JPH0257794A - 駆動機構の潤滑方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、駆動機構の潤滑方法に関する。

［従来の技術］ ＩＣ，ＬＳＩ製造装置のような真空を利用したシステム
が広く用いられるにつれて、真空における駆動機構の潤
滑方法が各方面で研究開発されている。その場合、真空
用潤滑剤が用いられる。真空用潤滑剤としては、ＰＦＰ
Ｅ系グリースで代表従来、第４図に示すように、真空中
の歯車に対して、これら液体潤滑剤は、駆動側歯車１４
及び被駆動側歯車１５にグリース状の液体潤滑剤を単純
に塗布するという方法が取られていた。

〔発明が解決しようとする課題］ このような潤滑方法が取られていたために、次に述べる
ような事が生じていた。

■　歯車の噛み合い部分１７で、液体潤滑剤１６が歯車
の噛み合い圧力のため、噛み合い部分１７の側面に押し
出され、押し出された液体潤滑剤１６は、歯車の噛み合
い部分１７に戻らない。

■　液体潤滑剤１６は真空１８にさらされることにより
蒸発するが、この蒸発量は真空１８にさらされる表面積
に依存する。この時、歯車の噛み合い部分１７では前述
の様に液体潤滑剤１６が歯車の噛み合い部分１７の側面
に押し出されているために、歯車の噛み合い部分１７で
は、たとえ液体潤滑剤が残っていてもきわめて薄い状態
となっている。このため、歯車に有効に作用する液体潤
滑剤の体積に対する表面積がきわめて大きいために、有
効に作用する液体潤滑剤は短時間の間に蒸発し消失する
。

以上述べたような現象のなめ、従来の方法では液体潤滑
剤の性能が保持される期間が短いものとなるため、歯車
の摩擦摩耗を防止するなめには、メンテナンスが頻繁に
必要となり、システムの設置上及び運用上大きな制限を
受けるという欠点を有していた。

それ故に本発明の課題は、液体潤滑剤の補給などのメン
テナンスを極力低減し、システムの設置上及び運用上の
制限を排除することにより、システムの平均故障間隔（
ＭＴＢＦ）を大幅に向上する駆動機構の潤滑方法を提供
することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、互いに接触し摩擦摩耗する機構部品の
接触部分に磁界が発生するように磁気回路を形成し、且
つ、摩擦摩耗を低減する潤滑剤に磁性をもたせたことを
特徴とする駆動機構の潤滑方法が得られる。

［作　用〕 本発明の潤滑方法によると、歯車の接触部分に気中して
磁界が発生するように磁気回路を形成し、且つ、潤滑剤
に磁性をもたせているため、歯車の掌擦摩耗部分に潤滑
剤達保持され、その潤滑剤は接触部分の圧力により押し
出されても接触部分に戻るため、歯車の摩擦摩耗は最少
の状態を保ち続けることができる。

［実施例］ 第１図は本発明の第１の実施例を示す。

本発明の第１の実施例においては、駆動軸１に設置され
た駆動側歯車２と被駆動軸３に設置された被駆動側歯車
４との噛み合い部分を挾み込むように磁気回路を形成す
る磁石６を設置し、且つ、液体潤滑剤として磁性流体７
を備えている。

以上のような構造を有するため、第１図によると、磁石
６のＮ極から出た磁束５は駆動側歯車２と被駆動側歯車
４との噛み合い部分を通過して磁石６のＳ極に流れ込む
、この時、磁束５のつくる磁界は歯車の噛み合い部分付
近で最強となり、液体潤滑剤としての磁性流体７を引き
付けるために、歯車の噛み合い部分は常に液体潤滑剤と
しての磁性流体７に覆われることとなる。

第２図は本発明の第２の実施例を示す。

本発明の第２の実施例においては、駆動軸１に設置され
た磁性材料でつくられた駆動側歯車２と被駆動軸３に設
置されたやはり同じく磁性材料でつくられた被駆動側歯
車４との間で磁束５が貫通するように流れるように磁石
６を設置し且つ液体潤滑剤として磁性流体７をそなえた
ものである。

以上のような構造を有するため一第２図によると、磁石
６のＮ極から出た磁束５は駆動側歯車２、被駆動側歯車
４を介して磁石６のＳ極に流れ込む。

この際、駆動側歯車２と被駆動側歯車４とは噛み合い部
のみによって接触しているために、この噛み合い部にお
いて磁束６が強力な磁界を発生させる。磁束６によって
噛み合い部８につくられた強力な磁界は液体潤滑剤とし
ての磁性流体７を引き付ける。この結果、噛み合い部は
、常に、液体潤滑剤としての磁性流体７に覆われること
となる。

これらの結果、本発明においては、第３図に示すように
従来の液体潤滑剤の塗布方法９で潤滑効果がなくなる、
すなわち潤滑剤無しの場合１０と同程度の摩擦摩耗量を
示す歯車の接触回数よりも、本発明の第１の実施例、及
び、第２の実施例共に本発明の場合１３は２０倍以上の
接触回数においても潤滑効果を維持し続けた。もちろん
、鉛膜の例１１やＭ　ｏ　Ｓ　２膜の例１２など固体潤
滑剤に比べてもはるかに低い磨耗量を示している６なお
上述では、歯車の実施例について述べたが、この実施例
に限らず例えばベアリングにおいて、る液体潤滑剤を充
填しても同様な作用が得られる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、歯車のＩＩ擦摩
耗が極めてすくなくなるという効果を有するため、合わ
せて歯車の摩擦摩耗を少なくするために要するメンテナ
ンスの回数を大幅に低減し得るという効果を有すること
が明かとなった。

したがってシステムの設置上及び運用上の制限が大幅に
緩和され、また、システムの平均故障間隔（ＭＴＢＦ）
が大幅に向上する４ 第１図

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を適用した駆動機構の斜
視図、第２図は本発明の第２の実施例を適用した駆動機
構の斜視図、第３図は本発明の効果を示すグラフ、第４
図は従来の方法を適用した駆動機構の斜視図である。 １・・・駆動軸、２・・・駆動側歯車、３・・・被駆動
軸、４・・・被駆動側歯車、５・・・磁束、６・・・磁
石、７・・・磁性流体、８・・・噛み合い部、９・・・
従来の液体潤滑剤の塗布方法、１０・・・潤滑剤無しの
場合、１１・・・固体潤滑剤の場合（鉛１１り、１２・
・・固体潤滑剤の場刑、１７・・・噛み合い部、１８・
・・真空。 第 図 第 図 歯車の接勉回数（相対値）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、互いに接触し摩擦摩耗する機構部品の接触部分に磁
   界が発生するように磁気回路を形成し、且つ、摩擦摩耗
   を低減する潤滑剤に磁性をもたせたことを特徴とする駆
   動機構の潤滑方法。