JPH0255928A

JPH0255928A - 漏洩検査装置

Info

Publication number: JPH0255928A
Application number: JP1115268A
Authority: JP
Inventors: Donald C Gates; ドナルド　チャールズ　ゲイツ
Original assignee: Expertek Inc
Current assignee: Expertek Inc
Priority date: 1988-08-22
Filing date: 1989-05-10
Publication date: 1990-02-26
Anticipated expiration: 2012-08-20
Also published as: MX165712B; AU3123389A; EP0355942B1; EP0355942A3; AU629817B2; KR900003618A; BR8902807A; US4854158A; DE68911062D1; JP2643440B2; CA1325462C; EP0355942A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、漏洩検出装置、特に液中浸漬試験を介して漏
洩を検出Ｊる自動装置に関する。

（従来の技ｖｉ）「耐漏洩性」に対する基準を満足させる必要のある諸要
素が多く作られている。耐漏洩性と称しても、漏洩が完
全に無いものはありえないので相対的な用語である。漏
れを少なくするためにアップするコストと、その寿命に
わたって当該ユニットが機能することの重要性との間で
妥協Ｊる必要がある。耐漏洩性とは通常の作動状況にお
いて許容される実用的な漏洩のことである。

ある程度の耐漏洩性を要する要素としては、例えば、燃
料タンク、ラジェータ、燃料系の要素、水ポンプ、冷凍
用要素、ヒータの芯、トルクコンバータ、油圧Ｊ３よび
空気圧要素等を含む。許容される漏洩は、収容すべぎ流
体の種類即らガスあるいは液体かにより、かつ中味が加
圧されるか否かによって使用する要素によって変わる。

工業的に、数種類の漏洩検出法が一般的に用いられてい
る。それぞれの方法は独自の利点、限麿および感度範囲
がある。その結果、必ずしも全ての方法が各々の用途に
対して有用ではない。漏洩検出法を正確に選択すること
により、漏洩検査の費用、感度および信頼性を適正化す
る。

液中浸漬試験は、漏洩を検出するために使用される最も
古い方法の１つである。液中浸漬試験は、非試験要素内
から液体の外側へガスの流れを発生させる漏洩部の差圧
に基づいて実施される。試験される部分はガスで加圧さ
れ、次いで一般的に水である液状媒体中に浸漬される。

加圧された要素から逃げるガスが液中で１／３いしそれ
以上の泡を発生させ、該泡は次いで水の表面まで上界す
る。

試験される要素は、泡の介在について液状の試験媒体を
検査している間液中に留まるようにされる。

泡の位置が漏れの個所を示し、泡の数や大きさを用いて
漏れの速度を推測することができる。

液中浸漬法は数々の利点を有し、その利点には他の方法
に比して設備費が低いこと、漏洩個所を検出できること
、工場の床上で用いても十分耐久性のある設備を容易に
作ることができること、および１個の試験装置を用いて
種々の寸法や形状の要素を試験できることを含む。

液中浸漬試験に係わる主要な欠点は、漏れているガスの
泡を調べるために作業者が水を目で検査する必要がある
ことである。このため試験にわずられしさがあり、調査
結果では、漏洩を正確に識別する作業者の能力は典型的
な８時間交替の途中で低下することを示している。

（発明が解決しようとする課題）従って、本発明の目的は、試験中の要素から漏れている
ガスの介在を検出する自動手段を含む液中浸漬漏洩試ｗ
Ａ装置を提供することである。

本発明の利点は、低コストの液中浸漬試験装置に、本試
験装置のコストを著しく上げることなく漏洩検出精度を
上げる自動検出手段を備えることができることである。

（課題を解決するための手段）本発明による漏洩検出手段は、試験すべき要素を液中試
験媒体、典型的には水に浸漬させるタンクを採用してい
る。本試験装置並びに被試験要素に対して適応しうる限
りはその伯の液体を用いてもよい。泡の自動１　匍は、
例えばｃ　Ｉ　ａ　ｉ　ｒｅｘＣＬ−７０３１光電池の
ような、光重検出器を用いて達成される。被試験要素の
面仝休を網跋するために、液中を上昇している泡を、光
電池の下を通る所定の軌道に沿って導くようプラスチッ
ク製の誘導装置が用いられる。

