JPH03124086A

JPH03124086A - Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置

Info

Publication number: JPH03124086A
Application number: JP26243889A
Authority: JP
Inventors: Tomiaki Hosokawa; 富秋細川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-10-06
Filing date: 1989-10-06
Publication date: 1991-05-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明はＣＯ２ガスレーザ制御装置に関し、持にＲＦ励
起およびＤＣ励起のＣＯ２ガスレーザのパルスモードお
よびＣＷモードのピーク値コントロールに関するもので
ある。

従来の技術従来ＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザのピーク値コントロール
については、レーザ出力の大きさを設定するパワー設定
回路の出力と高周波出力の大きさを検出する電力検出回
路の出力とを誤差増幅回路に入力し、誤差増幅回路の出
力を減衰器の入力としていた。

またＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザのピーク値コント。−ル
については、同様にレーザ出力の大きさを設定するパワ
ー設定回路の出力とレーザパワーの大きさを検出するレ
ーザパワー検出回路の出力とを誤差増幅回路に入力して
いた。

以下、ＲＦ励起およびＤＣ励起発振器の溝伐を第４図で
また、従来のＲＦ勃起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の構成
および制御ブロック図を第５図と第６図で、また、従来
のＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の制御ブロック図
を第７図で説明する。

まず第４図（イ）は−船釣な高速軸流形ＲＦ励起全振器
の構成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管２の
外周上には金属の平行平板電極３，４が密着して設けら
れている。平行モ板電嘆３，４には高周波電源１からの
出力、例えば１ｓ、ｅｓｅＭＩＩｚ２、ＳＫＹ、２〜３
ＫＶが供給されている。平行平板ｉ％３．ａにはさまれ
た放電管２内の放電空間には矢印で示すような方向に放
電５が行なわれる。

放電空間の両端に固定配置されたりアミラー（全反射鏡
）６と出力ミラー（部分反射鏡）７とは光共振器を形成
し、レーザ出力８は出力ミラー７より取り出される。レ
ーザガス９は送気管１０の中を循環しており、放電５及
びレーザガスを循環させるプロア（送風機）１２により
温度上昇したレーザガス９は熱交換器１１により冷却さ
れる。

第４図ｃ口）は−船釣な高速軸流形ＤＣＣ励起部振器構
成を示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管１３の両
端には置版１４が設けられている。電極１４には直流高
圧電源４５の出力、例えばＤＣ２６ＫＶ、１０ＱｍＡ程
度が供給されている。電極１４にはさまれた放電管１３
内の放電空間には矢印で示すような方向に放電１５が行
なわれる。

放電空間の両端に固定配置されたりアミラー（全反射鏡
）１６と出力ミラー（部分反射鏡）１アとは光共振器を
形唆し、レーザ出力１８は出力ミラー１７より取り出さ
れる。

レーザガス１９は送気管２ｏの中を循環しており、放電
１５及びレーザガスを循環させるプロア（送風機）２２
により温度上昇したレーザガス１９は熱交換器２１によ
り冷却される。

第４図の高周波電源１は第６図のＲＦ電源２３に相当し
、第５図について説明すると高周波出力を発生するＲＦ
電源２３の出力は同軸ケーブル２４で負荷とのマツチン
グをとるためのマ・ノチングボックス２５に伝送される
。マンチングボ・ノクス２６の出力は並列負荷とのバラ
ンスをとるために設けられたカンプリングコンデンサ２
６〜２８に供給され、カップリングコンデンサ２６−２
８には放電管２９〜３１が振続されている。

第６図について説明すると、発振回路３２の出力はスイ
ッチ回路３３を経た後ＲＦ高出力大きさをコントロール
する減衰回路３４に入力される。

減衰回路３４の出力はプリアンプ３５に入力され。

プリアンプ３５の出力はドライバ３６に入力される。ド
ライバ３６の出力は真空管など全層いた増幅回路３７に
入力され、増幅回路３７の出力は同調回路（タンク回路
）３８に入力される。同調回路３８の出力は電力検出回
路３９を経た後、同軸ケーブル用コネクタ４ｏから外部
に出力される。

また、起動回路４１の出力はパルスモードまたはＣＷモ
ードの波形設定回路４２に入力され、波形設定回路４２
からはパルスモード時のパルス周波数、パルス幅が設定
された、あるいはｃｗモモ−時の通電、出力期間が設定
された信号が出方される。

