JPH03124085A - Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置 - Google Patents

Ｃｏ↓２ガスレーザ制御装置

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JPH03124085A
JPH03124085A JP26243789A JP26243789A JPH03124085A JP H03124085 A JPH03124085 A JP H03124085A JP 26243789 A JP26243789 A JP 26243789A JP 26243789 A JP26243789 A JP 26243789A JP H03124085 A JPH03124085 A JP H03124085A
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slope
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Tomiaki Hosokawa
富秋 細川
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はＣＯ２ガスレーザ制御装置に関し、特にＲＦ励
起およびＤＣ励起ＣＯ□ガスレーザ装置のパルスモード
およびＣＷモードのピーク値コントロールに関するもの
である。
従来の技術 従来ＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザのピーク値コントロール
については、レーザ出力の大きさを設定するパワー設定
回路の出力と高周波出力の大きさを検出する電力検出回
路の出力とを誤差増幅回路に入力し、誤差増幅回路の出
力を減衰器の入力としていた。
またＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザのピーク値コントロール
については、同様にレーザ出力の大きさを設定するパワ
ー設定回路の出力とレーザパワーの大きさを検出するレ
ーザパワー検出回路の出力とを誤差増幅回路に入力して
いた。
以下、ＲＦ励起およびＤＣ励起発振器の構成を第６図で
、また、従来のＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の構
成および制御ブロック図を第７図と第８図で、まだ、従
来のＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の制御ブロック
図を第９図で説明する。
まず第６図において、第６図イは一般的な高速軸流形Ｒ
Ｆ励起発振器の構成を示し、ガラスなどの誘電体よりな
る放電管２の外周上には金属の平行平板電極３，４が密
着して設けられている。平行平板電極３，４には高周波
電源１からの出力、例えば１３．５６ＭＨ２，２，６Ｋ
Ｗ　　２〜３ＫＶが供給されている。平行平板電極３，
４にはさまれた放電管２内の放電空間には矢印で示すよ
うな方向に放電５が行なわれる。
放電空間の両端に固定配置されたりアミラー（全反射鏡
）６と出力ミラー（部分反射鏡）７とは光共振器を形成
し、レーザ出力８は出力ミラー７より取り出される。
レーザガス９は送気管１０の中を循環しており、放電６
及びレーザガスを循環させるプロア（送風機）１２によ
り温度上昇したレーザガス９は熱交換器１１により冷却
される。
第６図口は一般的な高速軸流形ＤＣ励起発振器の構成を
示し、ガラスなどの誘電体よりなる放電管１３の両端に
は電極１４が設けられている。電極１４には直流高圧電
源４５の出力、例えばＤＣ２６ＫＶ　　１ＣＯｍＡ程度
が供給されている。電極１４にはさまれた放電管１３内
の放電空間には矢印で示すような方向に放電１６が行な
われる。
放電空間の両端に固定配置されたりアミラー（全反射鏡
）１６と出力ミラー（部分反射鏡）１７とは光共振器を
形成し、レーザ出力１８は出力ミラー１７よシ取シ出さ
れる。
レーザガス１９は送気管２０の中を循環しており、放電
１６及びレーザガスを循環させるブロア（送風機）２２
により温度上昇したレーザガス１９は熱交換器２１によ
り冷却される。
第６図の高周波電源１は第７図のＲＦ電源２３に相当し
