JPH0296387A - リフレクタ及び固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、励起光源からの励起光を反射面により反射し
て固体レーザ装置に集中させるリフレクタ及びこのよう
なリフレクタを備えた固体レーザ装置に関する。

［従来の技術］ 例えば、固体レーザ装置に用いられるレーザ媒体の中で
、相対向する平行な２つの面を全反射面とし、共振光線
がこれら各面で交互に全反射を繰り返してジグザグ状の
共振光路を形成することによってレーザ発振を得るよう
にし、これにより、レーザ媒体内における温度分布によ
る共振光線の位相ずれ等を平均化することで、歪みが少
なく、かつ、比較的高出力のレーザ光を得られるように
したものとして、スラブ型レーザ媒体がある（例えば、
特公昭４８−１５５９９号公報参照）。

ところで、前記形式のレーザ媒体では、厚さ方向の温度
分布を軽減することはできるが、幅方向に生ずる温度分
布を軽減することはできない。これがため、幅方向に生
じた温度分布によっていわゆる熱レンズ効果が生ずる。

それゆえ、従来からこの熱レンズ効果を相殺できる方式
としていわゆるムービングスラブレーザ装置が提案され
ている（例えば、米国特許箱４．５５５．７８６号公報
参照〉。

第２図はこのムービングスラブレーザ装置の原理図であ
る。すなわち、このムービングスラブレーザ装置は、ス
ラブ型レーザ媒体の幅を左右に延長して板状に形成した
レーザ媒体１０１を、図中矢印ｐで示されるように左右
に往復移動させながらその一部に励起光源１０２ａ、１
０２ｂから励起光を照射してレーザ光ｒを得るようにし
たものである。

このムービングスラブレーザ装置は励起エネルギーに対
する発振レーザ光の比、すなわち、エネルギー効率が通
常２％程度と低いため、高出力を得るためには大量の励
起光を励起面に照射しなければならない。このため、励
起光源をレーザ媒体の励起面に可能な限り近付ける必要
がある。

ところで、実際のムービングスラブレーザ装置では、レ
ーザ媒体を往復移動させるための移動機構を設ける必要
がある。このため、励起光源として、通常のストレート
タイプの光源（例えば、直円柱状のキセンノンランプ等
）を用いると、前記移動機構が邪魔になって該光源をレ
ーザ媒体に近い位置に配置することができない。したが
って、励起光源をレーザ媒体から著しく離れた位置に配
置することになる。その結果、所望の強さの励起光を励
起面に照射することが極めて困難であった。

これを解決する方法として発光部がレーザ媒体の近傍に
位置するように、発光部を屈曲させた光源を用いたムー
ビングスラブレーザ装置が提案されている。

第３図及び第４図はこの提案にかかるムービングスラブ
レーザ装置の詳細を示す断面図である。

ここで、第３図及び第４図はそれぞれ前記第２図の原理
図における■−■線及びＩＶ　−ＩＶ線に沿って切断し
た断面図に相当する。なお、第４図は一部を省略した部
分断面図である。

これらの図において、レーザ媒体１０１は保持部材Ｌｌ
ｌａ、１ｌｌｂ、１ｌｌｃ、１ｌｌｄによってその両端
部を保持されている。また、これら保持部材１１１ａ〜
１１１ｄは移動部材１１２ａ、１１２ｂに固定されてい
る。そして、前記移動部材１１２ａ、１１２ｂはそれぞ
れ軌道部材１１３ａ、１１３ｂに移動自在に嵌合されて
いるとともに、これら軌道部材１１３ａ、１１３ｂはと
もに装置本体フレーム１１４に固定されている。

これにより、前記レーザ媒体１０１が第４図における矢
印ｐ方向に移動自在となっている。なお、このレーザ媒
体１０１はその両面を冷却板１１０ａ、１１０ｂによっ
て冷却されるようになっている。

また、励起光源１０２ａ、１０２ｂは発光部がレーザ媒
体１０１の近傍に位置するように、屈曲した形状に形成
されている。

そして、前記励起光源１０２ａ、１０２ｂの周囲には、
これら励起光源１０２ａ、１０２ｂから射出される励起
光を前記レーザ媒体１０１の励起面に集光するためのリ
フレクタ１０３ａ、１０３ｂが設けられている。