スイッチ回路３３は波形設定回路４２の出力に連動して
開閉し、スイッチ回路３３が開の場合はＲＦ出力は瞬時
に遮断、ＯＦＦする。

１’ｔＦ出力の大きさ、即ちレーザ出力の大きさを設定
するパワー設定回路４４の出方は、誤差増幅回路４３の
非反転端子に入力される。一方誤差増幅器４３の反転端
子には電力検出回路３９の出力が入力され、誤差増嘔器
４３の出力は減衰器３４に入力される。減衰器３４の入
力は０〜６ｖなどと変化し、入力が高い程ＲＦ出力は大
きく、ＲＦ出力をコントロールする。

第７図について説明すると、第７図の高圧発生回路６５
は、第４図の直流高圧電源４６に相当する。第７図にお
いてレーザ出力の大きさを設定するパワー設定回路４６
の出力は、スイッチ回路４７を経て誤差増幅回路４８の
非反転端子に与えられる。一方誤差増幅器４Ｂの反転端
子にはレーザパワーの大きさを演出するレーザパワー検
出回路５４の出力が入力され、誤差増幅回路４Ｂの出力
は、パワー設定信号に対してレーザ出力をリニアに出力
するためにレベルシフト回路を内蔵したバイアス回路に
入力される。バイアス回路４９の出力は増幅回路６０に
入力され増幅回路６０の出力は真空管５７を駆動する駆
動回路６１に入力される。また、起動回路６２の出力は
、第６図の起動回路４１と同様にパルスモードまたはＣ
Ｗモードの波形設定回路５３に入力される。

スイッチ回路４７は波形設定回路６３の出力・に連動し
て開閉し、スイッチ回路４７が開の場合は、高圧発生回
路５６から放電管６６に印可されている直流高圧は瞬時
に遮断、ＯＦＦする。

発明が解決しようとする課題パルスモードまたはＣＷモードの波形が立ち上った定常
状態で、高周波出力あるいはレーザ出力のピークリップ
ル値を小さくするために、フィードバック系のゲインを
高くすると、電圧変動などの環境変動などの外乱をトリ
ガにしてピーク出力がダンピングを生じる。

まだ、フィードバック系を高応答にすると、位相補宜、
即ち高周波出力などの出力の位相、または高周波出力な
どを検出する検出器の出力の位相とフィードバンク制御
する誤差増幅回路の出力の位相が位相ずれを発生し、場
合によっては正帰還がかかシ、ダンピング、発振を生じ
る。

また、フィードバック系のゲインを高く、フィードバッ
ク系を高応答にした場合、何台か製品を生産した場合、
ゲインが高く、高応答であるので部品のバラツキよりダ
ンピング、発振を生じるものがある。

本発明は従来の欠点を除去し、定常状態でピークリップ
ル値が小さく、高応答で安定したフィードバック制御を
提供するものである。

課題を解決するための手段上記の間頂点を解決するために、本発明のＣＯ２ガスレ
ーザ制御装置は、高周波出力を放電管に注入し、高周波
放電によって励起されたガスからレーザ光を発生させる
ようにしたＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザの制御装置におい
て、高周波出力を検出する電力検出回路と、該電力演出
回路の出力音す／デルホールドするすンプルホールド回
路と、Ｖ　−ザ出力の大きさを設定するパワー設定回路
と、該パワー設定回路で設定された大きさとなるように
高周波出力をフィードバック制御する誤差増幅回路と、
前記サンプルホールド回路のサンプリング周波数を設定
するクロック信号発生回路とを具備し、＃Ｊ起電力検出
回路の出力をサンプルホールド回路に入力し、該サンプ
ルホールド回路の出力と、前記パワー設定回路の出力と
を前記誤差増幅回路に入力し、前記クロック信号発生回
路の出力を前記サンプルホールド回路に入力してなるも
のである。

またパルスモードまたはＣＷモードの波形を設定する波
形設定回路と遅延回路とを具備し、前記波形設定回路の
出力と前記クロック信号発生回路の出力とを遅延回路に
入力し、該遅延回路の出力全前記サンプルホールド回路
に入力してなるものである。

また、前記クロック信号発生回路の出力を分周回路に入
力し、該分周回路の出力を前記サンプルホールド回路ま
たは前記遅延回路に入力してなるものである。

また、前記クロック信号発生回路の出力と前記波形設定
回路の出力とを同期回路に入力し、同期回路の出力を高
周波出力を入−切するスイッチ回路に入力してなるもの
である。

