JPH0299836A - 薄膜式サーモ基板 - Google Patents
薄膜式サーモ基板Info
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- JPH0299836A JPH0299836A JP25313088A JP25313088A JPH0299836A JP H0299836 A JPH0299836 A JP H0299836A JP 25313088 A JP25313088 A JP 25313088A JP 25313088 A JP25313088 A JP 25313088A JP H0299836 A JPH0299836 A JP H0299836A
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- Japan
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- thin film
- temperature
- color
- gold
- intermediate thin
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 19
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 7
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、測温抵抗体や熱電対、また光学式温度計で測
定できない物体の温度（＃１歴温度）を知る為の薄膜式
サーモ基板に関する。
定できない物体の温度（＃１歴温度）を知る為の薄膜式
サーモ基板に関する。
（従来の技術）
従来より一般的な温度管理用として熱により変色する塗
料式のサーモラベルが使用されている。
料式のサーモラベルが使用されている。
（発明が解決しようとする課題）
ところで塗料式のサーモラベルは、塗料の材質上、真空
中にて高温になると、ガスが発生し、基板等が汚染され
てしまう危険性がある為、真空中にて使用することがで
きなかった。
中にて高温になると、ガスが発生し、基板等が汚染され
てしまう危険性がある為、真空中にて使用することがで
きなかった。
そこで本発明は、真空中の高温域にて使用してもガスの
出ないクリーンな薄膜式サーモ基板を提供しようとする
ものである。
出ないクリーンな薄膜式サーモ基板を提供しようとする
ものである。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するための本発明の薄膜式サーモ基板は
、透明なガラス基板上に、各種金属の中間薄膜が形成さ
れ、その中間薄膜の上に金の薄膜が形成されて成るもの
である。
、透明なガラス基板上に、各種金属の中間薄膜が形成さ
れ、その中間薄膜の上に金の薄膜が形成されて成るもの
である。
各種金属の中間薄膜は、金の薄膜とは色の異なる膜が選
定される。表面に金の薄膜が形成されているのは、大気
中の高温にて酸化、変色しないからである。
定される。表面に金の薄膜が形成されているのは、大気
中の高温にて酸化、変色しないからである。
（作用）
上記の如く構成された薄膜式サーモ基板により、真空中
にて加熱した被測定物の最高到達温度（最高履歴温度）
を求めるには、中間薄膜の金属と表面の薄膜の金の温度
による拡散度合を見て求めることができる。即ち、透明
なガラス基板側から観察して、中間薄膜の色がその金属
の色をしていれば拡散温度に到達していないことが確認
され、中間薄膜の色が金の色に変色していれば拡散温度
に到達していることが！３Ｍされる。そしてこれはＰめ
被加熱物の温度を測定し乍ら、中間薄膜の色が金の色に
変色した時点の温度を測定点としたことにより、被測定
物の最高到達温度（Ｂ層温度）が求められるのである。
にて加熱した被測定物の最高到達温度（最高履歴温度）
を求めるには、中間薄膜の金属と表面の薄膜の金の温度
による拡散度合を見て求めることができる。即ち、透明
なガラス基板側から観察して、中間薄膜の色がその金属
の色をしていれば拡散温度に到達していないことが確認
され、中間薄膜の色が金の色に変色していれば拡散温度
に到達していることが！３Ｍされる。そしてこれはＰめ
被加熱物の温度を測定し乍ら、中間薄膜の色が金の色に
変色した時点の温度を測定点としたことにより、被測定
物の最高到達温度（Ｂ層温度）が求められるのである。
尚、各種金属の中間薄膜の膜厚は、２００人未満では膜
の透光率が高く、金色がかかった膜色となってしまい、
１０００人を超えると金との拡散に時間的影響が出てく
るので、２００〜１０００人の膜厚が好ましい。
の透光率が高く、金色がかかった膜色となってしまい、
１０００人を超えると金との拡散に時間的影響が出てく
るので、２００〜１０００人の膜厚が好ましい。
また金の薄膜の膜厚は、０．１μｍ未満では拡散時に中
間薄膜の金属の色を呈するので、変色が確認できず、５
μｍを超えると色の変化、耐酸化性の効力に変化が無く
、高価な金が無駄となるので、０．１〜５μｍが好まし
い。
間薄膜の金属の色を呈するので、変色が確認できず、５
μｍを超えると色の変化、耐酸化性の効力に変化が無く
、高価な金が無駄となるので、０．１〜５μｍが好まし
い。
（実施例）
本発明の薄膜式サーモ基板の一実施例を説明すると、縦
１０ｍｍ、横１０ｍｍ、厚さ１１Ｉ１１の透明なホウケ
イ酸ガラス基板の上に、スパッタリング法によりＣｒの
中間薄膜が５００への厚さに形成され、その中間薄膜の
上に、スパッタリング法によりＡｕの薄膜が１μｍの厚
さに形成されている。
１０ｍｍ、横１０ｍｍ、厚さ１１Ｉ１１の透明なホウケ
イ酸ガラス基板の上に、スパッタリング法によりＣｒの
中間薄膜が５００への厚さに形成され、その中間薄膜の
上に、スパッタリング法によりＡｕの薄膜が１μｍの厚
さに形成されている。
このように構成された薄膜式サーモ基板の測定点を求め
るには、真空中にて被加熱物を加熱し、被加熱物の温度
を測定し乍ら、薄膜式サーモ基板の中間薄膜の変色を観
察した処、３８０℃にてＣ「の白色からＡｕの金色に変
化したので、３８０℃を測定点として求めることができ
た。この場合、Ｃ「の中間薄膜の膜厚が５００人と薄い
為、拡散に要する時間は無視することができる。
るには、真空中にて被加熱物を加熱し、被加熱物の温度
