JPH0271424A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録及び光磁気記録に用いられる高密
度磁気記録媒体に関する。
度磁気記録媒体に関する。
高密度磁気記録媒体として基板上にNi −Znフェラ
イト、Mn −Znフェライト等のスピネルフェライト
(スピネル型結晶構造を有するフェライト)の(111
)配向膜からなる下地層とその上にマグネトプランバイ
ト型フェライトC軸配向膜をエピタキシャル的に成長さ
せて記録層を設けたものが知られている。しかしC軸配
向膜の記録層を得るには基板をかなり高温にする必要が
ある等、容易ではなく、しかもC軸配向膜が得られても
その配向性は充分とは云えなかった。その原因はスピネ
ルフェライトの格子定数とマグネトプランバイト型フェ
ライトの格子定数とのミスフィツトにあると考えられる
。即ちマグネトプランバイト型の格子定数a=5.85
〜5.89人に対応するスピネル型結晶の格子定数aは
8.28〜8.33人であるのに文士し、スピネルフェ
ライトの格子定数aは8.4人前後とや\大きい。特に
基板としてAQのような金属基板を用いた場合は記録層
の形成時(高温を要する)、基板の熱膨張により下地層
の格子定数も大きくなり、その結果、これら層のミスフ
ィツトは更に大きくなって配向性がいっそう悪くなる。
イト、Mn −Znフェライト等のスピネルフェライト
(スピネル型結晶構造を有するフェライト)の(111
)配向膜からなる下地層とその上にマグネトプランバイ
ト型フェライトC軸配向膜をエピタキシャル的に成長さ
せて記録層を設けたものが知られている。しかしC軸配
向膜の記録層を得るには基板をかなり高温にする必要が
ある等、容易ではなく、しかもC軸配向膜が得られても
その配向性は充分とは云えなかった。その原因はスピネ
ルフェライトの格子定数とマグネトプランバイト型フェ
ライトの格子定数とのミスフィツトにあると考えられる
。即ちマグネトプランバイト型の格子定数a=5.85
〜5.89人に対応するスピネル型結晶の格子定数aは
8.28〜8.33人であるのに文士し、スピネルフェ
ライトの格子定数aは8.4人前後とや\大きい。特に
基板としてAQのような金属基板を用いた場合は記録層
の形成時(高温を要する)、基板の熱膨張により下地層
の格子定数も大きくなり、その結果、これら層のミスフ
ィツトは更に大きくなって配向性がいっそう悪くなる。
本発明は従来技術における以上のような問題を解消し、
記録層のC軸配向膜を低温でも容易に形成でき、しかも
金属基板を用いた場合でも良好な配向性が得られる磁気
記録媒体を提供することである。
記録層のC軸配向膜を低温でも容易に形成でき、しかも
金属基板を用いた場合でも良好な配向性が得られる磁気
記録媒体を提供することである。
本発明の磁気記録媒体は基板上に下地層とマグネトプラ
ンバイト型フェライトC軸配向膜からなる記録層とを設
けた磁気記録媒体において、下地層が一般式I: (M O) (M、201) ■ (但しMlはMg、 Zn、 Ni、 Co及びMnの
少くとも1種、MnはGa、 AQ、 In、 Cr及
びScの少くとも1種を表わす。) で示される組成物の結晶の(111)配向膜からなるこ
とを特徴とするものである。
ンバイト型フェライトC軸配向膜からなる記録層とを設
けた磁気記録媒体において、下地層が一般式I: (M O) (M、201) ■ (但しMlはMg、 Zn、 Ni、 Co及びMnの
少くとも1種、MnはGa、 AQ、 In、 Cr及
びScの少くとも1種を表わす。) で示される組成物の結晶の(111)配向膜からなるこ
とを特徴とするものである。
本発明の磁気記録媒体は第1図に示すように基本的には
基板1上に前述のような下地層2及び記録層3を設けた
ものであるが、光磁気記録媒体として用いる場合は第2
図及び第3図に示すように更に基板1と下地層2との間
に反射層4や、断熱、保護等の目的で中間層6を設けた
り、或いは記録層3表面に保護層5を設けることができ
る。また垂直磁気記録媒体として用いる場合は第4図に
示すように記録層3表面に潤滑層7を設けることができ
る。
基板1上に前述のような下地層2及び記録層3を設けた
ものであるが、光磁気記録媒体として用いる場合は第2
図及び第3図に示すように更に基板1と下地層2との間
に反射層4や、断熱、保護等の目的で中間層6を設けた
り、或いは記録層3表面に保護層5を設けることができ
る。また垂直磁気記録媒体として用いる場合は第4図に
示すように記録層3表面に潤滑層7を設けることができ
る。
本発明の下地層は上層の記録層を構成するC軸配向膜を
低温で容易に形成すると共に、良好な配向性を得る目的
で設けられる。このような下地層に用いられる材料は前
記一般式lで示した全屈酸化物系組成物である。この組
成物はスピネル型結晶構造を有しているが、室温での格
子定数日が8.33λ付近、又はそれ以下のものが好ま
しい、但し最適の格子定数aは使用する基板の熱膨張係
数及びその上に記録層を形成する際の温度によって異な
る。このような組成物としては(ZnO)(InzOi
