JPH06188501A - Ｑスイッチレーザ装置 - Google Patents
Ｑスイッチレーザ装置Info
- Publication number
- JPH06188501A JPH06188501A JP33A JP32762391A JPH06188501A JP H06188501 A JPH06188501 A JP H06188501A JP 33 A JP33 A JP 33A JP 32762391 A JP32762391 A JP 32762391A JP H06188501 A JPH06188501 A JP H06188501A
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- Japan
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- flash lamp
- timing
- laser medium
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポンピング手段の変動に影響されることなく
より良い条件でＱスイッチングすることができるように
する。 【構成】 レーザ媒質３へポンピングのエネルギーが一
定量に達したことをフラッシュランプ４が呈する発光波
形のレベル変化が一定値に達したことをタイミング検出
手段１２で検出することを特徴とする。
より良い条件でＱスイッチングすることができるように
する。 【構成】 レーザ媒質３へポンピングのエネルギーが一
定量に達したことをフラッシュランプ４が呈する発光波
形のレベル変化が一定値に達したことをタイミング検出
手段１２で検出することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ポンピングによりレー
ザ媒質が十分に励磁された状態となったタイミングでＱ
スイッチング素子を駆動して共振器発明を正立させ、レ
ーザ光をとり出すＱスイッチレーザ装置に関する。
ザ媒質が十分に励磁された状態となったタイミングでＱ
スイッチング素子を駆動して共振器発明を正立させ、レ
ーザ光をとり出すＱスイッチレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｑスイッチレーザ光のエネルギー、パル
ス波形を決定する要因の一つとしてレーザ媒質のポンピ
ング状態とＱスイッチングのタイミングが重要である。
ス波形を決定する要因の一つとしてレーザ媒質のポンピ
ング状態とＱスイッチングのタイミングが重要である。
【０００３】従来は、レーザ媒質をポンピングするため
の入力（例えばフラッシュランプの発光）を固定し、タ
イマー動作によりＱスイッチのタイミングを決定する
か、もしくはＱスイッチングのタイミングを固定し、フ
ラッシングのタイミングを調整していた。
の入力（例えばフラッシュランプの発光）を固定し、タ
イマー動作によりＱスイッチのタイミングを決定する
か、もしくはＱスイッチングのタイミングを固定し、フ
ラッシングのタイミングを調整していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のいずれかの方式の場合であっても、ポンピング
の形態が経時的及び経年的に、又は種々の環境条件によ
り変化することを考えると、この種のＱスイッチレーザ
装置を安全動作させる観点で、定期的にＱスイッチング
のタイミングあるいはフラッシングのタイミングについ
て修正することが必要となるという不具合があった。
た従来のいずれかの方式の場合であっても、ポンピング
の形態が経時的及び経年的に、又は種々の環境条件によ
り変化することを考えると、この種のＱスイッチレーザ
装置を安全動作させる観点で、定期的にＱスイッチング
のタイミングあるいはフラッシングのタイミングについ
て修正することが必要となるという不具合があった。
【０００５】本発明は、上記した課題に着目してなされ
たもので、その目的とするところは、ポンピング手段の
変動に影響されることなくより良い条件でＱスイッチン
グすることができるＱスイッチレーザ装置を提供するこ
とにある。
たもので、その目的とするところは、ポンピング手段の
変動に影響されることなくより良い条件でＱスイッチン
グすることができるＱスイッチレーザ装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、レーザ媒質へのポンピングのエネルギー
が一定量に達したことをポンピング手段の出力レベルの
変化により検出するタイミング検出手段と、このタイミ
ング検出手段の検出タイミングに同期して駆動されるＱ
スイッチング素子と、を具備することを特徴とする。
達成するため、レーザ媒質へのポンピングのエネルギー
が一定量に達したことをポンピング手段の出力レベルの
変化により検出するタイミング検出手段と、このタイミ
ング検出手段の検出タイミングに同期して駆動されるＱ
スイッチング素子と、を具備することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によるＱスイッチレーザ装置の構成であ
