JPH03135743A - 分布型光ファイバセンサ - Google Patents
分布型光ファイバセンサInfo
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- JPH03135743A JPH03135743A JP1271850A JP27185089A JPH03135743A JP H03135743 A JPH03135743 A JP H03135743A JP 1271850 A JP1271850 A JP 1271850A JP 27185089 A JP27185089 A JP 27185089A JP H03135743 A JPH03135743 A JP H03135743A
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- optical fiber
- fibers
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 91
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 31
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、光フアイバ内を導波する光パルスによる後
方散乱光を検出してファイバ周囲の物理量分布を求める
分布型光フアイバセンサに関する。
方散乱光を検出してファイバ周囲の物理量分布を求める
分布型光フアイバセンサに関する。
(従来の技術)
プラントなどにおける反応炉、配管などの長尺構造物や
トンネル、海底などの広域物理量分布、主には温度分布
を測定する場合、従来は点センサを被測定対象の各位置
に配置して測定するようにしている。
トンネル、海底などの広域物理量分布、主には温度分布
を測定する場合、従来は点センサを被測定対象の各位置
に配置して測定するようにしている。
しかしながら、このような点センサの集合では、データ
伝送の面、信号処理時間の問題、および経済性などの理
由から数十から数百のセンサによる荒い分布計測しか実
現できない問題点があった。
伝送の面、信号処理時間の問題、および経済性などの理
由から数十から数百のセンサによる荒い分布計測しか実
現できない問題点があった。
そこで、広域計測のためには、本質的に分布計側が可能
な装置として、例えば画像計測も利用されるようになっ
ているが、分布型光フアイバセンサも本質的に一次元の
分布計測ができる分布型センサである。
な装置として、例えば画像計測も利用されるようになっ
ているが、分布型光フアイバセンサも本質的に一次元の
分布計測ができる分布型センサである。
この分布型光フアイバセンサの原理は、第3図に示すよ
うにレーザー光源1から単発パルス2を測定用光ファイ
バ3に入射し、測定用光フアイバ3内の各部からの後方
散乱光4a、4b、・・・を検出して、この後方散乱光
の長さ方向の分布を時系列信号5に変換して求める。そ
うすれば、この後方散乱光の強度が被測定物理量に依存
しているため、散乱光分布により被測定物理量の一次元
分布が測定できる。
うにレーザー光源1から単発パルス2を測定用光ファイ
バ3に入射し、測定用光フアイバ3内の各部からの後方
散乱光4a、4b、・・・を検出して、この後方散乱光
の長さ方向の分布を時系列信号5に変換して求める。そ
うすれば、この後方散乱光の強度が被測定物理量に依存
しているため、散乱光分布により被測定物理量の一次元
分布が測定できる。
ところが、後方散乱光は検出器に至るまでに11Pl定
用フアイバ3内を減衰しながら伝播するために、受信さ
れる信号強度は散乱を受けた位置と測定用光ファイバ3
の減衰率との積の形になり、第3図の時系列信号5のよ
うになる。このため、測定用光ファイバ3の損失の影響
を補償するために、従来は、あらかじめ光ファイバの減
衰特性6を測定しておき、測定結果5から減衰特性6を
引き去ることにより被測定物理量分布7を求めていた。
用フアイバ3内を減衰しながら伝播するために、受信さ
れる信号強度は散乱を受けた位置と測定用光ファイバ3
の減衰率との積の形になり、第3図の時系列信号5のよ
うになる。このため、測定用光ファイバ3の損失の影響
を補償するために、従来は、あらかじめ光ファイバの減
衰特性6を測定しておき、測定結果5から減衰特性6を
引き去ることにより被測定物理量分布7を求めていた。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来の分布型光フアイバセン
サでは、光ファイバの伝送損失が光フアイバケーブルの
敷設状況の影響を受けるために減衰特性が一定ではなく