)、(ZnO)(AQ2 ”+ ) + (MgO)<
GaZO3)J (MgO)(All120.)、 (
NiO)(Afl、O,)、 (NixZnl−xo)
(丁nyGa2−yOs )等が挙げられるが、特に
基板として金属基板を用いた場合はa=8.33Å以下
のもの、例えば(MgO) (Ga、03)、 (Mg
O) (AQzo、)、 (ZnO)(AQ−Oz)が
好ましい。なお下地層は真空蒸着、スパッタリング等の
方法で形成できる。厚さは0.02〜0.1μm程度が
適当である。
低温で容易に形成すると共に、良好な配向性を得る目的
で設けられる。このような下地層に用いられる材料は前
記一般式lで示した全屈酸化物系組成物である。この組
成物はスピネル型結晶構造を有しているが、室温での格
子定数日が8.33λ付近、又はそれ以下のものが好ま
しい、但し最適の格子定数aは使用する基板の熱膨張係
数及びその上に記録層を形成する際の温度によって異な
る。このような組成物としては(ZnO)(InzOi
)、(ZnO)(AQ2 ”+ ) + (MgO)<
GaZO3)J (MgO)(All120.)、 (
NiO)(Afl、O,)、 (NixZnl−xo)
(丁nyGa2−yOs )等が挙げられるが、特に
基板として金属基板を用いた場合はa=8.33Å以下
のもの、例えば(MgO) (Ga、03)、 (Mg
O) (AQzo、)、 (ZnO)(AQ−Oz)が
好ましい。なお下地層は真空蒸着、スパッタリング等の
方法で形成できる。厚さは0.02〜0.1μm程度が
適当である。
一方、記録層の材料としては下記一般式■で示されるよ
うなマグネトプランバイト型フェライトが使用される。
うなマグネトプランバイト型フェライトが使用される。
一般式■:
M −x M x Fe−z−y MgyOx−IL
n (但しMlはBa、Sr及びpbの少くとも1種;M。
n (但しMlはBa、Sr及びpbの少くとも1種;M。
はLa、Ca及びBiの少くとも1種;M冒はCo、
T13 NJ Ta、Nll LMn、 Cr、 In
、 Ga及びAQの少くとも1種:O≦X≦0.7.0
≦y≦8) 一般式11の具体例: BaFe1□−2XcoXTj40.、 (0,3≦X
≦0.8)SrFe1.−2xcoXTi)(01,(
0,3≦X≦0.8)BFII−XLaXFe12−X
−zYcOXIYTiYOq(0,1≦X≦0.4.0
.2≦y≦0.6)Sr1 yPbxFe、、−2yc
oyTiy01g(0,05≦X≦0.2.0.3≦y
≦0.8)SrFe1□−xGaxol、 (0,5≦
X≦4)SrFe、 □−t X−yCo)(TixG
ayol。
T13 NJ Ta、Nll LMn、 Cr、 In
、 Ga及びAQの少くとも1種:O≦X≦0.7.0
≦y≦8) 一般式11の具体例: BaFe1□−2XcoXTj40.、 (0,3≦X
≦0.8)SrFe1.−2xcoXTi)(01,(
0,3≦X≦0.8)BFII−XLaXFe12−X
−zYcOXIYTiYOq(0,1≦X≦0.4.0
.2≦y≦0.6)Sr1 yPbxFe、、−2yc
oyTiy01g(0,05≦X≦0.2.0.3≦y
≦0.8)SrFe1□−xGaxol、 (0,5≦
X≦4)SrFe、 □−t X−yCo)(TixG
ayol。
(0,3≦X≦0.8.0.5≦y≦4)なお記録mの
形成法も下地層と同様、真空恭着、スパッタリング等の
方法が適用される。厚さは0.05〜0.5μm程度が
適当である。
形成法も下地層と同様、真空恭着、スパッタリング等の
方法が適用される。厚さは0.05〜0.5μm程度が
適当である。
その他、反射層としてはAu、 Ag+ Cu、 AQ
、 Cr等の金属膜や誘電体多層膜が、また、保護層と
してはポリメチルメタクリレ−1−、ポリカーボネート
、紫外線硬化性樹脂等の樹脂、ガラス等が、また中間層
の材料としてはSiOx、 Si、N4等が用いられる
。
、 Cr等の金属膜や誘電体多層膜が、また、保護層と
してはポリメチルメタクリレ−1−、ポリカーボネート
、紫外線硬化性樹脂等の樹脂、ガラス等が、また中間層
の材料としてはSiOx、 Si、N4等が用いられる
。
基板としては、石英ガラス、高珪酸ガラス、硼珪酸ガラ
ス、アルミノ珪酸ガラス等のガラス基板:AQ、AQ金
合金表面酸化(アルマイト)処理した。Aff、更にこ
れらにCr等のメツキを施したもの等の金属基板;Si
単結晶、GGG(ガリウム・ガドリニウム・ガーネット
)単結晶等の単結晶基板等が使用される。
ス、アルミノ珪酸ガラス等のガラス基板:AQ、AQ金
合金表面酸化(アルマイト)処理した。Aff、更にこ
れらにCr等のメツキを施したもの等の金属基板;Si
単結晶、GGG(ガリウム・ガドリニウム・ガーネット
)単結晶等の単結晶基板等が使用される。
以下に本発明を実施例によって説明する。
実施例1
石英基板上にRFマグネトロンスパッタリング法により
基板温度約200°Cで(Mgo ) (Ga203
