JPH03141054A - 光学情報記録部材の製法 - Google Patents
光学情報記録部材の製法Info
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- JPH03141054A JPH03141054A JP27697390A JP27697390A JPH03141054A JP H03141054 A JPH03141054 A JP H03141054A JP 27697390 A JP27697390 A JP 27697390A JP 27697390 A JP27697390 A JP 27697390A JP H03141054 A JPH03141054 A JP H03141054A
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明gL レーザ光線等を用いて光学的に高密度の
情報を高速に記録 再生する光学情報記録部材の製法に
関するものであa 従来例の構成とその問題点 レーザ光線を用いて、回転しているディスク上に高密度
な情報を高速に記録 再生する技術(よ光デイスク装置
としてすでに幾つもの研究成果仇商品開発例の報告が有
り、情報システムを構成するうえで不可欠のものとなり
つつあも これら光ディスクに用いる記録材料として1九穴や泡等
の形状変化を生じさせることで光の反射事変イし 透過
率変化を得るものと、光学的性質(屈折率n、消衰係数
k)を変えて反射率変化 透過率変化を得るものがある
バ 後者のタイプのもの力丈 密着した保護層を設けら
れる戊 原理的に変化が可逆的で書き換え可能なものが
得られるという点で有利であり、光ディスクの主流にな
ると考えられも このタイプの光ディスクとして代表的なものく[TeO
x (0<x<2)]を用いたものがあaこれはPMM
A等の樹脂基村上へ 紫外線硬化樹脂を用いて光ガイド
用のトラック溝を形成し その上に[TeOx]薄膜を
蒸着等の方法で設置し更に基材と同様の樹脂基材をはり
合わせた構造をしていも この光ディスクは既に静止画
ファイ)L<文書ファイル等のシステム機器へ応用され
ている力丈 この[T e Ox ]を主材料として用
い今後例えば 大型化 書き換え可能化啄 更に発展さ
せた形態にするためには幾つかの問題が残されてぃもつ
まり現状のままの構造で41 <り返し使用すること
によって基材と記録層の界面付近で基材がダメージを受
けやすく記録信号の品質が低下してしまう胤 更に容量
を上げるためにディスク形状を大きくすべ あるいは転
送レートを上げるために回転速度を上げるというような
試みに対してCよ現状の半導体レーザの出力では記録感
度が不足する心配があるA 等の理由から何らかの対策
を必要とすム 発明の目的 本発明は光ディスクの構造を改良して、記録惑嵐 消去
感度等を向上するとともに繰り返し使用してもダメージ
を受けにくい光ディスクの製法を提供することを目的と
す翫 発明の構成 本発明:友 基材上にレーザ光の入射効率を高めて見か
け上の記録感度を高めるとともに基材に対する防護層と
して作用し 繰り返し使用による基材の損傷を防止する
ための無機材質層と光照射によって加熱昇温し その光
学定数を変化する性質を有する記録層の2つの層を有す
る光ディス久さらには記録層の上にもう1つ無機材質層
を有する3つの層を有する光デイスク積層する際に観測
される前記光学情報記録部材の反射率の変化を予め測定
しておき、各層を順次積層する際各層の膜厚変化に応じ
て観測される前記反射率が所定の値を示すことを検出し
て各層の成膜を終了するものであも 実施例の説明 以下図面を参照しつつ本発明の詳細な説明すも第1図1
友 本発明の光学情報記録部材の製法を適用すべき光学
情報記録部材の1実施例の基本的構成の断面図を示した
ものであム 図中11よ 基材であって、PMMA、塩
化ビニ−/l< ポリカーボネイト等のブラスチッ久
又はガラス等を使用目的に応じて用いることができ7
)。2は酸化ゲルマニウムGeOx (x=2又はX〜
2)の層であって蒸着、スパッタリング等の方法を用い
て形成す4N形成に際しては蒸着用ソース材料あるいは
スパッタリングのターゲット材料として二酸化ゲルマニ
ウムGeneを用いも 蒸着あるいはスパッタリングの
条件によってはやや0がはずれてGeOx (x〜2)
となる場合があるが本発明においてζよ はぼ同様の効
果を得ることが可能であも膜厚としてCヨ 例えば基
材1側から光を入射した時の反射光量が干渉効果として
極大値を示す時の膜厚に設定することができも 設定方
法としては 例えば特開昭59−17139に提案され
ている反射率測定方法を用いて行うことができも第2図
法 前述の方法を用いて酸化ゲルマニウム薄膜を堆積し
ていった時の膜厚と基材側からの反射率との関係を示し
たものであa 反射光強度は 基材表面からの反射光と
、基材と酸化ゲルマニウム層の界面からの反射光との間
の多重干渉の結果 図のように膜厚の増加に従って増大
し 極大値をとった抵 減少することがわかり九 酸化
