JPH03109780A - 半導体発光装置 - Google Patents
半導体発光装置Info
- Publication number
- JPH03109780A JPH03109780A JP1248823A JP24882389A JPH03109780A JP H03109780 A JPH03109780 A JP H03109780A JP 1248823 A JP1248823 A JP 1248823A JP 24882389 A JP24882389 A JP 24882389A JP H03109780 A JPH03109780 A JP H03109780A
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- Japan
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- light emitting
- silicon substrate
- protrusion
- semiconductor light
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Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光ファイバを用いて構成された光通信シス
テムなどの光源として利用される半導体発光装置に関す
る。
テムなどの光源として利用される半導体発光装置に関す
る。
従来から、この種の半導体発光装置の一例としては、第
2図で示すように構成されて波長1. 3pmの光を放
射する1nGaAsP/InP発光ダイオード(以下、
LEDという)10が知られている。そして、このLE
DIOは、無指向性の光lを放射する半導体発光素子と
してのLEDチップ11を備えており、その内部には発
光領域12が形成されている。
2図で示すように構成されて波長1. 3pmの光を放
射する1nGaAsP/InP発光ダイオード(以下、
LEDという)10が知られている。そして、このLE
DIOは、無指向性の光lを放射する半導体発光素子と
してのLEDチップ11を備えており、その内部には発
光領域12が形成されている。
また、このLHDIOは、LEDチップ11がら放射さ
れた光lの一部を集光するガラス製の球状レンズ13を
備えている。そして、この球状レンズ13は、LEDチ
ップ11の平坦な表面上の所定位置に球面の一部と対応
する形状で形成された凹部内に嵌入されており、シリコ
ン樹脂などの接着剤(図示していない)によって位置決
め固定されている。
れた光lの一部を集光するガラス製の球状レンズ13を
備えている。そして、この球状レンズ13は、LEDチ
ップ11の平坦な表面上の所定位置に球面の一部と対応
する形状で形成された凹部内に嵌入されており、シリコ
ン樹脂などの接着剤(図示していない)によって位置決
め固定されている。
ところで、このLF、Dloによって高い集光特性、す
なわち、光ファイバとの良好な結合効率を得るためには
、幾何学的に完全な球体として形成されており、しかも
、何らの内部欠陥がない球状レンズ13を用いることが
不可欠となる。しかし、ガラスによって形成された球状
レンズ13を、幾何学的に完全な球体とするのは製造上
の理由から大変に困難であり、また、その内部に気泡な
どの欠陥が発生してしまうことは避けられない。
なわち、光ファイバとの良好な結合効率を得るためには
、幾何学的に完全な球体として形成されており、しかも
、何らの内部欠陥がない球状レンズ13を用いることが
不可欠となる。しかし、ガラスによって形成された球状
レンズ13を、幾何学的に完全な球体とするのは製造上
の理由から大変に困難であり、また、その内部に気泡な
どの欠陥が発生してしまうことは避けられない。
さらにまた、前記従来構成では、LEDチフプ11の表
面上に凹部を形成しておき、この凹部によって球状レン
ズ13を位置決め固定するので、球状レンズ13の固定
位置に対する自由度がなく、この球状レンズ13を必ず
しも高い集光機能を発揮するのに最適な位置で固定する
ことができない場合があるため、LHDIOの集光特性
が制限されてしまうことになっていた。
面上に凹部を形成しておき、この凹部によって球状レン
ズ13を位置決め固定するので、球状レンズ13の固定
位置に対する自由度がなく、この球状レンズ13を必ず
しも高い集光機能を発揮するのに最適な位置で固定する
ことができない場合があるため、LHDIOの集光特性
が制限されてしまうことになっていた。
本発明は、このような不都合に鑑みて創案されたもので
あって、集光特性が制限されることがなく、高い集光特
性を得ることができる構成の半導体発光装置を提供する
ことを目的としている。
あって、集光特性が制限されることがなく、高い集光特
性を得ることができる構成の半導体発光装置を提供する
ことを目的としている。
この発明に係る半導体発光装置は、無指向性の光を放射
する半導体発光素子の平坦な表面上に、集光レンズとし
て機能する半球状の突出部が表面上に形成されたシリコ
ン基板の平坦な裏面を位置決め固定したことを特徴とす
るものである。
