JPH0268711A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

Info

Publication number
JPH0268711A
JPH0268711A JP22049088A JP22049088A JPH0268711A JP H0268711 A JPH0268711 A JP H0268711A JP 22049088 A JP22049088 A JP 22049088A JP 22049088 A JP22049088 A JP 22049088A JP H0268711 A JPH0268711 A JP H0268711A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alloy
layer
magnetic
substrate
particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22049088A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Hasegawa
隆 長谷川
Daizo Endo
大三 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko KK filed Critical Showa Denko KK
Priority to JP22049088A priority Critical patent/JPH0268711A/ja
Publication of JPH0268711A publication Critical patent/JPH0268711A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体に関し、特にco系合金強磁性薄
膜とCrを主成分とする下地薄膜とから成る磁気記録媒
体において高保磁力(≧1100Oe)で、高い線記録
密度を有し、かつ記録再生時の雑音が少ない優れた記録
再生特性を有する磁気記録媒体に関する。
〔従来の技術〕
磁気ディスク用記録媒体は当初T酸化鉄粒子をA/基板
上に塗布したものが実用化され、現在においても相当数
が実用に供されているが、近年はメツキ法及びスパッタ
ー法により成膜された合金強磁性体による連続媒体が進
出している。特に口径5.25インチφ以下の小口径磁
気ディスクの分野においては、上記連続媒体が全使用量
の半数以上を占めるに至っている。この傾向はますます
助長されると共に、小口径磁気ディスクを使用する小型
ドライブ装置の設計方針が軽薄短小化に向うと共に、高
記録容量を必要とする様になり、磁気ディスク媒体の線
記録密度向上が要求されている。
従来量産されている磁気ディスク媒体の保磁力は塗布媒
体で600〜700Oe、メツキ及びスパッター媒体で
800〜950Oeが主流であり、開発段階のもので1
000〜1500Oeのものは、今後の磁気ヘッドの高
出力化が進展すると共に実用領域に達し得るレベルの媒
体であり、幾多の事例が報告されている。
高保磁力磁気記録媒体として提案されているCO合金/
Crスパッタ媒体は、NiP/Affi基板の表面を研
磨テープで円周方向に研磨して円周方向のテクスチャー
(溝構造)を形成し、その上に先ずCrJiiを形成す
る。基板とCo合金層の間にCr層が介在することによ
って、Co合金層の保磁力の向上しかつ角型比が大きく
なるからである。
このCr下地層のスパッターでは、スパッター粒子を斜
入射させて、円周方向のテクスチャーによるシャドウィ
ング効果を利用して、溝の方向即ら円周方向に沿った形
状にCr層(下地層)薄膜を成長させる。そして、その
上層に同じく斜入射効果を与える方法でCo系合金強磁
性薄膜の粒子又は粒子群が円周方向に沿って長平方向に
配向する様に沈着させて、円周方向に形状異方性にもと
づく強い一軸磁気異方性を有する磁気ディスク媒体が実
用に供せられている。円周方向のテクスチャーは、ヘッ
ドスライダ−とディスク媒体との接触による媒体表面の
摩耗や撰傷を極小化するために形成されるが、このテク
スチャーを利用して上記の如く磁性層に形状異方性を与
えて円周方向に高い磁気異方性を得るようにされている
のである。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記の如き磁気ディスクでは、円周方向テクスチャーと
Cr下地層の形成によって高い保磁力と高い角型化が実
現されるが、円周方向に細長い針状の形状異方性を有し
、そのため円周方向に強い一軸磁気異方性を有する強磁
性薄膜が形成されている。このような磁気ディスクの円
周方向及び半径方向の磁気履歴曲線の例を第7図に示す