れば、ポンピング手段に呈するポンピングの形態が経時
的及び経年的に、又は環境条件により変化している場合
であっても、ポンピングによポンピングでレーザ媒質が
十分に励起された状態となったことを、タイミング検出
手段により安定に検出することができる。そして、この
タイミング検出手段の検出タイミングでＱスイッチング
素子が駆動されて、共振器条件が正立することになるか
ら、出力されるレーザ光の発振波形が安定化される。
れば、ポンピング手段に呈するポンピングの形態が経時
的及び経年的に、又は環境条件により変化している場合
であっても、ポンピングによポンピングでレーザ媒質が
十分に励起された状態となったことを、タイミング検出
手段により安定に検出することができる。そして、この
タイミング検出手段の検出タイミングでＱスイッチング
素子が駆動されて、共振器条件が正立することになるか
ら、出力されるレーザ光の発振波形が安定化される。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明が適用されたＱスイッチレー
ザ装置の第１実施例の構成を示す図である。
ザ装置の第１実施例の構成を示す図である。
【０００９】この第１実施例のＱスイッチレーザ装置
は、２枚の鏡，２を向い合せて配置し、この２枚の鏡
１，２の間にレーザ媒質を介在させる一方、このレーザ
媒質３に対しポンピング光を照射するフラッシュランプ
４を設ける。なお、鏡２はレーザ光を取り出すため僅か
に光を透過するようにしてある。更に、レーザ媒質３か
ら放出される光が鏡１，２間で繰り返し反射させる光を
一方向の偏光成分とするためのポラライザー５と、電界
を印加すると偏光方向がポラライザー５による偏光方向
に一致されるＱスイッチング素子６とを、上記のレーザ
媒質ともに２枚の鏡１，２間に設ける。
は、２枚の鏡，２を向い合せて配置し、この２枚の鏡
１，２の間にレーザ媒質を介在させる一方、このレーザ
媒質３に対しポンピング光を照射するフラッシュランプ
４を設ける。なお、鏡２はレーザ光を取り出すため僅か
に光を透過するようにしてある。更に、レーザ媒質３か
ら放出される光が鏡１，２間で繰り返し反射させる光を
一方向の偏光成分とするためのポラライザー５と、電界
を印加すると偏光方向がポラライザー５による偏光方向
に一致されるＱスイッチング素子６とを、上記のレーザ
媒質ともに２枚の鏡１，２間に設ける。
【００１０】そして、Ｑスイッチング素子６を駆動する
ドライバー７は、フラッシュランプ４の近傍に配置した
光センサ８と、バッファアンプ９と、積分回路１０と、
比較器１１とからなるタイミング検出手段１２の検出タ
イミングに同期してＱスイッチング素子６を駆動するこ
とになる。
ドライバー７は、フラッシュランプ４の近傍に配置した
光センサ８と、バッファアンプ９と、積分回路１０と、
比較器１１とからなるタイミング検出手段１２の検出タ
イミングに同期してＱスイッチング素子６を駆動するこ
とになる。
【００１１】即ち、タイミング検出手段１２において、
光センサ８はフラッシュランプ４の波光波形を検知す
る。この検知信号がバッファランプ９により増幅され、
互に積分回路１０により積分されて比較器１１に加わる
ため、比較器１１ではフラッシュランプ４が呈する発光
波形のレベル変化が閾値（ＲＥＦ）レベルに達したと
き、駆動信号をドライバー７へ送出する。そのため、フ
ラッシュランプ４からレーザ媒質３へのポンピングのエ
ネルギーが一定量に達したときタイミング検出手段１２
により検出し、この検出タイミングでドライバーにより
Ｑスイッチング素子６が駆動されて共振器条件が成立す
ることになる。従って、フラッシュランプ４によるポン
ピング状態が経時的及び経年的に、又は種々の環境条件
で変化していても、レーザ媒質３が十分に励起された状
態になったタイミングで共振器条件が成立する。これに
より鏡２を透過して出力されるレーザ光は、発振波形が
安定化される。
光センサ８はフラッシュランプ４の波光波形を検知す
る。この検知信号がバッファランプ９により増幅され、
互に積分回路１０により積分されて比較器１１に加わる
ため、比較器１１ではフラッシュランプ４が呈する発光
波形のレベル変化が閾値（ＲＥＦ）レベルに達したと
き、駆動信号をドライバー７へ送出する。そのため、フ
ラッシュランプ４からレーザ媒質３へのポンピングのエ
ネルギーが一定量に達したときタイミング検出手段１２
により検出し、この検出タイミングでドライバーにより
Ｑスイッチング素子６が駆動されて共振器条件が成立す
ることになる。従って、フラッシュランプ４によるポン
ピング状態が経時的及び経年的に、又は種々の環境条件
で変化していても、レーザ媒質３が十分に励起された状
態になったタイミングで共振器条件が成立する。これに
より鏡２を透過して出力されるレーザ光は、発振波形が
安定化される。
【００１２】図２は、本発明が適用されたＱスイッチレ
ーザ装置の第２実施例の構成を示す図である。なお、図
１と同一符号で示す部分は対応する部分を示している。
ーザ装置の第２実施例の構成を示す図である。なお、図
１と同一符号で示す部分は対応する部分を示している。
