JPH03148105A - 渦流センサの製作方法 - Google Patents
渦流センサの製作方法Info
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- JPH03148105A JPH03148105A JP1287361A JP28736189A JPH03148105A JP H03148105 A JPH03148105 A JP H03148105A JP 1287361 A JP1287361 A JP 1287361A JP 28736189 A JP28736189 A JP 28736189A JP H03148105 A JPH03148105 A JP H03148105A
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- eddy current
- current sensor
- secondary coils
- manufacturing
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract 1
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- Transformers For Measuring Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、被測定物に渦電流を発生させる1次コイルと
渦電流から生じる磁束を検知する2次コイルを備えた渦
流センサの製作方法に関するものである。
渦電流から生じる磁束を検知する2次コイルを備えた渦
流センサの製作方法に関するものである。
[従来の技術]
第8図は従来の製作方法により製作された渦流センサの
一例を示す斜視図である。この渦流センサは、被測定物
に渦電流を発生させる1次コイル1と、1次コイル1の
両側に配置されて渦電流から生じる磁束を検知する2次
コイル2とを有し、各コイルが筒状のボビン3に同心状
に巻回されて構成されており、2次コイル2に誘起され
る電圧の違いから被測定物に生じる渦電流の大きさを検
出して、本渦流センサと被測定物との距離や被測定物の
抵抗率等を測定するセンサとして用いられている。
一例を示す斜視図である。この渦流センサは、被測定物
に渦電流を発生させる1次コイル1と、1次コイル1の
両側に配置されて渦電流から生じる磁束を検知する2次
コイル2とを有し、各コイルが筒状のボビン3に同心状
に巻回されて構成されており、2次コイル2に誘起され
る電圧の違いから被測定物に生じる渦電流の大きさを検
出して、本渦流センサと被測定物との距離や被測定物の
抵抗率等を測定するセンサとして用いられている。
第9図は従来の製作方法により製作された渦流センサの
他の例を示す斜視図である。この渦流センサは、非導電
体、強磁性体のフェライトから成るH形のコア4のウェ
ブ部に1次コイル1を、また一方のフランジ部の両端側
に2次コイル2を、それぞれ巻回した点が第8図のもの
と異なっているが、原理は同一である。
他の例を示す斜視図である。この渦流センサは、非導電
体、強磁性体のフェライトから成るH形のコア4のウェ
ブ部に1次コイル1を、また一方のフランジ部の両端側
に2次コイル2を、それぞれ巻回した点が第8図のもの
と異なっているが、原理は同一である。
上述のような各渦流センサにおいては1次コイル1にて
発生する1次側磁束自体も2次コイル2を通過するから
磁束のアンバランスが直ちに2次コイル2に誘起される
電圧に現れる。そこで、従来はこのバランスを以下のよ
うにして調整しながら渦流センサを製作している。すな
わち、まず1次コイル1を巻き、その後、1次コイル1
に対して幾何学的に対称となる位置に目視にて2次コイ
ル2をそれぞれ巻回することによって渦流センサを製作
するようにしている。
発生する1次側磁束自体も2次コイル2を通過するから
磁束のアンバランスが直ちに2次コイル2に誘起される
電圧に現れる。そこで、従来はこのバランスを以下のよ
うにして調整しながら渦流センサを製作している。すな
わち、まず1次コイル1を巻き、その後、1次コイル1
に対して幾何学的に対称となる位置に目視にて2次コイ
ル2をそれぞれ巻回することによって渦流センサを製作
するようにしている。
ところで、このようにして製作された渦流センサは、セ
ンサ自体の温度が変わるとコイルの外径や抵抗が変化し
、出力信号がドリフトする。この対策としては、2次コ
イル2を差分結線し、ドリフトを相殺する方法が一般に
とられている。
ンサ自体の温度が変わるとコイルの外径や抵抗が変化し
、出力信号がドリフトする。この対策としては、2次コ
