JPH0290524A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JPH0290524A JPH0290524A JP24075788A JP24075788A JPH0290524A JP H0290524 A JPH0290524 A JP H0290524A JP 24075788 A JP24075788 A JP 24075788A JP 24075788 A JP24075788 A JP 24075788A JP H0290524 A JPH0290524 A JP H0290524A
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- Japan
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- vibrator
- bottom wall
- ultrasonic
- wall
- cleaning vessel
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- Pending
Links
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分！Ｆ′ｆ＞
この発ＩＪＩはシリコンウェハなどをＪｆｌ ｉｆ波に
より超クリーンに洗浄するための超音波洗浄装置に関す
る。
より超クリーンに洗浄するための超音波洗浄装置に関す
る。
〈従来の技術〉
本特許出願人は、このような１ｔｆｌａ波洗浄装置を特
願昭６３−９５７０号で提案した。
願昭６３−９５７０号で提案した。
〈発明か解決しようとする課題〉
一記先行提案ては超音波振動子を石英ガラス製振動扱に
接着し、外せないように固定しているため、洗浄槽か石
英カラス製で、その周囲壁や城壁か振動板を兼ねる場合
は１，１ｌｆｌｔ′１′波振動ｆ・か劣化したときは非
常に高価な石英ガラス製洗浄槽も一緒に廃棄しなければ
ならず、非常に不経済である。
接着し、外せないように固定しているため、洗浄槽か石
英カラス製で、その周囲壁や城壁か振動板を兼ねる場合
は１，１ｌｆｌｔ′１′波振動ｆ・か劣化したときは非
常に高価な石英ガラス製洗浄槽も一緒に廃棄しなければ
ならず、非常に不経済である。
又、使用中に石英ガラス製洗浄槽にヒビ割れか発生した
ときはアニールて補修することかできるか、超音波振動
子か石英アニール温１バに耐えないので補修か不可能に
なる。
ときはアニールて補修することかできるか、超音波振動
子か石英アニール温１バに耐えないので補修か不可能に
なる。
〈課題を解決するだめのｆ段〉
そこで本発明の超１°ｆ波洗浄装置は１石英ガラス製洗
浄槽と該洗ｎ１槽の周囲壁又は底壁の外面に圧着して着
脱可能に取＋１けられた超音波振動子とを備えているこ
とを４ν徴とする。
浄槽と該洗ｎ１槽の周囲壁又は底壁の外面に圧着して着
脱可能に取＋１けられた超音波振動子とを備えているこ
とを４ν徴とする。
〈実 施 例〉
図示の実施例において、■は周囲壁１ａ、底壁ｌｂか一
体に石英ガラスて作られた石英ガラス製の洗浄槽、２は
超音波振動子を示す。
体に石英ガラスて作られた石英ガラス製の洗浄槽、２は
超音波振動子を示す。
この実施例では振動子２を洗浄槽の底壁１ｂの下面に着
脱可ず先に圧着するため、洗浄槽には底＋７１ｂの下面
から下に延びる一対の脚壁３，３を、−体に設け１両脚
壁３．３の下端部には相対向して互いの方向に突出する
棚片４．４を突設し、この棚片Ｅに洗浄槽の底壁１ｂと
ほぼ同形、同大の適宜な支持板５を支持する。
脱可ず先に圧着するため、洗浄槽には底＋７１ｂの下面
から下に延びる一対の脚壁３，３を、−体に設け１両脚
壁３．３の下端部には相対向して互いの方向に突出する
棚片４．４を突設し、この棚片Ｅに洗浄槽の底壁１ｂと
ほぼ同形、同大の適宜な支持板５を支持する。
支持板５は、例えば四隅などに上下方向に共通した雌ネ
し孔を有し、該孔には下からボルト６をねし込み、この
各ボルト６・・・のＥ端一ヒに振動子の固定台７を受は
止める。この固定台７も洗浄槽の底壁ｔｂとほぼ同形、
同大の適宜な材質からなり、上面には外形よりも−回り
小さな浅い窪み７′を有する。
し孔を有し、該孔には下からボルト６をねし込み、この
各ボルト６・・・のＥ端一ヒに振動子の固定台７を受は
止める。この固定台７も洗浄槽の底壁ｔｂとほぼ同形、
同大の適宜な材質からなり、上面には外形よりも−回り
小さな浅い窪み７′を有する。
この窪み７′には、ゴム製、或は独立気泡性の発泡プラ
スチック、例えば発泡スチロール製の弾性板８の下部が
嵌合し、該弾性板の上面に設けた浅い窪み８′には前記