【００１３】この第２実施例のＱスイッチレーザ装置
は、フラッシュランプ４の駆動回路に、バッファアンプ
９、積分回路１０、比較器１１からなるタイミング検出
手段１３を組合せた構成を採用している。この場合に
は、フラッシュランプ４の駆動回路からフラッシュラン
プ４に流す電流波形を検知信号として取出す。この検知
信号がバッファアンプ９により増幅され、更に積分回路
１０により積分されて比較器１１に加わるため、比較器
１１ではフラッシュランプ４に流す電流波形のレベル変
化が閾値（ＲＥＦ）レベルに達したとき、駆動信号をド
ライバー７へ送出する。従って、上記第１実施例同様に
フラッシュランプ４からレーザ媒質３へのポンピングの
エネルギーが一定量に達し、これによりレーザ媒質３が
十分に励起された状態となったタイミングで共振器条件
が成立し、鏡２よりレーザ光を取出することができる。
は、フラッシュランプ４の駆動回路に、バッファアンプ
９、積分回路１０、比較器１１からなるタイミング検出
手段１３を組合せた構成を採用している。この場合に
は、フラッシュランプ４の駆動回路からフラッシュラン
プ４に流す電流波形を検知信号として取出す。この検知
信号がバッファアンプ９により増幅され、更に積分回路
１０により積分されて比較器１１に加わるため、比較器
１１ではフラッシュランプ４に流す電流波形のレベル変
化が閾値（ＲＥＦ）レベルに達したとき、駆動信号をド
ライバー７へ送出する。従って、上記第１実施例同様に
フラッシュランプ４からレーザ媒質３へのポンピングの
エネルギーが一定量に達し、これによりレーザ媒質３が
十分に励起された状態となったタイミングで共振器条件
が成立し、鏡２よりレーザ光を取出することができる。
【００１４】なお、上記した第１及び第２の実施例で
は、ポンピング手段としてフラッシュランプを適用した
が、他のポンピング手段を適用しても、レーザ媒質への
ポンピングエネルギーが一定量に達したことをポンピン
グ手段の出力レベルの変化により検出する構成をなして
いれば、本発明を逸脱しないのは勿論のことである。
は、ポンピング手段としてフラッシュランプを適用した
が、他のポンピング手段を適用しても、レーザ媒質への
ポンピングエネルギーが一定量に達したことをポンピン
グ手段の出力レベルの変化により検出する構成をなして
いれば、本発明を逸脱しないのは勿論のことである。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ポ
ンピング手段の変動に影響されることなくより良い条件
でＱスイッチングすることができ、これにともないレー
ザ光の発振波形も安定化される。従って、定期的にＱス
イッチングのスイッチング条件を修整しなくても済む等
の効果を得ることができる。
ンピング手段の変動に影響されることなくより良い条件
でＱスイッチングすることができ、これにともないレー
ザ光の発振波形も安定化される。従って、定期的にＱス
イッチングのスイッチング条件を修整しなくても済む等
の効果を得ることができる。
【図１】本発明が適用されたＱスイッチレーザ装置の第
１実施例の構成を示す図である。
１実施例の構成を示す図である。
【図２】本発明が適用されたＱスイッチレーザ装置の第
２実施例の構成を示す図である。
２実施例の構成を示す図である。
１，２ 鏡 ３ レーザ媒質 ４ フラッシュランプ ５ ポラライザー ６ Ｑスイッチング素子 ７ ドライバー ８ 光センサ ９ バッファアンプ １０ 積分回路 １１ 比較器 １２，１３ タイミング検出手段
Claims (3)
- 【請求項１】レーザ媒質へのポンビングのエネルギーが
一定量に達したことをポンピング手段の出力レベルの変
化により検出するタイミング検出手段と、このタイミン
グ検出手段の検出タイミングに同期して駆動されるＱス
イッチング素子と、を具備することを特徴とするＱスイ
ッチレーザ装置。 - 【請求項２】前記タイミング検出手段は、前記ポンピン
グ手段として用いたフラッシュランプが呈する波形のレ
ベル変化が一定値に達したことを検出することを特徴と
する請求項１記載のＱスイッチレーザ装置 - 【請求項３】 前記タイミング検出手段は、前記ポンピ
ング手段として用いたフラッシュランプに流す電流波形
のレベル変化が一定値に達したことを検出することを特
徴とする請求項１記載のＱスイッチレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33A JPH06188501A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Ｑスイッチレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33A JPH06188501A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Ｑスイッチレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188501A true