また、前記遅延回路内に第２の同期回路を設け、該第２
の同期回路に前記遅延回路内の遅延時限回路の出力と、
前記クロック信号発生回路の出力または前記分周回路の
出力とを入力してなるものである。

また、直流高圧を放電管に印可し、ＤＣグロー放電によ
って励起されたガスからレーザ光全発生させるようにし
たＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザの制御装置において、特許
請求の範囲第１項記載の電力検出回路を、レーザパワー
の大きさを検出するレーザパワー検出回路に置き換えて
なるものである。

また、特許請求の範囲第２項記載のＲＦ励起ＣＯ２ガス
レーザ制′＠袈置装、前記ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制
御装置に適用するようＫしてなるものである。

また、特許請求の範囲第３項記載のＲＦ励起ＣＯ２ガス
レーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制御
装置に適用するようにしてなるものである。

また、特許請求の範囲第４項記載のＲＦ励起ＣＯ２ガス
レーザ制御妄置を、前記ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制御
装置に適用するようにしてなるものである。

また、特許請求の範囲第６項記載のＲＦ励起ＣＯ２ガス
レーザ制御装置を、）前記ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制
御装置に適用するようにしてなるものである。

まだ、前記電力、検出回路に替えて、レーザパワーの大
きさを検出するレーザパワー検出回路を用いてなるもの
である。

また、前記レーザパワー検出回路に替えて、前記放電管
放電電流の大きさを検出する放電電流検出回路を用いて
なるものである。

作用上記の手段において、電力あるいはレーザパワーの検出
回路も含んだ電力立ち上げ系の信号示達遅れ時間を考咀
した適切なサンプル時間、ホールド時間を設定し、この
適切なサンプル時間、ホールド時間を設定したサンプル
ホールド回路を用いれば、ホールド期間中は誤差増幅器
への入力が変動せず、一定であるので、安定にフィード
バック制御できる。適切なサンプル時間、ホールド時間
はクロック信号発生回路と分周回路で設定できる。

また、遅延回路を用いて、遅れてサンプルホールド回路
を用いたフィードバック制御を開始する。

まだ、同期回路を用いて出力を同期をとって投入し、同
時に同期をとってサンプルホールドを開始する。まだ、
遅延回路内にも第２の同期回路を設けて、遅延回路の出
力を同期をとって立ち上げるようにしたので、以上のこ
とより、電力ヴち上げ系とサンプルホールド回路の同期
がとれるので、出力が定常状態以外の波形立ち上がり、
立ち下り時もフィードバック系は安定になり、サンプル
ホールド回路を用いた欠点が除去でき何ら問題ない。

実施例第１図はＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合の制御装
置の制御ブロック図、第２図はＤＣ励起ＣＯ２ガスレー
ザ装置の場合の制御装置の！ｌＩ御ブロック図、第３図
は第１図の要部波形図である。

従来の第６図、第７図と本発明の第１図、第２図と同一
のものについては同一番号全付辱しである。

第１図、第２図と第３図の要部波形図とを対比させて説
明すると、まず第３図（イ）に示すような波形設定回路
４２の出力が同期回路６９に入力されており、また、第
３図（ロ）のクロック信号７０で同期して、第３図（／
→に示すような同期回路５９の出力が立ち上る。同期回
路６９の出力はスイ、、チ回路３３に入力され、高周波
出力を同期をとって投入する。また、同期回路６９の出
力は遅延回路６１にも入力される。

また、一方クロック信号発生回路６８の出力は分周回路
６０にも入力されており、その回路内の分周フリップフ
ロップ７８とＡＮＤ素子７９で、分周回路６ｏには第３
図に）に示されるような出力が得られる。

分周回路６ｏの出力は遅延回路６１に入力され、前述の
同期回路５９の出力が遅延回路６１に入力されると、遅
延時間回路６２で遅延時間をカウントし、遅延時間回路
６２の出力は第２同期回路７６に入力され、先程の分周
回路６Ｑの出力に同期して第２同期回路の出力は立ち上
る。第２同期回路７６の出力はインバータ素子７７を経
た後、ＮＯＲ素子８ｏに入力され、ＮＯＲ素子８ｏには
分周回路６ｏの出力も入力されており、遅延時間ＴＳＤ
５１経過後は、遅延回路６１には第３図（ホ）に示すよ
うな出力が得られる。このサンプルホールド回路８３の
場合は、第３図（ホ）に示すごとく、サンプル７２．８
６、ホールド７３のように、サンプルホールド回路６３
はサンプリングを行なう。遅延時間カウント開始時は、
サンプルホールド回路６３のコントロール信号はすンプ
ルの状態である。ここで遅延回路６１なしで分周回路６
０の出方を直接サンプルホールド回路６３に入力し、サ
ンプルホールドのコントロール信号としてもよい。この
場合は第３図に）の７１に示すごとく、サンプル中はＨ
レベルの信号が出力されているので、この信号をインバ
ータ素子に入力し、インバータ素子の出力をサンプルホ
ールド回路６３に入力してやればよい。

