JPH0261916A - 透明導電膜のパターニング方法 - Google Patents
透明導電膜のパターニング方法Info
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- JPH0261916A JPH0261916A JP21392588A JP21392588A JPH0261916A JP H0261916 A JPH0261916 A JP H0261916A JP 21392588 A JP21392588 A JP 21392588A JP 21392588 A JP21392588 A JP 21392588A JP H0261916 A JPH0261916 A JP H0261916A
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Landscapes
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は平面デイスプレや透明タッチパネル。
太陽電池などに使用される透明導電膜に関するものであ
り、特に透明導電膜の新規なパターニング方法に関する
ものである。
り、特に透明導電膜の新規なパターニング方法に関する
ものである。
従来の技術
従来より透明導電膜のパターニング方法としては塩酸、
硝酸、王水などの強酸や亜鉛などを使用した湿式エツチ
ングによる方法が主として行われている。
硝酸、王水などの強酸や亜鉛などを使用した湿式エツチ
ングによる方法が主として行われている。
発明が解決しようとする課題
しかし、エツチングによる場合は使用する材料が特殊な
ものであり、薬剤や廃液の取扱い、管理に注意を要する
ものであった。
ものであり、薬剤や廃液の取扱い、管理に注意を要する
ものであった。
上記問題点を避けようとすればドライエツチングを採用
せざるを得ないが、この場合は真空容器内での操作を必
要とするため、大面積の処理が困難であると共に生産性
が劣る欠点があるものであった。
せざるを得ないが、この場合は真空容器内での操作を必
要とするため、大面積の処理が困難であると共に生産性
が劣る欠点があるものであった。
課題を解決するだめの手段
本発明は上記課題を解決するための手段として、透明導
電膜上に、上記金属酸化物を構成する金属以外の金属を
含有する化合物をパターン状に印刷して後、熱処理して
非導通部分を形成することにより、エツチング操作を経
ずにパターン状の透明導電膜を形成するものである。
電膜上に、上記金属酸化物を構成する金属以外の金属を
含有する化合物をパターン状に印刷して後、熱処理して
非導通部分を形成することにより、エツチング操作を経
ずにパターン状の透明導電膜を形成するものである。
作用
上記方法とすることにより透明導電膜上に形成された導
電性金属酸化物を構成する金属以外の金属が、熱処理に
よって透明導電膜中に拡散することによシ透明導電膜の
導電性が無くなり、実質上パターンエツチングしたのと
同じ効果が得られる。
電性金属酸化物を構成する金属以外の金属が、熱処理に
よって透明導電膜中に拡散することによシ透明導電膜の
導電性が無くなり、実質上パターンエツチングしたのと
同じ効果が得られる。
このためエツチング用の特殊な薬剤を使用する必要がな
くなり、製造管理が容易になるものである。
くなり、製造管理が容易になるものである。
実施例
以下、本発明の概要につき説明する。
本発明に使用できる透明導電膜は通常使用されているス
ズトープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化スズな
どがあるが、その他、カドミウム−スズ酸化物や酸化亜
鉛系のものにも本発明の手法は適用可能である。
ズトープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化スズな
どがあるが、その他、カドミウム−スズ酸化物や酸化亜
鉛系のものにも本発明の手法は適用可能である。
導電性を失わせるために添加する金属元素としては上記
透明導電膜を形成するもの以外であればほぼ使用するこ
とができるが、一部遷移金属の場合は十分な絶縁抵抗が
取れない場合があるので注意を要する。
透明導電膜を形成するもの以外であればほぼ使用するこ
とができるが、一部遷移金属の場合は十分な絶縁抵抗が
取れない場合があるので注意を要する。
これら金属元素はこれら元素を含む無機塩や有機化合物
の形で溶剤に溶解し、必要に応じて増粘用の樹脂を添加
して印刷可能なインキとし、スクリーン印刷その他公知
の方法で必要とするパターン状に印刷して目的のパター
ンを形成する。
の形で溶剤に溶解し、必要に応じて増粘用の樹脂を添加
して印刷可能なインキとし、スクリーン印刷その他公知
の方法で必要とするパターン状に印刷して目的のパター
ンを形成する。
これら元素を含む無機塩の例としては金属の硝酸塩、塩
化物があり、有機化合物としては金属の各種カルボン酸
塩、有機金属化合物、金属錯体などがある。
化物があり、有機化合物としては金属の各種カルボン酸
塩、有機金属化合物、金属錯体などがある。
溶剤としては化合物の溶解性に応じて各種溶剤から任意
に選ぶことができる。
に選ぶことができる。
増粘用の樹脂も従来公知の樹脂の中から上記溶剤、金属
化合物との相溶性を考慮して選択することができる。
化合物との相溶性を考慮して選択することができる。
以下、具体的な実施例について説明する。
（実施例１）
オクチル酸鉛２ｏ重量部とニトロセルローズ８０重量部
とを２５０重量部のアルコール系溶剤に溶解し、インキ
を製造した。