を測定し乍ら、薄膜式サーモ基板の中間薄膜の変色を観
察した処、３８０℃にてＣ「の白色からＡｕの金色に変
化したので、３８０℃を測定点として求めることができ
た。この場合、Ｃ「の中間薄膜の膜厚が５００人と薄い
為、拡散に要する時間は無視することができる。
かくしてこの薄膜式サーモ基板を真空中にセットし、そ
の真空中の加熱した被測定物の温度を測定すべく、透明
なホウケイ酸ガラス基板側から観察した処、Ｃｒの中間
薄膜が変色が確認され、被測定物の温度が３８０℃に到
達していることが判明した。
の真空中の加熱した被測定物の温度を測定すべく、透明
なホウケイ酸ガラス基板側から観察した処、Ｃｒの中間
薄膜が変色が確認され、被測定物の温度が３８０℃に到
達していることが判明した。
上記実施例は中間薄膜がＣ「の場合であるが、Ｉｎ、Ｓ
ｎ等各種金属の中間薄膜を有する薄膜式サーモ基板も同
様に測定点を求め、真空中での加熱した被測定物の温度
の測定に使用される。そしてこのような薄膜式サーモ基
板を数種類選定して叶べて使用すれば、被測定物の温度
がどの薄膜式サーモ基板の測定点に到達したかが判明す
る。
ｎ等各種金属の中間薄膜を有する薄膜式サーモ基板も同
様に測定点を求め、真空中での加熱した被測定物の温度
の測定に使用される。そしてこのような薄膜式サーモ基
板を数種類選定して叶べて使用すれば、被測定物の温度
がどの薄膜式サーモ基板の測定点に到達したかが判明す
る。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明の薄膜式サーモ基板は、
透明なガラス基板上の各種金属の中間薄膜と表面の金の
薄膜の拡散度合によって被測定物の温度を測定できるの
であるから、測温抵抗体や熱電対、また光学式温度計で
測定できない物体の温度（履歴温度）を測定でき、しか
も各種金属及び金の薄膜は真空中でスパッタリング法又
は蒸着法により形成したものであるから真空中の高温域
にて物体の温度（履歴温度）の測定に使用しても従来の
塗料式サーモラベルのようにガスが発生ずるようなこと
も無く、基板が汚染されることも無くクリーンである。
透明なガラス基板上の各種金属の中間薄膜と表面の金の
薄膜の拡散度合によって被測定物の温度を測定できるの
であるから、測温抵抗体や熱電対、また光学式温度計で
測定できない物体の温度（履歴温度）を測定でき、しか
も各種金属及び金の薄膜は真空中でスパッタリング法又
は蒸着法により形成したものであるから真空中の高温域
にて物体の温度（履歴温度）の測定に使用しても従来の
塗料式サーモラベルのようにガスが発生ずるようなこと
も無く、基板が汚染されることも無くクリーンである。
出願人 田中貴金属工業株式会社
Claims (1)
- １、透明ガラス基板上に、各種金属の中間薄膜が形成さ
れ、その中間薄膜の上に金の薄膜が形成されて成る薄膜
式サーモ基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25313088A JPH0299836A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 薄膜式サーモ基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25313088A JPH0299836A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 薄膜式サーモ基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299836A true JPH0299836A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17246922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25313088A Pending JPH0299836A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 薄膜式サーモ基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0299836A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7481308B2 (en) | 2000-10-17 | 2009-01-27 | Mei, Inc. | Lockable removable cassette |
| WO2018216179A1 (ja) * | 2017-05-25 | 2018-11-29 | 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 | 温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置 |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP25313088A patent/JPH0299836A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7481308B2 (en) | 2000-10-17 | 2009-01-27 | Mei, Inc. | Lockable removable cassette |
| US7789214B2 (en) | 2000-10-17 | 2010-09-07 | Mei, Inc. | Stacker mechanisms and cassettes for banknotes and the like |
| US8616360B2 (en) | 2000-10-17 | 2013-12-31 | Mei, Inc. | Lockable removable cassette |
| WO2018216179A1 (ja) * | 2017-05-25 | 2018-11-29 | 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 | 温度測定方法、温度測定具、及び温度測定装置 |
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