JPH0271424A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH0271424A
JPH0271424A JP22415088A JP22415088A JPH0271424A JP H0271424 A JPH0271424 A JP H0271424A JP 22415088 A JP22415088 A JP 22415088A JP 22415088 A JP22415088 A JP 22415088A JP H0271424 A JPH0271424 A JP H0271424A
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JP
Japan
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recording medium
substrate
layer
recording layer
magnetic recording
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Pending
Application number
JP22415088A
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English (en)
Inventor
Atsuyuki Watada
篤行 和多田
Hiroshi Kojima
浩 小島
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は垂直磁気記録及び光磁気記録に用いられる高密
度磁気記録媒体に関する。
〔従来技術〕
高密度磁気記録媒体として基板上にNi −Znフェラ
イト、Mn −Znフェライト等のスピネルフェライト
(スピネル型結晶構造を有するフェライト)の(111
)配向膜からなる下地層とその上にマグネトプランバイ
ト型フェライトC軸配向膜をエピタキシャル的に成長さ
せて記録層を設けたものが知られている。しかしC軸配
向膜の記録層を得るには基板をかなり高温にする必要が
ある等、容易ではなく、しかもC軸配向膜が得られても
その配向性は充分とは云えなかった。その原因はスピネ
ルフェライトの格子定数とマグネトプランバイト型フェ
ライトの格子定数とのミスフィツトにあると考えられる
。即ちマグネトプランバイト型の格子定数a=5.85
〜5.89人に対応するスピネル型結晶の格子定数aは
8.28〜8.33人であるのに文士し、スピネルフェ
ライトの格子定数aは8.4人前後とや\大きい。特に
基板としてAQのような金属基板を用いた場合は記録層
の形成時(高温を要する)、基板の熱膨張により下地層
の格子定数も大きくなり、その結果、これら層のミスフ
ィツトは更に大きくなって配向性がいっそう悪くなる。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は従来技術における以上のような問題を解消し、
記録層のC軸配向膜を低温でも容易に形成でき、しかも
金属基板を用いた場合でも良好な配向性が得られる磁気
記録媒体を提供することである。
〔発明の構成・動作〕
本発明の磁気記録媒体は基板上に下地層とマグネトプラ
ンバイト型フェライトC軸配向膜からなる記録層とを設
けた磁気記録媒体において、下地層が一般式I: (M O) (M、201) ■ (但しMlはMg、 Zn、 Ni、 Co及びMnの
少くとも1種、MnはGa、 AQ、 In、 Cr及
びScの少くとも1種を表わす。) で示される組成物の結晶の(111)配向膜からなるこ
とを特徴とするものである。
本発明の磁気記録媒体は第1図に示すように基本的には
基板1上に前述のような下地層2及び記録層3を設けた
ものであるが、光磁気記録媒体として用いる場合は第2
図及び第3図に示すように更に基板1と下地層2との間
に反射層4や、断熱、保護等の目的で中間層6を設けた
り、或いは記録層3表面に保護層5を設けることができ
る。また垂直磁気記録媒体として用いる場合は第4図に
示すように記録層3表面に潤滑層7を設けることができ
る。
本発明の下地層は上層の記録層を構成するC軸配向膜を
低温で容易に形成すると共に、良好な配向性を得る目的
で設けられる。このような下地層に用いられる材料は前
記一般式lで示した全屈酸化物系組成物である。この組
成物はスピネル型結晶構造を有しているが、室温での格
子定数日が8.33λ付近、又はそれ以下のものが好ま
しい、但し最適の格子定数aは使用する基板の熱膨張係
数及びその上に記録層を形成する際の温度によって異な
る。このような組成物としては(ZnO)(InzOi
)、(ZnO)(AQ2 ”+ ) + (MgO)<
GaZO3)J (MgO)(All120.)、 (
NiO)(Afl、O,)、 (NixZnl−xo)
 (丁nyGa2−yOs )等が挙げられるが、特に
基板として金属基板を用いた場合はa=8.33Å以下
のもの、例えば(MgO) (Ga、03)、 (Mg
O) (AQzo、)、 (ZnO)(AQ−Oz)が
好ましい。なお下地層は真空蒸着、スパッタリング等の
方法で形成できる。厚さは0.02〜0.1μm程度が
適当である。
一方、記録層の材料としては下記一般式■で示されるよ
うなマグネトプランバイト型フェライトが使用される。
一般式■: M  −x M x Fe−z−y MgyOx−IL
    n (但しMlはBa、Sr及びpbの少くとも1種;M。
はLa、Ca及びBiの少くとも1種;M冒はCo、 
T13 NJ Ta、Nll LMn、 Cr、 In
、 Ga及びAQの少くとも1種:O≦X≦0.7.0
≦y≦8) 一般式11の具体例: BaFe1□−2XcoXTj40.、 (0,3≦X
≦0.8)SrFe1.−2xcoXTi)(01,(
0,3≦X≦0.8)BFII−XLaXFe12−X
−zYcOXIYTiYOq(0,1≦X≦0.4.0
.2≦y≦0.6)Sr1 yPbxFe、、−2yc
oyTiy01g(0,05≦X≦0.2.0.3≦y
≦0.8)SrFe1□−xGaxol、 (0,5≦
X≦4)SrFe、 □−t X−yCo)(TixG
ayol。
(0,3≦X≦0.8.0.5≦y≦4)なお記録mの
形成法も下地層と同様、真空恭着、スパッタリング等の
方法が適用される。厚さは0.05〜0.5μm程度が
適当である。
その他、反射層としてはAu、 Ag+ Cu、 AQ
、 Cr等の金属膜や誘電体多層膜が、また、保護層と
してはポリメチルメタクリレ−1−、ポリカーボネート
、紫外線硬化性樹脂等の樹脂、ガラス等が、また中間層
の材料としてはSiOx、 Si、N4等が用いられる
基板としては、石英ガラス、高珪酸ガラス、硼珪酸ガラ
ス、アルミノ珪酸ガラス等のガラス基板:AQ、AQ金
合金表面酸化(アルマイト)処理した。Aff、更にこ
れらにCr等のメツキを施したもの等の金属基板;Si
単結晶、GGG(ガリウム・ガドリニウム・ガーネット
)単結晶等の単結晶基板等が使用される。
