セラミックスの表面粗化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29419589A JPH03153588A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | セラミックスの表面粗化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03153588A true JPH03153588A (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=17804546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29419589A Pending JPH03153588A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | セラミックスの表面粗化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03153588A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0596779A1 (fr) * | 1992-11-02 | 1994-05-11 | AEROSPATIALE Société Nationale Industrielle | Procédé et système de protection contre l'oxydation d'un matériau oxydable |
| US6888259B2 (en) * | 2001-06-07 | 2005-05-03 | Denso Corporation | Potted hybrid integrated circuit |
-
1989
- 1989-11-13 JP JP29419589A patent/JPH03153588A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0596779A1 (fr) * | 1992-11-02 | 1994-05-11 | AEROSPATIALE Société Nationale Industrielle | Procédé et système de protection contre l'oxydation d'un matériau oxydable |
| US6888259B2 (en) * | 2001-06-07 | 2005-05-03 | Denso Corporation | Potted hybrid integrated circuit |
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