イル2を差分結線し、ドリフトを相殺する方法が一般に
とられている。
しかし、差分結線方式を採用しても製作精度上の問題か
ら被測定物を近付けない状態でもある程度の残留電圧が
生じている。従来はこの残留電圧を外部回路にて補正し
、OV調整するようにしている。
ら被測定物を近付けない状態でもある程度の残留電圧が
生じている。従来はこの残留電圧を外部回路にて補正し
、OV調整するようにしている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、本出願人による実験の結果、製作時の残
留電圧が大きいと残留電圧はセンサ自体の温度が変わる
と変動し、S/N比が悪く、精密な測定を行う場合に重
大な支障となることが判明した。
留電圧が大きいと残留電圧はセンサ自体の温度が変わる
と変動し、S/N比が悪く、精密な測定を行う場合に重
大な支障となることが判明した。
本発明は以上の点に鑑み、渦流センサの温度変化による
出力信号のドリフト量を小さく抑えてS/N比を向上さ
せることのできる渦流センサの製作方法を提供しようと
するものである。
出力信号のドリフト量を小さく抑えてS/N比を向上さ
せることのできる渦流センサの製作方法を提供しようと
するものである。
[課題を解決するための手段]
本発明に係る渦流センサの製作方法は、筒状のボビンま
たはコアに巻回される1次コイルと2次コイルの少なく
とも一方を、上記ボビンまたはコアにスライド可能に巻
回し、2次コイルを差分結線した後、設定周波数の電圧
を1次コイルに印加した状態で、上記差分結線した2次
コイルの出力電圧がOVになるように上記スライド可能
に巻回された一方のコイルの位置を調整し、固定するよ
うにしたものである。
たはコアに巻回される1次コイルと2次コイルの少なく
とも一方を、上記ボビンまたはコアにスライド可能に巻
回し、2次コイルを差分結線した後、設定周波数の電圧
を1次コイルに印加した状態で、上記差分結線した2次
コイルの出力電圧がOVになるように上記スライド可能
に巻回された一方のコイルの位置を調整し、固定するよ
うにしたものである。
[作 用〕
本発明においては、製作段階で2次コイルの出力電圧の
バランス調整を行うので、差分結線した2次コイルの残
留電圧をほぼ零にすることができ、渦流センサの温度変
化による出力信号のドリフト量を小さく抑えてS/N比
を向上させることができる。
バランス調整を行うので、差分結線した2次コイルの残
留電圧をほぼ零にすることができ、渦流センサの温度変
化による出力信号のドリフト量を小さく抑えてS/N比
を向上させることができる。
[実施例コ
以下、従来に相当する部分には同一符号を付して示す第
1図及び第2図の第1実施例について本発明を説明する
と、本実施例に係る渦流センサの製作方法は、ボビン3
に同心状に巻回されるコイルの中、1次コイル1の両側
に配置される2次コイル2を、それぞれ非導電体、非磁
性体から成りかつボビン3にスライド可能に外嵌合する
リング5を介して巻回し、2次コイル2を差分結線した
後、発振器8により設定周波数の電圧を1次コイル]に
印加した状態で、差分結線した2次コイル2の出力電圧
が0Vになるように交流電圧計6を見ながらリング5の
位置を調整し、Ovになる位置が決まると、リング5を
エポキシ等でモールドして固定する。
1図及び第2図の第1実施例について本発明を説明する
と、本実施例に係る渦流センサの製作方法は、ボビン3
に同心状に巻回されるコイルの中、1次コイル1の両側
に配置される2次コイル2を、それぞれ非導電体、非磁
性体から成りかつボビン3にスライド可能に外嵌合する
リング5を介して巻回し、2次コイル2を差分結線した
後、発振器8により設定周波数の電圧を1次コイル]に
印加した状態で、差分結線した2次コイル2の出力電圧
が0Vになるように交流電圧計6を見ながらリング5の
位置を調整し、Ovになる位置が決まると、リング5を
エポキシ等でモールドして固定する。
第3図はこのような製作方法により製作された渦流セン
サの温度変化による出力信号のドリフト量を従来との比
較で示す図である。この図から明らかなように、本発明
の製作方法により製作された渦流センサは、センサ自体
の温度変化による出力信号のドリフト量を従来の■/1
0以下に抑えることができ、S/N比が向上した。
サの温度変化による出力信号のドリフト量を従来との比
較で示す図である。この図から明らかなように、本発明
の製作方法により製作された渦流センサは、センサ自体
の温度変化による出力信号のドリフト量を従来の■/1
0以下に抑えることができ、S/N比が向上した。
第4図は本発明の第2実施例に係る渦流センサの製作方
