JPH03118424A - 振動センサ - Google Patents

振動センサ

Info

Publication number
JPH03118424A
JPH03118424A JP25654989A JP25654989A JPH03118424A JP H03118424 A JPH03118424 A JP H03118424A JP 25654989 A JP25654989 A JP 25654989A JP 25654989 A JP25654989 A JP 25654989A JP H03118424 A JPH03118424 A JP H03118424A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core
chamber
coil
air
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25654989A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Hirao
平尾 浩二
Hiroshi Mitsuoka
光岡 博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP25654989A priority Critical patent/JPH03118424A/ja
Publication of JPH03118424A publication Critical patent/JPH03118424A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は振動センサに関する。この振動センサは上下G
センサとして利用できる。
[従来の技術] 振動センサの一例として横Gセンサを例にとって従来技
術を説明する。即ち、従来より例えば車両の分野では、
車両走行の際に発生する横Gを検知するための横Gセン
サが知られている。この横Gセンサは、水平方向にのび
る内壁面で区画された水平室もつ基部と、基部の水平室
に封入されたシリコーンオイルと、基部の水平室内にシ
リコーンオイルと共に配設された永久磁石製のコアと、
基部に配設された電磁誘導用のコイルとで構成されてい
る。このものでは横Gが作用すると、永久磁石のコアが
水平室内で横方向へ移動し、コイルを貫く磁束が時間的
に変化し、電磁誘導により磁束の変化に比例した誘導電
圧が・発生し、これにより横Gを検知する。
このものでは基部の水平室内に封入されたシリコーンオ
イルは、コアの撮動を減衰するためのものである。この
ように従来では水平室にシリコーンオイルを封入してい
る関係上、シリコーンオイルの漏れを防止するために水
平室をシール度の高い密閉室にする必要があった。従っ
てシール機構等を別途必要とし、そのぶん構造が複雑化
し、小型化、コストの面で不利であった。
本発明は上記した実情に鑑み開発されたものであり、そ
の目的は、シリコーンオイルを封入する方式を廃止し、
シール構造、小型化、コストの面で有利な振動センサを
提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の撮動センサは、撮動系に配設され室をもつ基部
と、外側面をもち、基部の室内にこれを上室と王室とに
区画して配設され、外側面と室の内壁面との間に上室と
王室とを連通ずる微小隙間を形成する上下方向へ変位可
能な磁石製のコアと、基部の室内でコアを上下方向に変
位可能に弾性支持するバネ手段と、バネ手段で弾性支持
されたコアの上側および下側の少なくとも一方に配設さ
れ、コアの上下方向への変位に伴い誘導電圧が発生する
電磁誘導用のコイルとで構成され、コアが上下方向へ変
位するに伴い、上室及び王室の少なくとも一方に収容さ
れている空気を圧縮してコアの撮動を減衰させると共に
、コアの側方の微小隙間を空気軸受膜として用いること
を特徴とするものである。
本発明では、基部の室は基部自身の内壁面で形成しても
よく、あるいは、至をもつ他の部材を基部の空間部に挿
入して形成してもよい。室は密閉状態、半密閉状態とす
ることができるが、場合によっては微小隙間を空気軸受