JPH06188501A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18201122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33A Pending JPH06188501A (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | Ｑスイッチレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06188501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997040342A3 (en) * | 1996-04-24 | 1998-07-30 | Cyra Technologies Inc | Integrated system for imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6420698B1 (en) * | 1997-04-24 | 2002-07-16 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US7961763B2 (en) * | 2003-01-15 | 2011-06-14 | Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. | System for detection of wafer defects |
-
1991
- 1991-12-11 JP JP33A patent/JPH06188501A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997040342A3 (en) * | 1996-04-24 | 1998-07-30 | Cyra Technologies Inc | Integrated system for imaging and modeling three-dimensional objects |
| US5988862A (en) * | 1996-04-24 | 1999-11-23 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three dimensional objects |
| US6246468B1 (en) | 1996-04-24 | 2001-06-12 | Cyra Technologies | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6330523B1 (en) | 1996-04-24 | 2001-12-11 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6473079B1 (en) | 1996-04-24 | 2002-10-29 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6512518B2 (en) | 1996-04-24 | 2003-01-28 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6734849B2 (en) | 1996-04-24 | 2004-05-11 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6847462B1 (en) | 1996-04-24 | 2005-01-25 | Leica Geosystems Hds, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US7184036B2 (en) | 1996-04-24 | 2007-02-27 | Leica Geosystems Hds Llc | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US7215430B2 (en) | 1996-04-24 | 2007-05-08 | Leica Geosystems Hds Llc | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US6420698B1 (en) * | 1997-04-24 | 2002-07-16 | Cyra Technologies, Inc. | Integrated system for quickly and accurately imaging and modeling three-dimensional objects |
| US7961763B2 (en) * | 2003-01-15 | 2011-06-14 | Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. | System for detection of wafer defects |
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