、第７図について説明すると高周波出力を発生するＲＦ
電源２３の出力は同軸ケーブル２４で負荷とのマツチン
グをとるだめのマツチングボックス２６に伝送される。
マツチングボックス２６の出力は並列負荷とのバランス
をとるために設けられたカップリングコンデンサ２６〜
２８に供給され、カンブリングコンデンサ２６〜２８に
は放電管２９〜３１が振続されている。
第８図について説明すると、発振回路３２の出力はスイ
ッチ回路３３を経た後ＲＦ高出力大きさをコントロール
する減衰回路３４に入力される。
減衰回路３４の出力はプリアンプ３５に入力され、プリ
アンプ３６の出力はドライバ３６に入力される。ドライ
バ３６の出力は真空管などを用いた増幅回路３７に入力
され、増幅回路３７の出力は同調回路（タンク回路）３
８に入力される。同調回路３８の出力は電力検出回路３
９を経た後、同軸ケーブル用コネクタ４Ｑから外部に出
力される。
また、起動回路４１の出力はパルスモードまたはＣＷモ
ードの波形設定回路４２に入力され、波形設定回路４２
からはパルスモード時のパルス周波数、パルス幅が設定
された、あるいはＣＷモード時の通電、出力期間が設定
された信号が出力される。
スイッチ回路３３は波形設定回路４２の出力に連動して
開閉し、スイッチ回路３３が開の場合はＲＦ高出力瞬時
に遮断、ＯＦＦする。
ＲＦ高出力大きさ、即ちレーザ出力の大きさを設定する
パワー設定回路４４の出力は、誤差増幅回路４３の非反
転端子に入力される。一方誤差増幅器４３の反転端子に
は電力検出回路３９の出力が入力され、誤差増幅器４３
の出力は減衰器３４に入力される。減衰器３４の入力は
０〜５ｖなどと変化し、入力が高い程ＲＦ出カは大きく
、ＲＦ畠力をコントロールスル。
第９図について説明すると、第９図の高圧発生回路６６
は、第６図の直流高圧電源４５に相当する。第９図にお
いてレーザ出力の大きさを設定するパワー設定回路４６
の出力は、（第２の）スイッチ回路４γを経て誤差増幅
回路４８の非反転端子に与えられる。一方誤差増幅回路
４８の反転端子にはレーザパワーの大きさを検出するレ
ーザパワー検出回路６４の出力が入力され、誤差増幅回
路４８の出力は、パワー設定信号に対してレーザ出力を
リニアに出力するためにレベルシフト回路を内蔵したバ
イアス回路４９に入力される。バイアス回路４９の出力
は増幅回路６０に入力され増幅器、路６０の出力は真空
管６７を駆動する駆動回路６１に入力される。また、起
動回路６２の出力は、第８図の起動回路４１と同様にパ
ルスモードまたはＣＷモードの波形設定回路５３に入力
される。
（第２の）スイッチ回路４７は波形設定回路６３の出力
に連動して開閉し、（第２の）スイッチ回路４７が開の
場合は、高圧発生回路６６から放電管５６に印加されて
いる直流高圧は瞬時に遮断、ＯＦＦする。
発明が解決しようとする課題 パルスモードまたはＣＷモードの波形の立ち上り時、波
形設定回路の出力の立ち上シから電力検出回路またはレ
ーザパワー検出回路の出力の立ち上りまでに、検出信号
の応答遅れを生じ、波形の立ち上り部分でピーク値に大
きなオーバシュート、ダンピングのリップルを生じる。
ＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合、ＲＦ小出力立ち
上りが５μｓなどと要求され立ち上りが極めて速いため
波形の立ち上９部分でオーバシュートを発生し、このオ
ーバシュートするピーク値とパワー設定回路の出力が誤
差増幅回路で比較増幅されるので、フィードバックする
誤差増幅回路の出力がダンピングを発生し、ＲＦ小出力
波形の立ち上りごとにダンピングを発生する。一方ＤＣ
励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合、検出回路をレーザパ
ワー検出回路とした場合、レーザパワー検出回路の検出
信号の応答遅れが２５ｍ８程度と極めて遅いため、この
レーザパワー検出回路出力とパワー設定回路の出力が誤
差増幅回路で比較増幅されるのでフィードバックする誤
差増幅回路の出力がオーバシュート、ダンピングを発生
し、レーザ出力も波形の立ち上りごとにオーバシュート
、ダンピングを発生する。
本発明は従来の欠点を除去し、ＲＦ小出力立ち上り、レ
ーザ出力の立ち上り部分でオーバシュート、ダンピング