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法(基板温度は同じ)で5rCo (1,s T
l o、s FezzOxiのC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成することにより磁気記録媒体
を作った。また基板温度を種々変えて同様にC軸配向膜
を形成した場合の基板温度と配向性との関係を胴入た結
果を第5図に示す。なお配向性は下記X線解析強度Iの
比として求めた。完全配向の時、この値は1になる。
基板温度約200°Cで(Mgo ) (Ga203
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法(基板温度は同じ)で5rCo (1,s T
l o、s FezzOxiのC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成することにより磁気記録媒体
を作った。また基板温度を種々変えて同様にC軸配向膜
を形成した場合の基板温度と配向性との関係を胴入た結
果を第5図に示す。なお配向性は下記X線解析強度Iの
比として求めた。完全配向の時、この値は1になる。
1 (008)/(1(008) + I (107)
)本実施例の場合、配向し始める温度が500℃以下と
低く、しかも約550°Cの温度でほぼ完全な配向膜が
得られる。
)本実施例の場合、配向し始める温度が500℃以下と
低く、しかも約550°Cの温度でほぼ完全な配向膜が
得られる。
実施例2
石英基板上にRFマグネトロンスパッタリング法により
基板温度約150℃で(ZnO) (In O,5A
Qx、503)の(111)配向膜からなる0、05μ
m厚の下地層を形成した後、その上にDC対向ターゲッ
トスパッタリング法で5rCoo、s TIo、5 F
e、、O□、のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録
層を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基
板温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係
を第6図に示す。本実施例の場合、配向し始める温度が
500℃以下と低く、しかも約510℃の温度でほぼ完
全な配向膜が得られる。
基板温度約150℃で(ZnO) (In O,5A
Qx、503)の(111)配向膜からなる0、05μ
m厚の下地層を形成した後、その上にDC対向ターゲッ
トスパッタリング法で5rCoo、s TIo、5 F
e、、O□、のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録
層を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基
板温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係
を第6図に示す。本実施例の場合、配向し始める温度が
500℃以下と低く、しかも約510℃の温度でほぼ完
全な配向膜が得られる。
比較例1
石英ガラス基板上にRFマグネトロンスパッタリング法
により基板温度約250℃で(ZnO) (Fe2o、
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地
層を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッ
タリング法で5rCo (、,5T i a、s Fe
1lo19のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録層
を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基板
温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係を
第7図に示す。この比較例の場合、配向し始める温度が
約530°C以上と高く、しかも600℃以上の温度で
も完全に配向するC軸配向膜は得られない。
により基板温度約250℃で(ZnO) (Fe2o、
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地
層を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッ
タリング法で5rCo (、,5T i a、s Fe
1lo19のC軸配向膜からなる0、2μm厚の記録層
を形成することにより磁気記録媒体を作った。また基板
温度を種々変えた場合のC軸配向膜の配向性との関係を
第7図に示す。この比較例の場合、配向し始める温度が
約530°C以上と高く、しかも600℃以上の温度で
も完全に配向するC軸配向膜は得られない。
実施例3
ステンレス基板上にRFマグネトロンスパッタリング法
により基板温度200℃で(MgO) (AQ2o、