電力検出回路３９の出力が入力されたサンプルホールド
回路６３の出方には、第３図（へ）に示されるようなも
のが得られる。第３図（へ）の太線部分７４．８７．８
８７％ｔンデル期間を示す。゛サンプルホールド回路６
３の出力は、誤差増幅回路４３でパワー設定回路４４の
出力と比較、増幅され、誤差増幅回路４３はサンプルホ
ールド回路６３を用いたフィードバック制御を行ない、
高周波出方同軸コネクター４０からは第３図（ホ）に示
されるような出力が得られる。第３図（ト）のオーバシ
ュート７６は波形の立ち上り時、電力立ち上げ系の信号
伝達遅れがあり、この遅れのだめに誤差増幅回路４３の
出力が大きい状態が極めて短い時間（例えば１〜２μｓ
ｅｃ　）あり、このため発生するが実用上何ら問題ない
。

また、本発明のサンプルホールド回路は必ず波形の立ち
上り時、第３図（ホ）に示すごとくサンプルから開始し
、第３図（ト）に示すオーバシュート７６が小さくなる
よう考慮されている。

また、遅延回路６１も第３図（ト）に示すオーバシュー
ト７５をサンプルホールド回路を用いたためにその欠点
として大きくならないようにするためのもので、電力立
ち上げ系の信号伝達遅れ時間が原めて小さく、波形立ち
上りが極めて速い場合有効である。

即ち、波形立ち上りが極めて速く、サンプリング周波数
が低い組み合せの場合、ホールド期間中にホールド期間
が長ければその間に出力が伸びてしまい、その後に来る
サンプル期間でクローズドルーズのフィードパンク制御
を行ない、伸びた出力を押え込みにかかるのであるが、
出力が伸びてしまって遅いのである。遅延回路６１を用
いれば遅延時間中はサンプル期間でクローズドルーズの
フィードバック制御を行なうので出力が伸びる問題は解
消される。

また、同期回路６９を用いて出力を同期をとって投入し
、同時に同期回路６９の立ち上りと同期をとってサンプ
ルホールドを開始する。また、遅延回路６１内にも第２
同期回路７６を設けて遅延回路６１の出力を同期をとっ
てくり返しバラツキのない正確な遅延時間で立ち上げる
ようにしたことも第３図（ト）オーバシュート７６が小
さくなるように考慮された点である。

また、上記の同期をとることを無視し、波形設定回路４
２の出力を遅延回路６１の遅延時間回路６２に入力し、
遅延時間回路６２の出力をインバータ素子７７に直接入
力してもよい。また、同期回路５９の出力を遅延時間回
路６２に入力し、遅延時間回路６２の出力をインバータ
素子７７に直接入力する場合は遅延時間のカウント開始
のみ同期がとれ、くり返しバラツキが少なくなる。さら
に同期回路６９の出力で遅延回路６１の第２同期回路７
６を用いれば、遅延時間のカウント開始および終了の同
期がとれ、くり返しバラツキが少ない正確な遅延時間が
得られる。また、第６図のりａツク信号発生回路６８の
出方を遅延回路６１なしで直接サンプルホールド回路に
入力してもよい。

第１図のクロック信号発生回路６８と分周回路６ｏは、
すンプルホールド回路６３のサンプル時間、ホールド時
間を設定するが、ここでサンプル時間、ホールド時間の
設定目安について説明すると、誤差増幅回路４３のゲイ
ンにもよるが、ゲインを１０〜２０倍とした場合、サン
プル時間は出力の検出回路も含んだ電力立ち上げ系の信
号伝達遅れ時間ＴＤの１Ａ〜１／３に設定する。

サンプル時間は、サンプルホールド回路６３に吏用のサ
ンプルホールドＩＣ素子が高速であれば高速で短いサン
プリング時間はど好ましい。サンプル時間が長くなると
、誤差増幅回路への入力が変動するのでクローズド方式
の欠点が現われる。