、付設現場ごとに減衰特性を求めなければ正しい測定が
実現できない問題点があり、また被測定物理量の影響を
受けない状況で減衰特性を測定する必要があるが、この
ような条件は実現することが困難であり、結果として減
衰特性の補償精度を向上させることができない問題点が
あった。
サでは、光ファイバの伝送損失が光フアイバケーブルの
敷設状況の影響を受けるために減衰特性が一定ではなく
、付設現場ごとに減衰特性を求めなければ正しい測定が
実現できない問題点があり、また被測定物理量の影響を
受けない状況で減衰特性を測定する必要があるが、この
ような条件は実現することが困難であり、結果として減
衰特性の補償精度を向上させることができない問題点が
あった。
この発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされた
もので、光ファイバの伝送損失の影響と後方散乱光強度
を分離測定することのできる補償手段を備え、後方散乱
光分布を正確に測定することのできる分布型光フアイバ
センサを提供することを目的とする。
もので、光ファイバの伝送損失の影響と後方散乱光強度
を分離測定することのできる補償手段を備え、後方散乱
光分布を正確に測定することのできる分布型光フアイバ
センサを提供することを目的とする。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
この発明の分布型光フアイバセンサは、光パルスを発生
する光源と、異なった長さの複数の光ファイバと、前記
光源からの光パルスを前記異なった長さの各々の光ファ
イバに結合させるための光スィッチと、物理量を測定す
るために、前記異なった長さの複数の光ファイバに接続
された測定用光ファイバと、この測定用光ファイバの後
方散乱光を検出器に導くための方向性結合器と、後方散
乱光を電気信号に変換して増幅する検出器と、この検出
器の出力に対して前記複数の光ファイバを通ることによ
り光パルスに生じるあらかじめ決定されている光ファイ
バの伝送損失を基にした補正演算を行い、前記測定用光
ファイバの長さ方向各部の被測定物理量分布を求める信
号処理装置とを備えたものである。
する光源と、異なった長さの複数の光ファイバと、前記
光源からの光パルスを前記異なった長さの各々の光ファ
イバに結合させるための光スィッチと、物理量を測定す
るために、前記異なった長さの複数の光ファイバに接続
された測定用光ファイバと、この測定用光ファイバの後
方散乱光を検出器に導くための方向性結合器と、後方散
乱光を電気信号に変換して増幅する検出器と、この検出
器の出力に対して前記複数の光ファイバを通ることによ
り光パルスに生じるあらかじめ決定されている光ファイ
バの伝送損失を基にした補正演算を行い、前記測定用光
ファイバの長さ方向各部の被測定物理量分布を求める信
号処理装置とを備えたものである。
(作用)
この発明の分布型光フアイバセンサでは、光ケーブルに
対して長さの異なる複数の光ファイバを介して光パルス
を入射させ、それぞれの経路における光パルスに対する
後方散乱光分布を得る。
対して長さの異なる複数の光ファイバを介して光パルス
を入射させ、それぞれの経路における光パルスに対する
後方散乱光分布を得る。
一方、あらかじめ2つの経路それぞれにおける後方散乱
光分布を表わす一般式に対して光ファイバの減衰項をキ
ャンセルする処理を施し、散乱係数を表わす式にまとめ
ておく。
光分布を表わす一般式に対して光ファイバの減衰項をキ
ャンセルする処理を施し、散乱係数を表わす式にまとめ
ておく。
そして、前記2つの経路それぞれで得られる後方散乱光
分布の測定結果を前記散乱係数を表わす式に代入するこ
とにより散乱係数を得、これから光ケーブルの長さ方向
各部の最終的な被測定物理量分布を求めることができる
。
分布の測定結果を前記散乱係数を表わす式に代入するこ
とにより散乱係数を得、これから光ケーブルの長さ方向
各部の最終的な被測定物理量分布を求めることができる
。
(実施例)
以下、この発明の実施例を図に基づいて詳説する。
第1図はこの発明の一実施例の回路構成を示しており、
光パルスを出力するレーザー光源11と、この光源11
からの光パルスを切り替え出力する光スィッチ12と、
光スィッチ12により光パルスに切り替えられて結合さ
れる長さの異なった2本の光ファイバ13a、13bと
、これらの先ファイバ13a、13bそれぞれからの光
を光ケープル側に出力し、光ケーブル側からの後方散乱
光を別系統に分離する方向性結合器14a、14bと、
これらの方向性結合器14a、14bそれぞれからの光
パルスを光ケーブルに伝達する光ファイバ15a、15
bと、これらの光ファイバ15a、15bそれぞれによ
り伝達される光パルスが入射される測定用光フアイバケ
