JPH0312347U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0312347U JPH0312347U JP7336389U JP7336389U JPH0312347U JP H0312347 U JPH0312347 U JP H0312347U JP 7336389 U JP7336389 U JP 7336389U JP 7336389 U JP7336389 U JP 7336389U JP H0312347 U JPH0312347 U JP H0312347U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- faraday cup
- measuring charged
- electrode
- cup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図Ａ，Ｂは本考案の実施例を示す正面図及
び断面図、第２図Ａ，Ｂは従来の実施例を示す正
面図及び断面図である。 １……フアラデーカツプ電極、２……フアラデ
ーカツプ電極の支持具、３……ネジ、４……フア
ラデーカツプ電極の支持具カバー、５……配線、
６……絶縁物。
び断面図、第２図Ａ，Ｂは従来の実施例を示す正
面図及び断面図である。 １……フアラデーカツプ電極、２……フアラデ
ーカツプ電極の支持具、３……ネジ、４……フア
ラデーカツプ電極の支持具カバー、５……配線、
６……絶縁物。
Claims (1)
- マイクロ波プラズマの、荷電粒子分布を測定す
るフアラデーカツプにおいて、フアラデーカツプ
電極を取り付ける支持具と、荷電粒子測定用の穴
を有し、該フアラデーカツプ電極及び該支持具を
覆う支持具カバーを、非金属材料にしたことを特
徴とするフアラデーカツプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336389U JPH0312347U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336389U JPH0312347U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312347U true JPH0312347U (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=31612119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7336389U Pending JPH0312347U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312347U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001185072A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-07-06 | Applied Materials Inc | イオン注入装置およびそれに用いるビームストップ |
| JP2006316830A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Honda Motor Co Ltd | 締結構造 |
| JP2009024880A (ja) * | 2003-02-10 | 2009-02-05 | Atsushi Imai | 液体圧装置 |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP7336389U patent/JPH0312347U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001185072A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-07-06 | Applied Materials Inc | イオン注入装置およびそれに用いるビームストップ |
| JP2009024880A (ja) * | 2003-02-10 | 2009-02-05 | Atsushi Imai | 液体圧装置 |
| JP2006316830A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Honda Motor Co Ltd | 締結構造 |
| JP4537888B2 (ja) * | 2005-05-10 | 2010-09-08 | 本田技研工業株式会社 | 締結構造 |