ゲルマニウムのように透明で光がほとんど吸収されない
物質の場合に1よ 極大値をとる場合の膜厚dと屈折率
n、波長λの間に1よ nd=λ/4のような近似式が
成立り、fl!化ゲルマニウム薄膜の屈折率n=1.6
、光源の波長λ=840 nmとすると、反射光強度が
極大をとる膜厚d1エ 約130nmとなも 第1図において3は記録層を示も 上述のように設計し
た酸化ゲルマニウム層2の上に記録層3を堆積させる場
淑 記録膜3の屈折率が酸化ゲルマニウム2の屈折率よ
りも犬であれ(戴 記録層3を含めた全体の系として、
基材側lからの反射光強度を、酸化ゲルマニウム層2の
無い場合に比べてはるかに小さくすることが可能であり
光の入射効率を高めることができも 第3図圏 記録層材料としてTe−TeO2系薄膜を用
いた場合において、酸化ゲルマニウム層2がある場合(
a)、と無い場合(b)における反射光強度の相違をし
め机 酸化ゲルマニウム層2が無い(b)の場合におい
ては反射光強度は膜厚の増加とともに増大し 極大値4
をとった樵減少し その微 極小5、極大6と増減を繰
り返しながら一定の値に集束すa これに対して酸化ゲ
ルマニウム層2が有る場合においては反射光強度は小さ
い極小値7をとった跣 増大し極大8をとり、その後減
少し 極小9、極大10と増減を繰り返しながら一定の
値に収束すも このとき、酸化ゲルマニウム層2が有る
場合にζよ 各極大鑑極小籠 又収束値とも無い場合に
比べて全体に低くすることができることがわかった 従
って基材lと記録膜3との間に酸化ゲルマニウム層2を
設けることで光の入射効率を高めることが可能となり、
全体として記録感度の向上が計れるものであム 酸化ゲルマニウム層2の膜厚として:よ 前述の近似式
で反射光強度が最大となるように選ぶ場合において上述
の反射率低減の効果を最大限得ることができるものであ
る力(反射光強度が最大でない場合においても類似の効
果を得ることは可能であり、この場合においては記録層
3を含めた光の反射率:よ 第3図aとbの中間の値を
とるものであa 記録層3として(友 上記以外にもS b 2 T e
3゜5b2Se3QE やはり記録前後で光学的特
性を変化するもへ あるいはTe−C系薄jllL
Pb−Te−3e系薄膜等の穴を形成するような材料も
そのまま適用が可能であも 次へ 記録層3としてTe−Ge−3n−0系薄膜(特
開昭59−185048号公報記載)を用いて、繰り返
し記級 消去を行った場合の実施例について説明すも
この系の記録薄膜ζよ その使用方法として膜をあらか
じめ反射率の高い状態にしておき、光を照射して反射率
の低い状態に変化させることで記録しようというもので
あるか収記録時の光の入射効率を高めるという意味て
酸化ゲルマニウム層による反射率低減効果は非常に有用
であa 更に繰り返し使用する最には樹脂基材1が熱的
に変形し ノイズレベルが増大することが考えらる力(
酸化ゲルマニウムという無機材質層を介することでその
変形を押さえることができるものであム 特開昭59−
185048号公報記載のTe60Sn15Ge502
0薄膜を用いて、酸化ゲルマニウム層が有る場合と無い
場合との両方の光ディスクを試作し やはり特開昭59
−18°5048号公報記載の記録消去方法を用いてく
り返し記録消去実験を行った 第4図は酸化ゲルマニウム層を設けて試作した光ディス
クの断面医 第5図は光デイスク作成時の各行程におけ
るディスクの反射率を連続的に示したものであa 基材
11は1.2mm厚のPMMAを用へ その上に酸化ゲ
ルマニウム層12を反射率が極大となるように蒸着し
その上にTe60Sn15Ge5020薄膜層13を、
その反射率が極小となるようにこれも蒸着して形成すa
更く この場合は繰り返し使用時におけるゴミ、キズ等
の影響を避けるため記録膜の上にさらにもう一服 酸化
ゲルマニウム層14を反射率が極小となるように蒸着し
紫外線硬化樹脂を用いて、1、1mm厚のPMMA基
材15をはり合わせて光ディスクとすも 第6図;友 これらの光ディスクを用いて、記録パワー
、消去パワーをそれぞれ8 mw、 12 mW。
情報を高速に記録 再生する光学情報記録部材の製法に
関するものであa 従来例の構成とその問題点 レーザ光線を用いて、回転しているディスク上に高密度
な情報を高速に記録 再生する技術(よ光デイスク装置
としてすでに幾つもの研究成果仇商品開発例の報告が有
り、情報システムを構成するうえで不可欠のものとなり
つつあも これら光ディスクに用いる記録材料として1九穴や泡等
の形状変化を生じさせることで光の反射事変イし 透過
率変化を得るものと、光学的性質(屈折率n、消衰係数
k)を変えて反射率変化 透過率変化を得るものがある
バ 後者のタイプのもの力丈 密着した保護層を設けら
れる戊 原理的に変化が可逆的で書き換え可能なものが
得られるという点で有利であり、光ディスクの主流にな
ると考えられも このタイプの光ディスクとして代表的なものく[TeO
x (0<x<2)]を用いたものがあaこれはPMM
A等の樹脂基村上へ 紫外線硬化樹脂を用いて光ガイド