以上の構成により、前記提案にがかるムービングスラブ
レーザ装置では、励起光源の発光部をレーザ媒体に近付
けることを可能にし、これにより、レーザ媒体に照射す
る励起光の光量を所望の値にしようとしている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記提案にがかるムービングスラブレー
ザ装置にあっても以下の欠点があった。

ａ、励起光源の発光部をレーザ媒体に近付けるために励
起光源を屈曲した形状にすると、屈曲しないストレート
タイプのものに比較して著しく発光強度が落ちてしまう
。このため、発光部をレーザ媒体に近付けたことによる
効果の多くが相殺されて所望の光量増大効果を得ること
ができない。

ｂ、屈曲した部分の強度が弱く、これがため、フラッシ
ュ発光を繰返し行ううちに熱歪み等によってこの屈曲し
た部分から亀裂が生ずる等、寿命の点で著しく不利にな
る。

Ｃ９屈曲した形状を有する光源は、通常の市販品にはな
いなめ、特注仕様になり、コスト高になる。

本発明は、上述の背景のもとでなされたものであり、上
述のような屈曲した形状の光源を用いることなく、通常
のストレートタイプの光源を用いて比較的レーザ媒体か
ら離れた位置から励起光を効率よくレーザ媒体に導くこ
とができるリフレクタ及びこのリフレクタを用いた固体
レーザ装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、以下の構成とすることにより、上述の課題を
解決している。

（１）励起光源からの励起光を反射面により反射してレ
ーザ媒体の励起面に照射させるようにしたリフレクタに
おいて、 互いの中心軸が平行でかつその一部が互いに相乗なるよ
うに配置された２つの仮想円筒面に大略沿うように反射
面を形成し、 これら仮想円筒面の２つの交差部のうちの一方の交差部
の近傍を開口して光の射出部とし、前記２つの仮想円筒
面内にそれぞれ２つの光源を配置するようにし、 これら２つの光源を、前記仮想円筒面の中心軸にそれぞ
れの中心軸が平行になり、かつ、これら中心軸と前記光
の射出部との距離が、前記仮想円筒面の中心軸と前記光
の射出部との距離よりも大きくなるように配置して、 これら２つの光源から射出された光を集光して前記射出
部から射出するようにした集光部と、前記集光部から射
出された光を該集光部から離れた位置に配置されたレー
ザ媒体の励起面に導くようにした導光部とを有すること
を特徴とした構成、及び、 （２）レーザ媒体を往復移動させつつ該レーザ媒体の一
部に励起光を照射することによって該レーザ媒体に対す
る励起光の照射位置を変えながらレーザ発振を行なわせ
るようにした固体レーザ装置において、 励起光源からの励起光を反射面により反射して前記レー
ザ媒体の励起面に照射させるようにしたリフレクタを備
え、 前記リフレクタは、 互いの中心軸が平行でかつその一部が互いに相乗なるよ
うに配置された２つの仮想円筒面に大略沿うように反射
面を形成し、 これら仮想円筒面の２つの交差部のうちの一方の交差部
の近傍を開口して光の射出部とし、前記２つの仮想円筒
面内にそれぞれ２つの光源を配置するようにし、 これら２つの光源を、前記仮想円筒面の中心軸にそれぞ
れの中心軸が平行になり、がっ、これら中心軸と前記光
の射出部との距離が、前記仮想円筒面の中心軸と前記光
の射出部との距離よりも大きくなるように配置して、 これら２つの光源から射出された光を集光して前記射出
部から射出するようにした集光部と、前記集光部から射
出された光を該集光部から離れた位置に配置されたレー
ザ媒体の励起面に導くようにしな導光部とを有するもの
であることを特徴とした構成。

「作用］ 前記構成（１）によれば、前記集光部の反射面を大略２
つの円筒面に沿うように形成し、そして、前記２つの仮
想円筒面内にそれぞれ２つの光源を配置するようにし、
しかも、これら２つの光源を、前記仮想円筒面の中心軸
にそれぞれの中心軸が平行になり、かつ、これら中心軸
と前記光の射出部との距離が、前記仮想円筒面の中心軸
と前記光の射出部との距離よりも大きくなるように配置
していることから、前記集光部内に配置された２つの励
起光源から射出された光を極めて効率よく集光でき、こ
の集光された光を前記導光部を通じて前記レーザ媒体の
励起面に導くことができる。したがって、前述の従来例
に示したような屈曲した光源を用いて励起光源をレーザ
媒体に近付けることなく十分多くの光を前記レーザ媒体
の励起面に照射することが可能となる。しかも、励起光
源として発光部を屈曲させる等した特殊な形状のものを
用いる必要がないから、寿命、コスト等の点で極めて有
利となる。