超音波振動子２の下部が嵌合する。
スチック、例えば発泡スチロール製の弾性板８の下部が
嵌合し、該弾性板の上面に設けた浅い窪み８′には前記
超音波振動子２の下部が嵌合する。
振動子２を洗浄槽の底壁下面に圧着するには、振動子２
の上面に高融点シリコングリース、ワセリン、グリセリ
ンなどの粘稠層９を付着し、各ボルト６・・・をねじ込
むことにより固定台７を押し上げ、その反力を支持板５
、棚片４，４で受は止めて超音波振動子２を強固に洗浄
層の底壁下面に押し付ける。
の上面に高融点シリコングリース、ワセリン、グリセリ
ンなどの粘稠層９を付着し、各ボルト６・・・をねじ込
むことにより固定台７を押し上げ、その反力を支持板５
、棚片４，４で受は止めて超音波振動子２を強固に洗浄
層の底壁下面に押し付ける。
この振動子２の上面と、底１ｘｂの下面に介在する高融
点シリコングリース、ワセリン、グリセリンなどの粘稠
層９は超音波振動子から出た超音波を石英槽に伝える作
用をし、又、弾性板８は層９に空気層か侵入し、超音波
伝達を阻害する作用をする。
点シリコングリース、ワセリン、グリセリンなどの粘稠
層９は超音波振動子から出た超音波を石英槽に伝える作
用をし、又、弾性板８は層９に空気層か侵入し、超音波
伝達を阻害する作用をする。
尚、超音波振動Ｆを冷却する目的で、支持板５、固定台
の窪み７′の底、弾性板の窪み８′の底には超音波振動
子２の外形よりも−回り小さい開口１０を設けて置く。
の窪み７′の底、弾性板の窪み８′の底には超音波振動
子２の外形よりも−回り小さい開口１０を設けて置く。
こうして、超音波振動子２が発生する超音波エネルギー
を下に逃がすことなく石英洗浄層ｌ内のシリコンウェハ
に伝え、洗浄を行なうことができる。
を下に逃がすことなく石英洗浄層ｌ内のシリコンウェハ
に伝え、洗浄を行なうことができる。
そして、振動子２が劣化したとき、或は底壁ｌｂにヒビ
割れが生じたときは、ボルト６・・・を逆に回して弛め
、固定台７１弾性板８ごと超音波振動子２を脚壁３．３
の間から外に引き出し、振動子を新いものに交換したり
、底壁１ｂのヒビ割れをアニールで補修し、上記の操作
を逆に行って１呼び振動子２を底壁の下面に押し付けれ
ばよい。
割れが生じたときは、ボルト６・・・を逆に回して弛め
、固定台７１弾性板８ごと超音波振動子２を脚壁３．３
の間から外に引き出し、振動子を新いものに交換したり
、底壁１ｂのヒビ割れをアニールで補修し、上記の操作
を逆に行って１呼び振動子２を底壁の下面に押し付けれ
ばよい。
尚、底壁の下面に押し付けた振動子２の押し付けがいつ
の間にか弛むのを防止するには各ボルト６にロツクナツ
ト１１を螺装して置き、ボルト６を締付けたのちロツタ
ナット１１を支持板５の下面に対し締付けてボルトが弛
む方向に回るのを防止する。
の間にか弛むのを防止するには各ボルト６にロツクナツ
ト１１を螺装して置き、ボルト６を締付けたのちロツタ
ナット１１を支持板５の下面に対し締付けてボルトが弛
む方向に回るのを防止する。
図示の実施例によってａｆ：ｆ波振動子を着脱可能に石
英ガラス製洗浄層の底壁下面に圧着した場合と、同じ石
英ガラス製洗浄層の底壁下面に接着剤で接着固定した場
合の洗浄層内における超音波の音圧と相関のある受波器
の電圧出力を測定した結果を下に示す。尚、受波器には
沖電気−ｒ業■製５Ｔ−８００４型パイトロホンを使用
し、超音波振動子への人力は２ Ｗ ／ ｃｍ２．超音
波の周波数は８５１１〜９５０ＫＩｌｚとした。
英ガラス製洗浄層の底壁下面に圧着した場合と、同じ石
英ガラス製洗浄層の底壁下面に接着剤で接着固定した場
合の洗浄層内における超音波の音圧と相関のある受波器
の電圧出力を測定した結果を下に示す。尚、受波器には
沖電気−ｒ業■製５Ｔ−８００４型パイトロホンを使用
し、超音波振動子への人力は２ Ｗ ／ ｃｍ２．超音
波の周波数は８５１１〜９５０ＫＩｌｚとした。
これによれば底壁下面に超音波振動子を接着固定した場
合とほぼ同様な大きさの汗エネルギーを洗浄層内に保て
ることが判る。
合とほぼ同様な大きさの汗エネルギーを洗浄層内に保て
ることが判る。
図示の実施例は石英ガラス製洗浄槽の底壁下面に振動子
２を着脱可能に圧着したものであるか、振動子を圧着す
るのは底壁ド面に限定されず１周囲壁１ａのどれか一面
であってもよい。
２を着脱可能に圧着したものであるか、振動子を圧着す
るのは底壁ド面に限定されず１周囲壁１ａのどれか一面
であってもよい。
（発明の効果〉
本発明によれば石英ガラス洗浄槽の壁面にＩｔｆｌ＋’
ｘ波振動子を接着固定したのとほぼ変らない大きさの音
圧を槽内に発生することが可能で、しかも必要に応じ振
動子な槽壁から外し、交換、槽壁の補修が行える超音波