用のトラック溝を形成し その上に[TeOx]薄膜を
蒸着等の方法で設置し更に基材と同様の樹脂基材をはり
合わせた構造をしていも この光ディスクは既に静止画
ファイ)L<文書ファイル等のシステム機器へ応用され
ている力丈 この[T e Ox ]を主材料として用
い今後例えば 大型化 書き換え可能化啄 更に発展さ
せた形態にするためには幾つかの問題が残されてぃもつ
まり現状のままの構造で41 <り返し使用すること
によって基材と記録層の界面付近で基材がダメージを受
けやすく記録信号の品質が低下してしまう胤 更に容量
を上げるためにディスク形状を大きくすべ あるいは転
送レートを上げるために回転速度を上げるというような
試みに対してCよ現状の半導体レーザの出力では記録感
度が不足する心配があるA 等の理由から何らかの対策
を必要とすム 発明の目的 本発明は光ディスクの構造を改良して、記録惑嵐 消去
感度等を向上するとともに繰り返し使用してもダメージ
を受けにくい光ディスクの製法を提供することを目的と
す翫 発明の構成 本発明:友 基材上にレーザ光の入射効率を高めて見か
け上の記録感度を高めるとともに基材に対する防護層と
して作用し 繰り返し使用による基材の損傷を防止する
ための無機材質層と光照射によって加熱昇温し その光
学定数を変化する性質を有する記録層の2つの層を有す
る光ディス久さらには記録層の上にもう1つ無機材質層
を有する3つの層を有する光デイスク積層する際に観測
される前記光学情報記録部材の反射率の変化を予め測定
しておき、各層を順次積層する際各層の膜厚変化に応じ
て観測される前記反射率が所定の値を示すことを検出し
て各層の成膜を終了するものであも 実施例の説明 以下図面を参照しつつ本発明の詳細な説明すも第1図1
友 本発明の光学情報記録部材の製法を適用すべき光学
情報記録部材の1実施例の基本的構成の断面図を示した
ものであム 図中11よ 基材であって、PMMA、塩
化ビニ−/l< ポリカーボネイト等のブラスチッ久
又はガラス等を使用目的に応じて用いることができ7
)。2は酸化ゲルマニウムGeOx (x=2又はX〜
2)の層であって蒸着、スパッタリング等の方法を用い
て形成す4N形成に際しては蒸着用ソース材料あるいは
スパッタリングのターゲット材料として二酸化ゲルマニ
ウムGeneを用いも 蒸着あるいはスパッタリングの
条件によってはやや0がはずれてGeOx (x〜2)
となる場合があるが本発明においてζよ はぼ同様の効
果を得ることが可能であも膜厚としてCヨ 例えば基
材1側から光を入射した時の反射光量が干渉効果として
極大値を示す時の膜厚に設定することができも 設定方
法としては 例えば特開昭59−17139に提案され
ている反射率測定方法を用いて行うことができも第2図
法 前述の方法を用いて酸化ゲルマニウム薄膜を堆積し
ていった時の膜厚と基材側からの反射率との関係を示し
たものであa 反射光強度は 基材表面からの反射光と
、基材と酸化ゲルマニウム層の界面からの反射光との間
の多重干渉の結果 図のように膜厚の増加に従って増大
し 極大値をとった抵 減少することがわかり九 酸化
ゲルマニウムのように透明で光がほとんど吸収されない
物質の場合に1よ 極大値をとる場合の膜厚dと屈折率
n、波長λの間に1よ nd=λ/4のような近似式が
成立り、fl!化ゲルマニウム薄膜の屈折率n=1.6
、光源の波長λ=840 nmとすると、反射光強度が
極大をとる膜厚d1エ 約130nmとなも 第1図において3は記録層を示も 上述のように設計し
た酸化ゲルマニウム層2の上に記録層3を堆積させる場
淑 記録膜3の屈折率が酸化ゲルマニウム2の屈折率よ
りも犬であれ(戴 記録層3を含めた全体の系として、
基材側lからの反射光強度を、酸化ゲルマニウム層2の
無い場合に比べてはるかに小さくすることが可能であり
光の入射効率を高めることができも 第3図圏 記録層材料としてTe−TeO2系薄膜を用
いた場合において、酸化ゲルマニウム層2がある場合(
a)、と無い場合(b)における反射光強度の相違をし
め机 酸化ゲルマニウム層2が無い(b)の場合におい
ては反射光強度は膜厚の増加とともに増大し 極大値4
をとった樵減少し その微 極小5、極大6と増減を繰
り返しながら一定の値に集束すa これに対して酸化ゲ
ルマニウム層2が有る場合においては反射光強度は小さ
い極小値7をとった跣 増大し極大8をとり、その後減
少し 極小9、極大10と増減を繰り返しながら一定の
値に収束すも このとき、酸化ゲルマニウム層2が有る
場合にζよ 各極大鑑極小籠 又収束値とも無い場合に
比べて全体に低くすることができることがわかった 従
って基材lと記録膜3との間に酸化ゲルマニウム層2を
設けることで光の入射効率を高めることが可能となり、
全体として記録感度の向上が計れるものであム 酸化ゲルマニウム層2の膜厚として:よ 前述の近似式
で反射光強度が最大となるように選ぶ場合において上述
の反射率低減の効果を最大限得ることができるものであ
る力(反射光強度が最大でない場合においても類似の効