さらに、前記集光部の反射面の形状を大略２つの円筒面
に沿うような形状としたことにより、この集光部の反射
面の形状を楕円筒面等の複雑な形状に沿うように形成し
た場合に比較してその制作コストを著しく軽減すること
が可能となる。

また、前記構成（２）によれば、前記構成（１）のリフ
レクタの利点がそのまま反映されて、発振出力、寿命、
コスト等の点で極めて有利な固体レーザ装置を得ること
ができる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例にかかるリフレクタ及びこの
リフレクタを用いたムービンスラブレーザ装置の一部を
示す部分断面図、第５図及び第６図は第１図における一
部分を示す部分断面図、第７図は第１図におけるＶＩ［
−ＶＩ線断面図である。以下、図面を参照にしながら本
発明の一実施例にかかるリフレクタ及びこのリフレクタ
を用いたムービングスラブレーザ装置を詳述する。

第１図において、符号１はスラブ型レーザ媒体である。

このスラブ型レーザ媒体１は、第１図における紙面に垂
直な方向に光軸を有する断面菱形方形をなし、幅Ｗ＝２
２５±０．５ｍｍ、厚さｔ＝６±０．５ｍｍであるとと
もに、長さＬ＝２２５±０．０５ｍｍ（第５図）程度の
大きさ及び寸法精度を有するもので、例えば、Ｎｄドー
プのレーザガラスによって構成されている。

このレーザ媒体１は、第７図に示されるように、その長
さ方向の両端部が保持部材１１ａ、１ｌｂ１１ｃ、ｌｉ
ｄによって保持されている。また、これら保持部材１１
ａ〜ｌｉｄは移動部材１２ａ１２ｂに固定されている。

そして、前記移動部材１２ａ、１２ｂはそれぞれ軌道部
材１３ａ、１３ｂに移動自在に嵌合されているとともに
、これら軌道部材１３ａ、１３ｂはともに装置本体フレ
ーム１４に固定されている。

これにより、前記レーザ媒体１が第１図における矢印ｐ
方向に移動自在となっている。なお、このレーザ媒体１
はその両面１ａ、ｌｂからアルミニウム製冷却板１０ａ
、１０ｂ、１０ｃ、ｌ○ｄによってヘリウムガスを介し
て冷却されるようになっている。

前記冷却板１０ａと１０ｂ並びに１０ｃと１０ｄはそれ
ぞれ相対向する端部が所定距離、すなわち、前記レーザ
媒体１の励起領域が確保できる距離だけ離れるように配
置されている。

そして、これら冷却板１０ａと１０ｂ、１０ｃと１０ｄ
のそれぞれの端部力稍笛れている部位に励起光射出部が
位置するようにリフレクタ３ａ及び３ｂがそれぞれ配置
されている。

前記リフレクタ３ａは距離Ｗ、（＝２０ｍｍ＞をおいて
相対向して配置された２枚の反射鏡３２ａと３２ｂ（図
中上・下方向の長さＬｌ　＝５０ｍｍ）とから構成され
る導光部３２０ａ　（第２の反射部）と、この導光部３
２０ａに接続された集光部３１０ａとで構成されている
。

前記集光部３１０ａは、互いに一部が組型なるとともに
各々の中心軸３１１ａ及び３１１ｂが互いに平行で、か
つ、前記レーザ媒体１の光軸に平行となるような位置関
係にある２つの仮想円筒面を想定した場合、これら仮想
円筒面の重ならない部分に大略沿うような形状に形成さ
れ、さらに、前記２つの仮想円筒面が交差する２つの交
差部ののうちの一方の交差部の近傍を開口して光の射出
部としたもので、円筒型反射鏡部３１ａ及び３１ｂによ
って構成されている。そして、この集光部３１０ａの光
射出部が前記導光部３２０ａに接続されているものであ
る。この場合、前記円筒型反射鏡部３１ａ及び３１ｂの
直径ｄ１はともに３０ｍｍである。また、前記導光部３
２０ａと前記集光部３１０ａとの境界となる部分を境界
部３１２ａ及び３１２ｂとすると、これら境界部３１２
ａ及び３１２ｂと前記円筒型反射鏡部３１ａ及び３１ｂ
の各々の中心軸３１１ａ及び３１１ｂとのなす距離ｄ３
はともに１４．７ｍ　ｍである。さらに、前記中心軸３
１１ａと３１１ｂとのなす距離ｄ４は１４ｒｒ１ｍであ
る。なお、前記集光部３１０ａ内には、直円柱状のキセ
ンノンランプ等で構成される２本の励起光源２ａ及び２
ｂが配置されている。一方、ｎｉｆ記導光部３２０ａ及
び３２０ｂの前記レーザ媒体１に対向する光射出部には
パイレックスガラス等の透明板３２１ａ及び３２１ｂが
設けられており、これら透明板３２１ａ及び３２１ｂと
前記レーザ媒体１との間にはヘリウムガスが満たされて
いる。

