JPH03148472A

JPH03148472A - 防錆剤包装体

Info

Publication number: JPH03148472A
Application number: JP1273728A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nagasaka; 長坂　孟; Yoshiaki Inoue; 井上　義彰; Shigeru Murabayashi; 茂村林
Original assignee: Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Current assignee: Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Priority date: 1989-10-23
Filing date: 1989-10-23
Publication date: 1991-06-25
Anticipated expiration: 2014-04-12
Also published as: JP2881849B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は電子品、電子部品等、特に半導体、半導体部品
等の保存に用いられる防錆剤包装体に関する。

〔従来の技術とその問題点〕

防錆作用を有する組成物を包装材料に包装し包装体とし
、半導体部品等の防錆に用いる試みがなされている。通
常の通気性包装材料としては、紙と有孔プラスチックフ
ィルムとを貼り合わせたものが用いられている。しかし
ながら、この包装材料は通常の紙が用いられているため
、これを防錆剤の包装に用いると、一帯状に連結した複
数の防錆剤包装体を切断して個々の包装体に切断する際
、紙粉等が発生し包装体の表面に付着するという問題、
右よび防錆剤組成物の微粉がプラスチックフィルムの孔
と紙層とを通して漏れ出る問題がある。

この紙粉や微粉等は被保存物である半導体部品等を汚染
し、電気回路がショートしたり、回路に錆を発生させる
ことになり好ましくない。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の課題は、上記の問題点に鑑み、防錆剤組成物の
微粉が包装材料を通過することなく、また複数の連結し
た防錆剤連続包装体を個々の防錆剤包装体に切断する際
の粉塵、特に紙粉等が発生することなく、もって半導体
部品等を防錆しつつ好適に保存することである。

〔課題を解決するための手段〕

前記の課題を解決するための手段は、防錆剤包装体を、
防錆剤が繊維状物質と接着剤とからなる　基材シートを
用いた通気性包装材料に包装されものとしたことである
。

なお、前記の解決手段において、防錆剤とは防錆作用を
有する物質ないし組成物であり、例えば不飽和脂肪酸化
合物を含む組成物、シリカゲル、生石灰、ゼオライト等
の吸湿性物質などが挙げられる。不飽和脂肪酸化合物を
含む組成物としては、例えば不飽和脂肪酸化合物と塩基
性物質と吸着剤とからなる組成物、不飽和脂肪酸化合物
と塩基性物質と吸着剤と５０℃以下のいずれの温度でも
固体でありかつ５０〜２３０℃で流動体ないし液体とな
る物質とからなる組成物等が挙げられる。この組成物の
粒径の粒径は５０μ以下のものが混入されている。ここ
で不飽和脂肪酸化合物とは、不飽和脂肪酸、不飽和脂肪
酸エステル、不飽和脂肪酸の遷移金属塩等の不飽和脂肪
酸塩の一種または二種以上の混合物などであり、不飽和
脂肪酸残基は炭素数がｌＯ以上で単数または複数の二重
結合を有するものが好ましい。塩基性物質としては、塩
基性のアルカリ金属化合物、アルカリ土類化合物等が好
ましく、吸着剤としては前記吸湿性物質の他、活性炭、
活性白土等が挙げられる。不飽和脂肪酸化合物を含む組
成物は、半導体または半導体部品等の電子品、電子部品
の銅、銀、アルミニウム等に錆を発生させる酸素、水分
、酸性物質、ハロゲン化合物、アンモニア化合物、アミ
ン化合物等を吸収することが可能であり好ましい。

