JPH0254113A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
- Publication number
- JPH0254113A JPH0254113A JP20546888A JP20546888A JPH0254113A JP H0254113 A JPH0254113 A JP H0254113A JP 20546888 A JP20546888 A JP 20546888A JP 20546888 A JP20546888 A JP 20546888A JP H0254113 A JPH0254113 A JP H0254113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- code plate
- output
- phase
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コード板の回転角に応じて位相が差動的に変
化する２つの位相信号を発生するとともに、この位相信
号における位相変化量を測定して、前記コード板の回転
角を算出するようにしたエンコーダに関するものである
。
化する２つの位相信号を発生するとともに、この位相信
号における位相変化量を測定して、前記コード板の回転
角を算出するようにしたエンコーダに関するものである
。
このようなエンコーダの一例としては、本願出願人が特
願昭６２−７００７８号としてすでに出願している装置
がある。
願昭６２−７００７８号としてすでに出願している装置
がある。
第４図はこのエンコーダの一例を示す構成図である０図
において、１は一定のピッチでスリットが形成されたコ
ード板、２，３はそれぞれ４つの受光素子Ａ１〜Ａ４．
Ｂｌ〜Ｂ４を有する受光アレイ、４．５はコード板１を
介してこれらの受光アレイ２．３と対向配置された光源
、６は光源４゜５を駆動する光源ドライバである。また
、図中に示した波形は、コード板１を通過した光の強度
分布を正弦波に近似して示したものである。
において、１は一定のピッチでスリットが形成されたコ
ード板、２，３はそれぞれ４つの受光素子Ａ１〜Ａ４．
Ｂｌ〜Ｂ４を有する受光アレイ、４．５はコード板１を
介してこれらの受光アレイ２．３と対向配置された光源
、６は光源４゜５を駆動する光源ドライバである。また
、図中に示した波形は、コード板１を通過した光の強度
分布を正弦波に近似して示したものである。
受光素子Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４は、それぞれこの光強
度分布を４等分した幅を有しており、第５図に示すよう
に、光強度の分布を基準として、９０°の整数倍にあた
る位相差を持つように配置されている。すなわち、光強
度分布の１周期をｄとすれば、空間的にｎ−ｄ／４の間
隔をおいて配置されている。ｎは整数である。また、光
源４゜５が出射する光の強度は、光源ドライバ６により
（ｓｉｎωｔ＋１）および（ｃｏｓωｔ＋ｌ）で振幅変
調されている。
度分布を４等分した幅を有しており、第５図に示すよう
に、光強度の分布を基準として、９０°の整数倍にあた
る位相差を持つように配置されている。すなわち、光強
度分布の１周期をｄとすれば、空間的にｎ−ｄ／４の間
隔をおいて配置されている。ｎは整数である。また、光
源４゜５が出射する光の強度は、光源ドライバ６により
（ｓｉｎωｔ＋１）および（ｃｏｓωｔ＋ｌ）で振幅変
調されている。
７〜１２は受光素子Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４の各出力か
ら所定の位相関係にある出力同志を加減算する加算器お
よび減算器である。１３．１４はこの加減算回路による
演算出力Ｇｌ、Ｇ２から変調周波数（ω）に応じた周波
数成分の信号を抽出するハイパスフィルタ、１５．１６
はコンパレータである。
ら所定の位相関係にある出力同志を加減算する加算器お
よび減算器である。１３．１４はこの加減算回路による
演算出力Ｇｌ、Ｇ２から変調周波数（ω）に応じた周波
数成分の信号を抽出するハイパスフィルタ、１５．１６
はコンパレータである。
このように構成されたエンコーダの回転検出部では、受