前記誘Ｓ装置は例えばアクリルのような透明なプラスチ
ック材で構成され、その下側に、アクリル製パネルを長
手方向に延びる複数の隆起と溝とを有りるよう８１画し
ている。前記パネルは、試験されている要糸の上方で液
中に位置され、前記要素から上界する泡がアクリルパネ
ルと衝突し、該パネルの下側の渦の１９ＪＡまで上方に
運動し、かつ前記溝に沿ってアクリルパネルの上方に傾
斜した端部まで移動するように、その長さにわたって傾
斜している。光電池はパネルの上端における８溝の上方
に位置している。

光電池の使用数は２乃至３個から、試験している要素全
体を網ｉＩするには５０個までの範囲としうる。光電池
の数を増すことにより、各検出鼎により試験されている
要素の対応面積が低減し、漏れを局部的に検査し精度を
向上させる。

コンピュータを含めてもよいし、含めなくてもよいが電
気回路を用いて光電池が検出した泡の数を計数すること
ができ、かつ計数した泡の数が所定数を上潮ると、故障
信号が発生し、漏れを発生している要素を指示すること
ができる。

本装置は、大きな漏洩や、１０−’ｃｃ／秒の漏れ速度
を有する極めて小さい漏れまで検出できる。

泡を試験する要素の表面に保持している表面張力を克服
するに十分大きい泡が形成できるように感度を増すにつ
れて、試験時間も増す必要がある。

本発明のその他の目的、特徴および利点については、添
付図面と関連して以下の説明および特許請求の範囲を検
討すれば明らかとなる。

（実施例）図面を参照すれば、第１図に自ｅ液中浸漬漏洩検出装″
ｒ１１０が示されている。前記漏洩試験装置は、１６で
示すレベルまでの迅の水を入れる液体溜めタンク１２を
含む。

前記水溜めタンク１２の上方にはケージ状試験具１８が
位置され、該試験具は、この場合は燃料タンクである要
素２０を水溜めタンク１２内の水へ入れたり、出したり
するよう上下させるために使用される。前記試験具１８
は、その上に燃料タンクが位置する基部指示部０２１と
、垂直のフレーム部材２２と、上部横部材２３とを含む
ａ前記横部４４２３から上方にサポートシリンダ２４が
延びており、該シリンダは試験具１８を水へ出入れする
よう上下させるために使用させる。

前記１部横部材２３の下方には中間横部材２５が位置さ
れ、該横部材は燃料タンクの上面に開放している燃料送
入口をシールするようシリンダ２６を支持する。燃料タ
ンクの燃料充てん用首部間口をシール覆るために別のシ
リンダ（図示せず）が用いられている。さらに、試験を
行っている開基部材２１に対して燃料タンクを保持づる
ために１個以上の他のシリンダが必要とされる。シリン
ダ２６は、燃料挿入口をシールすることの他に、燃料タ
ンクが一旦水中に浸漬されると該タンクの内部へ圧力を
加える導管を含む。試験すべき要素２０は、試験具１８
が第１図に示すように持ち上げられた位置にあると１９
％部材２１上に手動あるいは自動のいずれかにより位置
させることができる。

また中間横部材２５から支持ブラケット２８が下方へ延
びており、該ブラケットは水平方向に対して傾斜したア
クリルパネル３０を支持する。以下詳細に説明するよう
に、アクリルパネル３０の上端に位置した複数の光電池
の中の１個を通って燃料タンクから上界する気泡を偏向
させるために前記パネルが使用される。前記パイル３０
は、燃料タンクの隣接継目の一部のみを漏洩試験する位
置において示されている。別のパネル３０と光電池とが
燃料タンク２ｏの他の領域上に位置され、燃料タンクの
別の部分の漏洩試験を行うことができる。