この様な媒体においては、磁気記録する際の磁化遷移領
域における磁区構造の入り込みが複雑になり、再生時に
ノイズ発生の原因と成り得る。
また従来の構造では高保磁力(≧1100Oe)を得る
ためには、形状異方性を更に強めるため磁性薄膜のアス
ペクト比を高める必要があり、そのため基板上の溝間隔
を狭めなければならない。しかしこの事は磁気ディスク
のC3S (コンタクト・スタート・ストップ)性能の
低下を招き、かつ量産効率を損なうので好ましくない。
そこで、本発明は、磁気記録媒体の高密度化に対応して
、高保磁力(≧1100Oe)でかつ低ノイズの高性能
磁気記録媒体を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を、基板上にCr又はCr合金薄膜
を下地層とし、その上層にCo合金磁性層を成膜し、更
に上層に必要に応じて非磁性層、炭素薄膜層などを成膜
して得る磁気記録媒体において、Co合金磁性層は膜面
に垂直な方向より観察される構造が平均粒径1100n
以下の粒子の集合体であり、かつ個々の粒子によって形
成される膜平面に垂直方向の凹凸の平均の大きさが上記
平均粒径寸法以下の寸法であり、かつ該粒子は互いに隣
接する粒子と少な(とも0.5nmの距離をもって隔て
られた構造を有することを特徴とする磁気記録媒体を提
供することによって達成する。
このような磁気記録媒体は、円周方向のテクスチャー上
に磁性層を形成しても高い保磁力を有しかつ磁気異方性
がない構造であり、好ましくは保磁力(Hc)が110
0Oe以上でかつ円周方向の角型比と半径方向の角型比
との間の比(異方性)が0、8〜1.1の範囲内である
ことができる。また、このように磁気異方性がなくなる
ことによって、ノイズ特性が改善され、記録再生周波数
5Ml1zにおけるノイズと信号出力の比(−dB)が
35以上であることができる。
このような磁気記録媒体の優れた特性は、CO合金磁性
層がCr又はCr合金薄膜上にエピタキシャル成長して
平面構造(119面の構造)が平均粒径1100n以下
の粒子の集合体を成し、かつ各粒子が適当な間隙によっ
て隔てられている構造であることによって得られる。但
し、Co合金粒子の平均粒径が100r++nを越えて
成長すると、膜面の平均粗さも大きくなり磁気ディスク
表面とヘッド・スライダーとの空隙損失が大となり、記
録再生特性の劣化を招くので好ましくない。好ましい平
均粒径は10〜50nmの範囲である。また、隣接する
C。
合金粒子間の隔たりが0.5nmに充たない状態になる
と、個々のCo合金粒子の磁気的孤立性が失われ、従来
の方法による磁気ディスクと同様な構造と特性を有する
結果となり好ましくない。好ましい各Co合金粒子間の
隔たりは0.5〜5nmの範囲内である。0.5 nm
以下では粒子間の磁気的結合が生じる。5nm以上では
磁性層の体積が少なくなり磁性層の飽和磁束密度が減少
する。
このようなCO合金磁性層の構造を実現するためには、
Cr又はCr合金下地層の表面構造をそのような磁性層
の形成に適するようにする必要があり、基板表面に対し
てCr又はCr合金スパッタ粒子が主として垂直な成分
をもって一様に飛来し沈着するようにする。あるいは、
基板表面をガス雰囲気、大気中などで熱処理する事によ
り基板上に微小酸化物などの結晶発生核となる様な局在
部分を一様に分布させる事によっても得られる。
このようにして形成した下地Cr又はCr合金層はCr
又はCr合金層が柱状に発達し、かつ膜平面においてC
r粒子の体心立方格子(B CC)結晶相の(110)
面が発達する。このCr又はCr合金層上にCo合金磁
性層を斜入射成分の多(含まれたスパッター粒子により
エピタキシャル成長させる事により、予め良く成長した
Cr又はCr合金粒子の上へ更に上積みされる形で、膜
面上の画部分又は開部分はより強調されてCo合金磁性
層が成長する。その結果、上述の構造を有するC。
合金磁性層が得られる。
第1図に典型的な本発明の磁気記録媒体の構成を示す。
基板1はAN合金又は純/lが代表的であるが、ポリカ
ーボネート、ポリエチルアミドなどの硬質プラスチック
スからなってもよい。基板の寸法は特に限定されないが
、本発明は特に5インチ、3.5インチなどの小型ディ
スクに有利に適用される。厚さは通常1.2〜1.9 
n+程度であり、表面は鏡面仕上げされる。
好ましくは、基板1の表面に、非磁性層又は磁性層の付
着を良<シ1.耐食性を持たせるために、無電解めっき
でNi −Pなどの下地めっき層2を厚さ10〜20μ
m程度形成される。さらに、この下地めっき処理した基
板にテープ研摩性等でほぼ同心円状(ら旋状でもよい)
のテクスチャー(溝構造)を形成する。これはディスク
回転時にヘッドに浮力を与えるために必要であり、表面