ーブル16とを備えている。
光パルスを出力するレーザー光源11と、この光源11
からの光パルスを切り替え出力する光スィッチ12と、
光スィッチ12により光パルスに切り替えられて結合さ
れる長さの異なった2本の光ファイバ13a、13bと
、これらの先ファイバ13a、13bそれぞれからの光
を光ケープル側に出力し、光ケーブル側からの後方散乱
光を別系統に分離する方向性結合器14a、14bと、
これらの方向性結合器14a、14bそれぞれからの光
パルスを光ケーブルに伝達する光ファイバ15a、15
bと、これらの光ファイバ15a、15bそれぞれによ
り伝達される光パルスが入射される測定用光フアイバケ
ーブル16とを備えている。
前記光ファイバ13a、13bは長さが異なるだけであ
り、その他の仕様はまったく同一のものである。また、
測定用光フアイバケーブル16は物理量分布を測定する
場所に設置されるものである。
り、その他の仕様はまったく同一のものである。また、
測定用光フアイバケーブル16は物理量分布を測定する
場所に設置されるものである。
この実施例の分布型光フアイバセンサは、さらに測定用
光フアイバケーブル16から得られる後方散乱光を光フ
ァイバ15a、15bと方向性結合器14a、14bを
介して取り出す光ファイバ17a、17bと、この光フ
ァイバ17a、17bにより取り出された後方散乱光を
通過させる方向性結合器18と、後方散乱光を電気信号
に変換する検出器19と、電気信号の増幅器20と、ア
ナログ信号をディジタル信号に変換するAD変換器21
と、ディジタル信号処理を行って測定用光フアイバケー
ブル16の長さ方向の被n1定物理量の分布状態を算出
する信号処理記憶装置22と、この信号処理記憶装置2
2による信号処理結果を出力するデイスプレィ23とを
備えている。
光フアイバケーブル16から得られる後方散乱光を光フ
ァイバ15a、15bと方向性結合器14a、14bを
介して取り出す光ファイバ17a、17bと、この光フ
ァイバ17a、17bにより取り出された後方散乱光を
通過させる方向性結合器18と、後方散乱光を電気信号
に変換する検出器19と、電気信号の増幅器20と、ア
ナログ信号をディジタル信号に変換するAD変換器21
と、ディジタル信号処理を行って測定用光フアイバケー
ブル16の長さ方向の被n1定物理量の分布状態を算出
する信号処理記憶装置22と、この信号処理記憶装置2
2による信号処理結果を出力するデイスプレィ23とを
備えている。
前記方向性結合器14a、14b、光ファイバ15a、
15b、および光ファイバ17a、17bは、ここを通
る光信号の損失が同一となるようにするために、全くの
同一長さおよび同一仕様のものが使用される。
15b、および光ファイバ17a、17bは、ここを通
る光信号の損失が同一となるようにするために、全くの
同一長さおよび同一仕様のものが使用される。
次に、上記の構成の分布型光フアイバセンサの動作につ
いて説明する。
いて説明する。
光源1から発せられた光パルスは、光スィッチ12とこ
の光スィッチ12により選択されたいずれかの光ファイ
バ13a、13bs方向性結合器l 4 a + 1
4 b s光ファイバ15a、15bを介して測定用光
フアイバケーブル16に導かれる。
の光スィッチ12により選択されたいずれかの光ファイ
バ13a、13bs方向性結合器l 4 a + 1
4 b s光ファイバ15a、15bを介して測定用光
フアイバケーブル16に導かれる。
n1定用光フアイバケーブル16の内部では、測定用光
フアイバケーブル16の設置されている現場においてそ
の軸方向各部にかかる外力の大小や温度の高低に応じて
強度の異なる後方散乱光が発生する。
フアイバケーブル16の設置されている現場においてそ
の軸方向各部にかかる外力の大小や温度の高低に応じて
強度の異なる後方散乱光が発生する。
この後方散乱光は、前記と同様に光スィッチ12によっ
て選択されているいずれかの光ファイバ15a、15b
s方向性結合器14a、14b。
て選択されているいずれかの光ファイバ15a、15b
s方向性結合器14a、14b。
光ファイバ17a、17bおよび方向性結合器18を介
して検出器19に入力され、ここで電気信号に変換され
る。
して検出器19に入力され、ここで電気信号に変換され
る。
そして、この電気信号が増幅器20で増幅され、AD変
換器21でディジタル化され、信号処理記憶装置22に
入力されて信号処理され、処理結果がデイスプレィ23
により表示される。
換器21でディジタル化され、信号処理記憶装置22に
入力されて信号処理され、処理結果がデイスプレィ23
により表示される。
ここで、2つの異なった長さの経路を通して光パルスを