光素子Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４の出力１１１〜ｉ１４．
ｉ２１〜１２４は、コード板１の回転角をθとすれば、 １１ ＝（ｓｉｎθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋ １）１２
＝ｌｃｏｓθ＋１）（Ｓｉｎωｔ 十１）１３ ＝（−
ｓｉｎθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋ １）１４ ＝ｌ−ｃ
ｏｓθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋１）２１ ＝（−ｓｉｎ
θ＋１）（ｃｏｓωｔ ＋１）２２＝ −ｃｏｓθ＋
１）（ｃｏｓωｔ＋１）２３ ＝ ｓｉｎθ＋１）（Ｃ
ＱＳ（，１ｔ ＋ １）２４＝（ＣＯ３θ＋１）（ｃｏ
ｓωｔ＋１）のようになっており、減算器１１．１２＜
加減算回路）から得られる出力Ｇｌ、Ｇ２は、Ｇ１＝２
ｃｏｓ（ωｔ −θ） ＋２４ｒ″２５ｉｎ（θ＋π／４） Ｇ ２ ＝ ２３ｉｎ（ωを十θ） ＋２ｒ″２：５ｉｎ（θ＋π／４） のようになる、ここで、光源４．５の変調角周波数ωは
、コード板１の回転速度ｄθ／ｄｔに比べて高い１ｉｉ
（ｄθ／ｄ ｔ（ω）となるように選ばれているので、
ハイパスフィルタ１３．１４の出力からは、 Ｍ１＝２ｃｏｓ（ωを一θ） Ｍ ２ ＝ ２ ｓｉ口（ωｔ 十θ）なる信号（位相
信号）が得られる。
光素子Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４の出力１１１〜ｉ１４．
ｉ２１〜１２４は、コード板１の回転角をθとすれば、 １１ ＝（ｓｉｎθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋ １）１２
＝ｌｃｏｓθ＋１）（Ｓｉｎωｔ 十１）１３ ＝（−
ｓｉｎθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋ １）１４ ＝ｌ−ｃ
ｏｓθ＋１）（Ｓｉｎωｔ ＋１）２１ ＝（−ｓｉｎ
θ＋１）（ｃｏｓωｔ ＋１）２２＝ −ｃｏｓθ＋
１）（ｃｏｓωｔ＋１）２３ ＝ ｓｉｎθ＋１）（Ｃ
ＱＳ（，１ｔ ＋ １）２４＝（ＣＯ３θ＋１）（ｃｏ
ｓωｔ＋１）のようになっており、減算器１１．１２＜
加減算回路）から得られる出力Ｇｌ、Ｇ２は、Ｇ１＝２
ｃｏｓ（ωｔ −θ） ＋２４ｒ″２５ｉｎ（θ＋π／４） Ｇ ２ ＝ ２３ｉｎ（ωを十θ） ＋２ｒ″２：５ｉｎ（θ＋π／４） のようになる、ここで、光源４．５の変調角周波数ωは
、コード板１の回転速度ｄθ／ｄｔに比べて高い１ｉｉ
（ｄθ／ｄ ｔ（ω）となるように選ばれているので、
ハイパスフィルタ１３．１４の出力からは、 Ｍ１＝２ｃｏｓ（ωを一θ） Ｍ ２ ＝ ２ ｓｉ口（ωｔ 十θ）なる信号（位相
信号）が得られる。
この式に示されるように、出力信号Ｍｌ、Ｍ２には、コ
ード板１の回転角θに応じた位相情報が含まれており、
この位相変化分を測定すれば、コード板１の回転角θを
算出することができる。
ード板１の回転角θに応じた位相情報が含まれており、
この位相変化分を測定すれば、コード板１の回転角θを
算出することができる。
１７．１８は光源ドライバ６から発生されるスタートパ
ルスＳＧを基準にして、コンパレータ出力Ｐｉ、Ｐ２の
位相遅れ量を測定（計数）するカウンタ、１９．２０は
カウンタ１７．１８の出力ＴＩＴ２をラッチするラッチ
回路、２１はカウンタ１７，１８の出力１’ｌ、Ｔ”２
からコード板１の回転角θを算出するシグナルプロセッ
サである。
ルスＳＧを基準にして、コンパレータ出力Ｐｉ、Ｐ２の
位相遅れ量を測定（計数）するカウンタ、１９．２０は
カウンタ１７．１８の出力ＴＩＴ２をラッチするラッチ
回路、２１はカウンタ１７，１８の出力１’ｌ、Ｔ”２
からコード板１の回転角θを算出するシグナルプロセッ
サである。
すなわち、スタートパルスＳＧを
５Ｇ＝２ｃｏｓ（ωｔ）
として、スタートパルスＳＧの立上りでカウントを開始
し、コンパレータ出力ＰＬ、Ｐ２の立下がりでカウント
を終了させると、カウンタ１７，１８の出力ＴＩ、Ｔ２
はそれぞれ、 Ｔ１− （π／２）＋θ Ｔ２＝π−θ となる、したがって、これをシグナルプロセッサ２１に