第２図は第１図の矢印２の方向から視た図であって、パ
ネル３０の上端３８の詳細を示す。アクリルパネル３０
の底面は、各隆起と溝との間で延びる平坦な傾斜面３６
を有する複数の均等隔置の隆起３２と’ａ　３４とを形
成する波形とされている。

前記隆起は相互から約５．０８センチ（２インチ）離さ
れている。前記溝３４において、前記面３６は角部を鋭
くするのでなく、約０．６３５センチ（１／４インチ）
の半径を有する湾曲部を形成する。隣接する面３６の間
の角度は約１３５度である。水中でのパネル３ｏの傾斜
角度は約２０−３０度である。前記パネル３０の角度は
泡が溝３４において上昇し続けできるようにするに大き
い必要がある。しかしながら、この角度が増加するにつ
れて、タンク１２の深さもパネル３０を完全にタンク中
で浸漬できるように増加さける必要がある。

パネル３０の底面は泡がパネルに付着しないような適当
な面に仕上げる必要がある。前記面は、パネルが水から
出されると「湿る１即ち水の膜を形成できることが必要
である。「湿ら」ない面は、水の膜とは逆に面に水滴を
形成させる。滑らかなアクリルパネルでは「湿ら」ない
。気泡が滑らかなパネルと接触すると、泡は、該泡と滑
らかな面との間の全ての水に置き代わり、そのため泡の
表面張力により泡をパネルに保持し、上昇するのをｔｉ
ｌｌ　、ｌＬ　する。

パネル３０が必ず「湿る」ようにするために、底面は８
０グリツドのサンドベーパを用いてら往ん状にｇｉ磨す
るか、あるいは７に９／ａｓ２　（１００ｐｓｉ　）で
２２０−２４０グリツドのサンドを用いて微細なサンド
ブラストを行うことにより仕上げる。その結束出来た面
はつや消しガラスに似ている。しかしながら前記面が粗
すぎると泡の運動が阻害されつる。

アクリルパネル３０の上端３８の近くで多溝３４の上方
に光電池４０が位置しでいる。光電池４０はアクリルパ
ネル３０の上面の小さい孔に位置している。光電池４ｏ
の上方の光電池保持プレート４２は光電池を適所に保持
し、かつねじ４４によりプレキシガラスに固定される。

光電池カバー４６は保持プレート４２の上面に取り付け
られている。光電池カバー４６はプレキシガラスのチュ
ーブであって、そこを通して導線４８と５０とが光電池
４０まで延びる。前記導線は、光電池カバー４６の内部
を充てんするＲＴＶゴム等の合成材で包囲されている。

光電池４０のすぐ下方のアクリルパネル３０の下方に、
金属板製の電球ブラケット５２が延びている。ブラケッ
ト５２はねじ５３によりパネル３０の側部に取り付けら
れている。各光電池のすぐ下方にはブラケット５２に固
定されたソケットに入った電球５４が位置している。前
記電球５４は白熱灯あるいは発光ダイオードでよい。前
記電球は、光電池による泡の検出を助けるべく光電池４
０へ導かれる光線を捉供するために使用される。

ブラケット５２の下方にはプレキシガラスから作られた
ｆ［導管５６が延びている。電球５４用の電線５８は導
管５６を通して担持され、前記導管５６もその中で電１
ｉ１５８を包囲するＲＴＶ、コンパウンドで充てんされ
ている。

電球５４および光電池４０への電気接続は全て耐水性で
ある。光電池はガラス中で液密シールされている。導線
４８．５０および５８は全て耐水電気コネクタ６０に接
続されている。コネクタ６Ｏの方は漏洩検出装置の制御
回路に接続されている。