前記励起光源２ａ及び２ｂは、ともに直径ｄ２が１６ｍ
　ｍである。また、それぞれの中心軸２１ａ及び２１ｂ
が前記反射鏡部３１ａ及び３１ｂの中心軸３１１ａ及び
３１１ｂに平行となるように配置されており、これら中
心軸同志のなす距離ｄ５が２０ｍ　ｍである。さらに、
これら中心軸と前記境界部３１２ａ及び３１２ｂとのな
す距Ｍｄ６が２０ｍｍである。

また、前記リフレクタ３ｂは、上述のリフレクタ３ａと
まったく同じ構成を有し、前記レーザ媒体１を挾んで前
記リフレクタ３ａと対象的に配置されている。なお、こ
のリフレクタ３ｂにおいて、符号３２０ｂが導光部、３
１０ｂが集光部、３２Ｃ及び３２ｂが前記導光部３２０
ｂを構成する反射鏡部、３Ｌｃ及び３１ｄが前記集光部
３１０ｂを構成する円筒型反射鏡部、３１１Ｃ及び３１
１ｄが前記円筒型反射鏡部３１ｃ及び３１ｄの中心軸、
２Ｃ及び２ｄが光源、２１ｃ及び２１ｄが前記光源２Ｃ
及び２ｄの中心軸である。なお、以上の構成において、
前記導光部３２０ａ、３２０ｂを構成する反射鏡部３２
ａ〜３２ｄ並びに前記集光部３１０ａ、３１０ｂを構成
する円筒型反射鏡部３１ａ〜３１ｄの各反射面はアルミ
ニウムの表面に金メツキを施して形成されており、その
表面反射率は約９０％である。

次に、第６図を参照しながら前記集光部３１０ｂによる
集光作用を説明する。

まず、前記一実施例ては、前記円筒反射鏡部３１ｄの中
心軸３１１ｄと光源２ｄの中心軸２１ｄとの距離が十分
近接しているので、前記円筒反射鏡部３１ｄの反射面は
、該円筒反射鏡部３１ｄの中心軸３１１ｄを対称中心と
して前記光源２ｄの中心軸２１ｄと対称の関係にある仮
想軸２１１ｄを焦点とする楕円筒面とみなすことができ
る。

そうすると、前記光源２ｄの中心２１ｄから射出されて
前記円筒型反射鏡部３１ｄによって反射された光は、前
記仮想軸２１１ｄを通ることになる。

いま、便宜上、前記円筒型反射鏡部３１ｄを図示の領域
Ｅ工、Ｅ２．Ｅ、に分けて考える。

そうすると、前記光源２ｄの中心軸２１ｄから射出され
た光のうち、領域Ｅ１に射出された光は前記Ｆ月筒型反
射鏡部Ｂｉｄで反射されて全て前記導光部３２０ｂに入
射する。また、領域Ｅ２に射出された光は前記円筒型反
射鏡部３１ｄで反射され、前記もう一方の円筒型反射鏡
部３１ｃによって再反射されてその多くは前記導光部３
２０ｂに入射する。さらに、前記領域Ｅ３に射出された
光は、直接前記導光部３２０ｂに入射する。これにより
、前記光源２ｄから射出された光は、効率よく集光され
てその大部分が前記導光部３２０ｂに入射する。この場
合、この集光部３１０ｂの集光能力は、前記円筒型反射
鏡部３１ｄの代わりに楕円形状の反射鏡部とした場合と
ほぼ同等である。