より減算すると、 Ｔ １− ’Ｉ’ ２ ＝ ２θ−（π／２）が得られ
、コード板１の回転角θを０≦θく２πの範囲で求める
ことができる。このとき、２πはスリットの１ピツチに
相当するものである。
し、コンパレータ出力ＰＬ、Ｐ２の立下がりでカウント
を終了させると、カウンタ１７，１８の出力ＴＩ、Ｔ２
はそれぞれ、 Ｔ１− （π／２）＋θ Ｔ２＝π−θ となる、したがって、これをシグナルプロセッサ２１に
より減算すると、 Ｔ １− ’Ｉ’ ２ ＝ ２θ−（π／２）が得られ
、コード板１の回転角θを０≦θく２πの範囲で求める
ことができる。このとき、２πはスリットの１ピツチに
相当するものである。
しかしながら、このような構成のエンコーダでは、ハイ
パスフィルタ１３．１４を使用して、減算器１１，１２
の出力Ｇ１．Ｇ２からそれぞれキャリヤ周波数ωを含ま
ない項（直流分）を消去するようにしているので、コー
ド板１の速い回転速度（ｄθ／ｄｔ）まで測定を可能に
するなめには、高次のハイパスフィルタを設ける必要が
あり、回路規模が大きくなってしまう。
パスフィルタ１３．１４を使用して、減算器１１，１２
の出力Ｇ１．Ｇ２からそれぞれキャリヤ周波数ωを含ま
ない項（直流分）を消去するようにしているので、コー
ド板１の速い回転速度（ｄθ／ｄｔ）まで測定を可能に
するなめには、高次のハイパスフィルタを設ける必要が
あり、回路規模が大きくなってしまう。
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、高次
のハイパスフィルタを設けることなく、コード板の速い
回転速度まで測定することのできるエンコーダを簡単な
構成により実現することを目的としたものである。
のハイパスフィルタを設けることなく、コード板の速い
回転速度まで測定することのできるエンコーダを簡単な
構成により実現することを目的としたものである。
本発明のエンコーダは、前記第４図のごときエンコーダ
において、光強度の一定な光を出射する第３の光源と、
この第３の光源より出射された光を前記コード板を介し
て受光するとともに光強度分布の１周期を２等分した幅
を有しその光強度分布に対して同相の位置に配置された
受光素子とを付加し、この受光素子の出力を前記加減算
回路の出力から減算するようにしたものである。
において、光強度の一定な光を出射する第３の光源と、
この第３の光源より出射された光を前記コード板を介し
て受光するとともに光強度分布の１周期を２等分した幅
を有しその光強度分布に対して同相の位置に配置された
受光素子とを付加し、この受光素子の出力を前記加減算
回路の出力から減算するようにしたものである。
このように、光強度の一定な第３の光源と、光強度分布
の１周期を２等分した幅を有し、その光強度分布に対し
て同相の位置に配置された受光素子とを付加すると、こ
の受光素子からは、コード板の回転に伴なう直流分の変
動に応じた出力を得ることができ、この出力を加減算回
路の出力から減算することにより、コード板の回転に伴
なう直流分の変動を予め除去して、高次のハイパスフィ
ルタを使用することなく、位相信号を抽出することがで
きる。
の１周期を２等分した幅を有し、その光強度分布に対し
て同相の位置に配置された受光素子とを付加すると、こ
の受光素子からは、コード板の回転に伴なう直流分の変
動に応じた出力を得ることができ、この出力を加減算回
路の出力から減算することにより、コード板の回転に伴
なう直流分の変動を予め除去して、高次のハイパスフィ
ルタを使用することなく、位相信号を抽出することがで
きる。
第１図は本発明のエンコーダの一実施例を示す構成図で
ある。図において、前記第４図と同様のものは、同一符
号を付して示す。２２は光源、２３は光強度の一定な光
を出射するようにこの光源２２を駆動する光源ドライバ
、２４はこの光源２２より出射された光をコード板１を
介して受光する受光素子である。受光素子２４は光強度
分布の１周期を２等分した幅を有しており、その光強度
分布に対して同相の位置に配置されている。
ある。図において、前記第４図と同様のものは、同一符
号を付して示す。２２は光源、２３は光強度の一定な光
を出射するようにこの光源２２を駆動する光源ドライバ
、２４はこの光源２２より出射された光をコード板１を
介して受光する受光素子である。受光素子２４は光強度