パネル３０の上端の側面図が第３図に示されている。

被試験要素２０から漏れる気泡は、それがパネル３ｏの
底側と接触するまで水中を上昇する。−旦気泡がパネル
３０と接触すると、溝３４に達するまで面３６に沿って
上昇する。−旦溝３４へ入ると気泡はパネル３０の上端
３８に達゛するまで溝を通して上昇し続け、該上端から
気泡は水面まで上′昇する。気泡が満３４を通って上昇
するにつれて光電池４０と電池５４との間を通り、光電
池に向かって導かれた光線を遮断し、そのため気泡は光
電池４０により検出される。

光電池を作動させる電気回路の概略図が第４図に示され
ている。光電池により発生する電気信号はまず増幅″Ｊ
Ａ７０により増幅される。増幅された信号は次いで単安
定マルチバイブレータ７２を付勢し、該バイブレータは
光電池４０により検出された気泡に応答して　１７２秒
の調時されたパルスを発生する。マルチバイブレータ７
２からの調時されたパルスは１／２秒以上の時間プログ
ラム化でき、１０進カウンタ７４を作動させる。前記１
０進カウンタにより計数されたパルスの数が所定値を上
廻ると、アラームリレーが付勢し、試験中の要素に漏洩
のあったことを示す。各光電池４０に対して増幅器とマ
ルチバイブレータとが設けられ、各マルチバイブレータ
により発生したパルスは検出された気泡の全数を計数す
るために単一の１０進カウンタへ送られる。

漏洩試験に要する複雑さに応じて、パルスの幅を計数す
るために１０進カウンタの代りにコンピュータを用いる
ことができる。コンピュータを用いることの利点の１つ
は、付着した泡と称せられるが、被試験要素が浸漬され
るにつれて、該要素の外面に形成される可能性のある任
意の泡と、漏洩を示す泡との間の区別が出来ることであ
る。例えば、被試験要素から上昇する５個の泡が漏洩を
示すものと想定する。１０進カウンタは５個の泡が一旦
計数されると漏洩を指示する。しかしながら、１０進カ
ウンタは付着した泡と漏洩の泡との間の区別ができない
。

付着した泡は被試験要素の表面の任意の位置から上り？
する。他方漏れによる泡は被試Ｍ要索の表面の同じ個所
で形成される１、、漏洩からの泡は単一の光電池４０ま
たは２個あるいは３個の隣接の光電池により検出される
。水中での小さい流れによって、同じ漏れから発生ずる
泡が異なった光電池により検出されるようにすることが
ある。

１０進カウンタの代りにコンピュータを用いれば、各光
電池をモニタして、１０進カウンタを用いて、全ての光
電池により検出された泡の数を単に総引１するのでなく
各光電池により検出された泡の数を検出することができ
る。

コンピュータをプログラム化して、パネル３０において
隣接する満３４上に位置した１組が２から３個の光電池
から検出された気泡を加算することができる。１組の光
電池に対する全体の泡の数が例えば５である所定数を越
えると、これは漏洩であることを示し、アラームが付勢
されて、試験されている要素をはねる。

表■において、前記光電池の組を配列する態様並びに各
組で計数された気泡に対するシナリＡの一例が示されて
いる。この例においては、１０個の溝３４と光電池４ｏ
とを有する１個のパネルを用いて被試験要素を試験覆る
。１組３個の隣接でる光電池が８組形成されている。第
１の組は光電池１．２および３よりなる。第２の組は光
電池２．３および４からなる。前記組は、パネルの縁部
の電池を除いて、各電池が３つの異なった組に入ってい
る点でオーバラップしている。

