JPH03133080A - ハーメチックシール線材の製造方法 - Google Patents
ハーメチックシール線材の製造方法Info
- Publication number
- JPH03133080A JPH03133080A JP26998289A JP26998289A JPH03133080A JP H03133080 A JPH03133080 A JP H03133080A JP 26998289 A JP26998289 A JP 26998289A JP 26998289 A JP26998289 A JP 26998289A JP H03133080 A JPH03133080 A JP H03133080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal conductive
- conductive tube
- tube
- wire
- conductive wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Ni] Chemical compound [Fe].[Co].[Ni] KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Processes Specially Adapted For Manufacturing Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は多芯の導電線をガラスにより封着したハーメチ
ック線材の製造方法に関するものである。
ック線材の製造方法に関するものである。
〈従来の技術〉
例えば半導体圧力センサに用いられるセンサチップから
の電気信号はシールドを施した状態で外部に取り出す必
要がある。
の電気信号はシールドを施した状態で外部に取り出す必
要がある。
第２図はセンサチップ（図示せず）からの電気信号を外
部に取り出す場合のシールド付きハーメチックシールの
取り付は状態を示す要部断面図である０図において１は
ボディであり、２はシールドのための導電性を有する金
属導電管、３は金属導電管の中に配置され一端がセンサ
チップに接続された導電線であり、これ等は封着ガラス
５により絶縁されている。
部に取り出す場合のシールド付きハーメチックシールの
取り付は状態を示す要部断面図である０図において１は
ボディであり、２はシールドのための導電性を有する金
属導電管、３は金属導電管の中に配置され一端がセンサ
チップに接続された導電線であり、これ等は封着ガラス
５により絶縁されている。
〈発明が解決しようする課題〉
ところで、上記構成のハーメチックシールはその取り付
は場所に十分な余裕があれば比較的用意に形成可能であ
るが装置の小形化の面からはなるべく小さく形成しなけ
ればならない、そのため。
は場所に十分な余裕があれば比較的用意に形成可能であ
るが装置の小形化の面からはなるべく小さく形成しなけ
ればならない、そのため。
それぞれの線間は狭いほど望ましい訳であるが各線が接
触しないようにするなめには位置決めが非常に難しい、
従って、従来は精密な位置決め治具により固定してシー
ルしていたが量産性に乏しくコストも高くなると言う問
題があった。
触しないようにするなめには位置決めが非常に難しい、
従って、従来は精密な位置決め治具により固定してシー
ルしていたが量産性に乏しくコストも高くなると言う問
題があった。
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて成されたもので
、シールドを有するハーメチックシール線材を量産出来
る製造方法を提供することを目的とする。
、シールドを有するハーメチックシール線材を量産出来
る製造方法を提供することを目的とする。
く課題を解決するための手段〉
上記課題を解決するための本発明の構成は、軸方向に複
数の貫通孔を有する封着ガラスの粉体成型体と、前記粉
体成型体の貫通孔の径よりも僅かに小さな径を有する導
電線と、前記ガラス粉体成型体の外形よりも僅かに大き
な内径を有する金属導電管からなり、前記粉体成型体の
複数個を軸方向に連結するように夫々の貫通孔に前記導
電線を貫通させ、前記金属導電管の中に前記粉体成型体
を収納し、前記金属導電管を所望の直径まで延伸して断
面積を減少させ、前記金属導電管を所望の長さに切断し
てその少なくとも一端を除去して前記導電線を露出させ
１前記金属導電管を加熱して前記導電線をガラスで封着
したことを特徴とするものである。
数の貫通孔を有する封着ガラスの粉体成型体と、前記粉
体成型体の貫通孔の径よりも僅かに小さな径を有する導
電線と、前記ガラス粉体成型体の外形よりも僅かに大き
な内径を有する金属導電管からなり、前記粉体成型体の
複数個を軸方向に連結するように夫々の貫通孔に前記導
電線を貫通させ、前記金属導電管の中に前記粉体成型体
を収納し、前記金属導電管を所望の直径まで延伸して断
面積を減少させ、前記金属導電管を所望の長さに切断し
てその少なくとも一端を除去して前記導電線を露出させ
１前記金属導電管を加熱して前記導電線をガラスで封着
したことを特徴とするものである。
く作用〉
複数のガラス粉体成型体の各貫通孔に予め導電線を通し
て連結し、それを金属導電管の中にいれて引き伸ばすの
で各導電線は一定の間隔を維持しながら所望の径に縮小
される。その後、適当な長さに切断して導電線を露出さ
せ金属導電管を加熱すればカラスで封着されたハーメチ
ック線材を得ることが出来る。
て連結し、それを金属導電管の中にいれて引き伸ばすの
で各導電線は一定の間隔を維持しながら所望の径に縮小
される。その後、適当な長さに切断して導電線を露出さ
せ金属導電管を加熱すればカラスで封着されたハーメチ
ック線材を得ることが出来る。
〈実施例〉
以下１本発明を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の一実施例を示す製造工
程の概略を示すものである。工程に従って説明する。
程の概略を示すものである。工程に従って説明する。
（ａ）図は本発明で用いる金属導電管２．ガラス粉体成
型体６の断面図および導電線３であり。
型体６の断面図および導電線３であり。
金属導電管２は長さ２単、外形１２ｍｍ、内径１０ｍｍ
程度の鉄−ニッケルーコバルト台金（コバール・・・ウ