が発生しないピーク値コントロールを実現したものであ
る。
課題を解決するだめの手段 上記の問題点を解決するために本発明のＣＯ２ガスレー
ザ制御装置は、高周波出力を放電管に注入し、高周波放
電によって励起されたガスからレーザ光を発生させるよ
うにしたＣＯ□ガスレーザ制御装置において、レーザ出
力の大きさを設定するパワー設定回路と、パルスモード
またはＣＷモードの波形を設定する波形設定回路と、波
形設定回路の出力に連動して開閉する第２のスイッチ回
路と、高周波出力を前記パワー設定回路で設定された大
きさとなるようにフィードバック制御する誤差増幅回路
と、高周波出力の大きさを検出する電力検出回路と、ス
ロープ出力を得るためのスロープ回路とを具備し、前記
パワー設定回路の出力と前記波形設定回路の出力とを前
記第２のスイッチ回路に入力し、該第２のスイッチ回路
の出力を前記スロープ回路に入力し、該スロープ回路の
出力と前記電力検出回路の出力とを前記誤差増幅回路に
入力してなるものである。
また、ある決められたレーザ出力の大きさを設定する固
定バイアス回路と、前記波形設定回路の出力の立ち上り
より一定時間遅れて出力が立ち上るパワー切換遅延回路
と、該パワー切換遅延回路の出力に連動して前記固定バ
イアス回路の出力と前記パワー設定回路の出力とを切換
えるパワー切換回路とを具備し、前記波形設定回路の出
力を前記パワー切換遅延回路に入力し、該パワー切換遅
延回路の出力と、前記固定バイアス回路の出力と、前記
パワー設定回路の出力とを前記パワー切換回路に入力し
、該パワー切換回路の出力を前記誤差増幅回路に入力し
てなるものである。
また、前記パワー切換回路の出力と前記波形設定回路の
出力とを前記第２のスイッチ回路に入力し、該第２のス
イッチ回路の出力を前記スロープ回路に入力し、該スロ
ープ回路の出力を前記誤差増幅回路に入力してなるもの
である。
また、直流高圧を放電管に印加し、ＤＣグロー放電によ
って励起されたガスからレーザ光を発生させるようにし
たＣ○２ガスレーザ装置の制御装置において、特許請求
の範囲第１項記載の電力検出回路をレーザパワーの大き
さを検出するレーザパワー検出回路に置き換えてなるも
のである。
また、特許請求の範囲第３項記載の電力検出回路を前記
レーザパワー検出回路に置き換えてなるものである。
また、前記スロープ回路のスロープ時定数を可変可能と
なるようにスロープ回路内に調整器を設け、該調整器で
高周波電力の立ち上り部分に放電管点弧のだめのイグナ
イトパルスを発生させ、イグナイトパルスのピーク値を
可変できるようにしてなるものである。
また、前記スロープ回路のスロープ時定数を可変可能と
なるようにスロープ回路内に調整器を設け、該調整器で
レーザ出力の立ち上り部分に放電管点弧のためのイグナ
イトパルスを発生させ、イグナイトパルスのピーク値を
可変できるようにしてなるものである。
また、前記電力検出回路に替えて、レーザパワーの大き
さを検出するレーザパワー検出回路を用いてなるもので
ある。
また、前記レーザパワー検出回路に替えて、前記放電管
放電電流を検出する放電電流検出回路を用いてなるもの
である。
作用 上記の手段において、第２のスイッチ回路とスロープ回
路とを設け、波形設定回路の出力と連動させて第２のス
イッチ回路の開閉を行なうようにしたので、波形設定回
路の出力の立ち上りよシ誤差増幅回路に入力されるパワ
ー設定回路の出力はスロープ波形となる。よってスロー
プ状に徐々にパワー設定が行なわれるので波形立ち上り
部分でのオーバシュート、ダンピングは発生しない。ま
た、パワー切換遅延回路と固定バイアス回路とパワー切
換回路とを設け、波形設定回路の出力の立ち上りより、
一定時間は小さなある決められた固定バイアス回路の出
力を、一定時間経過後は正規のパワー設定回路の出力を
誤差増幅回路に入力するようにしたので、誤差増幅回路
の入力はステップ状となる。よって最初は小さなパワー
設定で、次に正ｆｉのパワー設定でステップ状にパワー
設定が行なわれるのでこの場合も波形立ち上り部分での
オーバシュート、ダンピングは発生しない。
実施例 第１図はＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合の本発明
の一実施例、第２図は第１図とは別の本発明の一実施例
