JPH031425A - マグネトロン用陰極構体 - Google Patents

マグネトロン用陰極構体

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JPH031425A
JPH031425A JP13453089A JP13453089A JPH031425A JP H031425 A JPH031425 A JP H031425A JP 13453089 A JP13453089 A JP 13453089A JP 13453089 A JP13453089 A JP 13453089A JP H031425 A JPH031425 A JP H031425A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetron
ceramic
electron
cathode structure
semiconductive ceramic
Prior art date
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Pending
Application number
JP13453089A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Iwatani
昭一 岩谷
Hitoshi Masumura
均 増村
Hiroyuki Sato
弘幸 佐藤
Haruo Taguchi
春男 田口
Munemitsu Hamada
浜田 宗光
Masaru Fukuda
勝 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
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Publication of JPH031425A publication Critical patent/JPH031425A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マグネトロン用の陰極構体における熱電子放
射体に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、電子管陰極構体して、特にマグネトロンのような
直熱式のものでは、第3図に示すような構造のものが一
般的に採用あれでいる。この図において21は約1%の
ドリア(ThO□)を含む、いわゆるトリウム入りタン
グステン線をらせん状に巻回したフィラメントであり、
その両端には軸方向への熱電子の逸脱を防止するための
上エンドシールド22.下エンドシールド23が高融点
金属のモリブデンなどのより形成され固着されている。
また、これら上下エンドシールド22.23には各々、
陰極電流を供給するためのセンタリード24゜サイドリ
ード25が接続されており、この両リードはセラミック
スで形成されたステム26に、端子27と共に銀ろう付
けで固着されている。
また、特開昭62−113335号公報には筒状絶縁体
を基体とし、該筒状絶縁体の両端には軸方向への熱電子
の逸脱を防止する一対のエンドシ−ルドを有するマグネ
トロン陰極構体において、前記筒状絶縁体に1%以上の
ドリアを含むトリウム入りタングステンの被覆層を形成
して熱電子放射体としてなることを特徴とするマグネト
ロン陰極構体について記載されている。
さらに、特開昭63−226851号公報には、高融点
金属による筒状の含浸型カソードをフィラメントで加熱
して電子を放出させる構造の低電圧駆動マグネトロン陰
極構体が記載されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、第3図に示す陰極構体では、タングステ
ンフィラメン)21の表面を炭化させているため跪く、
断線し易い、また、フィラメントとしてタングステンカ
ーバイドを使用した場合には、該フィラメントは酸化物
セラミックスによるものに比べて仕事関数が高く、しか
も電子放射率が低いという欠点がある。
前記特開昭62−113335号公報記載のものでは、
前記被覆層がトリウム入りタングステンによるものであ
るため高価である。また、被覆層形成装置や、該被覆層
が前記筒状絶縁体から剥離しないようにするための配慮
が必要であるだけでなく、電子放射効率も不十分である
などの問題点がある。
さらに、特開昭63−226851号公報記載のもので
は、やはり前記被覆層の剥離が懸念されるし、フィラメ
ントでの加熱が必要となるなどの問題点がある。
本発明は、これら従来の問題点を解決することを目的と
するものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、半導体セラミックスを電子放射体としたマグ
ネトロン用陰極構体である。
〔作 用〕
半導体セラミックスは発熱体と電子放射体とが一体的で
あるから剥離、断線のおそれは全くな(、これを筒状体
で形成すると放射面積を大きくでき、仕事関数が低く、
電子放射効率がよいものである。
〔実施例〕
本発明の実施例を図面により説明すると、第1図におい
て2,3は第3図のものと同一機能を有する上および下
エンドシールドで、第2図と同様にセンタリード4.サ
イドリード5に固定されており、この上エンドシールド
2.下エンドシールド3がそれぞれ筒状半導体セラミッ
クス1の円筒部両端に嵌合されており、該半導体セラミ
ックス1の表層部、又は表層部及び内層部を多孔質のも
の(第2図)または波型(第3図)に形成し、電子放射