なお、前記円筒型反射鏡部３１ｄの中心軸３１１ｄと前
記光源２ｄの中心軸２１ｄとのなす距離ｄ７を前記円筒
反射鏡部３１ｄの直径ｄ１の２０％以下にすることで、
前記円筒型反射鏡部３１ｄの代わりに楕円形状の反射鏡
部とした場合における集光能力の９６％以上の集光能力
を得ることができる。また、前記２本の光源２ｃ及び２
ｄ間の距離は、可能なかぎり近付けるほうが、これら光
源２Ｃ及び２ｄから射出される光を前記導光部３２０ｂ
により多く入射させる観点から有利となる。

なお、ここで、前記領域Ｅ１は、前記境界部３１２ｃと
前記仮想軸２１１ｄとを通る平面が前記円筒型反射鏡部
２ｄと交わる部位を３１４ｄとし、さらに、前記円筒型
反射鏡部２ｄともう一方の円筒型反射鏡部２Ｃとの交差
部を３１３ｂとした場合、これら部位３１４ｄ及び３１
３ｂと前記光源２ｄの中心軸２１ｄとを結んだときに形
成される２つの平面によって仕切られる領域である。ま
た、領域Ｅ２は、前記部位３］４ｄ及び前記境界３１２
ｄと前記光源２ｄの中心軸２１ｄとを結んだときに形成
される２つの平面によって仕切られる領域である。同様
に、前記領域Ｅ３は前記境界３１２ｄ及び３１２Ｃと前
記光源２ｄの中心軸２１ｄとを結んだときに形成される
２つの平面によって仕切られる領域である。

第８図は、第６図において、前記励起光源２ｄの中心２
１ｄと前記レーザ媒体１の表面１ｂとの距離ｄ８から前
記円筒型反射鏡部３１ｄの中心３１ｉｄと前記レーザ媒
体１の表面１ｂとの距離ｄ９を差し引いた値「ｄ」　（
図中、横軸；単位；ｃｍ）を変えた場合、前記励起光源
２ｄがら射出された光が前記導光部３２０ｂに伝達され
る比率「ｔ」　（図中、縦軸：単位：％）をコンピュー
タシュミレーション法によって求めた結果をプロットし
たグラフである。なお、図中、点ｐが本実施例の場合を
示す。

第８図から明らかなように、上述の実施例によれば、前
記円筒型反射鏡部３１ｄのかわりに楕円筒型の反射鏡を
用いた場合の伝達効率と極めて近い値が得られている。

また、第９図は上述のｄを５．３ｍｍとした場合におい
て、前記円筒型反射鏡部３１ｄの半径ｄ２／２を変えた
場合の前記伝達率「ｔ」をコンピュータシュミレーショ
ン法によって求めた結果をプロットしたグラフである。

上述の構成において、前記各励起光源２ａ〜２ｄから射
出された光は、前記リフレクタ３ａ及び３ｂの集光部３
１０ａ及び３１０ｂによって集光され、それぞれ前記導
光部３２０ａ及び３２０ｂによつで前記レーザ媒体１に
導かれ、該レーザ媒１水１を励起する。これにより、第
５図に示されるように、前記レーザ媒体１内において、
該レーザ媒体１の両面１ａ及び１ｂによって反射を繰り
返されてジグザグに進む誘導放出光が生じ、該レーザ媒
体１の入・出射面ＩＣ及び１ｄを出射して図示しない外
部共振ミラーとの間で共振光線を形成してレーザ発振が
行われる。

また、前記移動部材１２ａ及び１２ｂを図示しない適宜
の駆動手段、例えば、制御回路によって制御されるＤＣ
サーボモータ等によって駆動することによって、往復移
動させることができる。

したがって、前記レーザ媒体１を、例えば、ストローク
２０ｃｍ、周期６ｍｍで往復移動させながら前記各励起
光源２ａ〜２ｄから射出された光を、前記リフレクタ３
ａ及び３ｂによって前記レーザ媒体１に照射して該レー
ザ媒体１を励起することによって比較的大出力のレーザ
光を得ることができる。

以上詳述した一実施例によれば、前記リフレクタ３ａ及
び３ｂによって、前記レーザ媒体１から比較的離れた位
置にそれぞれ配置された２本の励起光源２ａ、２ｂ及び
２ｃ、２ｄから射出される光を効率よく前記レーザ媒体
１に照射することができる。