分布の１周期を２等分した幅を有しており、その光強度
分布に対して同相の位置に配置されている。
第２図に受光アレイ２，３と受光素子２４との位相関係
を示す。
を示す。
受光素子２４の出力Ｃ５は減算器１１．１２に印加され
、前記した加減算回路出力（ＣＩ−Ｃ３）（Ｃ２−Ｃ４
）から減算されている。
、前記した加減算回路出力（ＣＩ−Ｃ３）（Ｃ２−Ｃ４
）から減算されている。
ここで、受光素子２４の出力Ｃ５を式で示せば、Ｃ５＝
２ （Ｓｉｎθ＋ＣＯＳθ±２）となる。なお、この
式は、光源４．５が（ｓｉｎωｔ ＋１ ）および（Ｃ
Ｏ３（１） ｔ ＋１ ）の光強度で発光しているのに
対して、“２”なる光強度で直流的に発光していること
を示している。
２ （Ｓｉｎθ＋ＣＯＳθ±２）となる。なお、この
式は、光源４．５が（ｓｉｎωｔ ＋１ ）および（Ｃ
Ｏ３（１） ｔ ＋１ ）の光強度で発光しているのに
対して、“２”なる光強度で直流的に発光していること
を示している。
したがって、このときの減算器１１．１２の出力Ｇｌ”
、Ｇ２−は、 Ｇｌ−＝０１−Ｃ５ ＝ ２ ｃｏｓ（ω１−θ）−４ Ｇ２−＝Ｇ２−Ｃ５ ＝ ２３ｉｎ（ωを十〇）−４ となり、コード板１の回転に伴なう直流分の変動が除去
されている。このため、ハイパスフィルタ１３．１４は
変動のない直流分をカットするだけとなるので、高次の
フィルタを必要としない。
、Ｇ２−は、 Ｇｌ−＝０１−Ｃ５ ＝ ２ ｃｏｓ（ω１−θ）−４ Ｇ２−＝Ｇ２−Ｃ５ ＝ ２３ｉｎ（ωを十〇）−４ となり、コード板１の回転に伴なう直流分の変動が除去
されている。このため、ハイパスフィルタ１３．１４は
変動のない直流分をカットするだけとなるので、高次の
フィルタを必要としない。
なお、上記の説明においては、その光強度が（ｓｉｎω
ｔ ＋ １ ）および（ＣＯ３ωｔ ＋ ｌ ）で振幅
変調された光源４．５と所定の位相関係に配置された受
光アレイ２．３とにより、コード板１に設けられた１つ
のスリット列の変位（コード板１の回転角θ）を測定す
る場合を例示したが、このときのスリット数をＮとして
、コード板１にもう１つの（Ｎ−１＞のスリット列を設
けるとともに、同様の測定系によりその変位を同時に測
定するように構成すれば、コード板ｌの回転角θをアブ
ソリュートに測定することができる。
ｔ ＋ １ ）および（ＣＯ３ωｔ ＋ ｌ ）で振幅
変調された光源４．５と所定の位相関係に配置された受
光アレイ２．３とにより、コード板１に設けられた１つ
のスリット列の変位（コード板１の回転角θ）を測定す
る場合を例示したが、このときのスリット数をＮとして
、コード板１にもう１つの（Ｎ−１＞のスリット列を設
けるとともに、同様の測定系によりその変位を同時に測
定するように構成すれば、コード板ｌの回転角θをアブ
ソリュートに測定することができる。
また、第３図に示すように、受光アレイ２における受光
素子Ａｔ、Ａ３の出力ｉ１１．ｉ１３を加算すると、コ
ード板１の回転角θに依存しない信号 ｉ １１＋ｉ １３−２（ｓｉｎωｔ ＋１）を得るこ
とができるので、この信号を整流器２５および差動増幅
器２６を介して光源ドライバ２３に帰還するようにすれ
ば、光源４．５と光源２２との出射光の比を一定に保つ
ことができる。
素子Ａｔ、Ａ３の出力ｉ１１．ｉ１３を加算すると、コ
ード板１の回転角θに依存しない信号 ｉ １１＋ｉ １３−２（ｓｉｎωｔ ＋１）を得るこ
とができるので、この信号を整流器２５および差動増幅
器２６を介して光源ドライバ２３に帰還するようにすれ
ば、光源４．５と光源２２との出射光の比を一定に保つ
ことができる。
以上説明したように、本発明のエンコーダでは、前記第
４図のごときエンコーダにおいて、光強度の一定な光を
出射する第３の光源と、この第３の光源より出射された
光を前記コード板を介して受光するとともに光強度分布
の１周期を２等分した幅を有しその光強度分布に対して
同相の位置に配置された受光素子とを付加し、この受光
素子の出力を前記加減算回路の出力から減算するように
しているので、加減３！回路の出力からコード板の回転
に伴なう直流分の変動を予め除去して、ハイパスフィル
タに供給することができ、高次のハイパスフィルタを設
けることなく位相信号を抽出して、コード板の速い回転
速度まで測定することのできるエンコーダを簡単な構成