測定用光フアイバケーブル16に導くために光スィッチ
12が光パルスを光ファイバ13a、13bのいずれに
結合させるかを選択して切り替えるが、この光スィッチ
12の切り替えは信号処理記憶装置22により制御され
る。
測定用光フアイバケーブル16に導くために光スィッチ
12が光パルスを光ファイバ13a、13bのいずれに
結合させるかを選択して切り替えるが、この光スィッチ
12の切り替えは信号処理記憶装置22により制御され
る。
そして、光スィッチ12を切り替えることにより測定用
光フアイバケーブル16における位W xにおける後方
散乱光の強度が異なった伝送損失で測定できる。そこで
、光ファイバ13a、13bの単位長さ当りの伝送損失
が等しいとすれば(光ファイバ13a、13bはまった
く同一仕様のもので、長さだけが異なるものが使用され
ているので、このように仮定することができる)、あら
かじめ長さが判明している光ファイバ13bによる過剰
損失は一定であり、光ファイバ13a、135両者の信
号の演算から散乱係数を求めることができる。
光フアイバケーブル16における位W xにおける後方
散乱光の強度が異なった伝送損失で測定できる。そこで
、光ファイバ13a、13bの単位長さ当りの伝送損失
が等しいとすれば(光ファイバ13a、13bはまった
く同一仕様のもので、長さだけが異なるものが使用され
ているので、このように仮定することができる)、あら
かじめ長さが判明している光ファイバ13bによる過剰
損失は一定であり、光ファイバ13a、135両者の信
号の演算から散乱係数を求めることができる。
つまり、光パルス反射法の場合の検出器1つの出力p
(t)は、次のようになることが知られている。
(t)は、次のようになることが知られている。
p (t) −
に−5・ α 、 (X) ・ Po ・ W× e
xp(−α ’z t) ・・・ (1)ここで、 t :時間 S :散乱光のうちの後方散乱光として測定用光ファイ
バは−プル16内を伝送す る割合 Po :光パルスピークパワー W :光パルス幅 α :測定用光フアイバケーブル16の伝送損失 V、ニア1FI定用光フアイバケーブル16内の光の群
速度 K :比例定数 であり、α、(X)は位置Xにおける散乱光となる割合
を示し、その値が被測定物理量に依存している。
xp(−α ’z t) ・・・ (1)ここで、 t :時間 S :散乱光のうちの後方散乱光として測定用光ファイ
バは−プル16内を伝送す る割合 Po :光パルスピークパワー W :光パルス幅 α :測定用光フアイバケーブル16の伝送損失 V、ニア1FI定用光フアイバケーブル16内の光の群
速度 K :比例定数 であり、α、(X)は位置Xにおける散乱光となる割合
を示し、その値が被測定物理量に依存している。
そこで、今、後方散乱光の割合Sは測定用光フアイバケ
ーブル16内で一定であり、光パルスピークパワーP。
ーブル16内で一定であり、光パルスピークパワーP。
、光パルス幅Wは十分に再現性が良く、一定であると考
えることができるので、K・s−p、ΦWは 改めて、 K−に拳s−p、 ・W と置くことができ、上記の(1)式は、p (t)
− K ・ α5(x) exp(−av、t)・
=(2)となる。
えることができるので、K・s−p、ΦWは 改めて、 K−に拳s−p、 ・W と置くことができ、上記の(1)式は、p (t)
− K ・ α5(x) exp(−av、t)・
=(2)となる。
次に、この式(2)に対して、光スィッチ12を長さの
短い方の光ファイバ13aに接続した場合の検出信号は
、 であり、次に光スィッチ2を長さが長い方の光ファイバ
13bに接続した場合の検出信号は、その長さをLとす
ると、 V。
短い方の光ファイバ13aに接続した場合の検出信号は
、 であり、次に光スィッチ2を長さが長い方の光ファイバ
13bに接続した場合の検出信号は、その長さをLとす
ると、 V。
の関係があるので、
Pz(t)−
なおここで、
・・・ (4)
が得られる。
ここで、(3)、(4)式それぞれの対数をとれば、
lnP、(t)−
InK + Ina m (x ) −a v
、 tとなる。
、 tとなる。
さらに、上記の両式からv、tの項を消去して1nα、
(X)について整理すれば、 1nα 、 (X) 1゜ 1 の関係がある。また、tlは長さしが決定されれば定ま
る。
(X)について整理すれば、 1nα 、 (X) 1゜ 1 の関係がある。また、tlは長さしが決定されれば定ま
る。
以上の考察から、散乱係数α、(X)の値が光ファイバ
の損失αの値に影響されずに算出できることが示された
。すなわち、伝送損失αそのものの値は周囲の種々の条
件により変化するが、それにもかかわらず散乱係数α、