表　　　　■ 光　　電　　池１、２．３２０）３．４３、４．５４、５．６５、６．７６、７．８７、８．９８、９．１０この例においては、第３の組の光電池により計数された
泡の数は所定数の５に達したので、漏洩が支持され、不
合格信号が発生する。このように、本装置は被試験要素
の面での任意の発生源から発生する５個の泡と、概ね同
じ個所から発生する５個の泡との間を区別できる。水タ
ンク内の流れにより同じ個所から発生した泡を同じ溝に
対向した隣接の溝まで導かれるようにするので、各々の
隣接する溝で計数された泡を組み合わせる必要があある
。

またコンピュータを用いである時間にわたり試験した数
個の被試験要素における漏洩個所を記録することが可能
で、その配録はｍ２要素の製作過程での欠陥を検出する
ために使用できる。またコンピュータにより、試験ずみ
要素の数、合格−不合格比率、位置毎の漏洩の頻度に関
するデータ並びにその他のデータを発生させることが可
能である。

付着した泡と漏洩による泡との間を区別づるためにコン
ピュータの代りに多数の１０進カウンタを利用している
代替的な電気回路を第５図に示す。

第５図においては、前述した３個に対して、２個の隣接
した光電池により組を形成している。単安定マルチバイ
ブレータ７２の各々の出力は２個の１０進カウンタへ送
られる。例えば、マルチバイブレータ７２ｂからの出力
はカウンタ１０１と１０２とへ送られ、マルチバイブレ
ータ７２Ｃからの出力はカウンタ１０２おＪ、び１０３
へ送られる。

このように、光電池４０ｂと４０ｃとにより検出される
泡はカウンタ１０２により計数され、光電池４０Ｇと４
０６とにより検出される泡はカウンタ１０３ににり係数
される。ダイオード１１１−１１４を、２個の隣接する
カウンタ以上のカークンタが甲−の泡をπ１数しないよ
う阻止するために用いている。この例においては各組に
おける光電池の数は２個であるが、前記組はマルチバイ
ブレータから追加のカウンタまで導線を追加することに
より２１１！１以上の光電池で形成してもよい。

このように、コンピュータを要することなく付着した泡
と漏洩による泡との区別が達成される。

コンピュータと異なり、第５図に示す回路は、前述のよ
うにデータ収集は行わない。

作動時、被試Ｍ要素はまず、例えば燃料充てｌυバイブ
の開口やタンク２０の燃料送り開口をシールするように
間口をシールし、次いで該要素を加圧することにより試
験される。被試験要素は試験具に保持され、次いで試験
具はタンク１２の水中に浸漬される。パネル３ｏを備え
たブラケット２８はタンク２０の上方で試験具により水
中で支持される。

試験具を水中に降下させた後、試験を開始する前に約８
秒の時間遅れが経過しろるようにされている。この時間
の遅れは、試験具が浸漬されるにつれて形成された付着
泡が水面まで一ヒ胃できるようにするものである。この
８秒の近れの間、コンピュータは自動的にシステムチエ
ツクを行い、各光電池４０が機能しているか検出できる
。この自Ｖ」チエツクを行うために、電球５４がオフに
され、次いでオンにされて各光電池からパルスを発生さ
せる。１個以上の光電池が適正に機能していないとすれ
ば、適当なインジケータが付勢し、試験作業は停止され
る。自動チエツクを実行し、８秒間の遅れを待った後、
漏れ試験が開始され、各光電池４０の下方の空間を泡の
介在に関して探索する。

試験の長さは、漏洩試験の要求される感度によって変わ
る。許容感度が小さい程、行うべき試験は良くなる。漏
洩が小さい程、被試験要素からガスが漏れ、泡を被試験
要素の外面に保持しようとする表面張力を土足るに十分
な大きさの泡を形成し、該泡が水面まで上品できるよう
にするに必要な時間が長くなる。−旦試験が完了すると
、試験具１８がタンク１２から外され、被試験要素を外
し、合格した要素あるいは不合格の要素に適した個所へ
移送するよう該要素に近接できるようにする。