面積の拡大を図っている。第1図において下エンドシー
ルド3より下方部(図示せず)の構造は第3図の従来例
と同様でセンタリード4.サイドリード5は絶縁ステム
の底板部に機密封着され、かつ該底板部の下端面におい
て各端子に固着されている。
前記筒状半導体セラミックス1の材質としては、Bat
 Sr+ Caなど仕事関数の低い元素からなるBaT
tOi+5rTi03. CaTiOs等を含む1種ま
たは2種以上の固溶体を母材とし、焼結性の改善及びセ
ラミックスの比抵抗の低下させるための添加物として5
tOz+希土類元素、遷移金属+Zr+ Nb+ Ta
、 AI、 It Sc等を加えた酸化物セラミックス
を採用する。また、該セラミックスの製造は通常の慣用
手法により行えばよく、不活性ガスまたは還元性ガス中
で、あるいは希には空気中で焼成して半導体化するもの
である。
次に、本発明に係る試験例を従来例と比較して説明する
〔実施例1〕 本発明に従いマグネトロン陰極構体の電子放射体をBa
T103系半導体セラミックス及び5rTiOs系半導
体セラミックスにより構成すると共に、従来のWC(炭
化タングステ)による電子放射体を有するマグネトロン
管を用意し、仕事関数の比較を行った。その結果、第1
表のとおりで本発明による電子放射体ではWCによるも
のに比べて仕事関数が低く、電子放射効率が良好である
ことがわかる。
以下余白 第  1  表 ・第 2 表 〔実施例2〕 本発明に従う電子放射体を有するマグネトロン管と、従
来の一〇による電子放射体を有するマグネトロン管を用
意して、4KV駆動時及びIKV駆動時の出力を比較し
た。結果は第2表に示すとおりで、本発明の電子放射体
を使用したもの(特に、多孔質の半導体セラミックスを
用いたもの)では出力が大幅に向上する利点がある。低
電圧駆動マグネトロン管にも適用可能であることがわか
る。
以下余白 〔発明の効果〕 以上述べたように、本発明ではペロブスカイト構造AB
Osを有し、AサイトにBa+ Sr、 Ca又はy等
の希土類元素が位置し、BサイトにはTi、 Zr、 
Nb。
Ta又は■が位置し、添加物としてSiO2,遷移金属
H,Sc等を添加してなる半導体セラミックスを電子放
射体とすることにより、その仕事関数が低いうえに電子
放射効率が高く、低電圧駆動のマグネトロン管用に有効
であり自己発熱するため加熱用フィラメントが不要であ
り、発熱体と電子放射体が一体のものであるから被覆層
の形成も不要で、その剥離のトラブルが生じることはな
く、堅牢で断線の心配もないなどの効果がある。
さらに、電子放射体の表層を多孔質としたり、第3図に
示すように波型とすることにより、その電子放射面積が
拡大されるので、電子放射効率が大幅に向上する効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す拡大部分縦断面図、第2
図は同図A部の拡大図、第3図+a+、 (blは電子
放射体の横断面図であって、異なる実施態様を示す、第
4図は従来例の拡大部分縦断面図である。 1・・・筒状半導体セラミックス、2,3・・・上およ
び下エンドシールド、4・・・センタリード、5・・・
サイドリード。 特許出願人    ティーデイ−ケイ株式会社代理人 
弁理士   薬  師     稔(C1) (b)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体セラミックスを電子放射体としたマグネト
    ロン用陰極構体。
  2. (2)前記半導体セラミックスは、ペロブスカイト構造
    ABO_3を有し、AサイトにBa,Sr,Ca又はY
    等の希土類元素が位置し、BサイトにはTi,Zr,N
    b,Ta又はVが位置し、添加物としてSiO_2,遷
    移金属,W,Sc等を添加してなる請求項1記載のマグ
    ネトロン用陰極構体。
  3. (3)前記半導体セラミックスは、筒状体形状である請
    求項1または2記載のマグネトロン用陰極構体。
  4. (4)前記電子放射体の少なくとも表層を多孔質または
    波型とした請求項1または2記載のマグネトロン用陰極
    構体。
JP13453089A 1989-05-30 1989-05-30 マグネトロン用陰極構体 Pending JPH031425A (ja)

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JP13453089A JPH031425A (ja) 1989-05-30 1989-05-30 マグネトロン用陰極構体

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JP13453089A JPH031425A (ja) 1989-05-30 1989-05-30 マグネトロン用陰極構体

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JPH031425A true JPH031425A (ja) 1991-01-08

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015216006A (ja) * 2014-05-09 2015-12-03 旭硝子株式会社 マグネトロンの陰極、マグネトロン、およびマイクロ波加熱装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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