通気性包装材料の基材シートとしては、繊維状物質と接
着剤とからなるものが用いられる。繊維状物質としては
、クラフトバルブ、ケミカルパルプ等の天然バルブ、ナ
イロン、ポリエチレン、ポリプロピレン等のプラスチッ
クからなる、合成パルプ、炭素繊維などの一種または二
種以上が挙げられる。これらの中でクラフトパルプ等の
天然パルプ、ポリエチレン、ポリプロピレン等の合成バ
ルブ、炭素繊維が好ましい。繊維状物質の幅は０゜０２
〜０．５１１１１が好ましく、長さは０−１〜３０ｍｍ
が好ましい。接着剤としては天然ゴム、ブタジエン−ス
チレンゴム、クロロプレン、アクリル酸エステル重合物
、ポリウレタン、酢酸ビニル、ポリビニルアルコール等
の一種または二種以上が挙げられ、天然ゴム、ブタジエ
ン−スチレンゴム、クロロプレン、アクリル酸エステル
重合物、ポリビニルアルコール等が好ましい。基材シー
トを製造する方法の例を挙げると、繊維状物質に接着剤
を抄紙時に添加する方法、繊維状物質を抄紙後に接着剤
を添加する方法などが挙げられる。ここで抄紙方法とし
ては、例えば、前記繊維状物質を水に懸濁し好ましくは
固形物濃度０．１〜１０重量％のスラリーとし、網等で
スクリーンした後、プレス等で脱水し、好ましくは５０
−１５０℃で乾燥し、好ましくは水分７重量％以下とす
る方法が挙げられる。接着剤の量は繊維状物質１００部
（重量部、以下同じ。）に対して０．１〜３０部が好ま
しく、５〜２０部が特に好ましい。抄紙過程もしくは抄
紙後に、必要に応じてサイズ剤、顔料、凝集剤等を添加
してもよい。

基材シートの坪量は１０〜２００ｇ／ｄ、ガーレ一式透
気度は５０．０００秒／１００ＷＩｌ以下、厚みは０．
０２〜１ｍ５゜水に浸出したときのｐＨは２〜１０、平
均開孔径は０、ＩＭ以下が好ましく、坪量２Ｇ〜１００
ｇ／　ｆｎ″、ガーレ一式透気度３０．０００秒／１０
０ｍｔ以下、厚み０．０４〜０゜５ｆｌ、水に浸出した
ときのｐＨ４〜９が特に好ましい。

通気性包装材料は、前記記載シートを用いたものである
。通気性包装材料は、たとえば前記の基材に他の材料を
張り合わせたり、被覆ないしコートする等して形成され
る。通気性包装材料の態様例を挙げると次のと右りであ
る。

（１）基材シートを用い、かつガーレ一式透気度１０Ｇ
。

０００秒／１００ｍｌ以下かつ透湿度１ｇ／ｒｎ２４ｈ
ｒ以上の包装材料。

この態様の通気性包装材料としては、例えば、基材シー
トと開孔低軟化点フィルムとを貼り合わせたもの。（以
下、通気性包装材料Ａという。

なお、開孔低軟化点フィルムとは、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル
共重合体などの低軟化点樹脂からなりかつ開孔されたフ
ィルムをいう。ここで開孔低軟化点フィルムの厚みは５
〜１００ミ、開孔径は０００５〜１５ｕａが好ましく、
開孔率は１％以上が好ましく、厚み２０〜１００ミ、開
孔径０．ｌＯ〜１０ｍ、開孔率２〜４０％が特に好まし
い。開孔低軟化点フィルム等のフィルムの開孔方法は限
定されず、基材シートとフィルムとを張り合わせた後、
針で開孔する方法、フィルムを開孔しした後基材シート
張り合わせる方法等が挙げられる。フィルム層と基材シ
ートとの張り合わせ方法としては、押し出しラミネート
法、熱圧ラミネート法等が挙げられる。

また、基材シートの片面に開孔低軟化点フィルムを貼り
合わせ、基材のもう一方の面に開孔ラミネートフィルム
を貼り合わせたものでもよい。（以下、通気性包装材料
Ｂという。）な右、）　開孔ラミネートフィルムとは、
ポリアミド、ポリエステル等の高軟化点樹脂フィルムと
ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体などの低軟化点樹脂フィル
ムとの貼り合わせ材からなりかつ開孔されたフィルムを
いう。ここで開孔ラミネートフィルムの厚みは２０〜１
５０ミ、開孔径０．０５〜１５　ｍｍ　、開孔率は１％
以上が好ましく、厚み２０〜１００ミ、開孔径０．１〜
１０ｍｍ、開孔率２〜４０％が特に好ましい。

０）基材シートを用い、かつ包装材料の切断面を介して
通気しうるものである包装材料。

この態様の通気性包装材料としては、基材シートの片面
に開孔低軟化点樹脂フィルムを貼り合わせ、基材シート
のもう一方の面にポリアミド、ポリエステル等の高軟化
点樹脂フィルムとポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などの低
軟化点樹脂フィルムとのラミネート材からなのラミネー
トフィルムを張り合わせたもの（通気性包装材料Ｃ）が
例示される。