漏洩による泡の発生速度は、水面の上方でタンクに部分
的に真空を発生させることにより大きく増加しうる。こ
のため試験を実施するに要する時間を低減させる。第６
図は真空と共に用いるよう−えたタンクを示す。

タンクカバープレート９０がボルト８８にＪ：り上部横
部材２３に取り付けられている。シール９２がプレート
・９０の下面にその周りで取っ付番ノられている。シー
ル９２は、試験具が完全にタンク１２に降下させられる
とタンク１２の上面をシールする。−旦シールされると
、約３８．１センチ（１５インチ）１１ｏの部分的な真
空が、導管９６を介してタンクの内部に接続された真空
ポンプによりタンク内で発生ずる。

次いで、試験が前述のように実行される。真空により泡
の発生速度を増加させることにより所定の漏洩速度の検
出に必要な時間を低減させる。

液中浸漬漏洩試験装置内での泡検出を自動化゛すること
により、液中浸漬試験の主要な欠点、即ち作業者の主観
性が排除される。しかしながら、例えば低コスト、耐久
性並びに１個以上の被試験要素に対する適合性のような
利点は、依然として自動漏洩検出に対しても保たれる。

本発明は、図示しかつ前述したものと正確に同じ構造あ
るいは方法に限定されるのではなく、特許請求の範囲に
記載の本発明の精神と範囲とから逸脱することなく各種
の変更や修正が可能なる旨理解すべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、木発１１１により泡の介在を自動的に検出す
るために光電池を採用した浸漬漏洩試験の側面図、第２図は、光電池を通して泡を導くために使用する分岐
装置の矢印２の方向から視た端面図、第３図は前記分岐
装置の上端の拡大側面図、第４図は泡を計数し、故障４
８号を発生させるために用いる電気回路の概略図、第５図は、被試験要素が浸漬される際に形成される付着
泡と漏洩による泡とを区別づるための、泡を計数する代
替的回路の概略図、および第６図は、タンクがシールさ
れ、水面の上方でタンク内で部分的な真空が発生する、
第１図に示す装置の一部の側面図である。図において、１０・・・漏洩検出装置１２・・・液体溜めタンク１８・・・試験具２０・・・被試験要素２１・・・基部材２８・・・支持ブラクット３０・・・パネル３２・・・隆起３４・・・満３６・・・傾斜面４ｏ・・・光゛占地５４・・・ライト７ｏ・・・増幅器７２・・・マルブバイブレーク７４・・・１０進カウンタ７６・・・アラームリレー