このため、前述の従来例における屈曲した光源を用いて
発光部をレーザ媒体１に近接させた場合に比較してより
多くの励起光をレーザ媒体に照射することを可能にする
。具体的には、例えば、前記従来の屈曲した光源を用い
た場合には、得られるレーザ出力が１３０　Ｗ程度が限
度であったが、上記実施例では３００Ｗの出力を得るこ
とができた。

しかも、前記集光部３１０ａ及び３１０ｂを構成する反
射鏡部３１ａ〜３１ｄを大略円筒形に沿うような形状に
したことにより、これらを楕円筒形にした場合に比較し
てその制作コストを著しく軽減できる。なお、この場合
、既述したように、これら集光部３１０ａ及び３１０ｂ
を楕円筒形に沿うような形状に形成した場合とほとんど
遜色のない程の集光能力を発揮できることが確認されて
いる。

さらに、前記屈曲した光源を用いた従来例に比較して前
記一実施例では光源の寿命が著しく長いとともに、前記
従来例のように、特殊な形状のものでなく一般に市販さ
れているランプを用いることができるので光源のコスト
も著しく低く押さえることができる。

また、前記従来例にあっては、光源をレーザ媒体に近接
させるため、光源の照度ムラがそのままレーザ媒体に照
射する励起光の強度ムラとなってしまい、得られるレー
ザ光の均一性に悪影響を及ぼすおそれが高い。これに対
し、前記一実施例では、前記リフレクタ３ａ及び３ｂの
作用により、前記各励起光源２ａ〜２ｄの照度ムラが緩
和され、前記レーザ媒体１には極めて均一な光が照射さ
れることになって極めて均一なレーザ光を得ることを可
能にする。

なお、前記一実施例では、前記リフレクタ３ａ及び３ｂ
の集光部３１０ａ及び３１０ｂを円筒型反射鏡部３１ａ
〜３１ｄ″Ｃ′構成しているが、本発明は、必ずしもこ
れら反射鏡部３１ａ〜３１ｄに相当する部分を完全な円
筒形にしなければならないという意味ではなく、これら
の部分を大略円筒形に沿った形状にすればよいという意
味である。

すなわち、具体的には、例えば、前記円筒型反射鏡部３
１ｄを例にとると、第６図における部位３１４ｄと境界
３１２ｄとの間の部分を平板状に形成してもよい。この
場合においても、この部分を完全な円筒形にした場合の
ほぼ９０％の集光能力を発揮することができる。

［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明は、集光部の反射面を大略
２つの仮想円筒面に沿うように形成するとともに、前記
２つの仮想円筒面内にそれぞれ２つの光源を配置するよ
うにし、しかも、これら２つの光源を、前記仮想円筒面
の中心軸にそれぞれの中心軸が平行になり、かつ、これ
ら中心軸と前記反射面における光の射出部との距離が、
前記仮想円筒面の中心軸と前記光の射出部との距離より
も大きくなるように配置していることから、前記集光部
内に配置された２つの励起光源から射出された光を極め
て効率よく集光でき、この集光された光を前記導光部を
通じて前記集光部から離れた位置に配置されたレーザ媒
体の励起面に導くことができる。したがって、前述の従
来例に示したような屈曲した光源を用いて励起光源をレ
ーザ媒体に近付けることなく十分多くの光を前記レーザ
媒体の励起面に照射することが可能となる。しかも、励
起光源として発光部を屈曲させる等した特殊な形状のも
のを用いる必要がないから、寿命、コスト等の点で極め
て有利となる。

さらに、前記集光部の反射面の形状を大略２つの円筒面
に沿うような形状としたことにより、この集光部の反射
面の形状を楕円筒面等の複雑な形状に沿うように形成し
た場合に比較してその制作コストを著しく軽減すること
が可能となる。