により実現することができる。
４図のごときエンコーダにおいて、光強度の一定な光を
出射する第３の光源と、この第３の光源より出射された
光を前記コード板を介して受光するとともに光強度分布
の１周期を２等分した幅を有しその光強度分布に対して
同相の位置に配置された受光素子とを付加し、この受光
素子の出力を前記加減算回路の出力から減算するように
しているので、加減３！回路の出力からコード板の回転
に伴なう直流分の変動を予め除去して、ハイパスフィル
タに供給することができ、高次のハイパスフィルタを設
けることなく位相信号を抽出して、コード板の速い回転
速度まで測定することのできるエンコーダを簡単な構成
により実現することができる。
第１図〜第３図は本発明のエンコーダの一実施例を示す
構成図、第４図および第５図は本願出願人が特願昭６２
−７００７８号として出願しているエンコーダの一例を
示す構成図である。 １・・・・・・コード板、２，３・・・・・・受光アレ
イ、４゜５．２２・・・・・・光源、６．２３・・・・
・・光源ドライバ、７〜１０・・・・・・加算器、１１
．１２・・・・・・減算器、１３．１４・・・・・・ハ
イパスフィルタ、１５．１６・・・・・・コンパレータ
、１７．１８・・・・・・カウンタ、１９゜２０・・・
・・・ラッチ回路、２１・・・・・・シグナルプロセッ
サ、Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４．２４・・・・・・受光素
子、２５・・・・・・整流器、２６・・・・・・差動増
幅器。
構成図、第４図および第５図は本願出願人が特願昭６２
−７００７８号として出願しているエンコーダの一例を
示す構成図である。 １・・・・・・コード板、２，３・・・・・・受光アレ
イ、４゜５．２２・・・・・・光源、６．２３・・・・
・・光源ドライバ、７〜１０・・・・・・加算器、１１
．１２・・・・・・減算器、１３．１４・・・・・・ハ
イパスフィルタ、１５．１６・・・・・・コンパレータ
、１７．１８・・・・・・カウンタ、１９゜２０・・・
・・・ラッチ回路、２１・・・・・・シグナルプロセッ
サ、Ａ１〜Ａ４．Ｂｌ〜Ｂ４．２４・・・・・・受光素
子、２５・・・・・・整流器、２６・・・・・・差動増
幅器。
Claims (1)
- コード板の回転角に応じて位相が差動的に変化する２つ
の位相信号を発生するとともにこの位相信号における位
相変化量を測定して前記コード板の回転角を算出するよ
うにしたエンコーダにおいて、その光強度が（ｓｉｎω
ｔ＋１）および（ｃｏｓωｔ＋１）で振幅変調された第
１および第２の光源と、この光源より出射された光を前
記コード板を介して独立に受光するとともにそれぞれ光
強度分布の１周期を４等分した幅を有する４つの受光素
子よりなりその光強度の分布を基準として９０°の整数
倍にあたる位相差を持つように配置された２つの受光ア
レイと、これら２つの受光アレイを構成する各受光素子
の出力から所定の位相関係にある出力同志を加減算する
加減算回路と、この加減算回路の出力から前記第１およ
び第２の光源の変調周波数に応じた周波数成分の位相信
号を抽出するハイパスフィルタと、光強度の一定な光を
出射する第３の光源と、この第３の光源より出射された
光を前記コード板を介して受光するとともに光強度分布
の１周期を２等分した幅を有しその光強度分布に対して
同相の位置に配置された受光素子とを具備し、この受光
素子の出力を前記加減算回路の出力から減算するように
してなるエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20546888A JPH0254113A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20546888A JPH0254113A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | エンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254113A true JPH0254113A (ja) | 1990-02-23 |