Claims

【特許請求の範囲】

（１）流体を入れたチャンバの少なくとも一部を加圧し
、かつ液中に浸漬した際該部分から上界するガスの泡を
検出することにより前記部分の漏洩を検査する装置にお
いて、所定位置を通る前記泡を偏向させるため前記チャンバの
上方で前記液中に位置可能の手段と、前記所定位置近傍
に位置し、前記所定位置を通る泡を検出し、かつその検
出に応答して電気信号を発生させる光電手段と、および電気信号の数を計数する手段とを含む漏洩検査装置。
（２）特許請求の範囲第１項に記載の装置において、前記偏向手段が前記泡を複数の所定位置の中の一位置に
導き、かつ前記光電手段が前記所定位置の各々に隣接して光電池を
含む、漏洩検査装置。
（３）特許請求の範囲第２項に記載の装置において、２個以上の隣接する光電池が発生した電気信号の数を加
算する手段をさらに含む漏洩検査装置。
（４）特許請求の範囲第３項に記載の装置において、２個以上の隣接する光電池からの電気信号の和が所定数
を上廻ると前記チャンバからの漏洩を示す手段をさらに
含む漏洩検査装置。
（５）特許請求の範囲第１項に記載の装置において、前
記光電検出手段と対向した前記所定位置近傍に光線照射
源をさらに含み、前記光線の照射が前記光電検出手段に
向けられる、漏洩検査装置。
（６）特許請求の範囲第２項に記載の装置において、前記偏向手段が、その底面に沿つて一方向に延びる平行
の隆起と溝とを交互に有する波形面を有する透明材のパ
ネルを含み、前記パネルが一方向に上方に傾斜することによつて前記
の上昇している泡が前記パネルの上端を通つて前記溝を
介して移動し、前記所定の位置が前記パネルの前記の上方に傾斜した端
部近くで前記溝の各々に位置している、漏洩検査装置。
（７）特許請求の範囲第６項に記載の装置において、前
記透明材が高分子材である、漏洩検査装置。
（８）特許請求の範囲第６項に記載の装置において、前
記の光電池が前記の上方に傾斜した端部近くで各溝の上
方において前記パネルの上面に装着されている、漏洩検査装置。
（９）特許請求の範囲第６項に記載の装置において、前
記パネルの底面が、湿るとその上に水の膜を形成するよ
う粗くされている、漏洩検査装置。
（１０）ガスで加圧され、かつ液中に浸漬された、流体
含有のチャンバの少なくとも一部における漏洩を検出す
る装置において、前記液体に前記部分を浸漬させることにより前記部分か
ら漏洩するガスが該部分から前記液体の表面まで上昇す
る泡を形成するようにさせる手段と、複数の所定位置の中の一位置を通る前記の上昇する泡を
検出するために前記部分の上方で前記液中に位置可能の
手段と、前記所定位置の各々に隣接し、前記所定位置を過る前記
抱を検出する光電手段と、前記光電手段が検出する泡の数を計数する手段と、およ
び前記泡の数が所定数を上廻ると漏洩しているチャンバを
指示する手段とを含む、漏洩検査装置。
（１１）特許請求の範囲第１０項に記載の装置において
、前記光電手段が前記所定位置に隣接した光電池からなる
、漏洩検査装置。
（１２）特許請求の範囲第１１項に記載の装置において
、前記光電池に対向して前記所定位置に隣接して光線照
射源をさらに含み、前記光線照射の一部が前記光電池に
向けられる、漏洩検査装置。
（１３）特許請求の範囲第１０項に記載の装置において
、前記偏向手段が透明材を含む、漏洩検査装置。
（１４）特許請求の範囲第１３項に記載の装置において
、前記透明材が高分子材料である、漏洩検査装置。
（１５）特許請求の範囲１１項に記載の装置において、２個以上の隣接する光電池により検出された泡の数を加
算する手段と、および前記の２個以上の隣接する光電池により検出された泡の
数が所定数を上廻ると、漏洩しているチャンバを指示す
る手段とを含む、漏洩検出装置。
（１６）特許請求の範囲第１０項に記載の装置において
、さらに前記液体の上方でタンク内で部分的に真空を発
生させる手段を含む、漏洩検出装置。
（１７）液体を入れたチャンバの漏洩を検査する方法に
おいて、ガスで前記チャンバを加圧し、前記チャンバを液中に浸漬させることにより、前記チャ
ンバから漏洩している前記ガスが前記液体の表面まで上
昇する泡を形成するようにさせ、所定位置を通る泡を偏
向させ、前記泡が前記所定位置を通るにつれて光電池で前記泡の