粗さで表現して、最大表面粗さR,、、400〜550
人、平均表面粗さR360〜80人が好ましい。表面粗
さがあまり大きいとヘッドの浮上性が悪くなり、一方表
面粗さが小さすぎるとヘッドとの接触による媒体やヘッ
ドの摩耗や損傷が激しくなる。
同心円状テクスチャーを形成した下地めっき層2上には
、Co合金磁性層4をエピタキシャル成長させるための
中間層としてCr又はCr合金下地層3を形成する。ス
パッタ法では(110)面が基板面に平行に配向して結
晶成長し、その断面構造はコラム状になることが知られ
ている。本発明では、このCr又はCr合金下地層3を
スパッタ成膜するに当って基板1に対して垂直入射させ
る。
そのために、第2図を参照すると、スパッタ室(図示せ
ず)内にCr又はCr合金ターゲット程度の間隔に配置
し、ターゲット11のエロージョン領域(ターゲットが
スパッタされてターゲット構成材料が飛び出すために侵
蝕されるターゲットの領域)13が次の条件を満たずよ
うなスパッタ条件下でスパッタする。ずなわち、エロー
ジョン領域13の内周部が基板12の中心から半径の4
0%以内にあり、かつターゲソ1−の全面積(基板と対
向する面の面積)に対してエロージョン領域の面積が8
0%以上である。これによってCr又はCr合金が基板
に対して実質的に垂直入射し、Cr又はCr合金の(1
10)面がより完全に成長する。Cr又はCr合金下地
層3の厚さは1000〜3000人の範囲が好ましい。
Cr又はCr合金下地層3の厚さが増すほどCo合金磁
性層の保磁力が増加する傾向にあるが、余り厚いと成膜
に多くの時間を要し、時間当たりの量産効率を1貝ない
、また最終的には飽和するので、所望の効果を得るには
上記範囲の厚さが好適である。
Cr又はCr合金下地層3を形成後、Co合金磁性層4
を形成する。代表的なCo合金磁性材料はCo −Ni
−Crからなり、N i 70〜30*h%、Cr 5
〜10atm%である。Cr又はCr合金下地層上に形
成したCo合金磁性層は高保磁力、高記録密度であるこ
とが知られているが、本発明では上記Cr又はCr合金
下地層はワイドエロージョンターゲントでスパッタし、
そしてCo合金磁性層を下記の如くナローエロージョン
ターゲットを用いてスパッタして斜め入射で成膜するこ
とによって、Cr又はCr合金下地結晶に対応して独立
界として成長させる。ここにナローエロージョンターゲ
ットとは、第3図を参照すると、30〜1501貫、好
ましくは40〜110龍のターゲット15と基板17の
距離においてターゲット15のエロージョン領域16の
内周部が基板17の中心から半径の80%より外側でか
つターゲット15の全面積に対するエロージョン領域1
6の面積が60%以下である場合をいう。このような斜
入射を先の垂直入射のCr又はCr合金下地層と組合わ
せることによって、高保磁力、高密度記録特性であり、
かつ低ノイズ特性の磁気記録媒体を実現することができ
る。これは、このような成膜法の組合せによってCo合
金層が独立界として良好に成長し、かつ磁気異方性のな
いCO合金磁性層が形成されるためと考えられる。この
CO合金磁性N4は、このようにCr又はCr合金結晶
に対応して独立界として成長することによって、前述の
如く、成子面内の平均粒子径が1100n以下、成子面
に垂直な凹凸の平均が該平均粒子径より小さ(、成子面
内の個々の粒子が少なくとも0.5nmの隔りを有する
構造を有するものとなる。Co合金磁性層4の膜厚は4
00〜800人の範囲内が好ましい。保磁力Hcが11
00Oeでかつ実用に供するに適した出力を得るためで
ある。
Co磁性層4上には、必要に応じて、保護膜5を形成す
る。この保護膜としては、カーボン薄着膜(300〜4
00 人)とその上のパーフルオロポリエーテル膜(2
0〜40人)等が通常用いられる。
〔実施例〕
以下に本発明の実施例について詳細に述べる。
外径13011φ、内径4 Q +uφ、厚さ1.9 
u+のAβ基板上にNiPメツキ(18〜20卿厚)を
施こし、NiPメツキ層を約3ta機械研磨加工して鏡
面仕上した。〔テクスチャーを形成する場合には平均粗
さR120〜30人、最大粗さR,、、100〜200
人程度にする〕磁気ディスク用基板に対し、スパッター
法により、下地層(Cr金屈薄膜)を膜厚さ1000〜
3000nm厚さに成膜する。この成膜条件はArガス
圧力3〜l OmTorr(好ましくは6 mTorr
)、DC電力2.5〜6KW、ターゲットと基板(T/
S)間の距離70龍で、円形ターゲットと基板は互いに
静止して同心円位置に対向させている。このターゲット
 (直径200龍φ)のカソードはターゲットのエロー
ジョン領域が85%でその内径が基板面の中心径の30
