JPH0256744A - 光記録材料 - Google Patents
光記録材料Info
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- JPH0256744A JPH0256744A JP63206865A JP20686588A JPH0256744A JP H0256744 A JPH0256744 A JP H0256744A JP 63206865 A JP63206865 A JP 63206865A JP 20686588 A JP20686588 A JP 20686588A JP H0256744 A JPH0256744 A JP H0256744A
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Landscapes
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高速消去可能で、かつ、繰り返し回数の大き
な、書換え型光記録媒体に関するものである。
な、書換え型光記録媒体に関するものである。
近年、情報記録の高密匿化、大容量化に対する要求が高
筐り1国内外でその研究開発が盛んに行われているが、
とくにレーザを光源として用いる元ディスクは、従来の
磁気記録媒体に比べておよそ10〜100倍の記録密度
を有し、しかも記録、再生ヘッドと記録媒体とが非接触
状態で情報の記録。
筐り1国内外でその研究開発が盛んに行われているが、
とくにレーザを光源として用いる元ディスクは、従来の
磁気記録媒体に比べておよそ10〜100倍の記録密度
を有し、しかも記録、再生ヘッドと記録媒体とが非接触
状態で情報の記録。
再生ができるために記録媒体の損傷も少なく、長寿命で
あるなどの特徴があることから、膨大な情報量を記録、
再生する手段として有望である。
あるなどの特徴があることから、膨大な情報量を記録、
再生する手段として有望である。
この光ディスクは用途に応じて再生専用型、追記、書換
え型の3種類に大別することができる。
え型の3種類に大別することができる。
再生専用型は情報の読み出しのみが可能な再生専用ディ
スクであり、追記型は必要に応じて情報を記録し再生す
ることはできるが、記録した情報の消去は不可能なもの
である。これに対して書換え型は情報の記碌、再生とさ
らに記鎌済みの情報を消去して書換えることが可能であ
り、コンピュータ用のデータファイルとしての利用が望
まれ、最も期待の大きいものである。
スクであり、追記型は必要に応じて情報を記録し再生す
ることはできるが、記録した情報の消去は不可能なもの
である。これに対して書換え型は情報の記碌、再生とさ
らに記鎌済みの情報を消去して書換えることが可能であ
り、コンピュータ用のデータファイルとしての利用が望
まれ、最も期待の大きいものである。
書換え型のディスクについては1元磁気方式と相変化方
式の2つの記録方式の開発が進められているが、いずれ
の方式も記録材料や書込み機構などの点でなお改良の余
地が残されている。これらのうち、相変化方式は一般に
レーザ光をディスクの記録面に集光して加熱し、レーザ
光のパルス出力とパルス幅とを制御することにようて生
ずる記録材料の相変化、すなわち結晶状態から非晶質状
態への移行または相転移などを起こさせ、それぞれの状
態における反射率の違いで情報の記録と消去を行うもの
である。
式の2つの記録方式の開発が進められているが、いずれ
の方式も記録材料や書込み機構などの点でなお改良の余
地が残されている。これらのうち、相変化方式は一般に
レーザ光をディスクの記録面に集光して加熱し、レーザ
光のパルス出力とパルス幅とを制御することにようて生
ずる記録材料の相変化、すなわち結晶状態から非晶質状
態への移行または相転移などを起こさせ、それぞれの状
態における反射率の違いで情報の記録と消去を行うもの
である。
この相変化方式の元ディスクの構造については図示を省
略するが5通常多(のトラッキング溝を設けた例えばポ
リカーボネートなどの基板表面に5i02等のセラミッ
ク膜を形成し、その上に記録用材料すなわち媒体膜を設
け、さらにその上にセラミック膜と有機物の表面保護膜
を順次堆積した構造としである。
略するが5通常多(のトラッキング溝を設けた例えばポ
リカーボネートなどの基板表面に5i02等のセラミッ
ク膜を形成し、その上に記録用材料すなわち媒体膜を設
け、さらにその上にセラミック膜と有機物の表面保護膜
を順次堆積した構造としである。
通常の元ディスクでは、初期状態では光記録材料を結晶
状態とし、情報記録時には、これにレーザを照射し、非