洗浄装置を提供てきる。
ｘ波振動子を接着固定したのとほぼ変らない大きさの音
圧を槽内に発生することが可能で、しかも必要に応じ振
動子な槽壁から外し、交換、槽壁の補修が行える超音波
洗浄装置を提供てきる。
図面は本発明の洗詐装置の一実施例を示す一部を断面と
した正面図で１図中、ｌは石英ガラス製洗浄槽、ｌａは
その周囲壁、ｌｂはｓＫ壁、２は超ａ波振動子、３は＋
１ｌｊｌ壁、 ４にを棚片、 ５ （、ｔ 支Ｊ、Ｉ
ｊ板、６はボルト、７は固定台、８は弾性板、９は高融
点シリコンクリース層を示す。
した正面図で１図中、ｌは石英ガラス製洗浄槽、ｌａは
その周囲壁、ｌｂはｓＫ壁、２は超ａ波振動子、３は＋
１ｌｊｌ壁、 ４にを棚片、 ５ （、ｔ 支Ｊ、Ｉ
ｊ板、６はボルト、７は固定台、８は弾性板、９は高融
点シリコンクリース層を示す。
Claims (1)
- 石英ガラス製洗浄槽と該洗浄槽の周囲壁又は底壁の外
面に圧着して着脱可能に取付けられた超音波振動子とを
備えていることを特徴とする超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24075788A JPH0290524A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24075788A JPH0290524A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290524A true JPH0290524A (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=17064263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24075788A Pending JPH0290524A (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290524A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5155047A (en) * | 1989-10-03 | 1992-10-13 | Enel - Ente Nazionale Per L'energia Elettrica | Method and apparatus for measuring and controlling efficiency of a combustion |
| JPH08148458A (ja) * | 1994-04-15 | 1996-06-07 | Steag Micro Tech Gmbh Donaueschingen | 基板の化学処理のための方法及び装置 |
| KR100821077B1 (ko) * | 2006-12-18 | 2008-04-08 | 수자원기술 주식회사 | 관내 스케일 제거를 위한 초음파 장치 |
| CN103192313A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-07-10 | 铜陵市嘉音电子科技有限公司 | 小型扭曲模音叉晶片的抛光方法 |
-
1988
- 1988-09-28 JP JP24075788A patent/JPH0290524A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5155047A (en) * | 1989-10-03 | 1992-10-13 | Enel - Ente Nazionale Per L'energia Elettrica | Method and apparatus for measuring and controlling efficiency of a combustion |
| JPH08148458A (ja) * | 1994-04-15 | 1996-06-07 | Steag Micro Tech Gmbh Donaueschingen | 基板の化学処理のための方法及び装置 |
| KR100821077B1 (ko) * | 2006-12-18 | 2008-04-08 | 수자원기술 주식회사 | 관내 스케일 제거를 위한 초음파 장치 |
| CN103192313A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-07-10 | 铜陵市嘉音电子科技有限公司 | 小型扭曲模音叉晶片的抛光方法 |
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