JPH03117832U - - Google Patents
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- JPH03117832U JPH03117832U JP2751690U JP2751690U JPH03117832U JP H03117832 U JPH03117832 U JP H03117832U JP 2751690 U JP2751690 U JP 2751690U JP 2751690 U JP2751690 U JP 2751690U JP H03117832 U JPH03117832 U JP H03117832U
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
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Description
第1図はこの考案の一実施例によるMOCVD
装置の反応系を示す断面図、第2図は従来のMO
CVD装置を示す断面図である。 図において、1……石英反応管、2……ウエハ
サセプタ、3……CaAs基板結晶、4……RF
コイル、5……原料ガスとキヤリアガスの混合ガ
ス、6……ガス導入口を示す。なお、図中、同一
符号は同一、又は相当部分を示す。
装置の反応系を示す断面図、第2図は従来のMO
CVD装置を示す断面図である。 図において、1……石英反応管、2……ウエハ
サセプタ、3……CaAs基板結晶、4……RF
コイル、5……原料ガスとキヤリアガスの混合ガ
ス、6……ガス導入口を示す。なお、図中、同一
符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 有機金属ガスの熱分解反応を用いた気相成長装
置において、ガスの導入口を反応管内に設け、か
つ4方に分枝したことを特徴とする半導体結晶成
長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2751690U JPH03117832U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2751690U JPH03117832U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03117832U true JPH03117832U (ja) | 1991-12-05 |
Family
ID=31530362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2751690U Pending JPH03117832U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03117832U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008106594A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Tachikawa Blind Mfg Co Ltd | 日射遮蔽装置のヘッドボックスカバー取付装置 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2751690U patent/JPH03117832U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008106594A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Tachikawa Blind Mfg Co Ltd | 日射遮蔽装置のヘッドボックスカバー取付装置 |
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