晶質状態のスポットを形成する。
状態とし、情報記録時には、これにレーザを照射し、非
晶質状態のスポットを形成する。
消去時には、この非晶質状態のスポットをレーザにより
アニールして結晶状態へ戻す。
アニールして結晶状態へ戻す。
相変化型の光記録媒体としては多くの材料が提案され°
Cいるが、このうちGeTeは、結晶状態と非晶質状態
の反射ぶ差が大きく、記録情報の安定性も高いことから
、有望な材料と考えられている。
Cいるが、このうちGeTeは、結晶状態と非晶質状態
の反射ぶ差が大きく、記録情報の安定性も高いことから
、有望な材料と考えられている。
しかし、本発明者らの検討結果によれば、非晶質状態の
GeTe薄膜を、レーザ照射により結晶状態へ完全にア
ニールするには最短でも0.5μm□□を要する。この
材料を用いて光ディスクを作成し、ビーム径が約1μm
のレーザ光により情報消去を行う場合には1元ディスク
の周速を2 m/(3)以下とする必要がある。一方で
結晶状態から非晶質状態への変化は、0.1〜0.2μ
就で行うことが可能であり1元ディスクの周速を高め、
データの転送速度を高めるためには、上記の結晶状態へ
のアニール時間(消去時間)を非晶質状態への変化時間
(書込み時間)と同程度にすることが望筐れる。
GeTe薄膜を、レーザ照射により結晶状態へ完全にア
ニールするには最短でも0.5μm□□を要する。この
材料を用いて光ディスクを作成し、ビーム径が約1μm
のレーザ光により情報消去を行う場合には1元ディスク
の周速を2 m/(3)以下とする必要がある。一方で
結晶状態から非晶質状態への変化は、0.1〜0.2μ
就で行うことが可能であり1元ディスクの周速を高め、
データの転送速度を高めるためには、上記の結晶状態へ
のアニール時間(消去時間)を非晶質状態への変化時間
(書込み時間)と同程度にすることが望筐れる。
また、 (ieTeは同相においても蒸気圧が高いため
、加熱を縁り返した時、外事により次第に消失し、書込
み、消去の繰り返し回数が少なく 、 1000回程度
であることも問題である。
、加熱を縁り返した時、外事により次第に消失し、書込
み、消去の繰り返し回数が少なく 、 1000回程度
であることも問題である。
本発明の目的は、 GeTe材料の上記欠点を改善し、
その結晶化速度を高めることにより、消去時間を短縮し
1元ディスクのデータ転送速度を高めるとともに、書込
み、消去の繰り返し回数を増加させることにある。
その結晶化速度を高めることにより、消去時間を短縮し
1元ディスクのデータ転送速度を高めるとともに、書込
み、消去の繰り返し回数を増加させることにある。
上記の目的を達成するため1本発明は光記録材料の平均
組成が(GeTe ) xTeyで表わされ5<y≦2
0. x+y=100としたものである。
組成が(GeTe ) xTeyで表わされ5<y≦2
0. x+y=100としたものである。
本発明の材料組成はGeTe化合物にTffl を添
加したものである。
加したものである。
GeTAに添加されたTAは、結晶成長の核となりたり
アモルファス鎖の結合ターミネータとなり非晶質状態か
ら結晶状態への変化速度を高めるとともに、記録膜の吸
収係数を大きくして、レーザ照射エネルギの吸収効率を
高める。
アモルファス鎖の結合ターミネータとなり非晶質状態か
ら結晶状態への変化速度を高めるとともに、記録膜の吸
収係数を大きくして、レーザ照射エネルギの吸収効率を
高める。
評価サンプルには記録膜を厚さ1雷富、長さ1幅とも2
5鶴の正方形の石英基板上に抵抗加熱式真空蒸着炉を用
いて60〜120 nmの膜厚範囲で成膜後。
5鶴の正方形の石英基板上に抵抗加熱式真空蒸着炉を用
いて60〜120 nmの膜厚範囲で成膜後。
保護膜として8i02スパ、り膜を200 nm 付与
したものを用いた。
したものを用いた。
GeTeT−6記録材料の記録膜の光学特性は第1図に
示すとおり、膜厚依存性はGeTeと同等であるが記録
膜の吸収係数がGeTeの6:4μm に比べ13μm
と倍増しているため透過率が小さく、従ってレーザの
吸収率(100−反射率−透過率)は10〜20%増加
している。結晶化開始温度及び活性化エネルギもGeT
eと同等でそれぞれ170℃、2.76eVと良好な値
が得られている。
示すとおり、膜厚依存性はGeTeと同等であるが記録
膜の吸収係数がGeTeの6:4μm に比べ13μm
と倍増しているため透過率が小さく、従ってレーザの
吸収率(100−反射率−透過率)は10〜20%増加
している。結晶化開始温度及び活性化エネルギもGeT
eと同等でそれぞれ170℃、2.76eVと良好な値
が得られている。