ェスチングハウス社の商標）でガラス封着体と熱膨張係
数が同程度である。ガラス粉体成型体６は長さ１００ｍ
ｍ、外形９．５ｍｍ程度とされ軸方向に直径１．２ｍｍ
の４つの貫通孔が等分に形成されている（なお、この成
型体は押し出し成型後仮焼成したものである）、導電線
３は線径１ｍｍ程度のコバールである。
程度の鉄−ニッケルーコバルト台金（コバール・・・ウ
ェスチングハウス社の商標）でガラス封着体と熱膨張係
数が同程度である。ガラス粉体成型体６は長さ１００ｍ
ｍ、外形９．５ｍｍ程度とされ軸方向に直径１．２ｍｍ
の４つの貫通孔が等分に形成されている（なお、この成
型体は押し出し成型後仮焼成したものである）、導電線
３は線径１ｍｍ程度のコバールである。
（ｂ）図は上記各部材を組み立てたもので、ガラス粉体
成型体６の貫通孔に導電線３を通して複数個を連結し金
属導電管２に収納した断面図を示している。
成型体６の貫通孔に導電線３を通して複数個を連結し金
属導電管２に収納した断面図を示している。
（ｃ）図は金属導電管２を図示しないダイスやスウエー
ジングにより引き伸しと水素雰囲気中での焼鈍を交互に
複数回行なって外形が１．５ｍｍ程度まで線引き加工を
行なう断面図を示している。
ジングにより引き伸しと水素雰囲気中での焼鈍を交互に
複数回行なって外形が１．５ｍｍ程度まで線引き加工を
行なう断面図を示している。
（ｄ）図は行程（ｃ）で引き伸ばした金属導電管２を所
定の長さに切断し両端の金属導電管の一部を除去し、導
電線３を露出させた状態を示している。
定の長さに切断し両端の金属導電管の一部を除去し、導
電線３を露出させた状態を示している。
上記工程で作製した金属導電管を真空中で１０００〜１
２００℃に加熱してガラスを溶融させて封着する。
２００℃に加熱してガラスを溶融させて封着する。
この様なハーメチック線材は従来例で示した圧力センサ
のボディに金属導電管の外形より大きな貫通孔を明けて
その周りにガラス封着材を詰めて加熱することにより容
易に組み付は可能である。
のボディに金属導電管の外形より大きな貫通孔を明けて
その周りにガラス封着材を詰めて加熱することにより容
易に組み付は可能である。
なお、上記実施例においては金属導電管及び導電線の材
質をコバールとし、具体的寸法を示して説明したがこれ
らの材質や寸法に限らず必要に応以上、実施例とともに
具体的に説明したように本発明によれば、複数のガラス
粉体成型体の各貫通孔に予め導電線を通して連結し、そ
れを金属導電管の中にいれて引き伸ばすので各導電線は
一定の間隔を維持しながら所望の径に縮小し、その後。
質をコバールとし、具体的寸法を示して説明したがこれ
らの材質や寸法に限らず必要に応以上、実施例とともに
具体的に説明したように本発明によれば、複数のガラス
粉体成型体の各貫通孔に予め導電線を通して連結し、そ
れを金属導電管の中にいれて引き伸ばすので各導電線は
一定の間隔を維持しながら所望の径に縮小し、その後。
適当な長さに切断して導電線を露出させ金属導電管を加
熱したので精密な位置決め治具を必要とせず大量生産が
可能なハーメチックシール線材を得ることが出来る。
熱したので精密な位置決め治具を必要とせず大量生産が
可能なハーメチックシール線材を得ることが出来る。
第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明の一実施例を示す製造方
法の概略工程図、第２図は一般的なハーメチックシール
を説明するための断面図である。 ２・・・金属導電管、３・・・導電線、６・・・ガラス
成型体。
法の概略工程図、第２図は一般的なハーメチックシール
を説明するための断面図である。 ２・・・金属導電管、３・・・導電線、６・・・ガラス
成型体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 軸方向に複数の貫通孔を有する封着ガラスの粉体成型体
と、前記粉体成型体の貫通孔の径よりも僅かに小さな径
を有する導電線と、前記ガラス粉体成型体の外形よりも
僅かに大きな内径を有する金属導電管からなり、 １）前記粉体成型体の複数個を軸方向に連結するように
夫々の貫通孔に前記導電線を貫通させ、２）前記金属導
電管の中に前記粉体成型体を収納し、 ３）前記金属導電管を所望の直径まで延伸して断面積を
減少させ、 ４）前記金属導電管を所望の長さに切断してその少なく
とも一端を除去して前記導電線を露出させ、 ５）前記金属導電管を加熱して前記導電線をガラスで封
着した、 ことを特徴とするハーメチックシール線材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26998289A JPH03133080A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | ハーメチックシール線材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26998289A JPH03133080A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | ハーメチックシール線材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03133080A true JPH03133080A (ja) | 1991-06-06 |
Family
ID=17479925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26998289A Pending JPH03133080A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | ハーメチックシール線材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03133080A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5282310A (en) * | 1992-12-28 | 1994-02-01 | Xerox Corporation | Method for manufacturing a fibrillated pultruded electronic component |
