JPH0273726U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0273726U JPH0273726U JP15319788U JP15319788U JPH0273726U JP H0273726 U JPH0273726 U JP H0273726U JP 15319788 U JP15319788 U JP 15319788U JP 15319788 U JP15319788 U JP 15319788U JP H0273726 U JPH0273726 U JP H0273726U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- movement mechanism
- movable
- rotary table
- sandwich
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部分解斜視
図、第２図は動作を説明するための図、第３図は
従来例を説明するための図である。 １：筐体、２ａ，２ｂ：ガイド板、３：第１の
移動体、４：第２の移動体、５ａ，５ｂ：ガイド
板、６：第１の駆動棒、７ａ，７ｂ：第２の駆動
棒、８ａ，８ｂ：ベアリング、９：レール、１０
，１１：スライダ、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１
３ｂ：ガイド、１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ
：圧電素子、１６：回転テーブル。
図、第２図は動作を説明するための図、第３図は
従来例を説明するための図である。 １：筐体、２ａ，２ｂ：ガイド板、３：第１の
移動体、４：第２の移動体、５ａ，５ｂ：ガイド
板、６：第１の駆動棒、７ａ，７ｂ：第２の駆動
棒、８ａ，８ｂ：ベアリング、９：レール、１０
，１１：スライダ、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１
３ｂ：ガイド、１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ
：圧電素子、１６：回転テーブル。
Claims (1)
- 少なくとも１方向に水平移動可能に支持された
移動体と、該移動体を駆動するための駆動機構と
を備え、前記移動体上にこの移動体の中心をその
間に挾むように置かれた２組の微動機構を介して
回転テーブルを載置したことを特徴とする荷電粒
子線装置における水平移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15319788U JPH0273726U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15319788U JPH0273726U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273726U true JPH0273726U (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=31428819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15319788U Pending JPH0273726U (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273726U (ja) |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15319788U patent/JPH0273726U/ja active Pending