第2図にアモルファス状態のGe T e T/l!蒸
着膜に各レーザ出力でパルス幅を変えながら照射を行い
その時に生じる反射率変化を測定した結果を示す。
着膜に各レーザ出力でパルス幅を変えながら照射を行い
その時に生じる反射率変化を測定した結果を示す。
評価方法は1反射率変化が飽和する点でFunぷEra
se (完全結晶化)が完了したと仮定し、それに必要
なパルス幅とレーザ出力とを比較するものである。従り
て、レーザ出力、パルス幅とも小さい方が結晶化が容易
にできることを意味する。第で飽和に達している。これ
に対しGeTeの場合には、第3図に示す通り、パルス
幅0.2P8ではほとんど反射率変化がなく、レーザ出
力10mV、パルス幅0.5psで飽和に達している。
se (完全結晶化)が完了したと仮定し、それに必要
なパルス幅とレーザ出力とを比較するものである。従り
て、レーザ出力、パルス幅とも小さい方が結晶化が容易
にできることを意味する。第で飽和に達している。これ
に対しGeTeの場合には、第3図に示す通り、パルス
幅0.2P8ではほとんど反射率変化がなく、レーザ出
力10mV、パルス幅0.5psで飽和に達している。
このことからTAの添加が結晶化速度の向上に寄与して
いることは明白である。第4図に、 GeTeTAアニ
ール膜の書込み/消去繰返し時の消去可能領域を膜厚側
に示す。この場合の評価は、低パワー、短パルスでも消
去が可能、すなわちその領域が広い程消去特性は優れて
いると判断する。QeqleIll、aでは膜厚によっ
て消去領域が異なるが、レーザ出力8〜14mWの範囲
で0.2μs以下での消去が可能であり、消去領域が広
くとれるのに対し、 GeTeでは第5図に示すように
レーザ出力8〜10 mWで0.4pa以上のパルス幅
を必要としており、消去領域は第4図のGe T e
Tlに比べてかなり狭い。このようにT!添加は書込み
/消去繰返し時の消去領域に対しても大きな改善がはか
られる。
いることは明白である。第4図に、 GeTeTAアニ
ール膜の書込み/消去繰返し時の消去可能領域を膜厚側
に示す。この場合の評価は、低パワー、短パルスでも消
去が可能、すなわちその領域が広い程消去特性は優れて
いると判断する。QeqleIll、aでは膜厚によっ
て消去領域が異なるが、レーザ出力8〜14mWの範囲
で0.2μs以下での消去が可能であり、消去領域が広
くとれるのに対し、 GeTeでは第5図に示すように
レーザ出力8〜10 mWで0.4pa以上のパルス幅
を必要としており、消去領域は第4図のGe T e
Tlに比べてかなり狭い。このようにT!添加は書込み
/消去繰返し時の消去領域に対しても大きな改善がはか
られる。
また1゛eの添加は上述した消去特性の改善のみならず
、書込み特性の改善にも効果を有する。第6図にT2組
成比を変えたGe T e T−eの各種記録材料にお
ける書込み領域の比較を示す。点線はGeTeの書き込
み領域を表わす。GeTeの書込み領域を上廻るのは、
TA組成比が5at%以上の場合で。
、書込み特性の改善にも効果を有する。第6図にT2組
成比を変えたGe T e T−eの各種記録材料にお
ける書込み領域の比較を示す。点線はGeTeの書き込
み領域を表わす。GeTeの書込み領域を上廻るのは、
TA組成比が5at%以上の場合で。
約8 at%で最も領域が広(なり、それ以上の組成比
になると、書込み領域はむしろ狭くなる傾向を示す。ま
たT1組成比が20at%以上を超えると結晶化時にT
J2Telの相分離が顕著となり、書込み/消去の繰返
し数が極端に低下する。従って口組成比としてはS a
t%以上a20at%以下の範囲で8〜12at%とす
るのが最も望ましい。
になると、書込み領域はむしろ狭くなる傾向を示す。ま
たT1組成比が20at%以上を超えると結晶化時にT
J2Telの相分離が顕著となり、書込み/消去の繰返
し数が極端に低下する。従って口組成比としてはS a
t%以上a20at%以下の範囲で8〜12at%とす
るのが最も望ましい。
第7図に(GeTe )92・Tea 記録材料テ←→
−セ七如→+を用い、ポリカーボネート製のディスク基
板上に5iO1保護膜(アンダーコート : 100
nm )/記録材料(80nm )/5i02保腹膜(
オーバーコート: 200 nm ) の順にスバ、
り及び蒸着で成膜。
−セ七如→+を用い、ポリカーボネート製のディスク基
板上に5iO1保護膜(アンダーコート : 100
nm )/記録材料(80nm )/5i02保腹膜(
オーバーコート: 200 nm ) の順にスバ、
り及び蒸着で成膜。
形成したディスクを周速8 m/see で回転させ