（Ｊ基材シートを用い、かつ酸素透過度１．０００ｄ／
ｍ２４　ｔｉｒ−ａｔｍ以上かつ透過度１ｇ／ｍ２４ｈ
ｒ以上の包装材料。

この態様の通気性包装材料としては、基材の片面に開孔
低軟化点フィルムを貼り合わせ、基材のもう一方の面に
酸素透過性フィルムを被覆しまたは貼り合わせてなるも
の。（以下、通気性包装材料りという。）なお、ここで
酸素透過性フィルムないし酸素透過性膜層はその酸素透
過度が２，０００−／ｍ″−ｄａｙ−ａｔｍ以上が好マ
シ＜、２、０００　Ｗ１１／ｍｄａｙ−ａｔｍ以上が特
に好ましい。酸素透過性フィルム層の材料としては、シ
リコン樹脂、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重
合体等が好ましい。

また、基材シートの片面に開孔低軟化点フィルムを貼り
合わせ、基材のもう一方の面に開孔低軟化点／酸素透過
性フィルムを貼り合わせたものも挙げられる（通気性包
装材料Ｅという。）なお、開孔低軟化点／酸素透過性フ
ィルムとは、開孔低軟化点フィルムと酸素透過性フィル
ムとからなるラミネートフィルムをいう。

ここで酸素透過性フィルムとしては、たとえばポリブタ
ジエンフィルムなどもあげられる。

なお、酸素透過性フィルムの厚みは０−１−１００μが
好ましく、１〜５０μがより好ましい。

上記した、これらの態様例において、基材シートと開孔
低軟化点フィルムとの間に補強材（ワリフ、クロス等）
を挟着してもよい。

防錆剤組成物を通気性包装材料に包装する方法は、特に
限定されず、組成物を秤量後通気性包装材料に三方シー
ル包装機または四方シール包装機等により好ましくは低
軟化点樹脂フィルム側を内側として包装することができ
る。

包装形態としては、パウチ形態の他、錠剤状の組成物を
ブリスター包装したもの等が挙げられる。

参考例１（基材シートの製造）クラフトパルプ１００ｋｇを水４．０００ｋｇで叩解し
。

ポリアルリル酸エステル接着剤１０ｋｇを添加してスラ
リーとした。このスラリーを金網でスクリーンした後、
プレスロールで水分２０％に脱水し、さらに、乾燥ロー
ルで１０５℃にて乾燥し、水分４％とした。（加工速度
２０ｍ／ｓｉｎ）こうして得られた基材シートは坪量５
０ｇ／ｒｎ”、厚み０．０６＋ａｍ、ガーレー式透気度
１５秒／ｌＯＯＩ１１１であった。

実施例１参考例１で製造した基材シートに、開孔ポリエチレンフ
ィルム（新日本アルク■製、開孔Ｂタイプ、厚み３０μ
）を１４０℃、１５ｋｇ／ｃｄ、３秒の熱圧で張り合わ
せ、通気性包装材料Ａを製造した。通気性包装材料Ａの
酸素透過度、ガーレ一式透気度、透湿度および厚みを第
１表に示す。

一方、大豆油脂肪酸１ｇ、消石灰０．５ｇ、粉末活性炭
１ｇを均一にカッターミキサーで混合せしめ、２５℃に
て１０分間静置すると固い塊になった。

この塊を粉砕して粉末とした。この粉末組成物の粒度分
布を第２表に示す。

この組成物２．５ｇと酸化マグネシラ２．５ｇとを前記
通気性包装材料Ａに開孔ポリエチレンフィルム面を内側
として三方シール包装機で包装した。その際個々の包装
体への切断はシール部分の切断により？ＯＸ７０ｍｍの
包装体となるようにした。得られた包装体（包装体Ａと
いう。第１図参照。）１００個を拡大鏡で観察し、包材
表面への紙蝮付着状況を確認した結果を第３表に示す。

また、包装体１個を空気２５０−と共にＫＯＮ（塩化ビ
ニリデンコートナイロン）／ＰＥ（ポリエチレン）製の
袋に密封し、２５℃で保存した。袋内の酸素濃度経時変
化を同じ（第３表に示す。

実施例２実施例１で得られた通気性包装材料Ａの基材シート面（
開孔ポリエチレンフィルムの反対面）に開孔ラミネート
フィルム（１５ミポリエステルフイルム７１５ミポリエ
チレンフイルムの開孔複合フィルム、厚み２５ミ、開孔
率３％）を１９５℃、３５ｋｇ／ｃｄ、５秒の熱圧で張
り合わせ、通気性包装材ＮＢを製造した。通気性包装材
料Ｂの酸素透過度、ガーレ一式透気度、透湿度および厚
みを第１表に示す。

