JPH025200U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH025200U JPH025200U JP7618688U JP7618688U JPH025200U JP H025200 U JPH025200 U JP H025200U JP 7618688 U JP7618688 U JP 7618688U JP 7618688 U JP7618688 U JP 7618688U JP H025200 U JPH025200 U JP H025200U
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- JP
- Japan
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- insulating layer
- bit line
- word line
- memory cell
- line
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- Pending
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の要部であるメモリ
セル部を部分的に示す概略的平面図、第２図は第
１図の−′線に沿つた断面図、第３図は第１
図の−′線に沿つた断面図、第４図は第１図
例のメモリセル部及び読み出し回路部を示す回路
図である。 １……Ｐ型シリコン基板、２１，２２，２３…
…ワード線、３……ＳｉＯ２層、３１１，３１２
・・・３３３……ＳｉＯ２層部分、４１，４２，
４３……ビツト線、５１１，５１２・・・５３３
……メモリセル。
セル部を部分的に示す概略的平面図、第２図は第
１図の−′線に沿つた断面図、第３図は第１
図の−′線に沿つた断面図、第４図は第１図
例のメモリセル部及び読み出し回路部を示す回路
図である。 １……Ｐ型シリコン基板、２１，２２，２３…
…ワード線、３……ＳｉＯ２層、３１１，３１２
・・・３３３……ＳｉＯ２層部分、４１，４２，
４３……ビツト線、５１１，５１２・・・５３３
……メモリセル。
Claims (1)
- 半導体基板上に絶縁体層を挟んでワード線及び
ビツト線を形成し、上記ワード線及び上記ビツト
線が交差する部分に挟まれた絶縁体層部分をメモ
リセルとして成るマスクＲＯＭ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7618688U JPH025200U (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7618688U JPH025200U (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025200U true JPH025200U (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=31301228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7618688U Pending JPH025200U (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025200U (ja) |
-
1988
- 1988-06-08 JP JP7618688U patent/JPH025200U/ja active Pending