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法により基板温度600℃でBaCo、、、Ti
o、sFe、。、40□、のC軸配向膜からなる1、0
μm厚の記録層を設け、更にその上にDCC対向ターゲ
ラ式スパッタリング法によりカーボン蒸着膜からなる2
00人厚0潤滑層を形成することにより磁気記録媒体を
作った。このものの記録層のC軸配向性はきわめて良好
であった。
により基板温度200℃で(MgO) (AQ2o、
)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下地層
を形成した後、その上にDCC対向ターゲラ式スパッタ
リング法により基板温度600℃でBaCo、、、Ti
o、sFe、。、40□、のC軸配向膜からなる1、0
μm厚の記録層を設け、更にその上にDCC対向ターゲ
ラ式スパッタリング法によりカーボン蒸着膜からなる2
00人厚0潤滑層を形成することにより磁気記録媒体を
作った。このものの記録層のC軸配向性はきわめて良好
であった。
実施例4
表面を光学研摩したステンレス基板上にRFマグネトロ
ンスパッタリング法により基板温度200℃でSiO□
膜からなる1、0μII+厚の中間層を形成し、その上
に真空蒸着法によりCr蒸着膜からなる0、05μm厚
の反射層を形成し、その上にRFマグネトロンスパッタ
リング法により基板温度200℃で(MgO)(AQ2
0.)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下
地層を形成し、更にその上にDCC対向ターゲラ式スパ
ッタリング法により基板温度600℃で5rCo0.、
Tio、、 Fe1□O□、のC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成した後、その上に1 、2m
m厚のポリメチルメタクリレート膜の保護層を形成する
ことにより磁気記録媒体を作った。このものの記録層の
C軸配向性はきわめて良好であった。
ンスパッタリング法により基板温度200℃でSiO□
膜からなる1、0μII+厚の中間層を形成し、その上
に真空蒸着法によりCr蒸着膜からなる0、05μm厚
の反射層を形成し、その上にRFマグネトロンスパッタ
リング法により基板温度200℃で(MgO)(AQ2
0.)の(111)配向膜からなる0、05μm厚の下
地層を形成し、更にその上にDCC対向ターゲラ式スパ
ッタリング法により基板温度600℃で5rCo0.、
Tio、、 Fe1□O□、のC軸配向膜からなる0
、2μm厚の記録層を形成した後、その上に1 、2m
m厚のポリメチルメタクリレート膜の保護層を形成する
ことにより磁気記録媒体を作った。このものの記録層の
C軸配向性はきわめて良好であった。
本発明の磁気記録媒体は基板と記録層との間に下地層と
して、スピネル型結晶構造を有する前述のような金属酸
化物系(111)配向膜を設けたので、基板の種類に関
係なく、上層の記録層としてのマグネトプランバイト型
フェライトのC軸配向膜の作製が容易となる上、配向性
も向上し、その結果、垂直磁気記録性及び光磁気記録性
も改善される。
して、スピネル型結晶構造を有する前述のような金属酸
化物系(111)配向膜を設けたので、基板の種類に関
係なく、上層の記録層としてのマグネトプランバイト型
フェライトのC軸配向膜の作製が容易となる上、配向性
も向上し、その結果、垂直磁気記録性及び光磁気記録性
も改善される。
第1図は本発明磁気記録媒体の基本構成図、第2〜4図
は夫々、第1図の記録媒体の変形図、第5〜7図は夫々
、実施例1、実施例2及び比較例1で作製した磁気記録
媒体のC軸配向膜からなる記録層形成時の基板温度とC
軸配向膜の配向性との関係図である。 1・・・基板 3・・・記録層 5・・・保護層 7・・・潤滑層 2・・・下地層 4・・・反射層 6・・・中間層 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人 弁理士 佐 1)守 雄 外1名馬 篤2図 帛3図 馬4図
は夫々、第1図の記録媒体の変形図、第5〜7図は夫々
、実施例1、実施例2及び比較例1で作製した磁気記録
媒体のC軸配向膜からなる記録層形成時の基板温度とC
軸配向膜の配向性との関係図である。 1・・・基板 3・・・記録層 5・・・保護層 7・・・潤滑層 2・・・下地層 4・・・反射層 6・・・中間層 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人 弁理士 佐 1)守 雄 外1名馬 篤2図 帛3図 馬4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基板上に下地層とマグネトプランバイト型フェライ
トC軸配向膜からなる記録層とを設けた磁気記録媒体に
おいて、下地層が一般式 I : (M_ I O)(M_II_2O_3) (但しM_ I はMg、Zn、Ni、Co及びMnの少
くとも11M_IIはGa、Al、In、Cr及びScの