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、ボビ
ン3に同心状に巻回されるコイルの中、2次コイル2間
の中央に配置される1次コイル1を、上述のリング5を
介して巻回し、第2図の如く、差分結線した2次コイル
2の出力電圧のバランス調整時には、1次コイル1側を
スライドさせるようにした点が第1実施例の製作方法と
異なっている。
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、ボビ
ン3に同心状に巻回されるコイルの中、2次コイル2間
の中央に配置される1次コイル1を、上述のリング5を
介して巻回し、第2図の如く、差分結線した2次コイル
2の出力電圧のバランス調整時には、1次コイル1側を
スライドさせるようにした点が第1実施例の製作方法と
異なっている。
この実施例においては、調整部が1カ所で済むため、バ
ランス調整が容易となり、作業性が向上する利点がある
。
ランス調整が容易となり、作業性が向上する利点がある
。
第5図は本発明の第3実施例に係る渦流センサの製作方
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、ボビ
ン3に1次コイル1及び2次コイル2のいずれもリング
5を介して巻回し、2次コイル2の出力電圧のバランス
調整時には、全てのコイルをスライドさせるようにした
点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、ボビ
ン3に1次コイル1及び2次コイル2のいずれもリング
5を介して巻回し、2次コイル2の出力電圧のバランス
調整時には、全てのコイルをスライドさせるようにした
点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
この実施例においては、1次コイル1と2次コイル2間
の離隔距離の調整が可能となり、出力電圧の異なる渦流
センサを容易に得ることができるという効果がある。
の離隔距離の調整が可能となり、出力電圧の異なる渦流
センサを容易に得ることができるという効果がある。
第6図は本発明の第4実施例に係る渦流センサの製作方
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、コア
4の一方のフランジ部の両端側に2次コイル2を、それ
ぞれ非導電体、非磁性体がら成りかつフランジ部にスラ
イド可能に外嵌合する矩形リング7を介して巻回し、差
分結線した2次コイル2の出力電圧のバランスFI3I
整時には、各2次コイル2をスライドさせるようにした
点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、コア
4の一方のフランジ部の両端側に2次コイル2を、それ
ぞれ非導電体、非磁性体がら成りかつフランジ部にスラ
イド可能に外嵌合する矩形リング7を介して巻回し、差
分結線した2次コイル2の出力電圧のバランスFI3I
整時には、各2次コイル2をスライドさせるようにした
点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
この実施例においては、第1実施例と同様の作用効果に
加え、高透磁率のフェライトコアを使用しているため、
出力電圧を大きくすることが容易となる。
加え、高透磁率のフェライトコアを使用しているため、
出力電圧を大きくすることが容易となる。
第7図は本発明の第5実施例に係る渦流センサの製作方
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、コア
4に1次コイル1及び2次コイル2のいずれも矩形リン
グ7を介して巻回し、2次コイル2の出力電圧のバラン
ス調整時には、全てのコイルをスライドさせるようにし
た点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
法を示すものである。この実施例の渦流センサは、コア
4に1次コイル1及び2次コイル2のいずれも矩形リン
グ7を介して巻回し、2次コイル2の出力電圧のバラン
ス調整時には、全てのコイルをスライドさせるようにし
た点が上述した各実施例の製作方法と異なっている。
この実施例においては、第3実施例及び第4実施例と同
様の作用効果を奏する。
様の作用効果を奏する。
なお、上述した各実施例において、スライドされる側の
コイルはいずれも非導電体、非磁性体から成るリングを
介してボビン3又はコア4に巻回するようにしたものを
示したが、これに限るものでなく、例えばコイルそのも
のをエポキシ等でモールドしてリングに成形しても良く
、またボビンの内側にフェライトコアを挿入したもので