また、ホールド時間についてはＴｏの２倍〜３倍に設定
する。ＴＤを２＠以下、例えばＴＤと同じ値とすると正
帰還がかかりダンピングを生じる。

まだ、Ｔｏの２以下と短かくなるとサンプルホールド回
路を用いた効果がなくなる。一方ホールド時間が長いと
、瞬時のスパイク状の外乱に対して補償できなくなる。

以上より、サンプル時間ｉｔ：　Ｔ　Ｄの１／１〜１／
３に、ホールド時間はＴＤの２〜３倍に設定し、実機で
確認し、上述の傾向全考慮して設定し直す。実際の一例
としサンプル時間１．５μＳｅｃ、ホールド時間３μＳ
ｅｃ、よってサンプリング周波数２２２　Ｋ　Ｉｌｚな
どが考えられる。なお、第３図は波形設定がパルスモー
ドの場合を示す。一方ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の
第２図の場合は、第５図に対して、第１図の電力検出回
路３９の替シにレーザパワー検出回路５４が用いられる
。それ以外のもので第２図のサンプルホールド回路６９
．タロツク信号発生回路６４．同期回路６６、分周回路
６６およびその中の分周フリップフロッグ８３゜ムＮＤ
素子８４．遅延回路６７およびその中の遅延時間回路６
８．第２同期回路８１．インバータ素子８２　、ＮＯＲ
素子８５の回路構成については第１図のそれと全く同じ
である。

ただ出力の検出回路としてレーザパワー検出回路５４が
用いられているので、検出回路の応答性が２５ｍ５ｅｃ
程度かかる遅いものであれば、遅延回路６７の遅延時間
回路６８の遅延時間は２５ｍ５程度に、また、クロック
信号発生回路６４のクロック周波数は第１図のクロック
信号発生回路６８のそれより低くてよい。

この場合、第１図の場合のサンプル時間はＴＤの１／１
〜１／３、ホールド時間はでＤの２〜３倍の適用につい
ては、検出回路の応答性が２５ｍ５ｅｃと遅いので適用
せず、別途最適値を求める。なお、第２図でレーザパワ
ー検出回路６４を用いたのは、ＤＣ励起の場合放電電極
が放電管の内部にあるため電極が消耗しやすく、電極が
消耗した場合、同一放電電流でフィードバック制御して
もレーザパワーは低下するので、レーザパワーフィード
バラクラ採用するのが一般的である。それに対して第５
図のＲＦ励起の場合は放電電極が放電管の外周にあシ、
電極は消耗しないので電力フィードバックを採用するの
が一般的である。

また、第１図の電力検出回路３９に替えて、レーザパワ
ーの大きさを検出する高応答のレーザパワー検出回路を
用いてもよい。

また、第２図についても、第６図のレーザパワー検出回
路５４に替えて、放電管の放電電流を検出する放電電流
検出回路を用いてもよい。

発明の効果以上のように本発明においてはサンプルホールド回路を
用いることにより、ホールド期間中は誤差増幅器への入
力が変動せず一定であるので、安定なセミクローズド方
式のフィードバック制御ができる。また遅延回路、同期
回路を用いることにより、電力立ち上げ系とサンプルホ
ールド回路の同期がとれるので、出力が定常状態以外の
波形立ちとり、立ち下シ時もフィードバック系は安定に
なり、サンプルホールド回路を用いた欠点が除去でき何
ら問題ない。