(X)の測定が可能となり、散乱係数αに影響を与える
被測定物理量の分布測定が安定に行なえるのである。
の損失αの値に影響されずに算出できることが示された
。すなわち、伝送損失αそのものの値は周囲の種々の条
件により変化するが、それにもかかわらず散乱係数α、
(X)の測定が可能となり、散乱係数αに影響を与える
被測定物理量の分布測定が安定に行なえるのである。
なお、この発明の上記の実施例に限定されず、例えば第
2図に示すように方向性結合器14a。
2図に示すように方向性結合器14a。
14bと測定用光フアイバケーブル16との間に方向性
結合器24を備えれば、共通の1本の光ファイバ25に
より測定用光フアイバケーブル16内の後方散乱光の測
定ができ、2本の光ファイバとなる。
結合器24を備えれば、共通の1本の光ファイバ25に
より測定用光フアイバケーブル16内の後方散乱光の測
定ができ、2本の光ファイバとなる。
15a、15bに代えて1本の光ファイバ25により光
源11側と現場に設置される測定用光フアイバケーブル
16との間の長い距離を接続することができ、経済性を
向上させることができると共に、この部分での散乱係数
α、のばらつきの問題もなくすことができる。
源11側と現場に設置される測定用光フアイバケーブル
16との間の長い距離を接続することができ、経済性を
向上させることができると共に、この部分での散乱係数
α、のばらつきの問題もなくすことができる。
[発明の効果]
以上のようにこの発明によれば、あらかじめ長さの異な
る2つの光ファイバに対す−る後方散乱光分布の式に対
して光ファイバの損失をキャンセルする操作により1つ
の式に結び付け、散乱係数についてまとめる処理をする
ことにより得られる散乱係数表示式を得ておき、実際の
測定に当っては長さの異なる2つの光ファイバそれぞれ
を通して測定用光フアイバケーブルに入射させた光パル
スに対して得られる後方散乱光分布を前記散乱係数表示
式の該当する項に代入し、散乱係数を得るようにしてい
るため、従来のようにあらかじめ決定されている固定的
な減衰特性に基づいて補正し、正規の後方散乱光分布を
求めるのに比べて、光ファイバの長さの違いによる伝送
損失の変動の影響を受けることがなく、常に正確に物理
量測定ができる。
る2つの光ファイバに対す−る後方散乱光分布の式に対
して光ファイバの損失をキャンセルする操作により1つ
の式に結び付け、散乱係数についてまとめる処理をする
ことにより得られる散乱係数表示式を得ておき、実際の
測定に当っては長さの異なる2つの光ファイバそれぞれ
を通して測定用光フアイバケーブルに入射させた光パル
スに対して得られる後方散乱光分布を前記散乱係数表示
式の該当する項に代入し、散乱係数を得るようにしてい
るため、従来のようにあらかじめ決定されている固定的
な減衰特性に基づいて補正し、正規の後方散乱光分布を
求めるのに比べて、光ファイバの長さの違いによる伝送
損失の変動の影響を受けることがなく、常に正確に物理
量測定ができる。
第1図はこの発明の一実施例の回路ブロック図、第2図
はこの発明の他の実施例のブロック図、第3図は一般的
な分布型光フアイバセンサの概略構成を示す説明図であ
る。 11・・・光パルス光源 12・・・光スイッチ13
a、13b・・・光ファイバ 14a、14b・・・方向性結合器 15a、15b・・・光ファイバ 16・・・測定用光フアイバケーブル 17a、17b・・・光ファイバ 18・・・方向性結合器 19・・・検出器20・・
・増幅器 21・・・AD変換器22・・・信
号処理記憶装置
はこの発明の他の実施例のブロック図、第3図は一般的
な分布型光フアイバセンサの概略構成を示す説明図であ
る。 11・・・光パルス光源 12・・・光スイッチ13
a、13b・・・光ファイバ 14a、14b・・・方向性結合器 15a、15b・・・光ファイバ 16・・・測定用光フアイバケーブル 17a、17b・・・光ファイバ 18・・・方向性結合器 19・・・検出器20・・
・増幅器 21・・・AD変換器22・・・信
号処理記憶装置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光パルスを発生する光源と、 異なった長さの複数の光ファイバと、 前記光源からの光パルスを前記異なった長さの各々の光
ファイバに結合させるための光スイッチと、 物理量を測定するために、前記異なった長さの複数の光
ファイバに接続された測定用光ファイバと、 この測定用光ファイバの後方散乱光を検出器に導くため
の方向性結合器と、 後方散乱光を電気信号に変換して増幅する検出器と、 この検出器の出力に対して前記複数の光ファイバを通る
ことにより光パルスに生じるあらかじめ決定されている