膜として用いるがぎり、外部につながっていてもよい。
微小隙間の厚みはコアの種類、検知する振動の種類等に
応じて適宜選択できるが、例えば0.3〜0.8mm、
特に0.5〜0.7mmにできる。バネ手段は、例えば
、コアを下から弾性支持する下バネ部と、コアを上から
弾性吊持する上ハネ部とで形成できる。この場合上バネ
部と下バネ部とのバネ定数を変えることができ、例えば
下バネ部のバネ定数を上バネ部のバネ定数よりも大きく
できる。また上バネ部と下バネ部の少なくとも一方がコ
アを引張るように作用させることができる。このように
すれば、撮動等により室内でコアが正位置から横方へず
れた場合に、横方へずれたコアを室内の正位置に戻すこ
とが容易となる。
バネ手段の種類はコアの重量、検知する振動の種類等に
応じて適宜選択でき、コイルバネ、り一フバネ(板バネ
)、円錐コイルバネ、場合によってはウレタンゴム等を
採用できる。
なおコアの外側面は後述する実施例のように平滑面状で
もよく、特殊な例では、コアの外側面に上下方向にのび
る突条部または溝部を形成することもできる。又場合に
よってはコアの外側面及び基部の室の内壁面の少なくと
も一方に、フッ素樹脂等からなる潤滑膜を設けることも
できる。
[作用] コアが下方へ変位したときにはコアの下方に位置する王
室の空気は、コアにより圧縮され、微小隙間を介してコ
アの上方に位置する上室に徐々に移行する。また、コア
が上方へ移動したときにはコアの上方に位置する王室の
空気は、コアにより圧縮され、微小隙間を介してコアの
下方に位置する王室へ徐々に移行する。従ってコアの撮
動は減衰されると共に、微小隙間は空気の軸受膜として
機能し、コアの外側面と室の内壁面との摩擦抵抗は軽減
又は無くなる。
上記したようにコアが上下方向へ変位すると、コイルの
端子間には誘導電圧が発生し、撮動が検知される。
[実施例] 本発明の撮動センサを上下Gセンυに適用した一実施例
について第1図〜第3図を参照して説明する。
本実施例にかかる上下Gセンサ1は、鋼製の基部2と、
永久磁石製のコア3と、バネ手段4と、コイル5とで構
成されている。
基部2は上面が開口する空間部2aをもち、振動系に配
設されている。基部2の空間部2aにはポビン6か配置
されている。ボビン6は、円筒状の室61を形成する内
壁面60をもつ。内壁面60の内径寸法はボビン6の全
高にわたり等しい。
ボビン6は樹脂製であり、フランジ部61をもつ薄肉円
筒状の下ボビン部62と、厚肉円筒状の中間ポビン部6
3と、フランジ部64をもつ薄肉円筒状の上ボビン部6
5とで形成されている。ボビン6の内壁面60で区画さ
れた室61は蓋部材22で実質的に密閉されている。但
し、後述する出力端子5a、5bを通す開口22cが形
成されている。なお中間ボビン部63にはコイル5の一
部を通すための溝部63aが上下方向へのばして形成さ
れている。上ボビン部65のフランジ部64にはコイル
5の巻き始めの出力端子5a、巻き終りの出力端子5b
を通すための切欠溝部64aが形成されている。
コア3は、円柱状をなしており、基部2のボビン6の室
61内にこれの内壁面60と微小隙間24を形成してお
り、上下方向へ変位可能に配設されている。なお基部2
のボビン6の室61はコア3により上室61aと下室6
1bとに区画される。
微小隙間24はコア3の周方向へ連続して形成されてい
ると共に、上室61aと下室61bとを連通している。
本実施例では微小隙間24の厚みtLto、3〜0.8
mm程度に設定されている。コア3の上部はN極とされ
、コア3の下部はS極とされている。
バネ手段4は、基部2のボビン6の室61内で永久磁石
製のコア3を上下方向に変位可能に弾性支持する。バネ
手段4は、コア3の底面部と室61の底面部61eとの
間に介装された下コイルバネ40と、コア3の上面部と
蓋部材22の底面部との間に介装された上コイルバネ4
1とで形成されている。コア3は静止状態では上コイル
バネ41と下コイルバネ40とで中立位置に維持される
下コイルバネ40は、コア3を引張り気味である。
その理由は、コア3を室61の径方向中央へ戻しやすく
、よってコア3の外側面3aと基部2のボビン6の室6
1の内壁面60との間に形成される微小隙間24の厚み