以下に本発明を実施例によって説明する。
実施例1 石英基板上にRFマグネトロンスパッタリング法により
基板温度約200°Cで(Mgo ) (Ga203 
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法(基板温度は同じ)で5rCo (1,s T
 l o、s FezzOxiのC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成することにより磁気記録媒体
を作った。また基板温度を種々変えて同様にC軸配向膜
を形成した場合の基板温度と配向性との関係を胴入た結
果を第5図に示す。なお配向性は下記X線解析強度Iの
比として求めた。完全配向の時、この値は1になる。
1 (008)/(1(008) + I (107)
)本実施例の場合、配向し始める温度が500℃以下と
低く、しかも約550°Cの温度でほぼ完全な配向膜が
得られる。
実施例2 石英基板上にRFマグネトロンスパッタリング法により
基板温度約150℃で(ZnO) (In O,5A 
Qx、503)の(111)配向膜からなる0、05μ
m厚の下地層を形成した後、その上にDC対向ターゲッ
トスパッタリング法で5rCoo、s TIo、5 F
e、、O□、のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録
層を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基
板温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係
を第6図に示す。本実施例の場合、配向し始める温度が
500℃以下と低く、しかも約510℃の温度でほぼ完
全な配向膜が得られる。
比較例1 石英ガラス基板上にRFマグネトロンスパッタリング法
により基板温度約250℃で(ZnO) (Fe2o、
 )の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地
層を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッ
タリング法で5rCo (、,5T i a、s Fe
1lo19のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録層
を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基板
温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係を
第7図に示す。この比較例の場合、配向し始める温度が
約530°C以上と高く、しかも600℃以上の温度で
も完全に配向するC軸配向膜は得られない。
実施例3 ステンレス基板上にRFマグネトロンスパッタリング法
により基板温度200℃で(MgO) (AQ2o、 
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法により基板温度600℃でBaCo、、、Ti
o、sFe、。、40□、のC軸配向膜からなる1、0
μm厚の記録層を設け、更にその上にDCC対向ターゲ
ラ式スパッタリング法によりカーボン蒸着膜からなる2
00人厚0潤滑層を形成することにより磁気記録媒体を
作った。このものの記録層のC軸配向性はきわめて良好
であった。
実施例4 表面を光学研摩したステンレス基板上にRFマグネトロ
ンスパッタリング法により基板温度200℃でSiO□
膜からなる1、0μII+厚の中間層を形成し、その上
に真空蒸着法によりCr蒸着膜からなる0、05μm厚
の反射層を形成し、その上にRFマグネトロンスパッタ
リング法により基板温度200℃で(MgO)(AQ2
0.)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下
地層を形成し、更にその上にDCC対向ターゲラ式スパ
ッタリング法により基板温度600℃で5rCo0.、
 Tio、、 Fe1□O□、のC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成した後、その上に1 、2m
m厚のポリメチルメタクリレート膜の保護層を形成する
ことにより磁気記録媒体を作った。このものの記録層の
C軸配向性はきわめて良好であった。
〔発明の作用効果〕
本発明の磁気記録媒体は基板と記録層との間に下地層と
して、スピネル型結晶構造を有する前述のような金属酸
化物系(111)配向膜を設けたので、基板の種類に関
係なく、上層の記録層としてのマグネトプランバイト型
フェライトのC軸配向膜の作製が容易となる上、配向性
も向上し、その結果、垂直磁気記録性及び光磁気記録性
も改善される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明磁気記録媒体の基本構成図、第2〜4図
は夫々、第1図の記録媒体の変形図、第5〜7図は夫々
、実施例1、実施例2及び比較例1で作製した磁気記録
媒体のC軸配向膜からなる記録層形成時の基板温度とC
軸配向膜の配向性との関係図である。 1・・・基板 3・・・記録層 5・・・保護層 7・・・潤滑層 2・・・下地層 4・・・反射層 6・・・中間層 特許出願人  株式会社 リ コ − 代理人 弁理士  佐 1)守 雄 外1名馬 篤2図 帛3図 馬4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、基板上に下地層とマグネトプランバイト型フェライ
    トC軸配向膜からなる記録層とを設けた磁気記録媒体に
    おいて、下地層が一般式 I : (M_ I O)(M_II_2O_3) (但しM_ I はMg、Zn、Ni、Co及びMnの少
    くとも11M_IIはGa、Al、In、Cr及びScの
    少くとも1種を表わす。) で示される組成物の結晶の(111)配向膜からなるこ
    とを特徴とする磁気記録媒体。 2、金属基板上に下地層とマグネトプランバイト型フェ
    ライトC軸配向膜からなる記録層とを設けた磁気記録媒
    体において、下地層が室温での格子定数aが8.33Å
    よりも小さいスピネル型結晶構造を有する結晶の(11
    1)配向膜からなることを特徴とする磁気記録媒体。
JP22415088A 1988-09-07 1988-09-07 磁気記録媒体 Pending JPH0271424A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8013696B2 (en) 2008-10-14 2011-09-06 Nexteer (Beijing) Technology Co., Ltd. Magnetic apparatus and method of manufacturing the magnetic apparatus
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