| JPH0581842B2 JPH0581842B2 (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=16507363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20546888A Granted JPH0254113A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0254113A (ja) |
-
1988
- 1988-08-18 JP JP20546888A patent/JPH0254113A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0581842B2 (ja) | 1993-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4595991A (en) | Position measuring method and apparatus | |
| US4218615A (en) | Incremental digital shaft encoder | |
| US20220026243A1 (en) | Encoder apparatus | |
| US4152579A (en) | Digital tracking system with analog signal resolution | |
| US4037161A (en) | Ratio detector | |
| JPH0254113A (ja) | エンコーダ | |
| JPS62105050A (ja) | 測定値センサ回路装置 | |
| JPH01187406A (ja) | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 | |
| JPS6073418A (ja) | 変位変換器 | |
| NL8005745A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het digitaal meten van incrementeel onderverdeelde baan- of draaihoeken. | |
| JPH0254115A (ja) | エンコーダ | |
| US3582781A (en) | Velocity detecting apparatus employing a pair of modulation-type magnetic heads on which carriers are phase modulated by flux from a moving magnetic scale | |
| JPH0254116A (ja) | エンコーダ | |
| JPH0136565B2 (ja) | ||
| JP2624977B2 (ja) | 光利用磁界計測方式 | |
| JPH0287015A (ja) | エンコーダ | |
| SU901951A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров магнитного пол | |
| SU1010454A1 (ru) | Устройство дл измерени дробной части интерференционной полосы | |
| JPS60158354A (ja) | 空間フイルタ応用速度センサ | |
| JPS6182112A (ja) | 測長器 | |
| SU665205A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
| NL7908706A (nl) | Inrichting voor het draagfrequent aftasten en inter- poleren. | |
| SU1709234A1 (ru) | Цифровой фазометр | |
| JPS59180462A (ja) | 静電容量型エンコ−ダ | |
| RU2039362C1 (ru) | Устройство для измерения сдвига фаз сигналов с известным отношением их амплитуд |