また、前記構成のリフレクタを固体レーザ装置（特にム
ービングスラブレーザ装置）に適用したことにより、こ
のリフレクタの利点がそのまま反映されて、発振出力、
寿命、コスト等の点で極めて有利な固体レーザ装置を得
ることを可能とじている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかるリフレクタ及びこの
リフレクタを用いたムービングスラブレーザ装置の一部
を示す部分断面図、第２図は従来のムービングスラブレ
ーザ装置のＮ埋図、第３図は従来のムービングスラブレ
ーザ装置の詳細を示す図であって前記第２図の原理図に
おける■−■線に沿って切断した断面図に相当する断面
図、第４図は従来のムービングスラブレーザ装置の詳細
を示す図であって前記第２図の原理図におけるＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿って切断した断面図に相当する断面図、第５図
及び第６図は第１図における一部分を示す部分断面図、
第７図は第１図におけるＶＩ［−Ｖｌ線断面図である。 第８図は第６図における前記励起光源２ｄの中心２１ｄ
と前記レーザ媒体１の表面１ｂとの距離ｄ８から前記円
筒型反射鏡部３１ｄの中心３１１ｄと前記レーザ媒体１
の表面１ｂとの距離ｄ９を差し引いた値「ｄ」を変えた
場合の前記励起光源２ｄから射出された光が前記導光部
３２０ｂに伝達される比率「ｔ」をコンピュータシュミ
レーション法によって求めた結果をプロットしたグラフ
、第９図は第６図におけるｄを５．３ｍｍとした場合に
おいて、前記円筒型反射鏡部３１ｄの半径ｄ２／２を変
えた場合の前記伝達率「ｔゴをコンピュータシュミレー
ション法によって求めた結果をプロットしたグラフであ
る。 １・・・レーザ媒体、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ−励起光
源、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ−＝励起光源２ａ
、２ｂ、２ｃ、２ｄの中心軸、３ａ、３ｂ−＝−リフレ
クタ、３１ａ、３１ｂ　　３Ｌｃ３１ｄ＝・・円筒型反
射鏡部、３１０ａ、３１０ｂ・・・集光部、３１１ａ、
３１１ｂ、３１１ｃ、３１１ｄ＝−＝円筒型反射鏡部３
１ａ、３１ｂ、３１ｃ３１、ｄの中心軸、３２０ａ、３
２０ｂ・−導光部。 出願人ホーヤ株式会社（（如）１名〕 代理人　弁理士　阿仁屋節雄（はが２名）■］ ／ ／−−■ 第２図 第１図 第６図 ｄ（ｍｍ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）励起光源からの励起光を反射面により反射してレ
   ーザ媒体の励起面に照射させるようにしたリフレクタに
   おいて、 互いの中心軸が平行でかつその一部が互いに相重なるよ
   うに配置された２つの仮想円筒面に大略沿うように反射
   面を形成し、 これら仮想円筒面の２つの交差部のうちの一方の交差部
   の近傍を開口して光の射出部とし、前記２つの仮想円筒
   面内にそれぞれ２つの光源を配置するようにし、 これら２つの光源を、前記仮想円筒面の中心軸にそれぞ
   れの中心軸が平行になり、かつ、これら中心軸と前記光
   の射出部との距離が、前記仮想円筒面の中心軸と前記光
   の射出部との距離よりも大きくなるように配置して、 これら２つの光源から射出された光を集光して前記射出
   部から射出するようにした集光部と、前記集光部から射
   出された光を該集光部から離れた位置に配置されたレー
   ザ媒体の励起面に導くようにした導光部とを有すること
   を特徴としたリフレクタ。
2. （２）レーザ媒体を往復移動させつつ該レーザ媒体の一
   部に励起光を照射することによって該レーザ媒体に対す
   る励起光の照射位置を変えながらレーザ発振を行なわせ
   るようにした固体レーザ装置において、 励起光源からの励起光を反射面により反射して前記レー
   ザ媒体の励起面に照射させるようにしたリフレクタを備
   え、 前記リフレクタは、 互いの中心軸が平行でかつその一部が互いに相重なるよ
   うに配置された２つの仮想円筒面に大略沿うように反射
   面を形成し、 これら仮想円筒面の２つの交差部のうちの一方の交差部
   の近傍を開口して光の射出部とし、前記２つの仮想円筒
   面内にそれぞれ２つの光源を配置するようにし、 これら２つの光源を、前記仮想円筒面の中心軸にそれぞ
   れの中心軸が平行になり、かつ、これら中心軸と前記光
   の射出部との距離が、前記仮想円筒面の中心軸と前記光
   の射出部との距離よりも大きくなるように配置して、 これら２つの光源から射出された光を集光して前記射出
   部から射出するようにした集光部と、前記集光部から射
   出された光を該集光部から離れた位置に配置されたレー
   ザ媒体の励起面に導くようにした導光部とを有するもの
   であることを特徴とした固体レーザ装置。