JPH03127435A - 薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル - Google Patents

薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル

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Publication number
JPH03127435A
JPH03127435A JP1266944A JP26694489A JPH03127435A JP H03127435 A JPH03127435 A JP H03127435A JP 1266944 A JP1266944 A JP 1266944A JP 26694489 A JP26694489 A JP 26694489A JP H03127435 A JPH03127435 A JP H03127435A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
film transistor
thin film
anode
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP1266944A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Yokono
真路 横野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Priority to US07/596,545 priority patent/US5150005A/en
Publication of JPH03127435A publication Critical patent/JPH03127435A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/863Vessels or containers characterised by the material thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/15Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen with ray or beam selectively directed to luminescent anode segments

Landscapes

  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光表示パネルに関し、特に薄膜トランジスタ
制御型蛍光表示パネルに関する。
〔従来の技術〕
従来の蛍光表示パネルに加えて、薄膜トランジスタ(T
PT)をスイッチング素子として各画素に有するデユー
ティ比100%の薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネ
ルへの要求がある。この従来構造の薄膜トランジスタ制
御型蛍光表示パネルの断面図を第5図に示す。薄膜トラ
ンジスタ15及び陽極蛍光体層16を形成した無アルカ
リガラスからなる陽極基板14上にスペーサ及びリード
端子2と無アルカリガラスからなる箱形カバーカラス5
を設置、封入等の工程を経て完成する。これは通常の蛍
光表示パネルと同一の構造である。
陽極基板上のTFTアレイは主に半導体材料を用いて形
成されているため、半導体材料の特性を劣化させるアル
カリ分を含有・析出するソーダガラス板上ではなく、石
英ガラス・ホウケイ酸ガラス等の烈アルカリガラス板上
に形成されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、市販の烈アルカリガラスでは板厚が1m
m程度のものしか得られず、陽極基板を含む真空外囲器
に烈アルカリガラスを使用する従来(I′I′j造を採
ると、真空外囲器を構成する無アルカリガラスの板厚が
制限されているため、耐圧上外囲器の大きさの制限があ
り、そのため表示面積の制限が余儀なくされるという問
題点があった。
また従来構造の薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル
は、外囲器すべてがソーダガラスからなる通常の蛍光表
示パネルと比較し、製造コストが大幅に上がり、実用的
でないという問題点もあった。又、安価なソーダカラス
(線膨張率9,5×] 0−’/℃)Mの箱型のカバー
カラスと剋アルカリガラス(線膨張率0.5 X 10
−6/℃:石英ガラス)製の陽極載板とを用い真空外囲
器を組み立てると、封入・排気等の昇温・降温時に生ず
る線膨張率の差による歪みのため、ひび割れ等で歩留が
著しく低下するという問題点もあった。材質別の線膨張
率の一例を表1に示す。
表1  材質別の線膨張率 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネルにお
いて、真空外囲器を構成するガラス基板上に接着物質を
介して台座ガラスを設置し、更に前記台座ガラス上に接
着物質を介して薄膜トランジスタ及び陽極蛍光体層を形
成した陽極基板を設置した構造を有している。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図・第2図は本発明の第1の実施例を示している。
第1図はその外形図である。箱形カバーガラス1と裁板
ガラス3を用いて、真空外囲器を形成する構造を有して
いる。更に内部の構造をA−A’断面図である第2図を
用いて以下説明する。
また、外部からの供給電位はリード端子2を介して行な
われる。まず、ソーダガラスからなる基板ガラス3上に
、アルミナ及び無機ポリマーを主成分とするセラミック
系の接着物質11を介して台座ガラス12を設置する。
次に台座ガラス12j二にジルコニア・シリカ及び危機