を示す。第３図はＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合
の本発明の一実施例、第４図は第３図とは別の本発明の
一実施例を示す。第６図は従来の第８図と本発明の第１
図、第２図の要部波形図である。
第１図〜第４図で、第６図と第７図と同一のものについ
ては同一番号を付与［、である。
第８図と第１図と第２図と第５図の要部波形図とを対比
して説明すると、まず第８図において、第６図イに示す
ような波形設定回路４２の出力が立ち上ると、第６図口
に示すような誤差増幅回路４３の反転端子に、減衰回路
３４〜電力検出回路３９までの信号伝達遅れ時間ｔ、６
７を持った電力検出回路３９の出力が入力される。
第５図・・はその時の誤差増幅回路４３の出力である。
第６図口に示すように電力検出器３９の出力がオーバシ
ュート、ダンピングを発生しているので、同軸ケーブル
コネクタ４０からのＲＦ高出力同じく、オーバシュート
、ダンピングを発生する。それに対して、第１図の第２
のスイッチ回路６８とスロープ回路５９を第８図に対し
て追加すると、誤差増幅回路４３の反転端子には第６図
口に示すような電力検出回路３９の出力が入力される。
信号伝達遅れ時間ｔＤ６８はｔＤ６７と同じ値となる。
一方誤差増幅回路４３の非反転端子には、ｔ５Ｐ７０と
いうスロープ時定数を持ったＥ、、６９がスロープ回路
５９より出力されて、入力されている。
第６図へはその時の誤差増幅回路４３の出力である。ス
ロープ状にパワー設定が行なわれるので第６図口に示す
ように電力検出回路３９の出力は僅かなオーバシュート
のみでダンピングは発生していない。よってＲＦ高出力
同じく僅かなオーバシュートのみでダンピングは発生し
ない。
また、第１図に対して、第６図のパワー切換遅延回路６
Ｑと、固定バイアス回路６１とパワー切換回路θ２とを
さらに追加すると、誤差増幅回路４３の反転端子には第
６図トに示すような電力検出回路３９の出力が入力され
る。信号伝達遅れ時間ｔ、７１はｔ、６Ｂ、ｔ、６７と
同じ値である。−方誤差増幅回路４３の非反転端子には
、パワー切換遅延回路６ｏで設定される遅延時間ｔ□７
４の期間中ｔｇＰというスロープ時定数を持ったＥｔ工
、。
７２がスロープ回路６９より出力され、入力されている
。遅延時間ｔ、７４経過後は、誤差増幅回路４３の非反
転端子にはｔ、、７６というスロープ時定数を持ったに
、、’７３がスロープ回路６９より出力され、入力され
る。
Ｅｔｌｓ、７２．ＥｓＰ６９．Ｈ，、’７３のスロープ
時定数ｔｓｐはスロープ回路５って設定されるので同じ
値である。第６図りはその時の誤差増幅回路４３の出力
である。最初は小さなパワー設定で次に正規のパワー設
定でステップ状にパワー設定が行なわれるので第６図ト
に示すように電力検出回路３９の出力はオーバシュート
もダンピングも発生していない。よってＲＦ高出力同じ
くオーバシュートもダンピングも発生しない。
通常ｔｓ、７０．ｔｓ、７５．ｔｘ７４はｔ、６７を目
安に設定、即ち、電力立ち上げ系と同じスロープで立ち
上げてやれば大きくはずれることはない。
第２図において第２のスイッチ回路６８、スロープ回路
６９を設けず、パワー切換回路６２の出力を直接誤差増
幅回路４３に入力してもよく、この場合第２図の構成で
得られるＲＦ高出力対して僅かなオーバシュートがみら
れるのみでダンピングは発生しない。
一方ＤＣ励起ＣＯ２ガスレーザ装置の場合の第３図、第
８図については、第１図と第３図において、第１図の電
力検出回路３９が第３図ではレーザパワー検出回路６４
に置き換わっているのみで他の構成は同じである。ただ
、第１図のスロープ回路６９は数μｓｅｃの時定数（例
えば２μｓｅｃ　）と設定されるのに対して、第３図の
スロープ回路６３は数１ｏ　ｍ５ｅｃ　（例えば２　ｓ
　ｍ５ｅｃ　）と設定される点が異なる。
同様に第２図と第４図において、前述の第１図と第３図
との違い以外に第２図のパワー切換遅延回路６０の遅延
時間は数μ５６０の時定数（例えば２μ５ｅｃ）と設定
されるのに対して、第４図のパワー切換遅延回路６４の
遅延時間は数１０ｍ５ｅｌＯ（例えば２　ｓ　ｍ５ｅｃ
）と設定される点が異なる。
また、第２図の固定バイアス回路６１と第４図の固定バ
イアス回路６６は、パワー設定回路の定格出力に対し、