光ファイバの伝送損失を基にした補正演算を行い、前記
測定用光ファイバの長さ方向各部の被測定物理量分布を
求める信号処理装置とを備えて成る分布型光ファイバセ
ンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271850A JPH0823513B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 分布型光ファイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271850A JPH0823513B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 分布型光ファイバセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03135743A true JPH03135743A (ja) | 1991-06-10 |
JPH0823513B2 JPH0823513B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=17505751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1271850A Expired - Lifetime JPH0823513B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 分布型光ファイバセンサ |
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JP (1) | JPH0823513B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010219333A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体レーザの試験方法およびレーザ試験装置 |
WO2013024525A1 (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-21 | 富士通株式会社 | 温度分布測定装置及び温度分布測定方法 |
WO2019003667A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 沖電気工業株式会社 | 光ファイバセンサ装置及び光ファイバセンサシステム |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP1271850A patent/JPH0823513B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219333A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体レーザの試験方法およびレーザ試験装置 |
WO2013024525A1 (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-21 | 富士通株式会社 | 温度分布測定装置及び温度分布測定方法 |
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JPWO2013024525A1 (ja) * | 2011-08-15 | 2015-03-05 | 富士通株式会社 | 温度分布測定装置及び温度分布測定方法 |
US9797782B2 (en) | 2011-08-15 | 2017-10-24 | Fujitsu Limited | Temperature distribution measurement apparatus and temperature distribution measurement method |
WO2019003667A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 沖電気工業株式会社 | 光ファイバセンサ装置及び光ファイバセンサシステム |
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Publication number | Publication date |
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JPH0823513B2 (ja) | 1996-03-06 |
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