JPH03106403A - 真空装置用液体回収機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空装置内にある液体を回収するための機構
に関するものである。

（従来の技術） 真空装置１内（第３図）に液体が存在する場合、これを
回収するための機構は従来、弁２、液体回収部３、冷却
型真空排気装置４、液体回収弁６、液体回収溜め７およ
び冷却用液体窒素配管で構威されていた。例えば、真空
装置内で水銀を使用した場合、液体水銀を真空装置内か
ら回収するためには真空装置を加熱して真空装置内の水
銀を蒸気化し、冷却真空装置４近くの液体窒素で冷却し
たトラップ３に凝縮させる。次に同真空装置と同トラッ
プを弁２によって切り離した後、液体回収弁６を開け、
同冷却真空排気装置４を止めて常温にし、同冷却型排気
装置内に溜った水銀を冷却した液体回収部３のトラップ
に吸着させる。トラップを常温に戻し、トラップに吸着
した水銀を回収溜め７に回収する。液体回収経路３〜７
まで真空解除弁８を通して窒素ガスを充填して解除した
後、同回収溜めから真空装置外部へ排出する。このよう
にして液体を回収していた。

（発明が解決しようとする課題） 真空装置内の液体の回収を行う過程で、液体回収弁６は
弁を開けるまで回収された液体が直接溜ることがあり、
これが原因で液体回収弁６のＯリングに液体などが付着
して弁が完全に閉まらず、また液体が金属腐食性のある
水銀のような場合にはこの液体回収弁が腐食されて真空
が漏れることが問題であった。

本発明の目的は、液体回収弁に直接液体が溜まらないよ
うにした、液体回収機構を提供することにある。

（課題を解決するための手段） この発明の要旨とするところは、真空装置において液体
の回収経路にあり、弁とトラップの間に蛇腹管を配置し
ここに液体を一旦溜め、液体が弁に直接溜まらない構造
にすることを特徴とする。

（作用） 真空装置内から回収された液体が蛇腹管のところで一旦
溜まり、下方の弁には直接溜らないので、同弁からの真
空漏れ及び腐食を起こすことがなくなり、常に真空を保
つことができる。

（実施例） 以下、図示（第１図）の実施例により液体回収機構を説
明する。

真空装置１から液体回収後の液体溜め７までの真空経路
は第１図のようなものである。真空装置を加熱し真空装
置内の液体が蒸気として真空排気装置側へ送られた後、
弁２を閉じた後で液体回収部３のトラップに回収されて
きた蒸気なった液体はここで液体窒素温度（７７Ｋ絶対
温度）で凝縮される。このとき液体の一部は本装置の液
体回収弁５のところに溜る。本装置下部の液体回収弁６
を先に解放してから上部の同蛇腹管を伸ばして溜った液
体を落下させる。また下部の液体回収弁６の構造は第２
図に示すように弁１１とゴムのＯリング１３で構威され
、液体が弁に直接触れずに通過できる様な液体ガイド１
２付きの構造を持つものである。また、溝１０は液体回
収弁の上下に真空装置を連結するためのガスケット溝で
ある。この方法により回収された液体は本装置下部の液
体回収弁６内のＯリング１３に直接溜ることなく回収す
ることができ、下部の液体回収弁では真空漏れ、腐食は
起こらない。

本発明では、液体回収経路に蛇腹管を設けることによっ
て、液体の接触しない下部の液体回収弁６での真空漏れ
と弁の腐食を防ぐことが出来る。

（発明の効果） 以上、詳述したように、本発明によって実施した液体回
収機構により、真空装置内からの液体回収排出によって
起こされる弁の真空漏れ、腐食を完全に防ぐことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明における真空装置内からの液体回収機
構の構戒例を示す図。第２図は、液体回収弁の構造例を
示す図。第３図は、従来の真空装置内からの液体回収機
構の構或を示す図。 １・・・真空装置、２・・・真空装置と液体回収経路を
切り離す弁、３・・・液体窒素による回収液体凝縮トラ
ップ、４・・・冷却型真空排気装置、５・・・蛇腹管、
６・・・液体回収用弁、７・・・液体溜め容器、８・・
・真空解除弁、９・・・液体窒素配管、１０・・・金属
ガスケット溝、１１・・・真空弁、１２・・・液体ガイ
ド、１３・・・真空弁用Ｏリング。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 液体凝縮トラップと該トラップに接続する弁を備えた真
   空装置用液体回収機構において、前記トラップと弁の間
   に蛇腹管を配置し、該蛇腹管の形状を液体が溜まる形状
   としたことを特徴とする真空装置用液体回収機構。