JPH03116413U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03116413U JPH03116413U JP2580090U JP2580090U JPH03116413U JP H03116413 U JPH03116413 U JP H03116413U JP 2580090 U JP2580090 U JP 2580090U JP 2580090 U JP2580090 U JP 2580090U JP H03116413 U JPH03116413 U JP H03116413U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust side
- slow
- exhaust
- main exhaust
- main
- Prior art date
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Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Packages (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案装置の一実施例における要部の
構成を示す説明図、第2図は本考案における制御
回路の一例を示す接続図、第3図は本考案装置に
おける排気特性及びパーテイクル発生数の関係を
示す図、第4図は従来装置の一例における要部の
構成を示す説明図、第5図は従来装置におけるス
ロー排気特性及びパーテイクル発生数の関係を示
す図である。 1……真空容器、2……メイン排気系、3……
スロー排気系、4……排気源(油回転ポンプ)、
5……メイン排気用可変コンダクタンスバルブ、
5a……メイン排気側バルブ開度位置検出器、6
……メイン用排気装置(メインポンプ)、7……
スロー排気用可変コンダクタンスバルブ、7a…
…スロー排気側バルブ開度位置検出器、8……メ
イン排気側圧力センサ、9……スロー排気側圧力
センサ、10……メイン排気側モータ、11……
スロー排気側モータ、12……スイツチ素子(リ
レー)、13……シーケンサ、14……プログラ
マ、15……PID調節計、16……サーボドラ
イバ、S1,S8……モード切換え指令、S2,
S9……圧力設定信号、S3……圧力信号、S4
……圧力信号、S5,S10……出力信号、S6
,S7……開度位置信号。
構成を示す説明図、第2図は本考案における制御
回路の一例を示す接続図、第3図は本考案装置に
おける排気特性及びパーテイクル発生数の関係を
示す図、第4図は従来装置の一例における要部の
構成を示す説明図、第5図は従来装置におけるス
ロー排気特性及びパーテイクル発生数の関係を示
す図である。 1……真空容器、2……メイン排気系、3……
スロー排気系、4……排気源(油回転ポンプ)、
5……メイン排気用可変コンダクタンスバルブ、
5a……メイン排気側バルブ開度位置検出器、6
……メイン用排気装置(メインポンプ)、7……
スロー排気用可変コンダクタンスバルブ、7a…
…スロー排気側バルブ開度位置検出器、8……メ
イン排気側圧力センサ、9……スロー排気側圧力
センサ、10……メイン排気側モータ、11……
スロー排気側モータ、12……スイツチ素子(リ
レー)、13……シーケンサ、14……プログラ
マ、15……PID調節計、16……サーボドラ
イバ、S1,S8……モード切換え指令、S2,
S9……圧力設定信号、S3……圧力信号、S4
……圧力信号、S5,S10……出力信号、S6
,S7……開度位置信号。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空容器1内を排気するメイン排気系2と
、これに並列に連結したスロー排気系3と、この
両排気系2,3に連結した排気源4とよりなり、
メイン排気系2はメイン排気用可変コンダクタン
スバルブ5とこれに直列に連結されたメイン用排
気装置6を備えた構成とする排気系圧力制御装置
において、スロー排気系3はスロー排気用可変コ
ンダクタンスバルブ7を備えた構成とし、上記メ
イン排気用、スロー排気用可変コンダクタンスバ
ルブ5,7を予め設定した圧力プログラムに従つ
て自動制御する制御回路を設けてなる真空容器の
排気系圧力制御装置。 (2) 圧力制御回路は真空容器1内の圧力を検出
するメイン排気側、スロー排気側圧力センサ8,
9と、メイン排気用、スロー排気用可変コンダク
タンスバルブ5,7をそれぞれ駆動するメイン排
気側、スロー排気側モータ10,11駆動回路と
、メイン排気用、スロー排気用可変コンダクタン
スバルブ5,7のバルブ開度位置を検出するメイ
ン排気側、スロー排気側バルブ開度位置検出器5
a,7a回路と、メイン排気側、スロー排気側圧
力センサ8,9の切換えと、メイン排気側、スロ
ー排気側モータ10,11駆動回路の切換え及び
メイン排気側、スロー排気側バルブ開度位置検出
器5a,7a回路の切換えを行うスイツチ素子1
2と、このスイツチ素子12を作動すると共に圧
力設定モードの切換えを行うシーケンサ13と、
予め設定した圧力プログラムに従いシーケンサ1
3より出力するモード切換え指令S1,S8によ
りモード切換えを行うプログラマ14と、このプ
ログラマ14より出力する圧力設定信号S2,S
9とメイン排気側圧力センサ8の圧力信号S3ま
たはスロー排気側圧力センサ9の圧力信号S4と
の差の制御信号を演算処理するPID調節計15
と、このPID調節計15の出力信号S5,S1
0を入力してメイン排気側モータ10駆動回路ま
たはスロー排気側モータ11駆動回路を作動させ
、この駆動回路の作動によるメイン排気側バルブ
開度位置検出器5a回路またはスロー排気側バル
ブ開度位置検出器7a回路より出力する開度位置
信号S6またはS7がフイードバツクされるサー
ボドライバ16とよりなる請求項第1項記載の真
空容器の排気系圧力制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2580090U JPH03116413U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2580090U JPH03116413U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03116413U true JPH03116413U (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=31528721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2580090U Pending JPH03116413U (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03116413U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009078354A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 処理方法および半導体装置の製造方法 |
CN103228922A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-07-31 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2580090U patent/JPH03116413U/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009078354A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 処理方法および半導体装置の製造方法 |
CN103228922A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-07-31 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |
JP2013534987A (ja) * | 2010-05-11 | 2013-09-09 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ輸送システム |
CN103228922B (zh) * | 2010-05-11 | 2016-10-26 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |