JPH03116413U - - Google Patents

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JPH03116413U
JPH03116413U JP2580090U JP2580090U JPH03116413U JP H03116413 U JPH03116413 U JP H03116413U JP 2580090 U JP2580090 U JP 2580090U JP 2580090 U JP2580090 U JP 2580090U JP H03116413 U JPH03116413 U JP H03116413U
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JP
Japan
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exhaust side
slow
exhaust
main exhaust
main
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JP2580090U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案装置の一実施例における要部の
構成を示す説明図、第2図は本考案における制御
回路の一例を示す接続図、第3図は本考案装置に
おける排気特性及びパーテイクル発生数の関係を
示す図、第4図は従来装置の一例における要部の
構成を示す説明図、第5図は従来装置におけるス
ロー排気特性及びパーテイクル発生数の関係を示
す図である。 1……真空容器、2……メイン排気系、3……
スロー排気系、4……排気源(油回転ポンプ)、
5……メイン排気用可変コンダクタンスバルブ、
5a……メイン排気側バルブ開度位置検出器、6
……メイン用排気装置(メインポンプ)、7……
スロー排気用可変コンダクタンスバルブ、7a…
…スロー排気側バルブ開度位置検出器、8……メ
イン排気側圧力センサ、9……スロー排気側圧力
センサ、10……メイン排気側モータ、11……
スロー排気側モータ、12……スイツチ素子(リ
レー)、13……シーケンサ、14……プログラ
マ、15……PID調節計、16……サーボドラ
イバ、S,S……モード切換え指令、S
……圧力設定信号、S……圧力信号、S
……圧力信号、S,S10……出力信号、S
,S……開度位置信号。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空容器1内を排気するメイン排気系2と
    、これに並列に連結したスロー排気系3と、この
    両排気系2,3に連結した排気源4とよりなり、
    メイン排気系2はメイン排気用可変コンダクタン
    スバルブ5とこれに直列に連結されたメイン用排
    気装置6を備えた構成とする排気系圧力制御装置
    において、スロー排気系3はスロー排気用可変コ
    ンダクタンスバルブ7を備えた構成とし、上記メ
    イン排気用、スロー排気用可変コンダクタンスバ
    ルブ5,7を予め設定した圧力プログラムに従つ
    て自動制御する制御回路を設けてなる真空容器の
    排気系圧力制御装置。 (2) 圧力制御回路は真空容器1内の圧力を検出
    するメイン排気側、スロー排気側圧力センサ8,
    9と、メイン排気用、スロー排気用可変コンダク
    タンスバルブ5,7をそれぞれ駆動するメイン排
    気側、スロー排気側モータ10,11駆動回路と
    、メイン排気用、スロー排気用可変コンダクタン
    スバルブ5,7のバルブ開度位置を検出するメイ
    ン排気側、スロー排気側バルブ開度位置検出器5
    a,7a回路と、メイン排気側、スロー排気側圧
    力センサ8,9の切換えと、メイン排気側、スロ
    ー排気側モータ10,11駆動回路の切換え及び
    メイン排気側、スロー排気側バルブ開度位置検出
    器5a,7a回路の切換えを行うスイツチ素子1
    2と、このスイツチ素子12を作動すると共に圧
    力設定モードの切換えを行うシーケンサ13と、
    予め設定した圧力プログラムに従いシーケンサ1
    3より出力するモード切換え指令S,Sによ
    りモード切換えを行うプログラマ14と、このプ
    ログラマ14より出力する圧力設定信号S,S
    とメイン排気側圧力センサ8の圧力信号S
    たはスロー排気側圧力センサ9の圧力信号S
    の差の制御信号を演算処理するPID調節計15
    と、このPID調節計15の出力信号S,S
    を入力してメイン排気側モータ10駆動回路ま
    たはスロー排気側モータ11駆動回路を作動させ
    、この駆動回路の作動によるメイン排気側バルブ
    開度位置検出器5a回路またはスロー排気側バル
    ブ開度位置検出器7a回路より出力する開度位置
    信号SまたはSがフイードバツクされるサー
    ボドライバ16とよりなる請求項第1項記載の真
    空容器の排気系圧力制御装置。
JP2580090U 1990-03-13 1990-03-13 Pending JPH03116413U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009078354A1 (ja) * 2007-12-18 2009-06-25 Sumitomo Electric Industries, Ltd. 処理方法および半導体装置の製造方法
CN103228922A (zh) * 2010-05-11 2013-07-31 爱德华兹有限公司 真空泵送系统

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