ポリマーを主成分とするセラミック系の接着物質13を
介して薄膜トランジスタ15及び陽極蛍光体層16を形
成した熊アルカリガラスからなる陽極基板14を設置す
る。次に基板ガラス3上にスペーサ及びリード端子2と
箱形カバーガラスlを設置、あらかじめ塗布しておいた
フリットガラスで封入し、排気等の工程を経て完成し、
第1図に示す如くなる。
第3図、第4図は本発明の第2の実施例を示している。
第3図はその外形図である。この実施例ではソーダガラ
スからなる箱形カバーカラス1及び4を用いて、真空外
囲器を形戊する構造を有している。このB−B′断面図
が第4図である。
まず底部となる箱形カバーカラス1の内側にアルミナ及
び危機ポリマーを主成分とするセラミック系の接着物質
11を介して台座ガラス12を設置する。次に台座ガラ
ス12上にジルコニア・シリカ及び無機ポリマーを主成
分とする接着物質13を介して薄膜トランジスタ15及
び陽極蛍光体層16を形戊した無アルカリカラスからな
る陽極基板14を設置する。次に、この箱形カバーカラ
ス1上にスベー→ノ゛及びリード端子2と他方の箱形カ
バーガラス4を設置、あらかじめ塗布しておいたフリッ
トガラスで封入し、し1″気等の工程を経て完成し、第
3図に示す如くなる。
一般IC[+1の実施例はスペーサ及びリート端子2の
整形の雑度はやや高いが、台座カラス12及び陽極栽板
14の積み重ねは容易、第2の実地例はスペーサ及びリ
ード端子2の整形は容易だが、台座カラス12及び陽極
基板14の積み重ねのKit度はやや高いことが各実施
例の特徴である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明では線膨張率の入なる基板
カラスと無アルカリカラスからなる陽極Jjl:、板間
に、接2rf物質を介して台座ガラスを設置することで
、蛍光表示パネル製造時の加熱工程における膨張・収縮
による熱応力歪みを台座ガラスにより吸収し、蘂板割れ
、クラック等の不良発生を大幅に低減することが出来る
この構造を採ることにより、真空外囲器を構成する基板
ガラスとして、安価なソーダガラスを使用することが可
能となり、製造コストを大福に下げることが出来る。更
にソータガラスではフ!1(アルカリカラスでは入手し
5イ(い板厚の圧いものを用いることが出来、大型デイ
スプレィを可能紅らしめる。台座ガラスとしては通常の
ソータカラス、パイレックスガラスを用いることが出来
るが、台座カラスの線膨張率が基板ガラスと陽極基板ガ
ラスのそれぞれの線膨張率の中間の値をとる4((’ 
gIのものを用いると効果が大きい。更に望ましくは基
板カラスの線膨張率の0.8倍以下で陽極基板カラスの
線膨張率の1.2倍以上の線膨張率を有する台座ガラス
を用いることで、恭板割れ、クラック等の不良発生が減
少し、より大型の郎党表示パネルを製造することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の外形図、:、、)、 
2図は第1図に示す外形図のA −A ’断面図である
。 第3図は本発明の犯2の実施例の外形図、第4図は第3
図ンこ示す外形図のB−B’断面図である。 第5図は従来の薄+i )ランシスタ制御型生光表示パ
ネルの断面図である。 1・・・・・箱形カバーガラス、2・・・・・スペーザ
及ヒリード端子、3・・・・・・基板ガラス、4・・・
・・箱形カバーガラス、5・・・・・・ブ!Lアルカリ
カラス製箱形カバーガラス、11・・・・・接着物質、
12 ・・・台座カラス、13・・・・・・後右物質、
14・・・・・;!!(アルカリカラス製陽極火板、 5・・ ・薄膜トランジスタ、 陽極蛍光体層。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネルにおいて
    、真空外囲器を構成するガラス基板上に接着物質を介し
    て台座ガラスを設置し、更に前記台座ガラス上に接着物
    質を介して薄膜トランジスタ及び陽極蛍光体層を形成し
    た無アルカリガラスからなる陽極基板を設置した構造を
    有することを特徴とする薄膜トランジスタ制御型蛍光表
    示パネル。
  2. (2)上記台座ガラスの線膨張率が上記ガラス基板の線
    膨張率より低く、上記薄膜トランジスタ及び陽極蛍光体
    層を形成した無アルカリガラスからなる陽極基板の線膨
    張率よりも高いことを特徴とする請求項(1)記載の薄
    膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル。
  3. (3)上記台座ガラスの線膨張率が、上記ガラス基板の
    線膨張率の0.8倍以下で、上記薄膜トランジスタ及び
    陽極蛍光体層を形成した無アルカリガラスからなる陽極
    基板の線膨張率の1.2倍以上であることを特徴とする
    請求項(2)記載の薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パ
    ネル。
JP1266944A 1989-10-12 1989-10-12 薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル Pending JPH03127435A (ja)

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JP1266944A JPH03127435A (ja) 1989-10-12 1989-10-12 薄膜トランジスタ制御型蛍光表示パネル
US07/596,545 US5150005A (en) 1989-10-12 1990-10-11 Vacuum fluorescent display panel having an alkali-free glass plate

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