%になって、基板面に向って垂直に飛来する成分が大部
分を占める様に設計したカソードを用いた。
次に下地層上にCo −30atm%Ni −7,5a
tm%Cr合金磁性層をスパッタ法で成膜する。この合
金磁性層の成膜に当っては、成膜条件としてArガス圧
力3〜10 mTorr(好ましくは5 mTorr)
、DC電力2.5〜6にW、T/S間距離5Qmmで、
円形ターゲットと基板は互いに静止して同心円位置に対
向させている。ターゲット(直径200龍φ)のカソー
ドはエロージョン領域が40%でその中心径が基板径の
80%以上になる様に設計したカソードである。
このようにしで、基板温度と各々の膜厚を表1に示すよ
うに変化させて成膜し、磁気ディスクを作製した。
このような方法で得た磁気ディスクの表面構造を日立製
作所製走査電子顕微鏡(Sm2O3型)を用いて観察し
た反射電子像を第4図に示す。Co合金の粒子が独立し
て成長している様子が見られる。
Co合金粒子の平均粒径は20nm、粒子間隙は平均1
nmで0.5〜5nmに分布していた。Co合金粒子の
膜面に垂直な方向の凹凸は断面構造で調べて、:S)〜
JOnmであった。
比較のために、上記実施例と同様の磁気ディスクを作製
し、但しCr下地層とCo合金磁性層を従来法の成膜条
件(両方とも斜め入射)で行ない、円周方向に異方性を
付与した。
第5図は、この比較例の磁気ディスクの表面構造を示す
第4図と同様の写真である。Co合金粒子が独立せず、
そして粒子間にもCo合金がびっしりと充満しているの
が見られる。
これらの実施例及び比較例の磁気ディスクの静磁力特性
、記録再生特性、周波数特性及びノイズ特性について評
価した。静磁力特性はVSM (振動試料型磁力計)を
用いて測定し、記録再生特性等はスペクトルアナライザ
ーを用いて測定した。
なお、測定条件としては、周波数範囲は零から10M1
lzまで;分解周波数は30Kllz、ノイズ比測定人
力信号5M1lz;測定ヘッドはモノリシック型メタル
インギャップ(M I G)へノド、トランク巾TW=
1.6μm、ギャップ147 G L −= 0.7 
am ;測定位置はディスク中心より30.411 ;
ディスク回転数は3600rpm ;書込電流35m八
とした。
表1に結果を示す・         以下余白表1に
おける1)〜14)の説明を下記に付す。
■)保磁力Hc (Oe)  : ディスクの円周方向に測定した値を示す。1000Oe
以上を目標とし、この値が高いほど記録密度を高めるこ
とができる。
2)残留磁束密度Br・δ(G・μ):ここでは残留磁
束密度Brに膜厚δを掛けたもので評価したので(ガウ
ス)×(マイクロメートル)のjii位を持つ。この値
が大きいほど出力が大きくなり好ましい。
3)磁気異方性(Br/Bs)” /(Br/Bs)’
 :残留磁束密度Br /飽和磁束密度BsO比(角型
比)を円周方向と半径方向についてそれぞれ測定し、そ
の比をもって磁気異方性を評価した。この値が1に近い
ほど等方性である。等方性であるほど、ノイズが少なく
なることが後述する如く確認されており、好ましい。
4)外周部OR: 外径1301φのディスクの中心から60.9mmの位
置をもって外周部(outer radius)とした
5)内周部IR: 外径130鶴φのディスクの中心から30.4mmの位
置をもって内周部(inner radius)とした
6)トラック平均出力TAA LF+(ml/)  :
1.25MHzの信号(LP 、 )のトラック平均出
力。
7)トラック平均出力TAA llh(mν):2.5
0MHzの信号(IIFI)のトラック平均出力。
8)分解能RES (%): TAA )IP、 /TAA LF、をパーセント表示
する。この値が大きいほど(100%に近いほど)、1
、F、と11F。
のTAAの差が小さいほど、分解能は良好であるといえ
る。
9)重ね書き特性をO/W(−dB) :LF、の信号
を記録した後さらにその上に11F、の信号を記録した
ときのLF、の出力を201og小さい(絶対値が大き
い)はど重ね書き特性は良好である。
10)70%減衰周波数り、o: 孤立波(0,75M1lz)の出力の70%の出力にな
るときの周波数(第10図参照)。
11) D7o線記録密度LD(KFCPI)  :D
、。の周波数に対する線記録密度。単位は1インチ当り
の磁束反転数(Kilo Flux Change P
erInch)である。
12)50%減衰周波数D5゜: 孤立波(0,75MHz)の出力の50%の出力になる
ときの周波数(第10図参照)。
13) Ds。線記録密度LD(KFCPI)  :D
5゜の周波数に対する線記録密度。
14)ノイズ比5NR15,0MHz(−dB)  :
5、0 MHzの信号の出力における信号とノイズの比