通気性包装材料Ｂを用いて実施例１で行ったと同様に、
包装体（包装体Ｂという。第３図参照）を作成し、同様
の試験を実施した。結果を第３表に示す。

実施例３実施例１で得られた通気性包装材料Ａの基材シート面（
開孔ポリエチレンフィルムの反対面）にラミネートフィ
ルム（１５ミポリエステルフイルム／１５ミポリエチレ
ンフイルムからなる複合フィルム、厚み２５ミ、開孔率
３％）を１９５℃、３５ｋｇ／ｃｔｌ、５秒の熱圧で張
り合わせ、通気性包装材料Ｃを製造した。通気性包装材
料Ｃの酸素透過度、ガーレ一式透気度、透湿度および厚
みを第１表に示す。

通気性包装材料Ｃを用いて実施例１で行ったと同様に、
包装体（包装体Ｃという。第２図参照。）を作成し、同
様の試験を実施した。結果を第３表に示す。

実施例４実施例１で得られた通気性包装材料Ａの基材シート面（
開孔ポリエチレンフィルムの反対面）にシリコン樹脂を
１５ｇ／ｒｎ”にてコートレ、８５℃で３分間熱加工し
、通気性包装材料りを製造した。通気性包装材料りの酸
素透過度、ガーレ一式透気度、透湿度および厚みを第１
表に示す。

通気性包装材料りを用いて実施例１で行ったと同様に、
包装体（包装体りという。第４図参照。）を作成し、同
様の試験を実施した。結果を第３表に示す。

比較例１実施例１にふける基材シートの代わりに純白ロール紙（
坪量？Ｏｇ／ｒｎ”、厚みＱ−２ｍ）を用いた以外は実
施例１と同じ方法で通気性包装材料りを製造し、また包
装体りを製造した。通気性包装材料りふよび包装体りに
ついて実施例１で行ったと同様の試験を実施した。結果
を第１表および第３表に示す。

比較例２実施例２における基材シートの代わりに純白ロール紙（
坪量７０ｇ／ｍ”、厚み０．２Ｗｍ）を用いた以外は実
施例２と同じ方法で通気性包装材料Ｍを製造し、また包
装体Ｍを製造した。通気性包装材料Ｍ右よび包装体Ｍに
ついて実施例１で行ったと同様の試験を実施した。結果
を第１表および第３表に示す。

比較例３実施例３に右ける基材シートの代わりに純白ロール紙（
坪量７０ｇ／ｍ、厚み０．２ｍ＋）を用いた以外は実施
例３と同じ方法で通気性包装材料Ｎを製造し、また包装
体Ｎを製造した。通気性包装材料Ｎおよび包装体Ｎにつ
いて実施例１で行ったと同様の試験を実施した。結果を
第１表ふよび第３表に示す。

比較例４実施例４に右ける基材シートの代わりに純白ロール紙（
坪量７０ｇ／ｍｊ、厚み０．２Ｂ）を用いた以外は実施
例４と同じ方法で通気性包装材料０を製造し、また包装
体０を製造した。通気性包装材料０および包装体０につ
いて実施例１で行ったと同様の試験を実施した。結果を
第１表および第３表に第１表実施例１１Ａ　　　　１００．０００１　　５１　３５
４１１００１１実施例２１Ｂ　　　１　１０．０００１
　　３７１　　５１１１５０１１実施例ａ１ｃ　　　１
　１．２００１　　　本１　　４＋１５０１１実施例４
１Ｄ　　　ｌ　　１０．０００１　　　零１　　５８１
１２０＋１比較例１１Ｌｌ　　９０．０００１　　７１
　３０４１　９０１１比較例２１Ｍ　　　１　９．００
０１　　４５１　　１９１１４０１１比較例３　ＩＮ　
　　１　１．２００１　　−１　　２１１４０１１比較
例４１０　　１　１０．０００１　　１１　　５７１１
１０１第２表１　３以上　１　　３１　ｏ、ｏｔ〜０．０５１　　６
１１１〜３　１　１５１０．００１〜０．０１１　　２
＋１０．２〜１　　ｌ　　５５１Ｇ、００１以下　１　
１１１　　Ｏ，０５〜０．２１１８１　　　　　１　　
　　第３表１比較例４１０１　１１１７１１３１　５１　１１　０
１１Ｍ素透過度度　１）　ｌ測定方法　　＾ＳＴＩＩＤ
１４３４１４３４１１　透ｉ度３）　Ｉ　ｍ定方性ＪＩ
Ｓ　Ｚ−０２０８１実施例５シリコンウェハー２０枚（直径５ｉｎ）と実施例４で得
られた包装体りとをポリプロピレン性容器（ディズ２０
０Ｘ　２００Ｘ　２５０ｍ）に入れ、これをさらにポリ
エチレン（厚み３０μ）／アルミニウム（１５μ）／ポ
リエチレン（２５μ）の袋に入れ、酸素５％になるよう
に窒素ガスで置換した後密封し、２５℃で３日間保存し
た。その後航空便で輸送した後開封してシリコンウェハ
ーの表面を拡大鏡で観察した。その結果、結露、０．３
μ以上のダストの付着、変色がなく、良好な保存状態で
あり、このシリコンウェハーを加工してＩＣチップを製
造したところ、不良率は９％であった。