少くとも1種を表わす。) で示される組成物の結晶の(111)配向膜からなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。 2、金属基板上に下地層とマグネトプランバイト型フェ
ライトC軸配向膜からなる記録層とを設けた磁気記録媒
体において、下地層が室温での格子定数aが8.33Å
よりも小さいスピネル型結晶構造を有する結晶の(11
1)配向膜からなることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22415088A JPH0271424A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22415088A JPH0271424A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0271424A true JPH0271424A (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=16809326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22415088A Pending JPH0271424A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0271424A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8013696B2 (en) | 2008-10-14 | 2011-09-06 | Nexteer (Beijing) Technology Co., Ltd. | Magnetic apparatus and method of manufacturing the magnetic apparatus |
WO2016203693A1 (ja) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
US20170047090A1 (en) * | 2014-10-28 | 2017-02-16 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US20180286445A1 (en) * | 2016-06-23 | 2018-10-04 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP22415088A patent/JPH0271424A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8013696B2 (en) | 2008-10-14 | 2011-09-06 | Nexteer (Beijing) Technology Co., Ltd. | Magnetic apparatus and method of manufacturing the magnetic apparatus |
US20170047090A1 (en) * | 2014-10-28 | 2017-02-16 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US10276200B2 (en) * | 2014-10-28 | 2019-04-30 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
WO2016203693A1 (ja) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
JPWO2016203693A1 (ja) * | 2015-06-18 | 2017-09-07 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体 |
US20170270955A1 (en) * | 2015-06-18 | 2017-09-21 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US10566019B2 (en) | 2015-06-18 | 2020-02-18 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US20180286445A1 (en) * | 2016-06-23 | 2018-10-04 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US11087794B2 (en) * | 2016-06-23 | 2021-08-10 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium having magnetic layer with a granular structure |
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