を対数表示したもので、この値がが大きい方が雑音が小
さい。
第6図に実施例(試料2)の磁気ディスクの円周方向及
び半径方向の磁化履歴曲線を示す。第7図に示した比較
例(試料1)の対応する磁化履歴曲線と比べると、本発
明の磁気ディスクが異方性を持たないこと(しかし保磁
力は大きいこと)がわかる。
第8図は実施例(試料2)の磁気ディスクに5M1lz
の信号を入力しない時と入力した時の出力を周波数に関
して表わしたものであり、第9図は比較例(試料1)の
対応する図である。これらの図を比較すると、従来の異
方性の磁気ディスクでは、信号を入力したときに、低周
波領域で媒体ノイズ成分が大きく増加するが、実施例の
等方性の磁気ディスクでは、信号入力時にも、媒体ノイ
ズ成分の増加が小さい。
第10図は実施例(試料2)と従来例(試料I)の磁気
ディスクの出力の周波数特性を示すものである。同図よ
り、比較例の方が実施例よりも周波数の上昇とともに出
力がより早く低下することが認められる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、基板上のCr又はCr合金下地層上に
Co合金磁性層を形成して成る磁気記録媒体において、
高保磁力(1100Oe以上)でかつ記録再生時のノイ
ズを抑制することができ、高記録密度化に有用である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の磁気記録媒体の構成を示す模式図、第
2図はCr又はCr合金下地層の成膜条件を説明する図
、第3図はCo合金磁性層の成膜条件を説明する図、第
4図及び第5図は実施例及び比較例の磁気ディスクのC
o合金磁性層の金属組織の電子顕微鏡写真、第6図及び
第7図は実施例及び比較例の磁気ディスクの円周方向及
び半径方向の磁化履歴曲線、第8図及び第9図は実施例
及び比較例の磁気ディスクのノイズ特性を示す図、第1
0図は実施例及び比較例の磁気ディスクの出力の周波数
特性を示す図である。 1・・・基板、       2・・・下地めっき層、
3・・・Cr又はCr合金下地層、 4・・・Co合金磁性層、  5・・・保護膜、11・
・・ターゲット、    12・・・基板、13・・・
エロージョン領域、15・・・ターゲット、16・・・
エロージョン領域、17・・・基板。 Cr又はCr合金下地の成膜 第2回 Co合金の成膜 第3回 磁気ディスク(実施例) 第10 M基板 N1−Pめっき層 Cr下地層 Co合金磁性層 保護膜 実施例の磁性層 第4図 比較例の磁性層 第 コ ノイズ特性(実施例) 第8回 磁化の強さ ■ 履歴曲線(実施例) 第6図 磁化の強さ 履歴曲線(比較例) 第7回 ノイズ特性(比較例) 第9@

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、基板上にCr又はCr合金薄膜を下地層とし、その
    上層にCo合金磁性層を成膜し、更に上層に必要に応じ
    て非磁性層、炭素薄膜層などを成膜して得る磁気記録媒
    体において、Co合金磁性層は膜面に垂直な方向より観
    察される構造が平均粒径100nm以下の粒子の集合体
    であり、かつ個々の粒子によって形成される膜平面に垂
    直方向の凹凸の平均の大きさが上記平均粒径寸法以下の
    寸法であり、かつ該粒子は互いに隣接する粒子と少なく
    とも0.5nmの距離をもって隔てられた構造を有する
    ことを特徴とする磁気記録媒体。 2、保磁力(Hc)が1100Oe以上で、かつ円周方
    向の角型比と半径方向の角型比との間の比(異方性)が
    0.8〜1.1の範囲内である請求項1記載の磁気記録
    媒体。 3、記録再生周波数5MHzにおけるノイズと信号出力
    の比(−dB)が35以上である請求項1又は2記載の
    磁気記録媒体。
JP22049088A 1988-09-05 1988-09-05 磁気記録媒体 Pending JPH0268711A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22049088A JPH0268711A (ja) 1988-09-05 1988-09-05 磁気記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22049088A JPH0268711A (ja) 1988-09-05 1988-09-05 磁気記録媒体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0268711A true JPH0268711A (ja) 1990-03-08

Family