とを２５０重量部のアルコール系溶剤に溶解し、インキ
を製造した。
このインキを熱分解法により製造したスズトープ酸化イ
ンジウム（ＩＴＯ）膜（面積抵抗値３ｏ○Ω／口）上に
スクリーン印刷してパターンを形成した。次いで、この
ＩＴＯ膜を１６０’Ｃで乾燥してのち、５００’Ｃで焼
成して熱処理を行った。
ンジウム（ＩＴＯ）膜（面積抵抗値３ｏ○Ω／口）上に
スクリーン印刷してパターンを形成した。次いで、この
ＩＴＯ膜を１６０’Ｃで乾燥してのち、５００’Ｃで焼
成して熱処理を行った。
この結果、上記インキを塗布した部分の面積抵抗値は１
０９Ω／口以上となり実質的にエツチングしたものと同
じ効果が得られた。
０９Ω／口以上となり実質的にエツチングしたものと同
じ効果が得られた。
また、本インキを使用した場合、スクリーン印刷により
線間、線幅それぞれ１００μのパターンが形成できた。
線間、線幅それぞれ１００μのパターンが形成できた。
（実施例゛２）
ヌプレー法により製造したアンチモン（１０％）ドープ
酸化スズ膜（面積抵抗値５にΩ／口）に実施例１のオク
チル酸鉛インキを印刷し、実施例１と同様に熱処理して
絶縁パターンを形成した。この場合もオクチル酸鉛イン
キが印刷された部分は絶縁状態となった。
酸化スズ膜（面積抵抗値５にΩ／口）に実施例１のオク
チル酸鉛インキを印刷し、実施例１と同様に熱処理して
絶縁パターンを形成した。この場合もオクチル酸鉛イン
キが印刷された部分は絶縁状態となった。
（実施例３）
実施例１においてオクチル酸鉛インキに代えて、硝酸第
１銅とポリビニルアルコールを水に溶解したインキを使
用した。この場合もインキ塗布部分は絶縁状態となった
。
１銅とポリビニルアルコールを水に溶解したインキを使
用した。この場合もインキ塗布部分は絶縁状態となった
。
発明の効果
以上のごとく、本発明にかかる透明導電膜のバターニン
グ方法を採用することにより、従来のごとき危険な薬剤
を使用することなく所望のパターンが熱処理のみで大量
、安価に形成できるものであり、産業上の効果は大であ
る。
グ方法を採用することにより、従来のごとき危険な薬剤
を使用することなく所望のパターンが熱処理のみで大量
、安価に形成できるものであり、産業上の効果は大であ
る。
Claims (1)
- 全面に形成された金属酸化物からなる透明導電膜上に、
上記金属酸化物を構成する金属以外の金属を含有する化
合物をパターン状に印刷して後、熱処理してパターン状
の非導通部分を形成することを特徴とする透明導電膜の
パターニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21392588A JPH0261916A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 透明導電膜のパターニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21392588A JPH0261916A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 透明導電膜のパターニング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261916A true JPH0261916A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16647318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21392588A Pending JPH0261916A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 透明導電膜のパターニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0261916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05220928A (ja) * | 1991-10-28 | 1993-08-31 | Corning Inc | オフセット熱剥離デカルコマニア転写装置及び方法 |
| US6776100B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-08-17 | Thomas V. Cutcher | Method and apparatus for transferring an image to a substrate |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP21392588A patent/JPH0261916A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05220928A (ja) * | 1991-10-28 | 1993-08-31 | Corning Inc | オフセット熱剥離デカルコマニア転写装置及び方法 |
| US6776100B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-08-17 | Thomas V. Cutcher | Method and apparatus for transferring an image to a substrate |
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