ながら、波長83Qnm、出力15 mW 、2 MH
2で書込みを行った結果を示す。第8図のGeTe記録
材料の書込みC/N比が24dB程度であるのに対しG
eTdr、6記録材料は約43dBの書込みC/N比が
得られ、良好な書込み特性を示すとともに、10mWの
DCアニールによって信号の完全消去が可能であり、情
報の書込み/消去の繰返しが可能であることを確認した
。
ながら、波長83Qnm、出力15 mW 、2 MH
2で書込みを行った結果を示す。第8図のGeTe記録
材料の書込みC/N比が24dB程度であるのに対しG
eTdr、6記録材料は約43dBの書込みC/N比が
得られ、良好な書込み特性を示すとともに、10mWの
DCアニールによって信号の完全消去が可能であり、情
報の書込み/消去の繰返しが可能であることを確認した
。
本発明により、従来光ディスクの媒体膜として用いられ
ている(’Te T e材料に比べ、結晶化速度が太き
(かつ書込み特性に優れた光記録材料を提供することが
できた。
ている(’Te T e材料に比べ、結晶化速度が太き
(かつ書込み特性に優れた光記録材料を提供することが
できた。
第1図はGe Te Tで蒸N腋の光学特性をGeTe
との比較で示したグラフ、第2図はGeTeT4蒸着膜
のFIL% Erase特性を示すグラフ、第3図はG
eTe蒸着膜のFu[βErase特性を示すグラフ、
第4図はGeTeπの書込み/消去繰返し時の消去領
域を示すグラフ、第5図はGeTeの書込み/消去繰返
し時の消去領域を示すグラフ、第6図はGeTeTgの
書込み領域のT、e組成依存性を示すグラフ、第7図は
Ge TeT#蒸着膜の書込みC/N比を示したグラフ
、第8図はGeTe蒸着膜の書込みC/N比を示%t4
%2j料na14 c−nw> 第 11 パルス暢((aidり 渦2区 パルス1伊S2 蜀 区 PP打′ 弔 ろ 図 PIAlS已 VJ:dth (ps) 第 ロ ー周濱数 MHz MHl 冨 区 一用洟数 PO41 4MHf 吊 喝
との比較で示したグラフ、第2図はGeTeT4蒸着膜
のFIL% Erase特性を示すグラフ、第3図はG
eTe蒸着膜のFu[βErase特性を示すグラフ、
第4図はGeTeπの書込み/消去繰返し時の消去領
域を示すグラフ、第5図はGeTeの書込み/消去繰返
し時の消去領域を示すグラフ、第6図はGeTeTgの
書込み領域のT、e組成依存性を示すグラフ、第7図は
Ge TeT#蒸着膜の書込みC/N比を示したグラフ
、第8図はGeTe蒸着膜の書込みC/N比を示%t4
%2j料na14 c−nw> 第 11 パルス暢((aidり 渦2区 パルス1伊S2 蜀 区 PP打′ 弔 ろ 図 PIAlS已 VJ:dth (ps) 第 ロ ー周濱数 MHz MHl 冨 区 一用洟数 PO41 4MHf 吊 喝
Claims (1)
- 1)光ディスクに用いられレーザ光の照射によって可逆
的な光学特性変化を生ずる光記録材料であって、平均組
成が一般式(GeTe)_xTl_yで表わされ、5<
y≦20、x+y=100とすることを特徴とする光記
録材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63206865A JPH0256744A (ja) | 1988-08-20 | 1988-08-20 | 光記録材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63206865A JPH0256744A (ja) | 1988-08-20 | 1988-08-20 | 光記録材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0256744A true JPH0256744A (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=16530320
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63206865A Pending JPH0256744A (ja) | 1988-08-20 | 1988-08-20 | 光記録材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0256744A (ja) |
-
1988
- 1988-08-20 JP JP63206865A patent/JPH0256744A/ja active Pending
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