tをコア3の周方向にそって均一化し易いからである。
コイル5は、コア3の下側に配置された下コイル部50
と、下コイル部50につながりかつコア3の上側に配置
された上コイル部51とで形成されている。第3図に示
すように下コイル部50は下ボビン部62に巻かれてお
り、上コイル部51は上ボビン部65に下コイル部50
と逆向きに巻かれている。その理由は仮に上コイル部5
1の巻く方向と下コイル部50の巻く方向とを同じ向き
にすると、コア3が中立位置の上方及び下方に変位をし
た際に、出力電圧は減殺されてしまい、所要の出力電圧
を出力できなくなるからである。
さて、上下Gが発生すると、上下Gの大きさに応じてコ
ア3が基部2のボビン6の室61内で上下方向へ変位し
、従って電磁誘導によりコイル5の巻き始めの出力端子
5aと巻き終りの出力端子5bとの間に誘導電圧が発生
する。この電圧により上下Gが検知される。第2図にコ
ア3が中立位置から下方へ変位した場合における磁束の
流れとコイル5の位置関係を示す。
ところで本実施例ではコア3の外側面3aと基部2のボ
ビン6の室61の内壁面60との間にコア3の全周にわ
たり微小隙間24が形成されている。従ってコア3が下
方へ変位したときには、コア3の下方の王室61bの空
気はコア3に圧縮され、微小隙間24を介して上室61
aに徐々に移行する。また、コア3が上方へ変位したと
きにはコア3の上方の上室61aの空気はコア3に圧縮
され、微小隙間24を介して王室61bに徐々に移行す
る。
このときコア3の振動は、上室61a、下室61b内で
圧縮された空気により減衰されると共に、微小隙間24
を空気の軸受膜として利用できる。
よって、コア3の外側面3aとボビン6の室61の内壁
面60との摩擦抵抗を軽減することができる。故に、コ
ア3の振動を減衰させつつ、コア3の外側面3aとボビ
ン6の室61の内壁面60との接触度を軽減でき、上下
Gセンサ1としての感度を良好に確保することができ、
長寿命、低ヒステリシスのものが得られる。
しかも本実施例では前述したように圧縮された空気でコ
ア3の振動を減衰できるので室61に減衰用のシリコー
ンオイルを封入する必要がなく、シリコーンオイルの漏
れを考慮する必要がなく、それだけシール機構を簡略化
または廃止でき、従来に比較して構造の簡略化、コスト
の低減に有利である。
また本発明の撮動センサの他の実施例を第4図および第
5図に示す。この実施例の構成は基本的には前記した実
施例の場合と同じであり、同一部分には同一の符号を付
す。ただし、この実施例ではバネ手段4はボビン6の室
61の内壁面60とコア3の外側面3aとの間に位置し
て空間66内に介装されたリーフバネ45で形成されて
おり、合計3個のリーフバネ45でコア3の外側面3a
を弾性支持している。
この実施例ではリーフバネ45を使用しているので、コ
ア3が横方へずれた場合でもコア3を室61の径方向の
中央である正位置に復元するのに有利である。
[適用例] 上記した第1図に示す上下Gセンサ1をショックアブソ
ーバに適用したー適用例について第6図を参照して説明
する。このショックアブソーバ八は車体と各車輪との間
に合計4個配設されている。
このショックアブソーバAは、筒形状のハウジング10
0と、車体側にボルトで固定されかつハウジング100
内に位置する中空室110をもつ第1ピストンロツド1
02と、第1ピストンロツド102の螺子部に螺合され
て連結された第2ピストンロツド104と、第1ピスト
ンロンド102内に回転可能に配置されたシャフト10
6と、第2ピストンロツド104の下部に連結されたピ
ストン108と、第1ピストンロツド102の中空室1
10に配置されシャフト106を回転する励磁コイル1
12と、シャフト106に係合し周方向へ回転するスプ
ールバルブ116と、を具備している。なお、第1ピス
トンロツド102、第2ピストンロツド104の材質は
鋼である。
第2ピストンロツド104にはオイル通路118が形成
されている。ピストン108はハウジング100内を、
下部の第1の油W120と上部の第2の油室122とに
区画している。ピストン108には連通孔108a、1
08bが形成されており、更にチエツクバルブ124.