ID=16751882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22049088A Pending JPH0268711A (ja) 1988-09-05 1988-09-05 磁気記録媒体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0268711A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0363919A (ja) * 1989-07-24 1991-03-19 Magnetic Peripherals Inc 磁気薄膜記録媒体及びその製法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0363919A (ja) * 1989-07-24 1991-03-19 Magnetic Peripherals Inc 磁気薄膜記録媒体及びその製法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3143611B2 (ja) 磁気薄膜媒体用の超薄核形成層および該層の製造方法
US5815343A (en) Magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording system
JP3809418B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録装置
Yogi et al. Dependence of magnetics, microstructures and recording properties on underlayer thickness in CoNiCr/Cr media
US6667118B1 (en) Texture-induced magnetic anisotropy of soft underlayers for perpendicular recording media
US6942933B2 (en) Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus
JP2002208129A (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置
US5989674A (en) Thin film disk with acicular magnetic grains
JP3481252B2 (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法
JPH07169037A (ja) 面内型磁気記録媒体及びその製造方法並びにそれを用いた磁気記録装置
JP2625169B2 (ja) 磁気ディスク媒体の製造方法
JP4123806B2 (ja) 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録装置
JP3359706B2 (ja) 磁気記録媒体
JP4391010B2 (ja) 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録装置
US7144641B2 (en) Magnetic backlayer
JPH0268711A (ja) 磁気記録媒体
JP3663289B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JP2001189006A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法ならびに磁気記録再生装置
EP1508895A1 (en) Information recording medium and information storage device
JP2003077121A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
JP2002324313A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP2001250223A (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録装置
JPH11250438A (ja) 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録装置
JPH04137217A (ja) 磁気特性に優れた磁気ディスクの製造法
JP2749046B2 (ja) 面内記録用磁気記録媒体およびそれを用いた面内記録用磁気記録装置