果を得ることは可能であり、この場合においては記録層
3を含めた光の反射率:よ 第3図aとbの中間の値を
とるものであa 記録層3として(友 上記以外にもS b 2 T e
3゜5b2Se3QE やはり記録前後で光学的特
性を変化するもへ あるいはTe−C系薄jllL
Pb−Te−3e系薄膜等の穴を形成するような材料も
そのまま適用が可能であも 次へ 記録層3としてTe−Ge−3n−0系薄膜(特
開昭59−185048号公報記載)を用いて、繰り返
し記級 消去を行った場合の実施例について説明すも
この系の記録薄膜ζよ その使用方法として膜をあらか
じめ反射率の高い状態にしておき、光を照射して反射率
の低い状態に変化させることで記録しようというもので
あるか収記録時の光の入射効率を高めるという意味て
酸化ゲルマニウム層による反射率低減効果は非常に有用
であa 更に繰り返し使用する最には樹脂基材1が熱的
に変形し ノイズレベルが増大することが考えらる力(
酸化ゲルマニウムという無機材質層を介することでその
変形を押さえることができるものであム 特開昭59−
185048号公報記載のTe60Sn15Ge502
0薄膜を用いて、酸化ゲルマニウム層が有る場合と無い
場合との両方の光ディスクを試作し やはり特開昭59
−18°5048号公報記載の記録消去方法を用いてく
り返し記録消去実験を行った 第4図は酸化ゲルマニウム層を設けて試作した光ディス
クの断面医 第5図は光デイスク作成時の各行程におけ
るディスクの反射率を連続的に示したものであa 基材
11は1.2mm厚のPMMAを用へ その上に酸化ゲ
ルマニウム層12を反射率が極大となるように蒸着し
その上にTe60Sn15Ge5020薄膜層13を、
その反射率が極小となるようにこれも蒸着して形成すa
更く この場合は繰り返し使用時におけるゴミ、キズ等
の影響を避けるため記録膜の上にさらにもう一服 酸化
ゲルマニウム層14を反射率が極小となるように蒸着し
紫外線硬化樹脂を用いて、1、1mm厚のPMMA基
材15をはり合わせて光ディスクとすも 第6図;友 これらの光ディスクを用いて、記録パワー
、消去パワーをそれぞれ8 mw、 12 mW。
消去レーザービーム長を半値幅で15μmとして同一ト
ラック上にくり返し記録消去を行った場合のC/Nの変
化の様子を示したものであも 記録周波数は5MHz、
ディスクの周速は15m/sであも このとき、酸
化ゲルマニウム層を備えた光ディスクaにおいて(よ
光の吸収効率が良いために初期C/Nが高く、同時にく
り返し使用時においてもC/Nの劣化がごく微かでしか
なかったそれに比して、酸化ゲルマニウム層の無い光デ
ィスクbにおいて(よ 初期C/Nがやや低く、くり返
し使用するとノイズレベルの上昇に伴(\ C/Nが低
下する現象が観察された 発明の効果 本発明によれは 複数の層を有する光学情報記録部材の
各層の膜厚を全体の反射率を観測するだけで簡単に決定
することが可能であり、全体の系として記録感度が高く
、しかも基材を保護する効果を伴って、くり返し使用時
の耐久性に優れた光学情報記録部材の製法を提供するこ
とができも
ラック上にくり返し記録消去を行った場合のC/Nの変
化の様子を示したものであも 記録周波数は5MHz、
ディスクの周速は15m/sであも このとき、酸
化ゲルマニウム層を備えた光ディスクaにおいて(よ
光の吸収効率が良いために初期C/Nが高く、同時にく
り返し使用時においてもC/Nの劣化がごく微かでしか
なかったそれに比して、酸化ゲルマニウム層の無い光デ
ィスクbにおいて(よ 初期C/Nがやや低く、くり返
し使用するとノイズレベルの上昇に伴(\ C/Nが低
下する現象が観察された 発明の効果 本発明によれは 複数の層を有する光学情報記録部材の
各層の膜厚を全体の反射率を観測するだけで簡単に決定
することが可能であり、全体の系として記録感度が高く
、しかも基材を保護する効果を伴って、くり返し使用時
の耐久性に優れた光学情報記録部材の製法を提供するこ
とができも
第1図1友 本発明の光学情報記録部材の基本構成の断
面医 第2図は酸化ゲルマニウム層の膜厚と反射率の関
係を示すグラフ、第3図(友 酸化ゲルマニウム層が有
る場合と無い場合の記録材料の反射率の差異を示すグラ
ス 第4図は書換え可能な材料を用いて、はり合わせた
構造の本発明の一実施例における光学情報記録部材の断
面医 第5図は ディスク作成時の各行程におけるディ
スクの反射率の連続的な変化を示すグラフ、第6図:よ
酸化ゲルマニウム層の有無によるくり返し使用時のC/
N変化の相違を示すグラフであ翫1・・・基材、2・・
・酸化ゲルマニウム凰3・・・記録部
面医 第2図は酸化ゲルマニウム層の膜厚と反射率の関
係を示すグラフ、第3図(友 酸化ゲルマニウム層が有
る場合と無い場合の記録材料の反射率の差異を示すグラ
ス 第4図は書換え可能な材料を用いて、はり合わせた
構造の本発明の一実施例における光学情報記録部材の断
面医 第5図は ディスク作成時の各行程におけるディ
スクの反射率の連続的な変化を示すグラフ、第6図:よ