２０〜３０チ程度のパワー設定とし、波形の立ち上りの
最初は電力立ち上げ系と、フィードバック系が閉じるだ
めの小さな電力パワーに設定する。
なおＲＦ励起の場合電力検出回路の出力をフィードバッ
クし、ＤＣ励起の場合レーザパワー検出回路の出力をフ
ィードバックするのが一般的であるが、これはＤＣ励起
の場合、放電電極が放電管の内部にあるため電極が消耗
しやすく、電極が消耗した場合、同一放電電流でフィー
ドバック制御してもレーザパワーは低下するので、レー
ザパワーフィードバックを採用するのが一般的である。
それに対して、ＲＦ励起の場合は放電電極が放電管の外
周にあり、電極は消耗しないので電力フィードバックを
採用するのが一般的である。
壕だ、スロープ回路のスロープ時定数を可変可能となる
ようにスロープ回路内に調整器を設け、スロープ時定数
を小さくすることで波形の立ち上シ部分に発生するオー
バシュート出力を放電管点弧のためのイグナイトパルス
として利用してもよい。
また、第１図、第２図の電力検出回路３９に替えて、レ
ーザパワーの大きさを検出する高応答のレーザパワー検
出回路を用いてもよい。
また、第３図、第４図のレーザパワー検出回路５４に替
えて、放電管の放電電流を検出する放電電流検出回路を
用いてもよい。
発明の効果 以上のように本発明においては信号伝達遅れ時間に相当
するスロープ時定数を持った設定信号を与えるようにし
たので波形立ち上り部分での大きなオーバシュート、ダ
ンピングは発生しない。
また、別の手段として信号伝達遅れ時間に相当する期間
は固定バイアス回路で小さな設定信号を与え、その後は
、パワー設定回路で正規の設定信号をパワー切換回路で
切換えて与えるようにしたので同様に波形立ち上り部分
での大きなオーバシュート、ダンピングは発生しない。
【図面の簡単な説明】
第１図はＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の場合の本
発明の一実施例を示す回路図、第２図は第１図とは別の
本発明の実施例を示す回路図、第３図はＤＣ励起ＣＯ□
ガスレーザ制御装置の場合の本発明の実施例を示す回路
図、第４図は第３図とば別の本発明の実施例を示す回路
図、第６図は第１図、第２図の要部の信号波形図、第６
図はＲＦ励起およびＤＣ励起発振器の斜視図、第７図は
従来のＲＦ励起ＣＯ２ガスレーザ制御装置の構成図、第
８図は同制御ブロック図、第９図は従来のＤＣ励起ＣＯ
□ガスレーザ制御装置の制御ブロック図を示す。 ３９・・・・・・置方検出回路、４１・・・・・・起動
回路、４２・・・・・・波形設定回路、４３・・・・・
・誤差増幅回路、４４・・・・・・パワー設定回路、６
Ｂ・・・・・第２のスイッチ回路、６９・・・・・・ス
ロープ回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）高周波出力を放電管に注入し、高周波放電によっ
    て励起されたガスからレーザ光を発生させるようにした
    ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置において、レーザ出力の大
    きさを設定するパワー設定回路と、パルスモードまたは
    ＣＷモードの波形を設定する波形設定回路と、波形設定
    回路の出力に連動して開閉する第２のスイッチ回路と、
    高周波出力を前記パワー設定回路で設定された大きさと
    なるようにフィードバック制御する誤差増幅回路と、高
    周波出力の大きさを検出する電力検出回路と、スロープ
    出力を得るためのスロープ回路とを具備し、前記パワー
    設定回路の出力と前記波形設定回路の出力とを前記第２
    のスイッチ回路に入力し、該第２のスイッチ回路の出力
    を前記スロープ回路に入力し、該スロープ回路の出力と
    前記電力検出回路の出力とを前記誤差増幅回路に入力し
    、高周波電力波形の立ち上り部分にリップルを生じない
    ようにしたことを特徴とするＣＯ＿２ガスレーザ制御装
    置。 （２）ある決められたレーザ出力の大きさを設定する固
    定バイアス回路と、前記波形設定回路の出力の立ち上り
    より一定時間遅れて出力が立ち上るパワー切換遅延回路
    と、該パワー切換遅延回路の出力に連動して前記固定バ