する半導体発光素子の平坦な表面上に、集光レンズとし
て機能する半球状の突出部が表面上に形成されたシリコ
ン基板の平坦な裏面を位置決め固定したことを特徴とす
るものである。
上記構成によれば、シリコン基板の表面上に、半導体発
光素子から放射された無指向性の光に対する透明な集光
レンズとして機能する半球状の突出部を形成しているが
、このシリコン基板の微細加工性はガラスの成形性に比
べて大幅に優れているため、この突出部を幾何学的によ
り完全な半球状として形成することは容易である。
光素子から放射された無指向性の光に対する透明な集光
レンズとして機能する半球状の突出部を形成しているが
、このシリコン基板の微細加工性はガラスの成形性に比
べて大幅に優れているため、この突出部を幾何学的によ
り完全な半球状として形成することは容易である。
さらにまた、上記構成によれば、シリコン基板の突出部
を位置決めするに際して、シリコン基板の平坦な裏面を
半導体発光素子の平坦な表面上で自由に移動させ得るの
で、この突出部の固定位置が高い集光機能を発揮するの
に最適な位置となるように位置決め調整したうえで半導
体発光素子の表面上にシリコン基板の裏面を固定するこ
とができる。
を位置決めするに際して、シリコン基板の平坦な裏面を
半導体発光素子の平坦な表面上で自由に移動させ得るの
で、この突出部の固定位置が高い集光機能を発揮するの
に最適な位置となるように位置決め調整したうえで半導
体発光素子の表面上にシリコン基板の裏面を固定するこ
とができる。
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。な
お、本発明は、シリコンのバンドギャップ波長が0.9
μmであり、これよりも長い波長の光を透過するという
事実、また、シリコンの有する屈折率の方が空気の屈折
率よりも高いという事実に着目してなされたものである
。
お、本発明は、シリコンのバンドギャップ波長が0.9
μmであり、これよりも長い波長の光を透過するという
事実、また、シリコンの有する屈折率の方が空気の屈折
率よりも高いという事実に着目してなされたものである
。
第1図は本発明を半導体発光装置としてのLEDに適用
した際の概略構成を示す断面図であり、この図における
符号1はLEDである。そして、このLEDIは、波長
1.3μmで無指向性の光lを放射する半導体発光素子
としてのLEDチップ2を備えており、その内部には発
光領域3が形成されている。なお、このLEDチップ2
の表面は、平坦面として形成されている。
した際の概略構成を示す断面図であり、この図における
符号1はLEDである。そして、このLEDIは、波長
1.3μmで無指向性の光lを放射する半導体発光素子
としてのLEDチップ2を備えており、その内部には発
光領域3が形成されている。なお、このLEDチップ2
の表面は、平坦面として形成されている。
また、このLEDlは、バンドギャップ波長が0.9μ
mであることから波長1.3μmの光!に対しては透明
物質と同様に作用するシリコンからなる基板、すなわち
、シリコン基板4を備えている。そして、このシリコン
基板4の表面上の所定位置には、幾何学的により完全な
半球状の突出部5がエツチング技術によって形成されて
いる。
mであることから波長1.3μmの光!に対しては透明
物質と同様に作用するシリコンからなる基板、すなわち
、シリコン基板4を備えている。そして、このシリコン
基板4の表面上の所定位置には、幾何学的により完全な
半球状の突出部5がエツチング技術によって形成されて
いる。
そこで、この突出部5は、シリコンの有する屈折率(3
,5)の方が空気の屈折率(1)よりも高いことから、
LEDチップ2から放射されてシリコン基板4の裏面側
から入射してきた無指向性の光!の一部を集光する集光
レンズとして機能することになる。なお、このシリコン
基板4の裏面は、平坦面となっている。
,5)の方が空気の屈折率(1)よりも高いことから、
LEDチップ2から放射されてシリコン基板4の裏面側
から入射してきた無指向性の光!の一部を集光する集光
レンズとして機能することになる。なお、このシリコン
基板4の裏面は、平坦面となっている。
さらに、このシリコン基板4は、その表面上に形成され
た突出部5のLEDチップ2に対する固定位置が高い集
光機能を発揮するのに最適な位置となるように、その平
坦な裏面をLEDチップ2の平坦な表面上で自由に移動
させながら位置決め調整したうえ、シリコン樹脂などの
ような接着剤(図示していない)を介して固定されてい
る。
た突出部5のLEDチップ2に対する固定位置が高い集
光機能を発揮するのに最適な位置となるように、その平
坦な裏面をLEDチップ2の平坦な表面上で自由に移動
させながら位置決め調整したうえ、シリコン樹脂などの
ような接着剤(図示していない)を介して固定されてい
る。
したがって、こ0LEDIにおいては、外部から電流を
注入することによってLEDチップ2の発光領域3から
無指向性の光βを放射させると、四方にわたって放射さ
れた光iの一部がシリコン基板4の裏面側から突出部5
に入射することになる。そして、この突出部5に入射し
て屈折された光lは、この突出部5の外部前方(図では
、上方)で集光することになる。