酸化ゲルマニウム層の有無によるくり返し使用時のC/
N変化の相違を示すグラフであ翫1・・・基材、2・・
・酸化ゲルマニウム凰3・・・記録部
Claims (1)
- (1)基材上に少なくとも無機材質層と光照射によって
その光学定数が変化する性質を有する記録層の2層、ま
たは前記記録層の上にさらに無機材質層を追加した3層
を順次積層して成る光学情報記録部材の製法であって、 前記光学情報記録部材の各層を順次積層する過程にある
前記光学情報記録部材からの反射率の変化を検出する行
程と、各層の膜厚変化に応じて生じる前記反射率変化の
様子を予め調べておく行程とを含み、前記反射率が所定
の値を示すことを検出して各層の成膜を終了することを
特徴とする光学情報記録部材の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27697390A JPH03141054A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | 光学情報記録部材の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27697390A JPH03141054A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | 光学情報記録部材の製法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59113301A Division JPS60257291A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 光学情報記録部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03141054A true JPH03141054A (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=17576995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27697390A Pending JPH03141054A (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | 光学情報記録部材の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03141054A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2700879A1 (fr) * | 1993-01-27 | 1994-07-29 | Jenoptik Jena Gmbh | Dispositif optique d'enregistrement, mémorisation et extraction d'informations à microstructure. |
US5698386A (en) * | 1996-02-29 | 1997-12-16 | Eastman Kodak Company | Photographic dye-forming coupler, emulsion layer, element, and process |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60257291A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録部材 |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP27697390A patent/JPH03141054A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60257291A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録部材 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2700879A1 (fr) * | 1993-01-27 | 1994-07-29 | Jenoptik Jena Gmbh | Dispositif optique d'enregistrement, mémorisation et extraction d'informations à microstructure. |
US5698386A (en) * | 1996-02-29 | 1997-12-16 | Eastman Kodak Company | Photographic dye-forming coupler, emulsion layer, element, and process |
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