Изобретение относит к измеритель ной технике и может быть использовано в интерференционных системах изме прени малых перемещений различных объектов. , Известно устройство дл измерени дробной части интерференционной полосы , содержащее интерферометр с эле ментом сканировани , установленным в опорной ветви интерферометра, фотоприемник , установленный в измеритель ной ветви интерферометра, генератор, св занный с элементом сканировани , фазометр ,первый вход которого св за с фотоприемником. Устройство также содержит второй фотоприемник, установленный в опорной ветви интерферометра, выход которого св зан с вторым входом фазометра Г . Недостатком устройства вл етс зависимость результатов измерени от величины амплитуды сканировани , котора не стабилизирована. Наиболее близким к изобретению техническим решением вл етс устрой ство дл измерени дробной части интерференционной полосы, содержащее интерферометр с элементом сканировани , установленным в опорной ветви интерферометра, фотоприемник, установленный в измерительной ветви интерферометра , последовательно соединенные генератор и yпpiaвл eмыe делитель напр жени , выход которого соединен с элементом сканировани i фазо метр, входы которого св заны с генератором и фотоприемником, блок управ лени , выход которого соединен с управл ющим входом управл емого делител напр жени J. Недостатком устройства . вл етс по вление погрешности измерени при вращении интерференционных полос относительно фотоприемника вследствие неопределенности выбора амплитуды сканировани привод щей к изменению фазы измерительного сигнала, после отделени посто нной составл ющей сигнала, снимаемого с фотоприемника. Целью изобретени вл етс повыше ние точности измерени . Указанна цель достигаетс тем, что устройство дл измерени дробной части интерференционной полосы снабжено четырьм полосовыми фильтрами,входы которых подключены к фотоприем нику, двум блоками делени , входы которых подключены, соответственно к выходам первого и второ.го, третьего и четвертого полосовых фильтров, блоком сравнени , входы которого подключены к выходам второго и третьего полосовых фильтров, коммутатором, информационные входы которого подключены к выходам первого и второго бло ков делени , управл ющий вход коммутатора подключен к выходу блока сравнени , а выход коммутатора соединен с входом блока управлени . На чертеже представлена функциональна схема устройства. Устройство дл измерени дробной части интерференционной полосы содержит интерферометр 1 с элементом 2сканировани , фотоприемник 3, генератор А, управл емый делитель 5 напр жени , блок 6 отделени посто нной составл ющей, фазометр 7, полосовые фильтры 8-11, блоки 12 и 13 делени , блок 1 сравнени , коммутатор 15 и блок 16 управлени . Устройство работает следующим образом. Генератор формирует синусоидаль ное напр жение, поступающее на первый вход фазометра / и на вход управл е .мого делител 5 напр жени , с выхода которого синусоидальное напр жение поступает на элемент 2 сканировани , установленный в опорной ветви интерферометра 1. При перемещении элемента 2 сканировани на выходе фотоприемника 3, установленного в измерительной. ветви интерферометра 1, формируютс сигналы, которые после отделени посто нной составл ющей блоком 6 отделени посто нной составл ющей поступают на второй вход фазометра 7. Фазомет|} 7 измер ет временной интерва/1| начало которого определ етс сигналом, поступающим с генератора j, и соответствует нахождению элемента 2 сканировани в среднем положении. Конец временного интервала соответствует логическому переходу информационного сигнала, снимаемого с фотоприемника 3, через ноль. По найденному временному интервау суд т о величине дробной части интерференционной полосы. Одновременно.с измерением дробой части интерференционной полосы роисходит автоподстройка амплитуды канировани элемента 2 сканироваи . Работа автоподстройки основана а спектральном анализе сигнала, онимаемого с фотоприемника 3 из которого выдел ютс две четные гармонические составл ющие полосовыми фильт. рами 8 и 9 и две нечетные гармоническйе составл ющие, - выдел емые полосовым фильтрами 10 и 11.
Амплитуда гармонических составл ющих , выдел емых полосовыми фильтрами 8-11, зависит от амплитуды сканировани и фазы информационного СИР нала, измер емого фазометром 7. Блок 12 делени осуществл ет деле ние амплитуд двух четных гармонических составл ющих, выдел емых полосовыми фильтрами 8 и 9, а блок 13 делени осуществл ет деление амплитуд двух нечетных гармонических составл ющих , выдел емых полосовыми фильтрами 10 и 11. Результат делени блоков 12 и 13 зависит только от амплитуды сканировани и не зависит от фазы информационного сигнала, измер емого фазометром 7. Амплитуды одной четной и одной нечетной гармоник , выдел емых полосовыми фильтрами 9 и 10, сравниваютсй между собой блоком 1 t сравнени . В зависимостйцот соотношени амплитуд двух четных и двух нечетной
гармоник, которые измен ютс в квадратуре , т.е. при определенной фазе измерительного сигнала амплитуда одной .из гармоник 6j5paщaeтc g нуль, в то врем как амплитуда другой гарно«НИКИ принимает максимальное знамение , блок }Ц сравнени формирует сигнал управлени , поступающий на управл ющий вход коммутатора, котоpt осуществл ет коммутацию результатов делени одного из блоков 12 и 13 делени на вход блока 16 управлени . Блок 16 управлени осуществл ет сравнение одного из сигналов, поступивших с выхода блока 12 делени или блока 13 делени , с предварительно заданной уставкой , соответствующей значению, при котором амгглитуда сканировани соответствует величине, обеспечивающей сканирование определенного , числа полос t при котором посто нна составл юща сигнала, снимаемого с фотоприемника 3 равна нулю. Сигнал с выхода блока 16 лени поступает на управл ющий вход управл емого делител 5, измен erf) коэффициент передачи и, тем самым / подстраива амплитуду сканировани элемента 2 сканировани .