| US6444102B1 (en) | 2000-02-07 | 2002-09-03 | Micro Contacts Inc. | Carbon fiber electrical contacts |
| US8029296B2 (en) | 2000-02-07 | 2011-10-04 | Micro Contacts, Inc. | Carbon fiber electrical contacts formed of composite carbon fiber material |
| US8398413B2 (en) | 2000-02-07 | 2013-03-19 | Micro Contacts, Inc. | Carbon fiber electrical contacts formed of composite material including plural carbon fiber elements bonded together in low-resistance synthetic resin |
-
1989
- 1989-10-17 JP JP26998289A patent/JPH03133080A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5282310A (en) * | 1992-12-28 | 1994-02-01 | Xerox Corporation | Method for manufacturing a fibrillated pultruded electronic component |
| US6444102B1 (en) | 2000-02-07 | 2002-09-03 | Micro Contacts Inc. | Carbon fiber electrical contacts |
| US8029296B2 (en) | 2000-02-07 | 2011-10-04 | Micro Contacts, Inc. | Carbon fiber electrical contacts formed of composite carbon fiber material |
| US8398413B2 (en) | 2000-02-07 | 2013-03-19 | Micro Contacts, Inc. | Carbon fiber electrical contacts formed of composite material including plural carbon fiber elements bonded together in low-resistance synthetic resin |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2508979A (en) | Electrical discharge device | |
| JPS618816A (ja) | 加圧導電スイツチの製造方法と加圧導電スイツチ | |
| IT1131955B (it) | Dispositivo semiconduttore,metodo di fabbricazione dello stesso,tubo per telecamera e dispositivo di visualizzazione incorporanti tale dispositivo semiconduttore | |
| US5359491A (en) | Capacitive sensor comprising a conductive front surface for forming a capacitor plate, and a coaxial cable shielded by a mineral insulator | |
| US3444441A (en) | Semiconductor devices including lead and plastic housing structure suitable for automated process construction | |
| JPH03133080A (ja) | ハーメチックシール線材の製造方法 | |
| US4512488A (en) | Sealing tubulation and method | |
| KR860006858A (ko) | 전자부재(電磁部材)의 제조방법 | |
| JPS63191555U (ja) | ||
| KR20070049755A (ko) | 튜브형 세라믹 발열체 및 그 제조방법 | |
| CA1125351A (en) | Tungsten halogen capsule for headlight | |
| US2334784A (en) | Method for manufacturing unitary stem and plug-in bases for electron tubes and the like | |
| JPH07320564A (ja) | 超電導ケーブル | |
| JPH0439606B2 (ja) | ||
| JPS63121285A (ja) | サ−ジ吸収素子の製法 | |
| JPS6210941Y2 (ja) | ||
| JPH0738026A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
| JPS62260363A (ja) | 半導体ラインセンサとその製造方法 | |
| KR810000674B1 (ko) | 초자 봉함 반도체장치의 제조방법 | |
| JPS5915080Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH01194210A (ja) | 超電導体 | |
| JP2000187079A (ja) | 中性子検出器およびその製造方法 | |
| JP2701452B2 (ja) | ガラス封入形サーミスタの製造方法 | |
| JPS5922768Y2 (ja) | 無機絶縁ケ−ブルの端末部 | |
| JPS6245137A (ja) | 電子部品およびその製造方法 |