【図面の簡単な説明】第１図はＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合の、本発
明一実施例の制御装置の制御ブロック図、第２図はＤＣ
励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合の、本発明の池の実施
例の制御装置の制御ブロック図、第３図は第６図の要部
信号波形図、第４図はＲＦ励起およびＤＣ励起発振器の
斜視図、第６図は従来のＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ制御
装置の構成図。第６図は同制御ブロック図、第７図は従来のＤＣ励起Ｃ
Ｏ２ガスレーザ制御装置の制御ブロック図である。４２・・・・・波形設定回路、５９・・・・・・同期回
路、６０・・・・・・分周回路、６１・・・・・・遅延
回路、６３・・・・・・サンプルホールド回路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）高周波出力を放電管に注入し、高周波放電によっ
て励起されたガスからレーザ光を発生させるようにした
ＲＦ励起ＣＯ＿２ガスレーザの制御装置において、高周
波出力を検出する電力検出回路と、該電力検出回路の出
力をサンプルホールドするサンプルホールド回路と、レ
ーザ出力の大きさを設定するパワー設定回路と、該パワ
ー設定回路で設定された大きさとなるように高周波出力
をフィードバック制御する誤差増幅回路と、前記サンプ
ルホールド回路のサンプリング周波数を設定するクロッ
ク信号発生回路とを具備し、前記電力検出回路の出力を
サンプルホールド回路に入力し、該サンプルホールド回
路の出力と、前記パワー設定回路の出力とを前記誤差増
幅回路に入力し、前記クロック信号発生回路の出力を前
記サンプルホールド回路に入力し、高周波出力をサンプ
ルホールド回路を用いてフィードバック制御するように
したことを特徴とするＲＦ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御
装置。
（２）パルスモードまたはＣＷモードの波形を設定する
波形設定回路と遅延回路とを具備し、前記波形設定回路
の出力と前記クロック信号発生回路の出力とを遅延回路
に入力し、該遅延回路の出力を前記サンプルホールド回
路に入力し、高周波出力をサンプルホールド回路を用い
てフィードバック制御するのを遅れて開始するようにし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＲＦ励
起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（３）前記クロック信号発生回路の出力を分周回路に入
力し、該分周回路の出力を前記サンプルホールド回路ま
たは前記遅延回路に入力し、サンプルホールド回路のサ
ンプリング周波数に分周回路を用いたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項または第２項記載のＲＦ励起ＣＯ
＿２ガスレーザ制御装置。
（４）前記クロック信号発生回路の出力と前記波形設定
回路の出力とを同期回路に入力し、同期回路の出力を高
周波出力を入−切するスイッチ回路に入力し、高周波出
力を同期をとって投入し、同時に同期をとってサンプル
ホールドするようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のＲＦ励起ＣＯ＿
２ガスレーザ制御装置。
（５）前記遅延回路の入力に波形設定回路の出力に替え
て、前記同期回路の出力を入力し、同期回路の出力の立
ち上りから遅延時間をカウントするようにしたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに
記載のＲＦ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（６）前記遅延回路内に第２の同期回路を設け、該第２
の同期回路に前記遅延回路内の遅延時限回路の出力と、
前記クロック信号発生回路の出力または前記分周回路の
出力とを入力し、前記遅延回路の出力を同期をとって立
ち上げるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項乃至第５項のいずれかに記載のＲＦ励起ＣＯ＿２ガ
スレーザ制御装置。
（７）直流高圧を放電管に印可し、ＤＣグロー放電によ
って励起されたガスからレーザ光を発生させるようにし
たＣＯ＿２ガスレーザ制御装置において、特許請求の範
囲第１項記載の電力検出回路を、レーザパワーの大きさ
を検出するレーザパワー検出回路に置き換えたことを特
徴とするＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（８）特許請求の範囲第２項記載のＲＦ励起ＣＯ＿２ガ
スレーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ
制御装置に適用するようにしたことを特徴とする特許請
求の範囲第７項記載のＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御
装置。
（９）特許請求の範囲第３項記載のＲＦ励起ＣＯ＿２ガ
スレーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ
制御装置に適用するようにしたことを特徴とする特許請
求の範囲第７項または第８項記載のＤＣ励起ＣＯ＿２ガ
スレーザ制御装置。
（１０）特許請求の範囲第４項記載のＲＦ励起ＣＯ＿２
ガスレーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレー
ザ制御装置に適用するようにしたことを特徴とする特許
請求の範囲第７項乃至第９項のいずれかに記載のＤＣ励
起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（１１）特許請求の範囲第５項記載のＲＦ励起ＣＯ＿２
ガスレーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレー
ザ制御装置に適用するようにしたことを特徴とする特許
請求の範囲第７項乃至第１０項のいずれかに記載のＤＣ
励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（１２）特許請求の範囲第６項記載のＲＦ励起ＣＯ＿２
ガスレーザ制御装置を、前記ＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレー
ザ制御方法およびその装置に適用するようにしたことを
特徴とする特許請求の範囲第７項乃至第１１項のいずれ
かに記載のＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（１３）前記電力検出回路に替えて、レーザパワーの大
きさを検出するレーザパワー検出回路を用いることを特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項のいずれかに
記載のＲＦ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。
（１４）前記レーザパワー検出回路に替えて、前記放電
管放電電流の大きさを検出する放電電流検出回路を用い
たことを特徴とする特許請求の範囲第７項乃至第１２項
のいずれかに記載のＤＣ励起ＣＯ＿２ガスレーザ制御装
置。