126.127が設けられている。チエツクバルブ12
4はそのバネ作用により常時付勢されており、第2の油
室122から第1の油W120へのみ作動油を移動させ
得る。チエツクバルブ126はそのバネ作用により常時
付勢されており、第1の油室120から第2の油室12
2へのみ作動油を移動させ得る。チエツクバルブ127
とリテーナ135との間にはスプリング136が介装さ
れている。第2ピストンロツド104にはこれの径方向
へ貫通する貫通孔138が適数個形成されている。貫通
孔138にはスプリング140を介して一方向弁を形成
するチエツクボール142が配置されている。
スプールバルブ116は通路144をもつ。
そして、励磁コイル112に通電されると、シャフト1
06が回転し、これによりスプールバルブ116が回転
し、スプールバルブ116の通路144と貫通孔138
とが連通するので、第1の油室120の作動油は通路1
18、通路144、チエツクボール142、貫通孔13
8を通過して第2の油室122に流入することができる
。その他に第1の油室120の作動油はチエツクバルブ
126からも第2の油室122に流入することができる
ので、結局、オリフィス開口面積が大きくなり、減衰力
は低め(ソフト)となる。
また励磁コイル112を切替えると、シャフト106が
元に戻り、これによりスプールバルブ116が戻り、ス
プールバルブ116の通路144と貫通孔138とが非
連通状態となるので、第1の油室120の作動油は通路
118、通路144、チエツクボール142、貫通孔1
38を通過できない。従ってこの場合には、第1の油室
120の作動油は連通孔108b、チエツクバルブ12
6から第2の油室122に流入するだけとなり、結局、
オリフィス開口面積が小さくなり、減衰力は高め(ハー
ド)となる。
本適用例では第6図に示すように、第1ビストンロツド
102の中空室110内に上下Gセンサ1が配設されて
いる。具体的にはシャフト106に穴を形成し、その穴
にボビン6、コア3、下コイルバネ40、上コイルバネ
41、下コイル部50、上コイル部51等を装入し、そ
の1卦シ一ル部150を介してその穴を蓋部材151で
密閉している。従ってシャフト106が上下Gセンサ1
を保持する基部となる。
この第6図に示す適用例においても、コア3の外側面3
aとボビン6の室61の内壁面60との間に形成される
微小隙間24を空気軸受膜として利用できるので、コア
3の外側面3aとボビン6の室61の内壁面60との接
触度を軽減でき、上下Gセンサ1としての感度、寿命を
良好に確保することができる。
また本適用例では、上下Gセンサ1がショックアブソー
バAの第1ピストンロツド102のデッドスペースであ
る中空室110内に配置されているので、ショックアブ
ソーバAに上下Gセンサ1を別途設けても、ショックア
ブソーバA自体の縦方向の長さ寸法が増大することを回
避することができ、小形化に有利である。
また本適用例では、上下Gセンサ1で上下Gをセンシン
グする時とスプールバルブ116を回転作動させショッ
クアブソーバAの減衰力を切替える時とは、同時ではな
く、時間的に異ならせる。
故に、スプールバルブ116を回転作動させている場合
には上下Gセンサ1でセンシングを行なわず、従って特
別な磁気シールド構造にせずとも、スプールバルブ11
6を回転作動させる励磁コイル112の磁界が上下Gセ
ンサ1によるセンシングに与える影響を回避できる。
又本適用例では励磁コイル112に通電して励磁する際
には、励磁コイル112の外周側に位置する第1ピスト
ンロツド102の筒部102bが磁路の一部となるもの
であるが、筒部102bは上下Gセンサ1の]イル5に
通電する際の磁路の一部ともなり、磁路の共通化を図り
得、そのぶん構造の簡略化に有利である。
[発明の効果] 本発明の振動センサによれば、室に収容されている空気
の圧縮でコアの振動を減衰することができると共に、微
小隙間を空気の軸受膜として利用でき、コアの外側面と
室の内壁面との摩擦抵抗を軽減することができる。故に
、コアの外側面と室の内壁面との接触度を軽減でき、撮
動センサとしての感度を確保することができ、その長寿
命化にも有利である。
しかも本発明の振動センサによれば、室に収容されてい
る空気の圧縮でコアの振動を減衰できるので、室にシリ
コーンオイルを封入する必要がなく、それだれシール機
構を簡略化または廃止でき、構造の簡略化、コストの低
減に有利である。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は本発明の一実施例を示し、第1図は上
下Gセンサの縦断面図、第2図はコアが下方へ移動した
場合の磁束の流れとコイルとの関係を示す縦断面図、第
3図は上下センサの要部の斜視図でおる。 第4図および第5図は本発明の他の実施例を示し、第4
図は第5図のIV −IV線に沿う上下Gセンサの要部
の横断面図、第5図は上下Gセンサの要部の縦断面図で
ある。第6図はショックアブソーバに適用した適用例を
示す縦断面図である。 図中、1は上下センサ(振動センサ〉、2は基部、24
は微小隙間、3はコア、4はバネ手段、5はコイルを示
す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)振動系に配設され室をもつ基部と、 外側面をもち、前記基部の室内にこれを上室とに区画し
    て配設され、前記外側面と前記室の内壁面との間に前記
    上室と下室とを連通する微小隙間を形成する上下方向へ
    変位可能な磁石製のコアと、前記基部の室内で前記コア
    を上下方向に変位可能に弾性支持するバネ手段と、 前記バネ手段で弾性支持された前記コアの上側および下
    側の少なくとも一方に配設され、前記コアの上下方向へ
    の変位に伴い誘導電圧が発生する電磁誘導用のコイルと
    で構成され、 前記コアが上下方向へ変位するに伴い、前記上室及び前
    記下室の少なくとも一方に収容されている空気を圧縮し
    て前記コアの振動を減衰させると共に、前記コアの側方
    の前記微小隙間を空気軸受膜として用いることを特徴と
    する振動センサ。
JP25654989A 1989-09-30 1989-09-30 振動センサ Pending JPH03118424A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25654989A JPH03118424A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 振動センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25654989A JPH03118424A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 振動センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03118424A true JPH03118424A (ja) 1991-05-21