注入することによってLEDチップ2の発光領域3から
無指向性の光βを放射させると、四方にわたって放射さ
れた光iの一部がシリコン基板4の裏面側から突出部5
に入射することになる。そして、この突出部5に入射し
て屈折された光lは、この突出部5の外部前方(図では
、上方)で集光することになる。
なお、以上の説明においては、LEDlが波長1.3μ
mの光Cを放射するものとしているが、これには限定さ
れず、例えば、波長1.55μmの光lを放射するLE
Dに対しても本発明を適用できることはいうまでもない
。
mの光Cを放射するものとしているが、これには限定さ
れず、例えば、波長1.55μmの光lを放射するLE
Dに対しても本発明を適用できることはいうまでもない
。
以上説明したように、この発明においては、ガラスより
も微細加工性に優れたシリコン基板を用いたうえ、その
表面上に集光レンズとして機能する半球状の突出部を形
成するとともに、このシリコン基板の平坦な裏面をLE
Dチップの平坦な表面上に対して位置決め調整したうえ
で固定している。したがって、本発明によれば、従来例
のように、球状レンズの形状などによってLEDの集光
特性が制限を受けることはな(、高い集光特性を存する
LEDを容易に構成することができるという優れた効果
が得られる。
も微細加工性に優れたシリコン基板を用いたうえ、その
表面上に集光レンズとして機能する半球状の突出部を形
成するとともに、このシリコン基板の平坦な裏面をLE
Dチップの平坦な表面上に対して位置決め調整したうえ
で固定している。したがって、本発明によれば、従来例
のように、球状レンズの形状などによってLEDの集光
特性が制限を受けることはな(、高い集光特性を存する
LEDを容易に構成することができるという優れた効果
が得られる。
第1図は本発明に係るLEDの概略構成を示す断面図で
あり、第2図は従来例に係るLEDの概略構成を示す断
面図である。 図における符号1はLED(半導体発光装置)、2はL
EDチップ(半導体発光素子)、4はシリコン基板、5
は突出部、lは光である。
あり、第2図は従来例に係るLEDの概略構成を示す断
面図である。 図における符号1はLED(半導体発光装置)、2はL
EDチップ(半導体発光素子)、4はシリコン基板、5
は突出部、lは光である。
Claims (1)
- (1)無指向性の光を放射する半導体発光素子の平坦な
表面上に、集光レンズとして機能する半球状の突出部が
表面上に形成されたシリコン基板の平坦な裏面を位置決
め固定したことを特徴とする半導体発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1248823A JPH03109780A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 半導体発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1248823A JPH03109780A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 半導体発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03109780A true JPH03109780A (ja) | 1991-05-09 |
Family
ID=17183950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1248823A Pending JPH03109780A (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 半導体発光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03109780A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011138982A (ja) * | 2009-12-29 | 2011-07-14 | Omron Corp | 照明装置および照明装置の製造方法 |
JP4728100B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-07-20 | 株式会社エンジェリーベ | マタニティ用下半身着衣 |
-
1989
- 1989-09-25 JP JP1248823A patent/JPH03109780A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4728100B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-07-20 | 株式会社エンジェリーベ | マタニティ用下半身着衣 |
JP2011138982A (ja) * | 2009-12-29 | 2011-07-14 | Omron Corp | 照明装置および照明装置の製造方法 |
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