介在を検出し、前記の所定位置を通る泡の数を計数し、および前記泡の
数が所定数を上廻ると漏洩しているチャンバを指示する
過程とを含む、漏洩検査方法。
（１８）特許請求の範囲第１７項に記載の方法において
、前記泡が複数の所定位置の中の一位置まで偏向され、お
よび前記泡が複数の所定位置の各々において光電池により検
出される、漏洩検査方法。
（１９）特許請求の範囲第１８項に記載の方法において
、複数の隣接する光電池により検出された泡の和を出し、
および前記和が所定数を上廻ると前記チャンバから漏洩のある
ことを指示する過程をさらに含む、漏洩検査方法。
（２０）特許請求の範囲第１７項に記載の方法において
、泡が検出されると前記充電池により電気信号を発生させ
、前記電気信号に応答して単安定マルチバイブレータから
電流の調時された信号を発生させ、電気パルスの数を計
数し、および電気パルスの数が所定数を上廻ると前記チャンバから漏
洩のあることを指示する過程をさらに含む、漏洩検出方法。
（２１）チャンバをガスで加圧し、前記チャンバを液中に浸漬させることによつて、前記チ
ャンバから漏洩している前記ガスが、前記液体の表面ま
で上昇する泡を形成するようにさせ、複数の所定位置の
中の一位置を通して前記泡を偏向させ、前記泡が前記の所定位置の一位置を通過するにつれて光
電池により前記泡の介在を検出し、検出した泡の数を計
数し、および泡の数が所定数を上廻ると漏洩しているチャンバを指示
する過程を含む、流体の漏洩検査方法。
（２２）特許請求の範囲第２１項に記載の方法において
、さらに、少なくとも２個の隣接した光電池により検出
された泡の数の和を計算し、その和が前記所定数を上廻
ると漏洩を示すことにより付着した泡と漏洩による泡と
を区別する過程をさらに含む、漏洩検査方法。
（２３）特許請求の範囲第２１項に記載の方法において
、さらに各充電池を付勢し、およびもし各充電池により出力が発生しないとすれば漏洩試験
を停止する過程を含む、漏洩検査方法。
（２４）特許請求の範囲第２１項に記載の方法において
、前記の流体を入れたチャンバを浸漬した後、前記泡を
検出するまでの所定時間待機して付着した泡が前記液の
面まで上昇できるようにする過程をさらに含む、漏洩検査方法。
（２５）特許請求の範囲第２１項に記載の方法において
、前記液体の上方で部分的な真空を発生させる過程をさ
らに含む、漏洩検査方法。
（２６）ガスで加圧され、かつ液体に浸漬された、流体
含有のチャンバの少なくとも一部の漏洩を検出する装置
において、前記チャンバを前記液中に浸漬させることによつて、前
記チャンバから漏洩しているガスが前記液体の面まで前
記チャンバから上昇する泡を形成するようにさせる手段
と、流体を入れたチャンバの前記部分の上方で前記液中に位
置可能であつて、その底面に沿つて一方向に延びる平行
の隆起と溝とを交互に有する波形面を有し、前記の一方
向に上方に延びることにより前記の上昇している泡が上
方に傾斜した端部を通つて前記溝を介して移動するよう
にさせる透明材製のパネルと、前記の上方に傾斜した端部に隣接して各溝の上方に位置
し、前記溝を介して移動する泡を検出し、電気出力信号
を発生させる光電池と、前記充電池により検出された泡の数を計数する手段と、
および前記泡の数が所定数を上廻ると漏洩しているチャンバを
示す手段とを含む、漏洩検出装置。
（２７）特許請求の範囲第２６項に記載の装置において
、前記計数手段が、前記光電池からの出力を増幅する手段と、前記増幅手段からの出力に応答して調時されたパルスを
発生する単安定マルチバイブレータ手段と、および前記マルチバイブレータ手段からのパルスの数を計数す
るカウンタとを含む、漏洩検出装置。
（２８）流体を入れた少なくとも一部を加圧しかつ液中
に浸漬させた際前記部分から上昇する泡を検出すること
により前記部分の漏洩を検査する装置において、前記液体の上方で部分的な真空を発生させる手段と、流体を入れたチャンバの前記部分の上方で前記液中に位
置可能で、複数の所定位置の中の一位置を通る前記泡を
偏向させる手段と、前記所定位置に隣接し、前記所定位置を通る前記泡を検
出し、その検出に応答して電気信号を発生させる光電手
段と、および電気信号の数を計数する手段とを含む、漏洩検査装置。