Family

ID=17294184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25654989A Pending JPH03118424A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 振動センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03118424A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100504108B1 (ko) * 1997-12-12 2005-09-30 삼성전자주식회사 반도체장치제조설비의진동측정기
WO2008024142A3 (en) * 2006-05-23 2009-02-12 Rosemount Inc Industrial process device utilizing magnetic induction
US7702478B2 (en) 2005-02-28 2010-04-20 Rosemount Inc. Process connection for process diagnostics
US9052240B2 (en) 2012-06-29 2015-06-09 Rosemount Inc. Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics
US9921120B2 (en) 2008-04-22 2018-03-20 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing piezoelectric transducer

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100504108B1 (ko) * 1997-12-12 2005-09-30 삼성전자주식회사 반도체장치제조설비의진동측정기
US7702478B2 (en) 2005-02-28 2010-04-20 Rosemount Inc. Process connection for process diagnostics
WO2008024142A3 (en) * 2006-05-23 2009-02-12 Rosemount Inc Industrial process device utilizing magnetic induction
US9921120B2 (en) 2008-04-22 2018-03-20 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing piezoelectric transducer
US9052240B2 (en) 2012-06-29 2015-06-09 Rosemount Inc. Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5233293A (en) Sensor for measuring the speed and/or position of a piston in relation to that of the cylinder it moves inside of in a dashpot or shock absorber
US5251729A (en) Vehicle suspension damper with relative velocity sensor having controlled flux path
EP0408631B1 (en) Twin-pipe shock absorber
US7537202B2 (en) Active vibration damping device
US4793599A (en) Electronically controlled mounting structure for mounting power unit on vehicle
US6527262B2 (en) Fluid-filled active elastic engine mount
US6419058B1 (en) Magnetorheological damper with piston bypass
US5464079A (en) Two-tube shock absorber
JPS6410697B2 (ja)
KR910014628A (ko) 유압식 방진장치
CN109253205B (zh) 发动机悬置
JPS597856B2 (ja) 車両用油圧緩衝装置
EP0797740A2 (en) Continuously variable twin-tube shock damper
US5653427A (en) Liquid filled type vibration isolating device
JPS6281971A (ja) 磁気的アクチユエ−タ
JPH03118424A (ja) 振動センサ
JP3350827B2 (ja) 減衰力調整式ショックアブソーバ
JPS6346296B2 (ja)
US5451870A (en) Sensor for measuring the difference between the velocity of a cylinder and a piston in a dashpot
US5261649A (en) Elastic mount having main fluid chamber communicating with auxiliary fluid chamber partially defined by oscillating plate actuated by moving coil in annular gap between two yokes connected to permanent magnet
JP2005291284A (ja) ダンパ
JPS645174B2 (ja)
EP0536760B1 (en) Self-expanding mount
JP3864352B2 (ja) 減衰力調整式油圧緩衝器
JPS6346295B2 (ja)