    イアス回路の出力と前記パワー設定回路の出力とを切換
    えるパワー切換回路とを具備し、前記波形設定回路の出
    力を前記パワー切換遅延回路に入力し、該パワー切換遅
    延回路の出力と、前記固定バイアス回路の出力と、前記
    パワー設定回路の出力とを前記パワー切換回路に入力し
    、該パワー切換回路の出力を前記誤差増幅回路に入力し
    、高周波電力波形の立ち上り部分にリップルを生じない
    ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （３）前記パワー切換回路の出力と前記波形設定回路の
    出力とを前記第２のスイッチ回路に入力し、該第２のス
    イッチ回路の出力を前記スロープ回路に入力し、該スロ
    ープ回路の出力を前記誤差増幅回路に入力し、高周波電
    力波形の立ち上り部分にリップルを生じないようにした
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
    載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （４）直流高圧を放電管に印加し、ＤＣグロー放電によ
    って励起されたガスからレーザ光を発生させるようにし
    たＣＯ＿２ガスレーザ装置の制御装置において、特許請
    求の範囲第１項記載の電力検出回路をレーザパワーの大
    きさを検出するレーザパワー検出回路に置き換えたこと
    を特徴とするＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （５）特許請求の範囲第３項記載の電力検出回路を前記
    レーザパワー検出回路に置き換えたことを特徴とする特
    許請求の範囲第４項記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置
    。 （６）前記スロープ回路のスロープ時定数を可変可能と
    なるようにスロープ回路内に調整器を設け、該調整器で
    高周波電力の立ち上り部分に放電管点弧のためのイグナ
    イトパルスを発生させ、イグナイトパルスのピーク値を
    可変できるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
    第１項記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （７）前記スロープ回路のスロープ時定数を可変可能と
    なるようにスロープ回路内に調整器を設け、該調整器で
    レーザ出力の立ち上り部分に放電管点弧のためのイグナ
    イトパルスを発生させ、イグナイトパルスのピーク値を
    可変できるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
    第４項記載のＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （８）前記スロープ回路のスロープ時定数および前記パ
    ワー切換遅延回路の遅延時間を、前記誤差増幅器出力が
    入力される回路から誤差増幅器に入力する回路までの被
    制御回路およびフィードバック回路の信号伝達遅れ時間
    に、またはそれ以上に設定することを特徴とする特許請
    求の範囲第１項乃至第６項のいずれかに記載のＣＯ＿２
    ガスレーザ制御装置。（９）前記電力検出回路に替えて
    、レーザパワーの大きさを検出するレーザパワー検出回
    路を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
    は第２項または第３項または第６項または第８項記載の
    ＣＯ＿２ガスレーザ制御装置。 （１０）前記レーザパワー検出回路に替えて、前記放電
    管放電電流の大きさを検出する放電電流検出回路を用い
    たことを特徴とする特許請求の範囲第４項または第５項
    または第７項または第８項記載のＣＯ＿２ガスレーザ制
    御装置。
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