も良く、このような場合でも上述各実施例同様の作用効
果を奏する。
コイルはいずれも非導電体、非磁性体から成るリングを
介してボビン3又はコア4に巻回するようにしたものを
示したが、これに限るものでなく、例えばコイルそのも
のをエポキシ等でモールドしてリングに成形しても良く
、またボビンの内側にフェライトコアを挿入したもので
も良く、このような場合でも上述各実施例同様の作用効
果を奏する。
[発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、製作段階で2次コ
イルの出力電圧のバランス調整を行うようにしたので、
渦流センサの温度変化による出力信号のドリフト量を小
さく抑えてS/N比を向上させることができるという効
果がある。
イルの出力電圧のバランス調整を行うようにしたので、
渦流センサの温度変化による出力信号のドリフト量を小
さく抑えてS/N比を向上させることができるという効
果がある。
第1図は本発明の第1実施例に係る渦流センサを示す斜
視図、第2図は本発明に係る渦流センサの製作方法を説
明するための説明図、第3図は本発明の製作方法により
製作された渦流センサの温度変化による出力信号のドリ
フト量を従来との比較で示す説明図、第4図は本発明の
第2実施例に係る渦流センサを示す斜視図、第5図は本
発明の第3実施例に係る渦流センサを示す斜視図、第6
図は本発明の第4実施例に係る渦流センサを示す斜視図
、第7図は本発明の第4実施例に係る渦流センサを示す
斜視図、第8図は従来の渦流センサの一例を示す斜視図
、第9図は従来の渦流センサの他の例を示す斜視図であ
る。 図において、1は1次コイル、2は2次コイル、3は筒
状のボビン、4はコア、5はリング、6は交流電圧計、
7は矩形リング、8は発振器である。
視図、第2図は本発明に係る渦流センサの製作方法を説
明するための説明図、第3図は本発明の製作方法により
製作された渦流センサの温度変化による出力信号のドリ
フト量を従来との比較で示す説明図、第4図は本発明の
第2実施例に係る渦流センサを示す斜視図、第5図は本
発明の第3実施例に係る渦流センサを示す斜視図、第6
図は本発明の第4実施例に係る渦流センサを示す斜視図
、第7図は本発明の第4実施例に係る渦流センサを示す
斜視図、第8図は従来の渦流センサの一例を示す斜視図
、第9図は従来の渦流センサの他の例を示す斜視図であ
る。 図において、1は1次コイル、2は2次コイル、3は筒
状のボビン、4はコア、5はリング、6は交流電圧計、
7は矩形リング、8は発振器である。
Claims (1)
- 筒状のボビンまたはコアに巻回される1次コイルと2次
コイルの少なくとも一方を、上記ボビンまたはコアにス
ライド可能に巻回し、2次コイルを差分結線した後、設
定周波数の電圧を1次コイルに印加した状態で、上記差
分結線した2次コイルの出力電圧が0Vになるように上
記スライド可能に巻回された一方のコイルの位置を調整
し、固定することを特徴とする渦流センサの製作方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1287361A JPH03148105A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 渦流センサの製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1287361A JPH03148105A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 渦流センサの製作方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03148105A true JPH03148105A (ja) | 1991-06-24 |
Family
ID=17716372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1287361A Pending JPH03148105A (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 渦流センサの製作方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03148105A (ja) |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP1287361A patent/JPH03148105A/ja active Pending
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