JPH0252149U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252149U JPH0252149U JP13058388U JP13058388U JPH0252149U JP H0252149 U JPH0252149 U JP H0252149U JP 13058388 U JP13058388 U JP 13058388U JP 13058388 U JP13058388 U JP 13058388U JP H0252149 U JPH0252149 U JP H0252149U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- detector
- defect detector
- inspection area
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す欠陥検出器
の構成図、第２図はこの考案による検査域作成の
説明図、第３図は従来の表面欠陥検出器を示す構
成図、第４図、第５図、第６図は従来装置の説明
図である。 図中、１はレーザ装置、２は光学系、３はスキ
ヤナ、４はスキヤナドライバ、６は光ガイド、７
は光電変換器、８は信号処理器、１１は光検出器
、１２は検査域作成回路である。なお、図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
の構成図、第２図はこの考案による検査域作成の
説明図、第３図は従来の表面欠陥検出器を示す構
成図、第４図、第５図、第６図は従来装置の説明
図である。 図中、１はレーザ装置、２は光学系、３はスキ
ヤナ、４はスキヤナドライバ、６は光ガイド、７
は光電変換器、８は信号処理器、１１は光検出器
、１２は検査域作成回路である。なお、図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- レーザ等の光源と、この光源から発せられた光
を適切な大きさにするための光学系及び被検査物
上に走査するための走査系より構成される照射系
と、被検査物からの散乱光を受光し電気信号に変
換する受光系及びこの電気信号を処理し良否判定
等をする信号処理系を備えた欠陥検出器において
走査光の一部を検知するための検知器と、この検
知器の検出信号を基準にして、検査域を決定する
検査域決定回路を設けたことを特徴とする欠陥検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13058388U JPH0252149U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13058388U JPH0252149U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252149U true JPH0252149U (ja) | 1990-04-13 |
Family
ID=31385883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13058388U Pending JPH0252149U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252149U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009512839A (ja) * | 2005-10-21 | 2009-03-26 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | ガラス板光学検査システム及び方法 |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP13058388U patent/JPH0252149U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009512839A (ja) * | 2005-10-21 | 2009-03-26 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | ガラス板光学検査システム及び方法 |
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