比較例５実施例５における包装体りの代わりに、比較例２で製造
した包装体Ｍ１比較例３で製造した包装体Ｎ１比較例４
で製造した包装体０を用いる以外は実施例５と同様に行
った。その結果、いずれも０．３μ以上のダストの付着
があり、■Ｃチップに加工したところ、不良率は、包装
体Ｍでは１９％、包装体Ｎでは１４％、包装体Ｏでは１
１％であった。

〔発明の作用と効果〕

本発明によれば、前記構成を採用したことにより、防錆
剤包装体の製造時、帯状の防錆剤包装体を個々に切断す
る際に紙粉が発生したり、防錆剤組成物の微粉が包装材
料から漏れ出ることがなく、半導体、半導体部品等の電
子品、電子部品などを好適に防錆しつつ保存することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本発明の防錆剤包装体の態様例をその
断面図で示したものである。第１図は、基材シートの内面に開孔低軟化点樹脂フィル
ムを張り合わせた通気性包装材料Ａを用いてなる包装体
Ａの−態様である。第２図は、基材シートの内面に開孔低軟化点樹脂フィル
ムを張り合わせ、外面に低軟化点フィルムと高軟化点フ
ィルムとのラミネートフィルムを張り合わせた通気性包
装材料Ｃを用いてなる包装体Ｃの−態様でムり、包装体
の切断面を介して通気しうるものである。第３図は、基材シートの内面に開孔低軟化点樹脂フィル
ムを張り合わせ、外面に低軟化点フィルムと高軟化点フ
ィルムとからなる開孔ラミネートフィルムを張り合わせ
た通気性包装材料Ｂを用いてなる包装体Ｂの−態様であ
る。第４図は、基材シートの内面に開孔低軟化点樹脂フィル
ムを張り合わせ、外面に低軟化点フィルムと高軟化点フ
ィルムとからなる開孔ラミネートフィルムを張り合わせ
た通気性包装材料りを用いてなる包装体りの−態様であ
る。図面において、１は開孔低軟化点樹脂フィルム、２は基
材シート、３および６は低軟化点樹脂フィルム層、４お
よび７は高軟化点樹脂フィルム層、５はラミネートフィ
ルム、８は開孔ラミネートフィルム、９は酸素透過性樹
脂層、１０は防錆剤組成物をそれぞれ表す。特許出願人　三菱瓦斯化学株式会社代理人　　弁理士　小　堀　貞　文罪、Ｉ凹奉３　回ｌハ　　　　　−７）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　防錆剤が繊維状物質と接着剤とからなる基材シ
ートを用いた通気性包装材料に包装されてなる防錆剤包
装体。
（２）　通気性包装材料がガーレー式透気度１００，０
００秒／１００ｍｌ以下かつ透湿度１ｇ／ｍ＾３・２４
ｈｒ以上の通気性包装材料である請求項１に記載の防錆
剤包装体。
（３）　通気性包装材料が酸素透過度１，０００ｍｌ／
ｍ＾３・２４ｈｒ−ａｔｍ以上かつ透湿度１ｇ／ｍ＾３
・２４ｈｒ以上の通気性包装材料である請求項１に記載
の防錆剤包装体。
（４）　通気性包装材料が包装材料の切断面を介して通
気しうるものである請求項１に記載の防錆剤包装体。